一種二自由度微定位平臺(tái)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種二自由度微定位平臺(tái)，屬于微/納機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域。本發(fā)明所述X方向杠桿Ⅳ通過X方向柔性鉸鏈Ⅲ與X方向杠桿Ⅲ相連，X方向杠桿Ⅲ通過X方向柔性鉸鏈Ⅱ與X方向杠桿Ⅱ相連，X方向杠桿Ⅱ通過X方向柔性鉸鏈Ⅰ與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)相連，X方向杠桿Ⅲ還通過X方向柔性鉸鏈Ⅳ與X方向杠桿Ⅰ相連；Y方向杠桿Ⅰ通過Y方向柔性鉸鏈Ⅲ與Y方向杠桿Ⅲ相連，Y方向杠桿Ⅲ通過Y方向柔性鉸鏈Ⅳ與Y方向杠桿Ⅱ相連，Y方向杠桿Ⅱ通過Y方向柔性鉸鏈Ⅰ與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)相連，Y方向杠桿Ⅲ還通過Y方向柔性鉸鏈Ⅱ與Y方向杠桿Ⅳ相連。本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，有效地減少X方向與Y方向運(yùn)動(dòng)時(shí)的耦合。
【專利說明】
一種二自由度微定位平臺(tái)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種二自由度微定位平臺(tái)，屬于微/納機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]微定位平臺(tái)技術(shù)在精密制造、超精測(cè)量、微操作等諸多領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。目前，隨著上述領(lǐng)域的不斷發(fā)展，對(duì)定位精度的要求也越來越高，同時(shí)，對(duì)行程的要求也由原先的幾十微米發(fā)展到了一百微米及以上的程度。而傳統(tǒng)的大行程微定位平臺(tái)普遍存在著體積過大、平臺(tái)不易加工的缺點(diǎn)。對(duì)于具有二自由度的平臺(tái)，一般存在輸入輸出耦合問題，影響定位精度，設(shè)計(jì)平臺(tái)時(shí)需要考慮到解耦的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明提供了一種二自由度微定位平臺(tái)，以用于解決傳統(tǒng)設(shè)備體積大的問題，同時(shí)減少X方向與Y方向運(yùn)動(dòng)時(shí)的耦合。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)方案是:一種二自由度微定位平臺(tái)，包括運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1、基座2、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)13、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)Π 4、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)ΙΠ 5、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)IV 6、固定螺栓孔17、固定螺栓孔Π 8、固定螺栓孔ΙΠ 9、固定螺栓孔IV1、杠桿固定螺栓孔111、杠桿固定螺栓孔Π 12、Y方向杠桿113、X方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽14、Y方向柔性鉸鏈115、Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽16、Y方向柔性鉸鏈Π 17、Y方向柔性鉸鏈m 18、X方向柔性鉸鏈119、X方向柔性鉸鏈Π 20、X方向柔性鉸鏈m21、X方向杠桿122、Y方向杠桿Π 23、Y方向杠桿ΙΠ24、Y方向杠桿IV25、X方向杠桿Π 26、X方向杠桿ΙΠ 27、X方向杠桿IV28、Y方向柔性鉸鏈IV29、X方向柔性鉸鏈 IV30;
所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)I通過弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)13、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)Π 4、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)In5、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)IV6與基座2相連；固定螺栓孔17、固定螺栓孔Π 8、固定螺栓孔ΙΠ9、固定螺栓孔IV10分別位于基座2的四個(gè)角上，起固定基座2的作用;X方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽14、Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽16位于基座2上，Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器放于Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽16內(nèi)并通過預(yù)緊螺母使壓電陶瓷一端緊靠在Y方向杠桿113上，X方向的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器放于X方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽14內(nèi)并通過預(yù)緊螺母使壓電陶瓷一端緊靠在X方向杠桿IV28上；
