專利名稱：三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型屬化工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源 輸送裝置。
背景技術(shù)：
[0002]PSA尾氣回收裝置是近幾年來化工領(lǐng)域廣泛采用的尾氣分離技術(shù)，以程控閥 多、動(dòng)作頻繁、自動(dòng)化程度高而著稱。原程控閥所用儀表風(fēng)氣體含有水份，易與尾氣中 的三氯氫硅反應(yīng)生成氯化氫氣體，對(duì)程控閥造成腐蝕，導(dǎo)致程控閥檢修頻繁，最終影響 PSA尾氣回收裝置正常運(yùn)行。實(shí)用新型內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型的目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)中的上述問題，提供一種三氯氫硅尾氣回 收裝置程控閥氣源輸送裝置。使其程控閥的氣源可在儀表風(fēng)和氮?dú)庵g進(jìn)行切換，延長 程控閥的使用壽命，從而保證正常生產(chǎn)。[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下[0005]本實(shí)用新型的三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置，該輸送裝置包括儀 表風(fēng)輸送管道和氮?dú)廨斔凸艿?，儀表風(fēng)輸送管道一端接儀表風(fēng)氣源，管道上依次設(shè)有電 接點(diǎn)壓力表P2和閥門KV2，氮?dú)夤艿酪欢私拥獨(dú)鈿庠?，管道上依次設(shè)有電接點(diǎn)壓力表Pl 和閥門KVl，儀表風(fēng)輸送管道和氮?dú)廨斔凸艿绤R合后與程控閥連接。[0006]本實(shí)用新型優(yōu)選在在氮?dú)廨斔凸艿郎显O(shè)有逆止閥。[0007]本實(shí)用新型在程控閥氣源總管上設(shè)了氮?dú)夂蛢x表風(fēng)兩種氣源，且兩種氣源根據(jù) 壓力變化可以通過閥門相互切換。因空氣的78%是氮?dú)?，將空氣進(jìn)行壓縮、干燥、除 塵、分離后即得到高純度氮?dú)?，生產(chǎn)中多用于檢修后的設(shè)備置換或作為動(dòng)力輸送硅粉 等。為了保證生產(chǎn)安全，氮?dú)獗仨毷歉呒兌?，不可污染。而儀表風(fēng)只是將空氣進(jìn)行初步 處理，往往含有水份和雜質(zhì)。為了防止儀表風(fēng)氣竄入氮?dú)夤艿溃蟮獨(dú)鈮毫σ欢ǜ哂?儀表風(fēng)壓力，并在氮?dú)夤艿郎霞友b逆止閥。[0008]尾氣回收裝置的程控閥有開啟和關(guān)閉兩種狀態(tài)，氣源壓力要求0.45 Mpa以上， 該裝置是在全自動(dòng)狀態(tài)下通過多臺(tái)程控閥的開啟和關(guān)閉完成吸附、順放、均降、逆放、 抽空、均升、終沖等步驟的運(yùn)行。為了保證程控閥的正常運(yùn)行，本發(fā)明用高純度的氮?dú)?作為程控閥的啟動(dòng)氣源。當(dāng)?shù)獨(dú)鈮毫Σ荒鼙ＷC程控閥的開啟時(shí)，切換使用儀表風(fēng)。切換 操作有手動(dòng)和自動(dòng)兩種方式。[0009]通過對(duì)程閥程氣源的改造，延長了程控閥的使用壽命，減少了停車次數(shù)，確保 了正常生產(chǎn)。


[0010]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
[0011]本實(shí)用新型的三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置，該輸送裝置包括儀 表風(fēng)輸送管道和氮?dú)廨斔凸艿?，儀表風(fēng)輸送管道一端接儀表風(fēng)氣源3，管道上依次設(shè)有電 接點(diǎn)壓力表:P2 2和程控閥KV2 1，氮?dú)夤艿酪欢私拥獨(dú)鈿庠?，管道上依次設(shè)有電接點(diǎn)壓 力表PJ和閥門KVA，在氮?dú)廨斔凸艿郎显O(shè)有逆止閥5。儀表風(fēng)輸送管道和氮?dú)廨斔凸?道匯合后與程控閥4連接。[0012]工作過程中[0013]1、保證P1>P2，防止儀表風(fēng)壓力高于氮?dú)鈮毫?，?duì)設(shè)備置換、三氯氫硅裝 車、硅粉輸送等操作造成不良影響。[0014]2、設(shè)定Pl的最低壓力為0.45Mpa，如果Pl出現(xiàn)低限報(bào)警后，程序會(huì)自動(dòng)打開 KV2關(guān)閉KV1，由氮?dú)馇袚Q至儀表風(fēng)。此時(shí)，嚴(yán)密關(guān)注公用工程的氮?dú)鈮毫?，?dāng)Pl> 0.45 Mpa時(shí)，且壓力值平穩(wěn)后，手動(dòng)開啟KV1，關(guān)閉KV2，氣源由儀表風(fēng)切換回氮?dú)?。[0015]3、合成工序在硅粉上料(每班一次，時(shí)間為一小時(shí)左右)和精餾工序三氯氫 硅、四氯化硅裝車期間，使用氮?dú)饬枯^大，主控操作人員需提前手動(dòng)將氮?dú)馇袚Q為儀表 風(fēng)，保證程序運(yùn)行的穩(wěn)定。合成和精餾工序其它地方用氮?dú)饬可俣绊懙降獨(dú)鈮毫r(shí)， 可由程序自動(dòng)切換完成。
權(quán)利要求1.一種三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置，其特征在于該輸送裝置包括 儀表風(fēng)輸送管道和氮?dú)廨斔凸艿?，儀表風(fēng)輸送管道一端接儀表風(fēng)氣源(3)，管道上依次 設(shè)有電接點(diǎn)壓力表P2 (2)和程控閥KV2 (1)，氮?dú)夤艿酪欢私拥獨(dú)鈿庠?8)，管 道上依次設(shè)有電接點(diǎn)壓力表Pl (7)和閥門KVl (6)，儀表風(fēng)輸送管道和氮?dú)廨斔凸?道匯合后與程控閥(4)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置，其特征在于 在氮?dú)廨斔凸艿郎显O(shè)有逆止閥(5)。
專利摘要一種三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置，該輸送裝置包括儀表風(fēng)輸送管道和氮?dú)廨斔凸艿?，儀表風(fēng)輸送管道一端接儀表風(fēng)氣源，管道上依次設(shè)有電接點(diǎn)壓力表P2和閥門KV2，氮?dú)夤艿酪欢私拥獨(dú)鈿庠矗艿郎弦来卧O(shè)有電接點(diǎn)壓力表P1和閥門KV1，儀表風(fēng)輸送管道和氮?dú)廨斔凸艿绤R合后與程控閥連接。通過對(duì)程閥程氣源的改造，延長了程控閥的使用壽命，減少了停車次數(shù)，確保了正常生產(chǎn)。
文檔編號(hào)F17C5/00GK201810985SQ20102055018
公開日2011年4月27日 申請(qǐng)日期2010年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月30日
發(fā)明者石如彥, 秦永紅, 陳建祥, 馬盈利 申請(qǐng)人:河南尚宇新能源股份有限公司