專利名稱：系統(tǒng)管路加熱裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種系統(tǒng)管路加熱裝置，特別涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體廠及光電廠在制程反應(yīng)后廢氣系統(tǒng)管路，用以稀釋系統(tǒng)管路內(nèi)的廢氣毒性濃度且輔助維持系統(tǒng)管路暢通的裝置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體廠與光電廠其制程皆必須將基礎(chǔ)材料(晶圓片、面板)放入高溫或特殊磁場的反應(yīng)爐中，在基礎(chǔ)材料上鍍一層薄膜(導(dǎo)電體、非電導(dǎo)體、半電導(dǎo)體、硅化合物、......)，在此過程中必須通入許多不同的特殊氣體(氟化物、氨氣及金屬氣態(tài)化合物......等多種具有高酸堿的毒性氣體)，當(dāng)定量的特殊氣體在反應(yīng)爐中反應(yīng)后，仍然會有少許的廢氣必須排出，以便進(jìn)行下一個不同氣體的反應(yīng)程序。
如圖1所示，當(dāng)廢氣于高溫反應(yīng)爐10a排出至廢氣處理機(jī)臺12a時，必須由一臺泵浦11a輔助其流體流動，并經(jīng)由該系統(tǒng)管路13a的連接輸送，在此一過程中廢氣因為加溫制程反應(yīng)后極不穩(wěn)定，會在管壁上冷凝形成結(jié)晶物(層積、結(jié)晶粉塵)，若因不能預(yù)期的管路阻塞，則廢氣會無法順利排出，進(jìn)而造成產(chǎn)品報廢或設(shè)備的損壞，因此必須時常定期停機(jī)維修清理管路，造成產(chǎn)能降低及人力成本增加。
為保持系統(tǒng)管路內(nèi)廢氣的正常運(yùn)行，如圖2所示，習(xí)知第一種作法是在系統(tǒng)管路13a包覆保溫加熱套20a以防止系統(tǒng)管路13a內(nèi)廢氣的冷凝結(jié)晶，但有些小地方例如系統(tǒng)管路13a的支撐架14a，系統(tǒng)管路接頭15a無法施以保溫加熱，因此管壁會形成結(jié)晶物30a造成系統(tǒng)管路13a的阻塞。
如圖3所示，習(xí)知第二種作法是在系統(tǒng)管路13a另外連結(jié)一密閉容器40a，于密閉容器40a內(nèi)設(shè)置加熱裝置41a，以防止系統(tǒng)管路13a內(nèi)廢氣的冷凝結(jié)晶，但是該種作法會因為系統(tǒng)管路13a內(nèi)具有毒性、腐蝕性或易爆炸性的氣體可能因異常接觸到密閉容器40a內(nèi)的加熱裝置41a而有安全上的顧慮；再者，額外導(dǎo)入大量惰性氣體于系統(tǒng)管路13a，會浪費(fèi)使用惰性氣體的費(fèi)用，也另外增加了廢氣處理機(jī)臺的龐大負(fù)荷，造成機(jī)臺壽命降低。
實用新型內(nèi)容本實用新型的主要目的，在于提供一種系統(tǒng)管路加熱裝置，其讓半導(dǎo)體廠與光電廠處理廢氣的系統(tǒng)管路，通過加熱保溫套的設(shè)置及墮性氣體的加入，讓系統(tǒng)管路內(nèi)有毒氣體與熱惰性氣體能混合稀釋其毒性濃度，以防止有毒氣體冷凝結(jié)晶而阻塞系統(tǒng)管路。
本實用新型提供一種系統(tǒng)管路加熱裝置，其具有一連結(jié)反應(yīng)爐與廢氣處理機(jī)的系統(tǒng)管路；該系統(tǒng)管路連結(jié)有添加有墮性氣體的導(dǎo)管，該導(dǎo)管外包覆有加熱保溫套，該加熱保溫套具有加熱構(gòu)件電氣連結(jié)于溫度控制器。
本實用新型在設(shè)計上具有如下之優(yōu)點(diǎn)1、本實用新型加熱裝置為外加式，因此可以快速的拆解、維修節(jié)省人工成本。
2、本實用新型加熱保溫套，可以選用保溫夾克、電熱夾克、熱氣管多種組合因而能適用于不同場合。
3、本實用新型加大惰性氣體通氣量時，只需配合增加加熱套件，無需改導(dǎo)管或更換加熱系統(tǒng)，所以不會造成使用不便。
4、系統(tǒng)管路內(nèi)的特殊毒性氣體經(jīng)本實用新型惰性氣體稀釋濃度，可以使管路更暢通，提升廢氣處理機(jī)的處理效率。