所述X方向杠桿IV28通過X方向柔性鉸鏈m 21與X方向杠桿m 27相連，同時(shí)，X方向杠桿ΙΠ27通過X方向柔性鉸鏈Π 20與X方向杠桿Π 26相連，X方向杠桿Π 26通過X方向柔性鉸鏈I19與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)I相連，X方向杠桿ΙΠ27還通過X方向柔性鉸鏈IV30與X方向杠桿122相連，杠桿固定螺栓孔Π 12在X方向杠桿122上起固定X方向杠桿122的作用；
所述Y方向杠桿113通過Y方向柔性鉸鏈m 18與Y方向杠桿m 24相連，同時(shí)，Y方向杠桿m24通過Y方向柔性鉸鏈IV29與Y方向杠桿Π 23相連，Y方向杠桿Π 23通過Y方向柔性鉸鏈115與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)I相連，Y方向杠桿ΙΠ24還通過Y方向柔性鉸鏈Π 17與Y方向杠桿IV25相連，杠桿固定螺栓孔111在Y方向杠桿IV25上起固定Y方向杠桿IV25的作用。
[0005]所述Y方向柔性鉸鏈115、Y方向柔性鉸鏈Π 17、Y方向柔性鉸鏈ΙΠ18、X方向柔性鉸鏈119、X方向柔性鉸鏈Π 20、X方向柔性鉸鏈m 21、Y方向柔性鉸鏈IV29、X方向柔性鉸鏈IV30均為圓弧狀柔性鉸鏈。
[0006]所述X方向杠桿122、X方向杠桿Π 26、X方向杠桿ΙΠ27、X方向杠桿IV28構(gòu)成X方向復(fù)合杠桿機(jī)構(gòu)，Y*向杠桿113、Y方向杠桿Π 23、Y方向杠桿m24、Y方向杠桿IV25構(gòu)成Y方向復(fù)合杠桿機(jī)構(gòu)；
本發(fā)明的工作原理是:
當(dāng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)發(fā)生X方向的移動(dòng)時(shí)，X方向的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器在X方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽14內(nèi)發(fā)生逆壓電效應(yīng)持續(xù)伸長(zhǎng)，靠緊X方向復(fù)合杠桿機(jī)構(gòu)的一端推著X方向杠桿IV28向X方向運(yùn)動(dòng)。同時(shí)，X方向杠桿IV28又將力傳遞給X方向柔性鉸鏈ΙΠ 21，X方向柔性鉸鏈ΙΠ21的變形使得力傳遞給X方向杠桿m 27，X方向杠桿m 27由杠桿原理將力轉(zhuǎn)遞給了 X方向柔性鉸鏈Π 20，最后X方向柔性鉸鏈Π 20又將力通過X方向杠桿Π 26傳遞給了X方向柔性鉸鏈I19，同時(shí)，X方向柔性鉸鏈119將力輸出給了運(yùn)動(dòng)平臺(tái)I，使運(yùn)動(dòng)平臺(tái)I產(chǎn)生了X向的位移，實(shí)現(xiàn)了整一個(gè)運(yùn)動(dòng)過程，此時(shí)，弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)13、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)Π4發(fā)生擠壓變形，弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)ΙΠ5、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)IV6發(fā)生拉伸變形。當(dāng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)發(fā)生Y方向的移動(dòng)時(shí)，Y方向的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器在Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽16內(nèi)發(fā)生逆壓電效應(yīng)持續(xù)伸長(zhǎng)，靠緊Y方向復(fù)合放大杠桿機(jī)構(gòu)的一端推著Y方向杠桿113向Y方向運(yùn)動(dòng)。同時(shí)，Y方向杠桿113又將力傳遞給Y方向柔性鉸鏈mi8，Y方向柔性鉸鏈ΙΠ18發(fā)生變形從而將力傳遞給了 Y方向杠桿ΙΠ24，Υ方向杠桿ΙΠ24由杠桿原理將力傳遞給了 Y方向柔性鉸鏈IV29，最后Y方向柔性鉸鏈IV29將力通過Y方向杠桿Π23傳遞給Y方向柔性鉸鏈115，并作用于運(yùn)動(dòng)平臺(tái)I，使其產(chǎn)生了Y方向的運(yùn)動(dòng)。此時(shí)，弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)13、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)IV6產(chǎn)生擠壓變形，弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)Π 4、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)ΙΠ 5產(chǎn)生拉伸變形?；⌒螌?dǎo)向機(jī)構(gòu)13、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)Π 4、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)ΙΠ5、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)IV6的存在使得平臺(tái)在沿運(yùn)動(dòng)方向上有很好的剛性，在垂直于運(yùn)動(dòng)方向上又有很好的柔性，從而大大減少了 X與Y方向的運(yùn)動(dòng)耦合。
