專利名稱：三氯氫硅尾氣回收裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種三氯氫硅生產(chǎn)裝置，具體是一種三氯氫硅尾氣回收裝置。
背景技術(shù)：
三氯氫硅是合成有機(jī)硅的重要中間體，也是制備多晶硅的主要原料。制備三氯氫硅比較成熟的工藝是采用金屬硅粉和氣體氯化氫制備，其主要流程包括氯化氫合成、三氯氫硅合成、三氯氫硅分離等主要工序。三氯氫硅制備過程中產(chǎn)生的尾氣主要成分是氫氣、氯化氫和氯硅烷，其處理方法是國(guó)內(nèi)業(yè)界的熱點(diǎn)話題之一，現(xiàn)有技術(shù)中一般采用尾氣-水噴淋中和處理法、活性炭吸附法、氣液交換法等。其不足之處是尾氣中的氫氣不能有效利用、處理不徹底等。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種三氯氫硅尾氣回收裝置，采用吸附分離的方法，可完全處理回收尾氣中的有效成分，獲得純度為99. 99%的氫氣，兼顧了經(jīng)濟(jì)效益和環(huán)保效益。本實(shí)用新型具體采用如下技術(shù)方案一種三氯氫硅尾氣回收裝置，其特征是，包括采用氣體管路依次連接的吸收塔、原料氣換熱器、變壓吸附裝置，原料氣換熱器與吸收塔還采用原料氣管路連接；吸收塔采用液體管路依次連接吸附劑熱交換器、脫洗塔，脫洗塔吸收塔還通過吸附劑管路連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型優(yōu)點(diǎn)在于1)本實(shí)用新型處理徹底，可獲得99. 99%的氫氣和工業(yè)用HCI，經(jīng)濟(jì)效益顯著；2)本實(shí)用新型不排放廢氣、廢液。

圖1是本實(shí)用新型設(shè)備連接框圖；圖中，1-吸收塔，2-原料氣換熱器，3-變壓吸附裝置，4-吸附劑熱交換器，5-脫洗 +
-tB。
具體實(shí)施方式
如圖1所示，原料氣先進(jìn)入原料氣換熱器1降溫后進(jìn)入吸收塔2，吸收塔2內(nèi)吸附劑吸收尾氣中的氯化氫，吸收后的尾氣進(jìn)入變壓吸附裝置3，分離出高純度的氫氣；吸收塔 1的吸附劑通過管路先進(jìn)入吸附劑熱交換器4加熱，然后再脫洗塔5中脫洗得到工業(yè)用氯化氫，脫洗后的吸附劑再通過管路進(jìn)入吸收塔1。
權(quán)利要求1. 一種三氯氫硅尾氣回收裝置，其特征是，包括采用氣體管路依次連接的吸收塔、原料氣換熱器、變壓吸附裝置，原料氣換熱器與吸收塔還采用原料氣管路連接；吸收塔采用液體管路依次連接吸附劑熱交換器、脫洗塔，脫洗塔吸收塔還通過吸附劑管路連接。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種三氯氫硅生產(chǎn)裝置，具體是一種三氯氫硅尾氣回收裝置，其特征是，包括采用氣體管路依次連接的吸收塔、原料氣換熱器、變壓吸附裝置，原料氣換熱器與吸收塔還采用原料氣管路連接；吸收塔采用液體管路依次連接吸附劑熱交換器、脫洗塔，脫洗塔吸收塔還通過吸附劑管路連接。本實(shí)用新型尾氣處理徹底，可獲得99.99％的氫氣和工業(yè)用HCI，經(jīng)濟(jì)效益顯著，且不排放廢氣、廢液。
文檔編號(hào)B01D53/047GK201949786SQ20102070128
公開日2011年8月31日 申請(qǐng)日期2010年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月31日
發(fā)明者宋宜華 申請(qǐng)人:淄博寶運(yùn)化工廠