專利名稱：處理裝置及測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及處理裝置以及測(cè)試裝置。
背景技術(shù)：
公知的有，在處理裝置的測(cè)試部?jī)?nèi)，分別對(duì)插座及被測(cè)試器件進(jìn)行攝像，將被測(cè)試器件的位置和插座的位置進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)的技術(shù)(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。專利文獻(xiàn)1，日本專利特開(kāi)2007-333697號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題但是，如果在被測(cè)試器件搬入測(cè)試部?jī)?nèi)后對(duì)插座及被測(cè)試器件進(jìn)行拍攝并對(duì)準(zhǔn)位置，則被測(cè)試器件在測(cè)試部?jī)?nèi)的滯留時(shí)間變長(zhǎng)。因?yàn)槭菍⑤d置應(yīng)該測(cè)試的被測(cè)試器件的托盤(pán)與前一個(gè)托盤(pán)交換搬入測(cè)試部?jī)?nèi)，所以，如果一個(gè)被測(cè)試器件在測(cè)試部?jī)?nèi)滯留的時(shí)間變長(zhǎng)，則整體的測(cè)試時(shí)間變長(zhǎng)。另外，在測(cè)試部?jī)?nèi)，對(duì)被接觸臂吸附保持的被測(cè)試器件進(jìn)行攝像處理及位置對(duì)準(zhǔn)，因此，一次能夠進(jìn)行攝像處理及位置對(duì)準(zhǔn)的被測(cè)試器件的數(shù)量受到限定。由此，存在被測(cè)試器件的數(shù)量增加的越多測(cè)試時(shí)間越顯著變長(zhǎng)的問(wèn)題。解決技術(shù)問(wèn)題的手段因此，為了解決上述課題，在本發(fā)明的第I方式中提供的處理裝置，是將多個(gè)被測(cè)試器件搬送到測(cè)試用的插座中的處理裝置，其具有:設(shè)置有插座的測(cè)試部；搬送在表面上被載置多個(gè)被測(cè)試器件的托盤(pán) ，把多個(gè)被測(cè)試器件的溫度控制到預(yù)先規(guī)定的測(cè)試溫度，并將托盤(pán)搬送到測(cè)試部的加熱部；在加熱部?jī)?nèi)，沿第I方向設(shè)置與被測(cè)試器件同數(shù)目排列的多個(gè)攝像元件，使多個(gè)攝像元件在不與第I方向平行的第2方向，相對(duì)于托盤(pán)的表面相對(duì)地移動(dòng)，并分別拍攝各被測(cè)試器件的圖像的器件攝像部；基于器件攝像部拍攝到的各個(gè)被測(cè)試器件的圖像，調(diào)整被測(cè)試器件對(duì)插座的位置的位置調(diào)整部。另外，上述發(fā)明的概要，并未列舉出本發(fā)明的必要的技術(shù)特征的全部，另外，這些特征群的輔助結(jié)合也能構(gòu)成本發(fā)明。


圖1表示本發(fā)明的第I實(shí)施方式涉及的處理裝置的剖面圖。圖2表不圖1的俯視圖。圖3表示加熱部及測(cè)試部。圖4表示加熱部及測(cè)試部的立體圖。圖5表示加熱部及測(cè)試部的其他構(gòu)成例。圖6表示在加熱部?jī)?nèi)的攝像及位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)。圖7A表示在測(cè)試部?jī)?nèi)，檢測(cè)插座的位置的狀態(tài)。
圖7B表示在加熱部?jī)?nèi)，檢測(cè)器件中央位置及基準(zhǔn)針的位置的狀態(tài)。圖7C表示在加熱部?jī)?nèi)，對(duì)內(nèi)單元的位置進(jìn)行補(bǔ)正的狀態(tài)。圖7D表示在加熱部?jī)?nèi)，移動(dòng)位置調(diào)整部的狀態(tài)。圖7E表示在測(cè)試部?jī)?nèi)，對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn)針和插座的位置的狀態(tài)。圖7F表示在測(cè)試部?jī)?nèi)，被測(cè)試器件和插座接觸的狀態(tài)。圖8表示本發(fā)明第2實(shí)施方式涉及的加熱部的俯視圖。圖9表示本發(fā)明第3實(shí)施方式涉及的加熱部的俯視圖。圖10表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式涉及的加熱部的俯視圖。圖11表示本發(fā)明的第5實(shí)施方式涉及的加熱部的俯視圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明:測(cè)試裝置100，處理裝置101、測(cè) 試頭102，測(cè)試模塊103，連接轉(zhuǎn)換部104，插座105，加熱部106，測(cè)試部107，除熱部108，測(cè)試托盤(pán)109，被測(cè)試器件110，器件攝像部111，插座攝像部112，位置調(diào)整部113，裝載部201，第I卸載部202，第2卸載部203，吸收側(cè)溫度控制裝置301，測(cè)試側(cè)溫度控制裝置302，X支持導(dǎo)軌303，Y支持導(dǎo)軌304，X支持導(dǎo)軌用電機(jī)401，攝像部用電機(jī)402，圖6右部601，圖6中央部602，圖6左部603，固定部604，執(zhí)行器605基準(zhǔn)針606，內(nèi)單元607，外單元608，釋放部609，球形端子610，器件中央位置611，插座中央位置612，插入部613，基準(zhǔn)針中心位置701，基準(zhǔn)針插入部702，端子703、推進(jìn)部704。