[0007]針對(duì)圖3，以Y方向復(fù)合杠桿機(jī)構(gòu)作為說明，固定端為圖1中Y方向杠桿IV25與Y方向柔性鉸鏈Π 17組成，F(xiàn)l為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的輸出力，作用的位置為圖1中的Y方向柔性鉸鏈m 18，F(xiàn)2為復(fù)合杠桿機(jī)構(gòu)的輸出力，輸出的位置由圖1中Y方向柔性鉸鏈115、Y方向柔性鉸鏈IV29與Y方向杠桿Π23共同組成(X方向同理)。
[0008]本發(fā)明的有益效果是:由于使用了特殊結(jié)構(gòu)的復(fù)合杠桿機(jī)構(gòu)(即對(duì)稱式放大杠桿機(jī)構(gòu))，使得平臺(tái)輸出的力穩(wěn)定均勻，微定位平臺(tái)的結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，同時(shí)能實(shí)現(xiàn)較大的行程與較高的定位精度?；⌒螌?dǎo)向機(jī)構(gòu)的使用，有效減少X方向與Y方向運(yùn)動(dòng)時(shí)的耦合。壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器和圓弧狀柔性鉸鏈的使用，保證了平臺(tái)運(yùn)動(dòng)傳遞的無間隙、無摩擦、高精度和快速響應(yīng)，同時(shí)使的平臺(tái)無需潤(rùn)滑，大大提高了平臺(tái)的工作壽命，降低了操作難度。
【附圖說明】
[0009]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理示意圖；
圖2是本發(fā)明的三維結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3是本發(fā)明復(fù)合杠桿機(jī)構(gòu)的原理圖；
圖中各標(biāo)號(hào)為:I_運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，2-基座，34弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)1、4-弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)Π、5_弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)In、6-弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)IV、7-固定螺栓孔1、8-固定螺栓孔Π、9-固定螺栓孔ΙΠ、10-固定螺栓孔IV、11 -杠桿固定螺栓孔1、12-杠桿固定螺栓孔Π、13-Y方向杠桿1、14-X方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽、15-Y方向柔性鉸鏈1、16-Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽、17-Y方向柔性鉸鏈π、18-Υ方向柔性鉸鏈m、19-X方向柔性鉸鏈1、20-X方向柔性鉸鏈Π、21-X方向柔性鉸鏈m、22-X方向杠桿1、23-Y方向杠桿Π、24-Y方向杠桿ΙΠ、25-Y方向杠桿IV、26-X方向杠桿Π、27-X方向杠桿ΙΠ、28-X方向杠桿IV、29-Y方向柔性鉸鏈IV、30-X方向柔性鉸鏈IV ；Fl為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器輸入的力，F(xiàn)2為輸出的力。
【具體實(shí)施方式】
[0010]實(shí)施例1:如圖1-3所示，一種二自由度微定位平臺(tái)，包括運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1、基座2、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)13、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)Π 4、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)ΙΠ 5、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)IV 6、固定螺栓孔17、固定螺栓孔Π 8、固定螺栓孔ΙΠ 9、固定螺栓孔IV1、杠桿固定螺栓孔111、杠桿固定螺栓孔Π 12、Y方向杠桿113、X方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽14、Y方向柔性鉸鏈115、Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽16、Y方向柔性鉸鏈Π 17、Y方向柔性鉸鏈m 18、X方向柔性鉸鏈119、X方向柔性鉸鏈Π 20、X方向柔性鉸鏈m21、X方向杠桿122、Y方向杠桿Π 23、Y方向杠桿ΙΠ24、Y方向杠桿IV25、X方向杠桿Π 26、X方向杠桿ΙΠ 27、X方向杠桿IV28、Y方向柔性鉸鏈IV29、X方向柔性鉸鏈 IV30;
