專利名稱:自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置,特別是一種體積較小的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置。
背景技術(shù):
自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)(Automated Optical Inspection, AOI)裝置經(jīng)過多年的改良,已經(jīng)成功地運(yùn)用于外觀檢測(cè)。舉例而言,自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置可用來檢測(cè)玻璃基板是否刮傷、印刷電路板是否有漏銅或異物附著等。
請(qǐng)參照?qǐng)D1,現(xiàn)有的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置1是將倒U型的支架12、14固定到基座11上,使基板4可根據(jù)箭頭A的方向通過支架12、 14的兩立柱之間。缺陷掃描單元13設(shè)置在前端的支架12的橫梁上,用來檢測(cè)下方通過的基板4是否有缺陷。如果基板4有缺陷,則缺陷掃描單元13輸出缺陷所在的坐標(biāo)。缺陷影像獲取單元15設(shè)置在后端的支架14的橫梁上,其可根據(jù)缺陷所在的坐標(biāo)而獲取缺陷所在位置的影像。缺陷影像獲取單元15獲取的影像可供操作人員檢視,以進(jìn)一步分析該缺陷的成因或判斷該缺陷是否為誤判。
隨著液晶顯示器的面板朝著大尺寸的方向發(fā)展,用于檢測(cè)玻璃基板或液晶顯示面板的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置的體積也相對(duì)地增大。為了方便維修,現(xiàn)有的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置1會(huì)在基座11上設(shè)置走道16,維修人員即可在走道16上維修缺陷掃描單元13或缺陷影像獲取單元15。根據(jù)上述結(jié)構(gòu),缺陷掃描單元13以及缺陷影像獲取單元15之間必須保留足夠維修人員通過的間距D1,因而使得自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置1的體積無法有效縮小。
請(qǐng)參照?qǐng)D2,另一種現(xiàn)有的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置2則是在基座11上
設(shè)置單一支架21。缺陷掃描單元13以及缺陷影像獲取單元15分別設(shè)置在支架21的橫梁兩側(cè),走道16鄰近缺陷掃描單元13和/或缺陷影像獲取單元15,并設(shè)置在基座11上。然而,為同時(shí)設(shè)置缺陷掃描單元13和缺陷影像獲取單元15,支架21必須有足夠的體積以增加其強(qiáng)度和支撐性,并且支架21與缺陷掃描單元13、缺陷影像獲取單元15間,也需要各自設(shè)置連接組件,導(dǎo)致缺陷掃描單元13與缺陷影像獲取單元15之間的距離,仍無法有效縮短。
綜上所述,如何改良自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu),使其體積減小、易于維修并且增加操作彈性,便是目前亟需努力的目標(biāo)。
實(shí)用新型內(nèi)容
針對(duì)上述問題,本實(shí)用新型目的之一是提供一種自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置,其將連接缺陷掃描單元和/或缺陷影像獲取單元的支架,以可移動(dòng)
的方式設(shè)置在基座上,以使缺陷掃描單元與缺陷影像獲取單元之間的間距可根據(jù)需求任意配置。這樣,缺陷掃描單元與缺陷影像獲取單元之間的間距可以縮減至最小,而自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置的體積也因而減縮,但是在維修自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置時(shí),移動(dòng)缺陷掃描單元和/或缺陷影像獲取單元可使缺陷掃描單元與缺陷影像獲取單元之間仍有足夠的空間供
維修人員通過。
為了達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置包括基座、第一支架、至少一個(gè)缺陷掃描單元、第二支架以及至少一個(gè)缺陷影像獲取單元。第一支架跨接在基座的兩側(cè)。缺陷掃描單元設(shè)置在第一支架上,用來檢測(cè)出基板上的至少一處缺陷并輸出該缺陷的坐標(biāo)。第二支架也跨接在基座的兩側(cè)。缺陷影像獲取單元?jiǎng)t設(shè)置在第二支架上,用來根據(jù)前述坐標(biāo)獲取缺陷的影像,其中該第一支架和/或該第二支架可以移動(dòng)。
以下通過具體實(shí)施例配合附圖予以詳加說明,可以更容易了解本實(shí)用新型的目的、技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)及其所達(dá)成的功效。