具體實(shí)施例方式以下，通過(guò)發(fā)明的實(shí)施方式說(shuō)明本發(fā)明，但是以下的實(shí)施方式并不限定專利權(quán)利要求的范圍。在實(shí)施方式中說(shuō)明的特征組合并非全部為本發(fā)明的解決方法所必須的。圖1，表示測(cè)試裝置100的概要。測(cè)試裝置100具有:處理裝置101、測(cè)試頭102、及連接轉(zhuǎn)換部104。測(cè)試裝置100還可以具有用于控制測(cè)試頭102等的主計(jì)算機(jī)。測(cè)試裝置100測(cè)試模擬電路、數(shù)字電路、模擬/數(shù)字混載電路、存儲(chǔ)器、和系統(tǒng)集成芯片(SOC)等的多種被測(cè)試器件110。測(cè)試頭102保存有多個(gè)測(cè)試模塊103。測(cè)試模塊103借助測(cè)試頭102及連接轉(zhuǎn)換部104與被測(cè)試器件110連接，測(cè)試被測(cè)試器件110。例如，測(cè)試模塊103，對(duì)被測(cè)試器件110輸入與從用戶等獲得的測(cè)試圖形對(duì)應(yīng)的測(cè)試信號(hào)后，根據(jù)被測(cè)試器件110輸出的響應(yīng)信號(hào)判斷各個(gè)被測(cè)試器件110的好壞。連接轉(zhuǎn)換部104轉(zhuǎn)換測(cè)試部107內(nèi)的多個(gè)插座105和各個(gè)測(cè)試模塊103的連接。在各個(gè)插座105上載置被測(cè)試器件110。由此，將各個(gè)被測(cè)試器件110與測(cè)試模塊103電連接。各被測(cè)試器件110可以分別具有BGA (Ball Grid Array)或LGA (Land GridArray)等電極。被測(cè)試器件 110 也可以用 SOJ (Small Outline J-leaded),PLCC (PlasticLeaded ChipCarrier), QFP (Quad Flat Package),或 SOP (Small Outline Package)等端子代替這些電極。插座105與被測(cè)試器件110具有的電極或端子等電連接。處理裝置101將應(yīng)該測(cè)試的被測(cè)試器件110搬送至插座105，另外，從插座105搬送測(cè)試結(jié)束的被測(cè)試器件110。在本例的處理裝置101中，將多個(gè)被測(cè)試器件110載置在測(cè)試托盤(pán)109上并搬送。處理裝置101具有加熱部106、測(cè)試部107及除熱部108。測(cè)試部107是用于測(cè)試多個(gè)被測(cè)試器件110的場(chǎng)所，被搬入載置有應(yīng)該測(cè)試的被測(cè)試器件110的測(cè)試托盤(pán)109。在測(cè)試部107中設(shè)置多個(gè)插座105，將各個(gè)被測(cè)試器件110載置在插座105上后進(jìn)行測(cè)試。在本例中，在測(cè)試部107內(nèi)，讓測(cè)試托盤(pán)109向設(shè)置了多個(gè)插座105的方向移動(dòng)，并將多個(gè)被測(cè)試器件110載置在多個(gè)插座105上。另外，測(cè)試部107內(nèi)的被測(cè)試器件110的溫度被控制到預(yù)先設(shè)定的測(cè)試溫度。另外，測(cè)試部107具有用于對(duì)插座105進(jìn)行攝像的插座攝像部112。插座攝像部112拍攝表示與被測(cè)試器件110電連接的插座105的端子的位置的圖像。插座攝像部112也可以拍攝插座105的端子與所規(guī)定的基準(zhǔn)位置的相對(duì)位置。另外，在測(cè)試部107內(nèi)，設(shè)置被排列在行方向及列方向上的多個(gè)插座105。這樣，測(cè)試部107內(nèi)的插座攝像部112沿行方向及列方向移動(dòng)，對(duì)多個(gè)插座105的圖像進(jìn)行攝像。另外，插座105的圖像，也可以不在每次將測(cè)試托盤(pán)109搬入測(cè)試部107時(shí)獲取。例如，插座攝像部112可以在上述的測(cè)試溫度的設(shè)定發(fā)生變化時(shí)，或者，與被測(cè)試器件110的品種對(duì)應(yīng)更換了插座105的情況下，在插座105端子的位置變化的可能性高的時(shí)候，重新拍攝插座105圖像。另外,插座攝像部112,可以在每個(gè)預(yù)先規(guī)定的期間拍攝插座105圖像，也可以在被測(cè)試器件110被判斷為不合格的比率大于等于規(guī)定值的情況下重新拍攝插座105圖像。將載置了測(cè)試前的多個(gè)被測(cè)試器件110的測(cè)試托盤(pán)109搬入加熱部106。在加熱部106內(nèi)，多個(gè)被測(cè)試器件110的溫度被控制在所規(guī)定的測(cè)試溫度。加熱部106具有器件攝像部111及位置調(diào)整部113。器件攝像部111沿第I方向(與測(cè)試托盤(pán)109平行的一個(gè)方向)具有與被測(cè)試器件110同數(shù)目排列的多個(gè)攝像元件。對(duì)每個(gè)被測(cè)試器件110器件攝像部111拍攝被載置在測(cè)試托盤(pán)109上的多個(gè)被測(cè)試器件110的圖像。器件攝像部111拍攝表示與插座105電連接的被測(cè)試器件110的端子位置的圖像。器件攝像部111也可以拍攝被測(cè)試器件110的端子與所規(guī)定的基準(zhǔn)位置的相對(duì)位置。因?yàn)槠骷z像部111具有多個(gè)攝像元件，所以，與具有I個(gè)攝像元件的情況比較，能夠以更短時(shí)間獲得被測(cè)試器件110的位置信息。器件攝像部111在加熱部106內(nèi)，通過(guò)相對(duì)于對(duì)測(cè)試托盤(pán)109表面作相對(duì)的移動(dòng)，依次移動(dòng)到與各個(gè)被測(cè)試器件110面對(duì)的位置。