1.AFM探針橫向力標定系數(shù)測量方法，是在標準實驗室環(huán)境條件下，利用AFM，測量試樣同一區(qū)域承受不同法向載荷Fn下的摩擦力電信號Uf及表面黏附力Fad；代入式(1)中，采用最優(yōu)參數(shù)估計法求解出橫向力標定系數(shù)β；
Ufβ＝k(Fn+Fad)..........(1)
式(1)中K為探針與樣品之間的摩擦系數(shù)。
2.根據(jù)權利要求1所述的AFM探針橫向力標定系數(shù)測量方法，其特征在于：標準實驗室環(huán)境條件是指溫度為21℃，濕度為50％的超凈環(huán)境。
3.根據(jù)權利要求1所述的AFM探針橫向力標定系數(shù)測量方法，其特征在于：法向載荷Fn采用熱常數(shù)法標定。
4.根據(jù)權利要求1所述的AFM探針橫向力標定系數(shù)測量方法，其特征在于：對AFM探針施加至少5種不同的法向載荷Fn，針對每一種法向載荷Fn，利用AFM的摩擦力模塊，掃描試樣表面選定區(qū)域，得到該區(qū)域在相應法向載荷Fn作用下的表面摩擦力圖，對所得到的表面摩擦力圖采用高斯統(tǒng)計，得到相應法向載荷Fn作用下的摩擦力電信號Uf。
5.根據(jù)權利要求4所述的AFM探針橫向力標定系數(shù)測量方法，其特征在于：對AFM探針施加5-20種不同的法向載荷Fn；前后兩級法向載荷Fn之差相等。
6.根據(jù)權利要求1所述的AFM探針橫向力標定系數(shù)測量方法，其特征在于：利用AFM力圖模塊，測量試樣同一區(qū)域的黏附力，經(jīng)過高斯統(tǒng)計得到試樣表面黏附力Fad。
7.根據(jù)權利要求6所述的AFM探針橫向力標定系數(shù)測量方法，其特征在于：黏附力測量時，利用AFM力圖模塊，測量試樣同一區(qū)域的至少1024個點。
8.根據(jù)權利要求1所述的AFM探針橫向力標定系數(shù)測量方法，其特征在于：試樣選自單晶硅片、云母片、MoS2納米片中的任意一種。
9.根據(jù)權利要求1‐8任意一項所述的AFM探針橫向力標定系數(shù)測量方法，其特征在于：最優(yōu)參數(shù)估計法為麥夸特優(yōu)化算法。
10.AFM探針橫向力標定方法，是在標準實驗室環(huán)境條件下，利用AFM，測量試樣同一區(qū)域承受不同法向載荷Fn下的摩擦力電信號Uf及表面黏附力Fad；代入式(1)中，采用最優(yōu)參數(shù)估計法求解出橫向力標定系數(shù)β；將β代入式(2)中，完成AFM探針橫向力標定；
Ff＝Uf×β......(2)
式(2)中，F(xiàn)f為AFM探針在材料表面掃描產(chǎn)生的橫向力。