圖1為示出現(xiàn)有的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置的側(cè)視圖。
圖2為示出另一現(xiàn)有的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置的側(cè)視圖。
圖3a為示出本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置的檢測(cè)狀
態(tài)的側(cè)視圖。
圖3b為示出本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置的維修狀態(tài)的側(cè)視圖。主要組件符號(hào)說明
1、 2 現(xiàn)有的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置
11 基座
12、 14、 支架21
13 缺陷掃描單元
15 缺陷影像獲取單元
16 走道
3 本實(shí)用新型的自動(dòng)光學(xué)檢
測(cè)裝置
31 基座311 滑軌
32 第一支架
33 缺陷掃描單元
331 第一電荷藕合組件
332 第一鏡頭組
34 第二支架
35 缺陷影像獲取單元
351 第二電荷藕合組件
352 第二鏡頭組
36 走道
4 基板Dl、 D2、 間距D3
具體實(shí)施例如下
請(qǐng)參照?qǐng)D3a,本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置3包括基座31、第一支架32、缺陷掃描單元33、第二支架34以及缺陷影像獲取單元35。第一支架32跨接在基座31的兩側(cè);第二支架34也跨接基座31的兩側(cè),舉例而言,第一支架32以及第二支架34可以是倒U型?;?即可依照箭頭A的方向通過第一支架32以及第二支架34的兩立柱之間。在實(shí)施例中,基座4包括運(yùn)送單元(未示出),其用來移動(dòng)基板4;而基板4可為玻璃基板或是液晶顯示面板等平面待測(cè)物。應(yīng)當(dāng)注意的是,第二支架34以可移動(dòng)的方式與基座31連接。
承上所述,缺陷掃描單元33設(shè)置在第一支架32上,用來檢測(cè)出基板4上的至少一處缺陷,并且輸出該缺陷的坐標(biāo)。缺陷影像獲取單元35設(shè)置在第二支架34上,用來根據(jù)缺陷掃描單元33輸出的坐標(biāo)來獲取缺陷的影像。舉例而言,缺陷影像獲取單元35包括驅(qū)動(dòng)單元(未示出),其用來根據(jù)缺陷掃描單元33輸出的坐標(biāo)來驅(qū)動(dòng)缺陷影像獲取單元35到缺陷所在的位置。
在實(shí)施例中,基座31包括滑軌311,其使第二支架34可以沿著滑軌311移動(dòng)。第二支架34可包括固定組件(未示出),其使第二支架34可以固定在基座31上。根據(jù)上述結(jié)構(gòu),自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置3在檢測(cè)時(shí),第二支架34可以移向第一支架32,使缺陷掃描單元33與缺陷影像獲取單元35之間具有一較小的間距D2,如圖3a所示;而自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置3在維修時(shí),第二支架34可沿著滑軌311遠(yuǎn)離第一支架32,使缺陷掃描單元33與缺陷影像獲取單元35之間具有一較大的間距D3,如圖3b所示。須注意的是,移動(dòng)第二支架34的時(shí)機(jī)并不限定在維修時(shí),操作者可根據(jù)需求任意移動(dòng)第二支架34以調(diào)整缺陷掃描單元33與缺陷影像獲取單元35之間的間距。
此外,上述實(shí)施例是以移動(dòng)第二支架34作說明,然而,根據(jù)需求,也能夠?qū)⒌谝恢Ъ?2相對(duì)于基座31移動(dòng)來實(shí)施本發(fā)明。此外,基座31可以還包括相對(duì)于第一支架32的滑軌;第一支架32可以還包括相對(duì)應(yīng)的固定組件。
請(qǐng)參照?qǐng)D3b,本實(shí)用新型的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置3還包括走道36,其可拆卸地跨接于基座31的兩側(cè)。優(yōu)選的是,走道36的設(shè)置位置鄰近缺陷掃描單元33和/或缺陷影像獲取單元35。
請(qǐng)?jiān)賲⒄請(qǐng)D3a,缺陷掃描單元33包括第一電荷藕合組件(ChargeCoupled Device, CCD)331、第一鏡頭組332以及至少一個(gè)第一光源(未示出)。第一鏡頭組332設(shè)置在第一電荷藕合組件331的前端;而第一光源可設(shè)置在基板4的上方和/或下方。缺陷影像獲取單元35包括第二電荷藕合組件351、第二鏡頭組352以及至少一個(gè)第二光源(未示出)。第二鏡頭組352設(shè)置在第二電荷藕合組件351的前端;而第二光源則設(shè)置在基板4的上方和/或下方。