在本例中，說(shuō)明了在拍攝被測(cè)試器件110時(shí)，測(cè)試托盤(pán)109被固定，而器件攝像部111移動(dòng)的例子。器件攝像部111，在與測(cè)試托盤(pán)109的表面大致平行的面內(nèi)沿第2方向移動(dòng)。第2方向是指與第I方向不平行的方向。在本例中，在測(cè)試托盤(pán)109上沿行方向及列方向排列多個(gè)被測(cè)試器件110，第I方向及第2方向，分別是該行方向及該列方向。位置調(diào)整部113，基于器件攝像部111及插座攝像部112所拍攝的圖像，在加熱部106內(nèi)，調(diào)整多個(gè)被測(cè)試器件110的位置。S卩，位置調(diào)整部113，在測(cè)試部107中已經(jīng)將各個(gè)被測(cè)試器件110載置在插座105上時(shí)，為了使被測(cè)試器件110的各端子與插座105的各端子電連接而調(diào)整各個(gè)被測(cè)試器件110相對(duì)于插座105的位置。本例的位置調(diào)整部113在測(cè)試托盤(pán)109上，調(diào)整多個(gè)被測(cè)試器件110的位置。除熱部108，從測(cè)試部107搬送測(cè)試結(jié)束后的測(cè)試托盤(pán)109。在除熱部108內(nèi)，將多個(gè)被測(cè)試器件110的溫度控制到和室溫同程度的溫度。多個(gè)被測(cè)試器件110的溫度變成與室溫同程度后，測(cè)試托盤(pán)109從除熱部108中搬出。加熱部、測(cè)試部及除熱部可以具有用于收納測(cè)試托盤(pán)109的腔體的構(gòu)造，也可以不具有。加熱部、測(cè)試部及除熱部，可以通過(guò)控制腔體內(nèi)的溫度來(lái)控制被測(cè)試器件110的溫度。還可以采用熱電元件，使冷媒或熱媒循環(huán)的冷氣設(shè)備或加熱設(shè)備，或者將這些方法和所謂的腔體方式并用等，直接控制被測(cè)試器件110的溫度。圖2，是表示處理裝置101的整體構(gòu)造的俯視圖。處理裝置101除了加熱部106、測(cè)試部107及除熱部108外還具有裝載部201、第I卸載部202及第2卸載部203。裝載部201向加熱部106搬送載置有多個(gè)被測(cè)試器件110的測(cè)試托盤(pán)109。裝載部201也可以接受已經(jīng)載置有多個(gè)被測(cè)試器件110的用戶托盤(pán)，只將被測(cè)試器件110從該用戶托盤(pán)轉(zhuǎn)移到測(cè)試托盤(pán)109。加熱部106、測(cè)試部107及除熱部108可以同時(shí)處理多個(gè)測(cè)試托盤(pán)109。第I卸載部202及第2卸載部203從除熱部108接受測(cè)試托盤(pán)109。第I卸載部202及第2卸載部203根據(jù)在測(cè)試部107中的測(cè)試結(jié)果，對(duì)多個(gè)被測(cè)試器件110分類。例如，第2卸載部203，可以將從除熱部108接受的被載置在測(cè)試托盤(pán)109上的為被測(cè)試器件110之中的合格品的被測(cè)試器件110轉(zhuǎn)移到用戶托盤(pán)。第I卸載部202可以從第2卸載部203接受測(cè)試托盤(pán)109，將不良的被測(cè)試器件110轉(zhuǎn)移到用戶托盤(pán)。第2卸載部203把空的測(cè)試托盤(pán)搬送到裝載部201上。圖3，是表示加熱部106及測(cè)試部107的俯視圖。在圖3中，被測(cè)試器件110，在測(cè)試托盤(pán)109上被示意性地表示為一個(gè)四角形。在本例中，在測(cè)試托盤(pán)109上沿著行方向(X軸方向)及列方向(Y軸方向)排列被測(cè)試器件110。在圖3中，每一個(gè)測(cè)試托盤(pán)109上，載置了 16行及16列合計(jì)256個(gè)被測(cè)試器件。但是，一個(gè)測(cè)試托盤(pán)109上被要求的被測(cè)試器件110的數(shù)目不受此數(shù)量限定。另外，加熱部106及測(cè)試部107，可以沿Y軸方向收容多個(gè)測(cè)試托盤(pán)109。在加熱部106內(nèi)及測(cè)試部107內(nèi)，分別載置X支持導(dǎo)軌303及Y支持導(dǎo)軌304。X支持導(dǎo)軌303沿X軸方向設(shè)置，Y支持導(dǎo)軌304沿Y軸方向設(shè)置。在各腔體中，Y支持導(dǎo)軌304被設(shè)置在X軸方向的兩端，且，在Y軸方向上，在多個(gè)測(cè)試托盤(pán)109的全體上設(shè)置。X支持導(dǎo)軌303的兩端被安裝在Y支持導(dǎo)軌304上，沿Y支持導(dǎo)軌304移動(dòng)。在加熱部106內(nèi)的X支持導(dǎo)軌303上，安裝器件攝像部111及位置調(diào)整部113。器件攝像部111，隨著X支持導(dǎo)軌303在Y軸方向(列方向)的移動(dòng)而沿Y軸方向移動(dòng)。這樣，器件攝像部111沿與在測(cè)試托盤(pán)109上排列的多個(gè)被測(cè)試器件110的列方向大致平行的方向移動(dòng)。另外，器件攝像部111的移動(dòng)方向，只要是能夠拍攝測(cè)試托盤(pán)109上的全部的被測(cè)試器件110，就可以不必一定與被測(cè)試器件110排列的行方向及列方向平行。另外，器件攝像部111以在列方向上相對(duì)于測(cè)試托盤(pán)109為相對(duì)靜止?fàn)顟B(tài)，依次拍攝行方向的多個(gè)被測(cè)試器件110。也就是，在器件攝像部111拍攝行方向的多個(gè)被測(cè)試器件110期間X支持導(dǎo)軌303為靜止。另外，在器件攝像部111全部拍攝完該行的被測(cè)試器件110的情況下，X支持導(dǎo)軌303向Y軸方向移動(dòng)，使之拍攝下一行的被測(cè)試器件110。