5、本實用新型將加熱裝置設(shè)置于系統(tǒng)管路外部，因此可防止有毒腐蝕性氣體與加熱系統(tǒng)接觸，所以可降低工安的危險性。


圖1為半導(dǎo)體廠及光電廠在制程反應(yīng)后的廢氣輸送處理段的系統(tǒng)管路圖。
圖2為圖1系統(tǒng)管路包覆有加熱保溫套及形成有支撐架、管路連結(jié)處的平面圖。
圖2A為圖2中A部份的放大圖。
圖2B為圖2中B部份的放大圖。
圖3為圖1系統(tǒng)管路連結(jié)有密閉容器，并且密閉容器內(nèi)安裝有加熱裝置的示意圖。
圖4為半導(dǎo)體廠及光電廠在制程反應(yīng)后的廢氣輸送處理段的系統(tǒng)管路包覆有本實用新型加熱裝置的平面圖。
圖5為本實用新型導(dǎo)管包覆有加熱片與加熱保溫套的放大示意圖。
圖6為本實用新型加熱裝置開關(guān)的電控圖。
圖中10反應(yīng)爐 11泵浦12廢氣處理機(jī) 13系統(tǒng)管路B加熱裝置 C溫度控制器20加熱保溫套 21加熱片22低溫偵測開關(guān)23高溫偵測開關(guān)24溫度偵測環(huán) 25電源指示燈26低溫指示燈 30導(dǎo)管10a反應(yīng)爐 11a泵浦12a廢氣處理機(jī) 13a系統(tǒng)管路14a支撐架 15a系統(tǒng)管路接頭20a加熱保溫套 30a結(jié)晶物40a密閉容器 41a加熱裝置42a溫度控制器具體實施方式
首先請參閱圖4，5和6所示，其具有一系統(tǒng)管路13連結(jié)于半導(dǎo)體廠及光電廠在制程反應(yīng)后的廢氣輸送處理段的反應(yīng)爐10，該系統(tǒng)管路13另一端連結(jié)有泵浦11，該泵浦11再經(jīng)由延伸的系統(tǒng)管路13連結(jié)于廢氣處理機(jī)12。
所述系統(tǒng)管路13外部包覆有加熱保溫套20，該加熱保溫套20的較佳實施例為保溫夾克、電熱夾克或熱氣管，又反應(yīng)爐10、泵浦11與廢氣處理機(jī)12附近的系統(tǒng)管路13連結(jié)有導(dǎo)管30，該導(dǎo)管20的管徑為1/4或3/8英寸，該導(dǎo)管30外部包覆有加熱保溫套20，該加熱保溫套20內(nèi)具有加熱構(gòu)件電氣連結(jié)于溫度控制器C，該加熱構(gòu)件的較佳實施例為加熱片21。此外，該加熱保溫套20亦可選用外層為玻璃纖維鍍鐵氟龍或玻璃纖維鍍鋁、內(nèi)層為玻璃纖維布或二氧化硅纖維布、夾層為玻璃纖維無膠扎針棉的材質(zhì)，使得加熱保溫套20耐熱范圍至少在350℃以上。
接著同樣請參閱圖4，5和6所示，半導(dǎo)體或光電產(chǎn)業(yè)設(shè)備后半段制程所產(chǎn)生的有毒廢氣會進(jìn)入到反應(yīng)爐10，再以泵浦11將有毒廢氣經(jīng)由系統(tǒng)管路13抽至廢氣處理機(jī)12，此時連結(jié)于系統(tǒng)管路13加熱裝置B的導(dǎo)管20會將惰性氣體以每分鐘20～100公升的流量注入系統(tǒng)管路13，該惰性氣體的較佳實施例為氮?dú)?。該惰性氣體經(jīng)由導(dǎo)管20外部加熱片21加熱而形成高溫狀態(tài)注入系統(tǒng)管路13，該系統(tǒng)管路13可以讓導(dǎo)管內(nèi)惰性氣體溫度升高達(dá)到180℃～300℃而與系統(tǒng)管路13內(nèi)有毒氣體混合稀釋其毒性濃度，該系統(tǒng)管路13外部包覆的加熱保溫套20具有保溫功能，可以防止有毒氣體冷凝結(jié)晶而阻塞系統(tǒng)管路13。
此外，當(dāng)導(dǎo)管20外部加熱片21對惰性氣體加熱時，經(jīng)由溫度控制器C控制，該溫度控制器C于導(dǎo)管20還設(shè)有多個溫度偵測開關(guān)，分別是低溫偵測開關(guān)22、高溫偵測開關(guān)23與溫度偵測環(huán)24又該溫度控制器C于加熱保溫套20外層設(shè)置有電源指示燈25與低溫指示燈26。
該溫度控制器C各個開關(guān)使用功能如下第一種溫度異常時由溫度偵測環(huán)24回饋異常溫度并斷電、燈號燈響警示。第二種加熱片21溫度過高時由高溫偵測開關(guān)23斷電并且開始降溫，并熄滅電源指示燈25。第三種加熱片21無法加熱時由低溫偵測開關(guān)22激活低溫警示燈號。第四種當(dāng)漏電、短路、過載由總開關(guān)及保險作動，來關(guān)閉加熱片21以確保安全。