綜合上述,本實(shí)用新型的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置將連接缺陷掃描單元和/或缺陷影像獲取單元的支架,以可移動(dòng)的方式設(shè)置在基座上,使缺陷掃描單元與缺陷影像獲取單元之間的間距可根據(jù)需求任意配置。如此,缺陷掃描單元與缺陷影像獲取單元之間的間距得以縮減至最小,而自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置的體積也因而減縮,但在維修自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置時(shí),移動(dòng)缺陷掃描單元和/或缺陷影像獲取單元,可使缺陷掃描單元與缺陷影像獲取單元之間仍有足夠的空間供維修人員通過。
以上所述的實(shí)施例僅為說明本實(shí)用新型的技術(shù)思想和特點(diǎn),其目的在于使本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并且據(jù)以實(shí)施,并不能以此限定本實(shí)用新型的權(quán)利要求,即凡是根據(jù)本實(shí)用新型所公開的精神所作的等效變化或修飾,仍應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求中。
權(quán)利要求1.一種自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置,其包括一基座;一第一支架,其跨接于所述基座的兩側(cè);至少一個(gè)缺陷掃描單元,其設(shè)置于所述第一支架上,用來檢測(cè)出所述基板上的至少一處缺陷并且輸出該缺陷的坐標(biāo);一第二支架,其跨接于所述基座的兩側(cè);以及至少一個(gè)缺陷影像獲取單元,其設(shè)置于所述第二支架上,用來根據(jù)所述坐標(biāo)獲取所述缺陷的影像,其中所述第一支架和/或所述第二支架是可移動(dòng)的。
2. 如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置,其特征在于,所述第一支架和/或所述第二支架包括一固定組件,其用來將所述第一支架和/或所述第二支架固定在所述基座上。
3. 如權(quán)利要求2所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置,其特征在于,所述基座包括一滑軌,使所述第一支架和/或所述第二支架沿著該滑軌移動(dòng)。
4. 如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置,其特征在于,所述缺陷掃描單元包括一第一電荷藕合組件;一第一鏡頭組,其設(shè)置于所述第一電荷藕合組件的前端;以及至少一個(gè)第一光源,其設(shè)置于所述基板的上方和/或下方。
5. 如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置,其特征在于,所述缺陷影像獲取單元包括一第二電荷藕合組件;一第二鏡頭組,其設(shè)置于所述第二電荷藕合組件的前端;以及至少一個(gè)第二光源,其設(shè)置于所述基板的上方和/或下方。
6. 如權(quán)利要求l所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置,其特征在于,所述缺陷影像獲取單元包括一驅(qū)動(dòng)單元,用來根據(jù)所述坐標(biāo)驅(qū)動(dòng)所述缺陷影像獲取單元到所述缺陷的位置。
7. 如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置,其特征在于,所述基座包括一運(yùn)送單元,用來移動(dòng)所述基板。
8. 如權(quán)利要求l所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置,其特征在于,所述基板為一平面待測(cè)物。
9. 如權(quán)利要求l所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置,其特征在于,所述基板為一玻璃基板或液晶顯示面板。
專利摘要一種自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置,其包括基座、第一支架、至少一個(gè)缺陷掃描單元、第二支架以及至少一個(gè)缺陷影像獲取單元。第一支架跨接在基座的兩側(cè)。缺陷掃描單元設(shè)置在第一支架上,用來檢測(cè)出基板上的至少一處缺陷并且輸出該缺陷的坐標(biāo)。第二支架也跨接在基座的兩側(cè)。缺陷影像獲取單元設(shè)置在第二支架上,用來根據(jù)前述坐標(biāo)獲取缺陷的影像。此外,第一支架和/或第二支架可以移動(dòng)。
文檔編號(hào)G01N21/88GK201352202SQ20082012980
公開日2009年11月25日 申請(qǐng)日期2008年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月24日
發(fā)明者葉東益 申請(qǐng)人:晶彩科技股份有限公司