另夕卜，各腔體中設(shè)置了用于拍攝被測(cè)試器件110及插座105的照明裝置。該照明裝置，追隨各器件攝像部111而移動(dòng)。位置調(diào)整部113，在加熱部106內(nèi)的測(cè)試托盤(pán)109上，調(diào)整多個(gè)被測(cè)試器件110的位置。位置調(diào)整部113，具有巡視多個(gè)被測(cè)試器件110，并調(diào)整巡視之后的多個(gè)被測(cè)試器件110的位置的執(zhí)行器。在本例，該執(zhí)行器，沿X支持導(dǎo)軌303設(shè)置多個(gè)。例如，執(zhí)行器可以與X軸方向的多個(gè)被測(cè)試器件110相同數(shù)設(shè)置。各執(zhí)行器伴隨X支持導(dǎo)軌303在Y軸方向上的移動(dòng)，巡視Y軸方向的被測(cè)試器件110。另外，相對(duì)于X支持導(dǎo)軌303的行進(jìn)方向，在位置調(diào)整部113的更前側(cè)設(shè)置器件攝像部111。在比器件攝像部111還在被測(cè)試器件110的至少I行之后設(shè)置位置調(diào)整部113。在器件攝像部111拍攝多個(gè)被測(cè)試器件110的任何一個(gè)的圖像期間，位置調(diào)整部113的各執(zhí)行器調(diào)整已經(jīng)拍攝了圖像后的多個(gè)被測(cè)試器件110的位置。另外，“拍攝被測(cè)試器件110的圖像期間”也包含為了拍攝而器件攝像部111沿X軸方向移動(dòng)的期間。本例的位置調(diào)整部113的各執(zhí)行器在器件攝像部111拍攝任何一行的被測(cè)試器件Iio圖像的期間，對(duì)已經(jīng)被拍攝圖像的行的被測(cè)試器件110的位置進(jìn)行調(diào)整。在加熱部106中，器件攝像部111還可以拍攝被位置調(diào)整部113調(diào)整位置后的多個(gè)被測(cè)試器件110。該情況下的攝像元件既可以使用為了調(diào)整被測(cè)試器件110的位置，最初拍攝了被測(cè)試器件110的攝像元件，也可以使用別的攝像元件。位置調(diào)整部113，可以在位置調(diào)整后的被測(cè)試器件110的位置偏離規(guī)定的位置時(shí)，再次進(jìn)行位置調(diào)整。另外，當(dāng)在測(cè)試部107內(nèi)測(cè)試的多個(gè)被測(cè)試器件110的測(cè)試時(shí)間比預(yù)先規(guī)定的基準(zhǔn)時(shí)間長(zhǎng)時(shí)，器件攝像部111可以再次拍攝被位置調(diào)整部113調(diào)整位置后的多個(gè)被測(cè)試器件110。更具體說(shuō)，當(dāng)器件攝像部111再次拍攝了位置調(diào)整后的被測(cè)試器件110時(shí)，如果該拍攝結(jié)束的時(shí)間比在測(cè)試部107內(nèi)執(zhí)行的測(cè)試結(jié)束的時(shí)間還早的情況下，可以再次實(shí)行拍攝。測(cè)試部107內(nèi)的X支持導(dǎo)軌303中設(shè)置插座攝像部112。測(cè)試部107內(nèi)的X支持導(dǎo)軌303及插座攝像部112的動(dòng)作與加熱部106內(nèi)的X支持導(dǎo)軌303及器件攝像部111的動(dòng)作相同。但是，插座攝像部112不是拍攝被測(cè)試器件110,而是拍攝圖1所示的插座105。另外，在加熱部106中，連接吸收(，-、soak)側(cè)溫度控制裝置301。吸收側(cè)溫度控制裝置301將多個(gè)被測(cè)試器件110的溫度控制成預(yù)先規(guī)定的測(cè)試溫度。吸收側(cè)溫度控制裝置301，例如，也可以在每個(gè)被測(cè)試器件110上具有珀耳帖元件等的熱電元件，通過(guò)使冷媒或熱媒沿著被測(cè)試器件110循環(huán)來(lái)控制溫度。另外，測(cè)試部107上連接測(cè)試側(cè)溫度控制裝置302。測(cè)試側(cè)溫度控制裝置302把測(cè)試部107內(nèi)的被測(cè)試器件110的溫度控制成規(guī)定的測(cè)試溫度。測(cè)試側(cè)溫度控制裝置302也可以控制測(cè)試部107的氣體環(huán)境的溫度，由珀耳帖元件等直接控制被測(cè)試器件110的溫度。圖4是處理裝置101內(nèi)的加熱部106及測(cè)試部107的立體圖。X支持導(dǎo)軌303通過(guò)X支持導(dǎo)軌用電機(jī)401沿Y支持導(dǎo)軌304在Y軸方向移動(dòng)。從而，位置調(diào)整部113、器件攝像部111及插座攝像部112與X支持導(dǎo)軌303 —起沿Y軸方向移動(dòng)。插座攝像部112通過(guò)攝像部用電機(jī)402沿X支持導(dǎo)軌303在X軸方向移動(dòng)。圖5表示加熱部106及測(cè)試部107的其他構(gòu)成。在該構(gòu)成中，加熱部106具有器件攝像部111以及一個(gè)位置調(diào)整部113，其中，器件攝像部111具有相當(dāng)于在測(cè)試托盤(pán)109中的一行被測(cè)試器件110的個(gè)數(shù)的數(shù)目的攝像元件。位置調(diào)整部113沿X支持導(dǎo)軌303在X軸方向(行方向)移動(dòng)。器件攝像部111及位置調(diào)整部113，伴隨在X支持導(dǎo)軌303的Y軸方向(列方向)中的移動(dòng)，而在Y軸方向移動(dòng)。這樣，位置調(diào)整部113在大致平行于被配置在測(cè)試托盤(pán)109上的多個(gè)被測(cè)試器件110的行方向及列方向的方向上移動(dòng)。