以上所述僅為用以解釋本實用新型的較佳實施例，并非對本實用新型作任何形式上的限制，因此凡有在相同的實用新型精神下，及不同材質(zhì)所作有關(guān)本實用新型的任何修飾或變更，皆仍應(yīng)包括在本實用新型意圖保護(hù)的范疇。
權(quán)利要求1.一種系統(tǒng)管路加熱裝置，其具有一連結(jié)反應(yīng)爐與廢氣處理機(jī)的系統(tǒng)管路；其特征在于該系統(tǒng)管路連結(jié)有添加有墮性氣體的導(dǎo)管，該導(dǎo)管外包覆有加熱保溫套，該加熱保溫套具有加熱構(gòu)件電氣連結(jié)于溫度控制器。
2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)管路加熱裝置，其特征在于，該導(dǎo)管的管徑為1/4英寸。
3.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)管路加熱裝置，其特征在于，該導(dǎo)管的管徑為3/8英寸。
4.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)管路加熱裝置，其特征在于，該惰性氣體為氮?dú)狻?br> 5.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)管路加熱裝置，其特征在于，該導(dǎo)管內(nèi)惰性氣體的流量在每分鐘20～100公升之間。
6.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)管路加熱裝置，其特征在于，該系統(tǒng)管路外部可包覆有加熱保溫套。
7.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)管路加熱裝置，其特征在于，該溫度控制器于所述導(dǎo)管外設(shè)置有低溫偵測開關(guān)、高溫偵測開關(guān)與溫度偵測環(huán)。
8.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)管路加熱裝置，其特征在于，該溫度控制器于所述加熱保溫套外層設(shè)置有電源指示燈與低溫指示燈。
9.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)管路加熱裝置，其特征在于，該加熱保溫套外層為玻璃纖維鍍鐵氟龍、內(nèi)層為玻璃纖維布、夾層為玻璃纖維無膠扎針棉。
10.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)管路加熱裝置，其特征在于，該加熱保溫套外層為玻璃纖維鍍鋁、內(nèi)層為二氧化硅纖維布、夾層為玻璃纖維無膠扎針棉。
11.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)管路加熱裝置，其特征在于，該加熱保溫套耐熱溫度在350℃以上。
專利摘要本實用新型涉及一種系統(tǒng)管路加熱裝置，其作用于半導(dǎo)體廠及光電廠在制程反應(yīng)后的廢氣輸送處理段的系統(tǒng)管路，該加熱裝置設(shè)置于導(dǎo)管之外，且導(dǎo)管連結(jié)于系統(tǒng)管路，并且于導(dǎo)管外包覆有加熱保溫套，該加熱保溫套具有加熱構(gòu)件電氣連結(jié)于溫度控制器；該加熱裝置藉由加熱構(gòu)件對導(dǎo)管加熱，可以讓導(dǎo)管內(nèi)惰性氣體溫度升高達(dá)到180℃～300℃，再利用已加熱的高溫惰性氣體注入系統(tǒng)管路內(nèi)與有毒的廢氣混合，以保持反應(yīng)后廢氣輸送系統(tǒng)管路的流動性。
文檔編號F17D5/00GK2911383SQ20062000176
公開日2007年6月13日 申請日期2006年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月8日
發(fā)明者蘇豐進(jìn) 申請人:蘇豐進(jìn)