所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)I通過弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)13、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)Π 4、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)In5、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)IV6與基座2相連；固定螺栓孔17、固定螺栓孔Π 8、固定螺栓孔ΙΠ9、固定螺栓孔IV10分別位于基座2的四個(gè)角上，起固定基座2的作用;X方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽14、Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽16位于基座2上，Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器放于Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽16內(nèi)并通過預(yù)緊螺母使壓電陶瓷一端緊靠在Y方向杠桿113上，X方向的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器放于X方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽14內(nèi)并通過預(yù)緊螺母使壓電陶瓷一端緊靠在X方向杠桿IV28上；
所述X方向杠桿IV28通過X方向柔性鉸鏈m 21與X方向杠桿m 27相連，同時(shí)，X方向杠桿ΙΠ27通過X方向柔性鉸鏈Π 20與X方向杠桿Π 26相連，X方向杠桿Π 26通過X方向柔性鉸鏈I19與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)I相連，X方向杠桿ΙΠ27還通過X方向柔性鉸鏈IV30與X方向杠桿122相連，杠桿固定螺栓孔Π 12在X方向杠桿122上起固定X方向杠桿122的作用；
所述Y方向杠桿113通過Y方向柔性鉸鏈m 18與Y方向杠桿m 24相連，同時(shí)，Y方向杠桿m24通過Y方向柔性鉸鏈IV29與Y方向杠桿Π 23相連，Y方向杠桿Π 23通過Y方向柔性鉸鏈115與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)I相連，Y方向杠桿ΙΠ24還通過Y方向柔性鉸鏈Π 17與Y方向杠桿IV25相連，杠桿固定螺栓孔111在Y方向杠桿IV25上起固定Y方向杠桿IV25的作用。
[0011]所述Y方向柔性鉸鏈115、Y方向柔性鉸鏈Π 17、Y方向柔性鉸鏈ΙΠ18、X方向柔性鉸鏈119、X方向柔性鉸鏈Π 20、X方向柔性鉸鏈m 21、Y方向柔性鉸鏈IV29、X方向柔性鉸鏈IV30均為圓弧狀柔性鉸鏈。
[0012]實(shí)施例2:如圖1-3所示，一種二自由度微定位平臺(tái)，包括運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1、基座2、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)13、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)Π 4、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)ΙΠ 5、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)IV 6、固定螺栓孔17、固定螺栓孔Π 8、固定螺栓孔ΙΠ 9、固定螺栓孔IV1、杠桿固定螺栓孔111、杠桿固定螺栓孔Π 12、Y方向杠桿113、X方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽14、Y方向柔性鉸鏈115、Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽16、Y方向柔性鉸鏈Π 17、Y方向柔性鉸鏈m 18、X方向柔性鉸鏈119、X方向柔性鉸鏈Π 20、X方向柔性鉸鏈m21、X方向杠桿122、Y方向杠桿Π 23、Y方向杠桿ΙΠ24、Y方向杠桿IV25、X方向杠桿Π 26、X方向杠桿ΙΠ 27、X方向杠桿IV28、Y方向柔性鉸鏈IV29、X方向柔性鉸鏈 IV30;
所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)I通過弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)13、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)Π 4、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)In5、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)IV6與基座2相連；固定螺栓孔17、固定螺栓孔Π 8、固定螺栓孔ΙΠ9、固定螺栓孔IV10分別位于基座2的四個(gè)角上，起固定基座2的作用;X方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽14、Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽16位于基座2上，Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器放于Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽16內(nèi)并通過預(yù)緊螺母使壓電陶瓷一端緊靠在Y方向杠桿113上，X方向的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器放于X方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽14內(nèi)并通過預(yù)緊螺母使壓電陶瓷一端緊靠在X方向杠桿IV28上；