位置調(diào)整部113，在第2方向上，可以以相對(duì)于測(cè)試托盤(pán)109靜止的狀態(tài)，一邊沿第I方向移動(dòng)，一邊依次調(diào)整行方向的被測(cè)試器件110。也就是，在器件攝像部111及位置調(diào)整部113分別拍攝及調(diào)整行方向的多個(gè)被測(cè)試器件110期間，X支持導(dǎo)軌303靜止。另外，在器件攝像部111全部拍攝完該行的被測(cè)試器件110，且，位置調(diào)整部113將該行的被測(cè)試器件110全部進(jìn)行了調(diào)整的情況下，X支持導(dǎo)軌303在Y軸方向移動(dòng)，使之拍攝下一行的被測(cè)試器件110。進(jìn)一步，位置調(diào)整部113也可以在第I方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，且，為了調(diào)整第I方向上的往路及復(fù)路上不同行的被測(cè)試器件110，可以在第2方向上移動(dòng)。另外，由于測(cè)試部107的構(gòu)成與圖3相同，以下省略其說(shuō)明。圖6，表示在加熱部106內(nèi)的被測(cè)試器件110的攝像及位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)。本例的被測(cè)試器件110載置在被固定在測(cè)試托盤(pán)109上的插入部613上。而且，插入部613在規(guī)定的范圍內(nèi)以可移動(dòng)狀態(tài)被固定于測(cè)試托盤(pán)109。圖6右部601，表示器件攝像部111正在拍攝被測(cè)試器件110的狀態(tài)。圖6中央部602，表示在器件攝像部111拍攝了被測(cè)試器件110之后，由位置調(diào)整部113的執(zhí)行器605進(jìn)行位置對(duì)準(zhǔn)之前的狀態(tài)。圖6左部603，表示在器件攝像部111拍攝了被測(cè)試器件110之后，通過(guò)位置調(diào)整部113的執(zhí)行器605完成位置對(duì)準(zhǔn)之后的狀態(tài)。位置調(diào)整部113具有固定部604及執(zhí)行器605。固定部604將位置調(diào)整部113相對(duì)于插入部613固定。例，固定部604相對(duì)于后述的插入部613的基準(zhǔn)針606被固定。執(zhí)行器605被設(shè)定成能夠相對(duì)于固定部604可以在包含X軸及Y軸的面內(nèi)移動(dòng)及旋轉(zhuǎn)。固定部604相對(duì)于基準(zhǔn)針606被固定，執(zhí)行器605通過(guò)以直接或間接保持被測(cè)試器件110的狀態(tài)移動(dòng)，來(lái)調(diào)整相對(duì)于基準(zhǔn)針606的被測(cè)試器件110的位置。插入部613，具有基準(zhǔn)針606、內(nèi)單元607、外單元608及釋放部609，載置被測(cè)試器件110。內(nèi)單元607載置被測(cè)試器件110。外單元608被固定于測(cè)試托盤(pán)109。釋放部609用于切換是將內(nèi)單元607設(shè)置成相對(duì)于外單元608的鎖定狀態(tài)(固定狀態(tài))，還是呈鎖定解除狀態(tài)(非固定狀態(tài))。基準(zhǔn)針606具有連接插入部613和插座105時(shí)的定位針的功能。例，基準(zhǔn)針606被插入或卡合到被設(shè)置在插座105上的基準(zhǔn)針插入部702(記載于后述的圖7A)。在外單元608的插座105相對(duì)的面被設(shè)置多個(gè)基準(zhǔn)針606。首先，如圖6右部601所示，器件攝像部111拍攝插入部613的圖像。器件攝像部111拍攝包含基準(zhǔn)針606和被測(cè)試器件110的至少一部分的圖像。例，器件攝像部111拍攝包含基準(zhǔn)針606和被測(cè)試器件110的全部球形端子610的圖像。這樣，相對(duì)于基準(zhǔn)針606的、是被測(cè)試器件110的中央位置的器件中央位置611的相對(duì)位置被檢測(cè)出。另外，此時(shí)，釋放部609是被鎖定的狀態(tài)。其后，如圖6中央部602所示，位置調(diào)整部113被設(shè)置在插入部613上。在該階段，事前取得的插座中央位置612和器件中央位置611不一定一致。而且，所謂插座中央位置612表示相對(duì)于基準(zhǔn)針606對(duì)應(yīng)的插座105側(cè)的基準(zhǔn)針插入部702的、插座105的中央位置的相對(duì)位置。另外，位置調(diào)整部113被固定部604固定在外單元608，執(zhí)行器605握持內(nèi)單元607。然后，釋放部609的鎖定被解除。然后，如圖6左部603所示，為了使插座中央位置612與器件中央位置611 —致，而執(zhí)行器605對(duì)被測(cè)試器件110的位置進(jìn)行微小調(diào)整。執(zhí)行器605將被測(cè)試器件110的位置微小調(diào)整之后，釋放部609再次被鎖定。
圖7A至圖7F，是表示從在測(cè)試部107內(nèi)檢測(cè)出插座105的位置的地方到在測(cè)試部107中連接端子703和被測(cè)試器件110為止的一系列的流程的圖。圖7A，表示檢測(cè)出測(cè)試部107內(nèi)部中的插座105的位置的狀態(tài)。插座105具有與被測(cè)試器件110的球形端子610連接的端子703、基準(zhǔn)針插入部702。插座攝像部112從下方拍攝插座105的圖像。插座攝像部112拍攝包含基準(zhǔn)針插入部702、端子703的至少一部的圖像。本例的插座攝像部112拍攝包含全部的基準(zhǔn)針插入部702、全部的端子703的圖像。從拍攝的圖像檢測(cè)出相對(duì)于基準(zhǔn)針中心位置701的插座中央位置612。圖7B，表示在加熱部106內(nèi)，檢測(cè)出相對(duì)于基準(zhǔn)針606的器件中央位置611的狀態(tài)。器件攝像部111拍攝包含基準(zhǔn)針606及被測(cè)試器件110的全部球形端子610的圖像。這樣，相對(duì)于基準(zhǔn)針606的器件中央位置611被檢測(cè)出來(lái)。圖7C，表示在加熱部106內(nèi)修改內(nèi)單元607的位置的狀態(tài)。執(zhí)行器605對(duì)內(nèi)單元607的位置進(jìn)行微小調(diào)整，以使在圖7A的階段所取得的插座中央位置612與在圖7B的階段取得的器件中央位置611對(duì)齊。這里，使用基準(zhǔn)針606作為插座中央位置612的基準(zhǔn)位置。圖7D，表示在加熱部106內(nèi)，位置調(diào)整部113移動(dòng)的狀態(tài)。在圖7C的位置調(diào)整結(jié)束之后，釋放部609再次被鎖定。另外，位置調(diào)整部113向上方移動(dòng)，且，移動(dòng)到與下一個(gè)被測(cè)試器件110相對(duì)的位置。在將測(cè)試托盤(pán)109上的全部的被測(cè)試器件110的位置調(diào)整結(jié)束之后，測(cè)試托盤(pán)109被搬入測(cè)試部107。圖7E，表示測(cè)試部107中，被測(cè)試器件110連接插座105的狀態(tài)。在測(cè)試部107內(nèi)，測(cè)試托盤(pán)109被移動(dòng)到插座105的近傍。然后，通過(guò)用推進(jìn)部704將各個(gè)插入部613向插座105的方向按壓，基準(zhǔn)針606因此被插入基準(zhǔn)針插入部702。另外，基準(zhǔn)針606，可以具有越往頂端直徑越小的細(xì)尖形狀。另外，基準(zhǔn)針插入部702的內(nèi)徑可以比基準(zhǔn)針606的外徑還大。各個(gè)插入部613具有活動(dòng)量地被固定在測(cè)試托盤(pán)109上，因此，各個(gè)插入部613的位置即使與插座105的位置稍微錯(cuò)開(kāi)，也能夠?qū)⒒鶞?zhǔn)針606插入基準(zhǔn)針插入部702。插座105也可以具有推壓部，用于將被插入基準(zhǔn)針插入部702的基準(zhǔn)針606向基準(zhǔn)針插入部702的側(cè)壁推壓。通過(guò)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠不斷吸收插入部613的位置偏差，而能夠高精度地固定插入部613和插座105的位置關(guān)系。圖7F，表示在測(cè)試部107內(nèi)，被測(cè)試器件110和插座105接觸的狀態(tài)。在圖7C的階段中，為了使對(duì)基準(zhǔn)針606的器件中央位置611的相對(duì)的位置與對(duì)基準(zhǔn)針插入部702的插座中央位置612 —致，而調(diào)整被測(cè)試器件110的位置，所以，通過(guò)將基準(zhǔn)針606插入基準(zhǔn)針插入部702，而使器件中央位置611與插座中央位置一致。這樣，能夠精密對(duì)齊被測(cè)試器件110和插座105的位置。圖8，表示本發(fā)明第2實(shí)施方式涉及的加熱部106的俯視圖。在該構(gòu)成例中，加熱部106具有器件攝像部111及由多個(gè)執(zhí)行器構(gòu)成的位置調(diào)整部113，其中器件攝像部111具有相當(dāng)于測(cè)試托盤(pán)109中的一行的被測(cè)試器件110的個(gè)數(shù)的數(shù)目的攝像元件。多個(gè)執(zhí)行器，以數(shù)個(gè)被測(cè)試器件110的間隔被分離配置。這種情況下，多個(gè)執(zhí)行器的間隔，例如是等間隔。位置調(diào)整部113，沿X支持導(dǎo)軌303在第I方向移動(dòng)，且，伴隨X支持導(dǎo)軌303的第2方向上的移動(dòng)，而沿第2方向移動(dòng)。這樣，器件攝像部111及位置調(diào)整部113沿著與在測(cè)試托盤(pán)109上排列的多個(gè)被測(cè)試器件110行方向及列方向大致平行的方向移動(dòng)。圖9表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式涉及的加熱部106的俯視圖。在該結(jié)構(gòu)中，加熱部106具有器件攝像部111以及位置調(diào)整部113，其中，器件攝像部111具有相當(dāng)于在測(cè)試托盤(pán)109中的一行被測(cè)試器件110的個(gè)數(shù)的數(shù)目的攝像元件；位置調(diào)整部113，具有相當(dāng)于在測(cè)試托盤(pán)109中的一行被測(cè)試器件110的個(gè)數(shù)的數(shù)目的執(zhí)行器。另外，測(cè)試托盤(pán)109沿第2方向移動(dòng)。器件攝像部111及位置調(diào)整部113在第I方向不移動(dòng)，伴隨X支持導(dǎo)軌303在第2方向上的移動(dòng)而沿第2方向移動(dòng)。在器件攝像部111將該行的被測(cè)試器件110全部攝像，且，位置調(diào)整部113調(diào)整了該行的被測(cè)試器件110的全部時(shí)，使X支持導(dǎo)軌303沿第2方向移動(dòng)，拍攝下一行的被測(cè)試器件110。圖10表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式涉及的加熱部106的俯視圖。在該結(jié)構(gòu)中，與第3實(shí)施方式相同，加熱部106具有器件攝像部111以及位置調(diào)整部113，其中，器件攝像部111具有相當(dāng)于在測(cè)試托盤(pán)109中的一行被測(cè)試器件110的個(gè)數(shù)的數(shù)目的攝像元件，位置調(diào)整部113，具有相當(dāng)于 在測(cè)試托盤(pán)109中的一行被測(cè)試器件110的個(gè)數(shù)的數(shù)目的執(zhí)行器。但是，與第3實(shí)施方式不同，器件攝像部111及位置調(diào)整部113不沿第一方向或第2方向的任何一個(gè)方向移動(dòng)，而通過(guò)測(cè)試托盤(pán)109在第2方向的移動(dòng)，器件攝像部111及位置調(diào)整部113相對(duì)于測(cè)試托盤(pán)109的表面,沿第2方向作相對(duì)的移動(dòng)。當(dāng)器件攝像部111把該行的被測(cè)試器件110全部攝像，且，位置調(diào)整部113把該行的被測(cè)試器件110全部調(diào)整后，測(cè)試托盤(pán)109沿第2方向移動(dòng)，使之拍攝下一行的被測(cè)試器件110。通過(guò)依次重復(fù)該工序，來(lái)拍攝測(cè)試托盤(pán)109上的全部的被測(cè)試器件110。另外，加熱部106可以采用包括具有相當(dāng)于測(cè)試托盤(pán)109中的一列的被測(cè)試器件110的個(gè)數(shù)的數(shù)目的攝像元件的器件攝像部111及具有相當(dāng)于測(cè)試托盤(pán)109中一列的被測(cè)試器件110的個(gè)數(shù)的數(shù)目的執(zhí)行器的位置調(diào)整部113的結(jié)構(gòu)。在這種情況下，器件攝像部111及位置調(diào)整部113不在第I方向或第2方向的任何一個(gè)方向移動(dòng)，通過(guò)測(cè)試托盤(pán)109在第I方向的移動(dòng)，器件攝像部111及位置調(diào)整部113相對(duì)于測(cè)試托盤(pán)109的表面，沿第I方向作相對(duì)的移動(dòng)。圖11，表示本發(fā)明第5實(shí)施方式涉及的加熱部106的俯視圖。在該構(gòu)成例中，測(cè)試托盤(pán)109沿第I方向及第2方向移動(dòng)。加熱部106，具有由一個(gè)位置調(diào)整部113及比測(cè)試托盤(pán)109中的一行的被測(cè)試器件110的個(gè)數(shù)還多的數(shù)目的攝像元件組成的器件攝像部111。另外，在本例中，器件攝像部111及位置調(diào)整部113被固定。在使測(cè)試托盤(pán)109沿第I方向及第2方向移動(dòng)期間，器件攝像部111對(duì)被測(cè)試器件Iio攝像，位置調(diào)整部113調(diào)整被測(cè)試器件110的位置。另外，其他實(shí)施方式中，也可以是器件攝像部111及位置調(diào)整部113，沿第I方向及第2方向上中的一個(gè)方向移動(dòng)，測(cè)試托盤(pán)109沿其他方向移動(dòng)。然而，測(cè)試托盤(pán)109沿第I方向移動(dòng)的時(shí)候，測(cè)試托盤(pán)109能夠在由位置調(diào)整部113進(jìn)行位置調(diào)整的范圍內(nèi)移動(dòng)。以上，通過(guò)實(shí)施方式說(shuō)明了本發(fā)明，不過(guò)，本發(fā)明的技術(shù)范圍不受以上的實(shí)施方式記載的范圍所限定。本行業(yè)專業(yè)人員明白，對(duì)上述實(shí)施例能夠加以多種多樣的改良和變更。根據(jù)權(quán)利要求的記載可以明確，實(shí)施了這樣的變更和改良的實(shí)施方式也包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍之內(nèi)。應(yīng)注意的是，對(duì)于權(quán)利要求、說(shuō)明書(shū)以及附圖中所示的裝置、系統(tǒng)、程序以及方法中的動(dòng)作、流程、步驟以及階段等各處理的執(zhí)行順序，只要未特別明示為“在…之前”，“比…先行”等，且只要未將前處理的輸出用于后處理中，則可按任意順序?qū)崿F(xiàn)。關(guān)于權(quán)利要求、說(shuō)明書(shū)以及附圖中的動(dòng)作流程，即使為方便起見(jiàn)而使用“首先”，“接著”等字樣進(jìn)行說(shuō)明，但并非意味著必須按該順序?qū)嵤?br> 權(quán)利要求
1.一種處理裝置，是將多個(gè)被測(cè)試器件搬送到測(cè)試用插座上的處理裝置，其具有: 測(cè)試部，設(shè)置有所述插座； 加熱部，其搬送在表面上載置了所述多個(gè)被測(cè)試器件的托盤(pán)，將所述多個(gè)被測(cè)試器件的溫度控制為預(yù)先規(guī)定的測(cè)試溫度，并將所述托盤(pán)搬送到所述測(cè)試部； 器件攝像部，在所述加熱部?jī)?nèi)，具有沿第I方向排列與所述被測(cè)試器件同數(shù)目的多個(gè)攝像元件，沿與第I方向不平行的第2方向，相對(duì)于所述托盤(pán)的表面相對(duì)地移動(dòng)所述多個(gè)攝像元件，來(lái)拍攝各個(gè)被測(cè)試器件的圖像；以及 位置調(diào)整部，其基于所述器件攝像部拍攝到的各個(gè)所述被測(cè)試器件的圖像，調(diào)整所述被測(cè)試器件相對(duì)于所述插座的位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理裝置，其特征在于: 所述多個(gè)攝像元件被排列在與在所述托盤(pán)上排列的所述多個(gè)被測(cè)試器件的行方向大致平行的所述第I方向上，沿與被排列在所述托盤(pán)上的所述多個(gè)被測(cè)試器件的列方向大致平行的所述第2方向移動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的處理裝置，其特征在于: 所述位置調(diào)整部，在所述加熱部?jī)?nèi)的所述托盤(pán)上，調(diào)整所述被測(cè)試器件的位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的處理裝置，其特征在于: 所述位置調(diào)整部，具有執(zhí)行器，其巡視2個(gè)以上的所述被測(cè)試器件，對(duì)所巡視的各個(gè)所述被測(cè)試器件的位置進(jìn)行調(diào)整。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的處理裝置，其特征在于: 所述執(zhí)行器，在拍攝所述器件攝像部的任何一個(gè)所述被測(cè)試器件的圖像的期間，調(diào)整已經(jīng)拍攝了所述圖像的所述被測(cè)試器件的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的處理裝置，其特征在于: 所述位置調(diào)整部，具有被配置在所述行方向的多個(gè)所述執(zhí)行器，使多個(gè)所述執(zhí)行器沿所述列方向移動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的處理裝置，其特征在于: 在所述行方向配置的所述執(zhí)行器的數(shù)目與在所述行方向配置的所述被測(cè)試器件的數(shù)相等。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的處理裝置，其特征在于: 所述器件攝像部還拍攝被所述位置調(diào)整部進(jìn)行了位置調(diào)整后的所述被測(cè)試器件。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的處理裝置，其特征在于: 所述器件攝像部，當(dāng)在所述測(cè)試部?jī)?nèi)測(cè)試的所述被測(cè)試器件的測(cè)試時(shí)間比預(yù)先規(guī)定的基準(zhǔn)時(shí)間長(zhǎng)時(shí)，再次拍攝被所述位置調(diào)整部進(jìn)行了位置調(diào)整后的所述被測(cè)試器件。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的處理裝置，其特征在于: 還具有用于拍攝所述插座的插座攝像部; 所述位置調(diào)整部，其基于所述器件攝像部及所述插座攝像部所拍攝的圖像，調(diào)整所述被測(cè)試器件的位置。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的處理裝置，其特征在于: 所述測(cè)試部具有被排列在所述行方向及所述列方向的多個(gè)所述插座； 所述插座攝像部，在所述測(cè)試部?jī)?nèi)，沿所述行方向及所述列方向移動(dòng)，拍攝各個(gè)所述插座的圖像。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的處理裝置，其特征在于: 所述插座攝像部，在變更了所述測(cè)試部?jī)?nèi)的溫度設(shè)定時(shí)，重新拍攝所述插座的圖像。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理裝置，其特征在于: 所述位置調(diào)整部，具有沿第I方向排列與所述被測(cè)試器件同數(shù)目的多個(gè)執(zhí)行器，基于所述器件攝像部所拍攝的各所述被測(cè)試器件的圖像，調(diào)整所述被測(cè)試器件相對(duì)于所述插座的位置； 所述器件攝像部及所述位置調(diào)整部，不沿所述第I方向或所述第2方向的任何方向移動(dòng)，且，通過(guò)所述托盤(pán)沿所述第2方向移動(dòng)，所述器件攝像部及所述位置調(diào)整部相對(duì)于所述托盤(pán)的表面，沿所述第2方向作相對(duì)移動(dòng)。
14.一種測(cè)試裝置，是測(cè)試所述被測(cè)試器件的測(cè)試裝置，具有: 借助于所述插座 與所述被測(cè)試器件電連接的測(cè)試頭； 借助于所述測(cè)試頭，測(cè)試所述被測(cè)試器件的測(cè)試模塊； 將所述被測(cè)試器件搬送至所述插座的權(quán)利要求1至13項(xiàng)中任何一項(xiàng)所述的處理裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供能夠縮短測(cè)試時(shí)間的處理裝置。是將多個(gè)被測(cè)試器件搬送到測(cè)試用插座上的處理裝置，具有測(cè)試部，設(shè)置有插座；加熱部，搬送在表面上載置多個(gè)被測(cè)試器件的托盤(pán)，將多個(gè)被測(cè)試器件的溫度控制成預(yù)先規(guī)定的測(cè)試溫度，將托盤(pán)搬送到測(cè)試部；器件攝像部，其在加熱部?jī)?nèi)，具有沿第1方向與被測(cè)試器件同數(shù)目排列的多個(gè)攝像元件，將多個(gè)攝像元件沿與第1方向不平行的第2方向，相對(duì)于托盤(pán)的表面作相對(duì)的移動(dòng)，來(lái)拍攝各個(gè)被測(cè)試器件的圖像；以及位置調(diào)整部，其基于器件攝像部拍攝到的各個(gè)被測(cè)試器件的圖像，調(diào)整被測(cè)試器件對(duì)插座的位置。
文檔編號(hào)G01R31/00GK103207329SQ20131000509
公開(kāi)日2013年7月17日 申請(qǐng)日期2013年1月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月13日
發(fā)明者堀野浩光, 小野澤正貴 申請(qǐng)人:愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試株式會(huì)社