所述X方向杠桿IV28通過X方向柔性鉸鏈m 21與X方向杠桿m 27相連，同時(shí)，X方向杠桿ΙΠ27通過X方向柔性鉸鏈Π 20與X方向杠桿Π 26相連，X方向杠桿Π 26通過X方向柔性鉸鏈I19與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)I相連，X方向杠桿ΙΠ27還通過X方向柔性鉸鏈IV30與X方向杠桿122相連，杠桿固定螺栓孔Π 12在X方向杠桿122上起固定X方向杠桿122的作用；
所述Y方向杠桿113通過Y方向柔性鉸鏈m 18與Y方向杠桿m 24相連，同時(shí)，Y方向杠桿m24通過Y方向柔性鉸鏈IV29與Y方向杠桿Π 23相連，Y方向杠桿Π 23通過Y方向柔性鉸鏈115與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)I相連，Y方向杠桿ΙΠ24還通過Y方向柔性鉸鏈Π 17與Y方向杠桿IV25相連，杠桿固定螺栓孔111在Y方向杠桿IV25上起固定Y方向杠桿IV25的作用。
[0013]上面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作了詳細(xì)說明，但是本發(fā)明并不限于上述實(shí)施方式，在本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所具備的知識(shí)范圍內(nèi)，還可以在不脫離本發(fā)明宗旨的前提下作出各種變化。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種二自由度微定位平臺(tái)，其特征在于:包括運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(I)、基座(2)、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)I(3 )、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)Π (4 )、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)ΙΠ (5 )、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)IV (6 )、固定螺栓孔I (7 )、固定螺栓孔Π (8)、固定螺栓孔ΠΚ9)、固定螺栓孔IV(10)、杠桿固定螺栓孔1(11)、杠桿固定螺栓孔Π(12)、Υ方向杠桿1(13)、乂方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽(14)、￥方向柔性鉸鏈1(15)、Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽(16 )、Y方向柔性鉸鏈Π (17 )、Y方向柔性鉸鏈m (18 )、X方向柔性鉸鏈I (19 )、X方向柔性鉸鏈Π (20 )、X方向柔性鉸鏈m (21)、X方向杠桿I (22 )、Y方向杠桿Π(23)、Υ方向杠桿ΙΠ(24)、Υ方向杠桿IV(25)、X方向杠桿Π (26)、乂方向杠桿111(27)、父方向杠桿IV (28)、Y方向柔性鉸鏈IV (29)、X方向柔性鉸鏈IV (30); 所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(I)通過弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)1(3)、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)Π (4)、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)ΙΠ (5)、弧形導(dǎo)向機(jī)構(gòu)IV(6)與基座(2)相連；固定螺栓孔1(7)、固定螺栓孔Π (8)、固定螺栓孔m(9)、固定螺栓孔IV(1)分別位于基座(2)的四個(gè)角上，起固定基座(2)的作用;X方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽(14)、Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽(16)位于基座(2)上，Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器放于Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽(16)內(nèi)并通過預(yù)緊螺母使壓電陶瓷一端緊靠在Y方向杠桿1(13)上，X方向的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器放于X方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安放矩形槽(14)內(nèi)并通過預(yù)緊螺母使壓電陶瓷一端緊靠在X方向杠桿IV(28)上； 所述X方向杠桿IV(28)通過X方向柔性鉸鏈m(21)與X方向杠桿m(27)相連，同時(shí)，X方向杠桿m(27)通過X方向柔性鉸鏈Π (20)與X方向杠桿Π (26)相連，X方向杠桿Π (26)通過X方向柔性鉸鏈I (19 )與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(I)相連，X方向杠桿m (27 )還通過X方向柔性鉸鏈IV (30 )與X方向杠桿I (22)相連，杠桿固定螺栓孔Π (12)在X方向杠桿I (22 )上起固定X方向杠桿1(22)的作用； 所述Y方向杠桿I (13 )通過Y方向柔性鉸鏈m (18)與Y方向杠桿m (24)相連，同時(shí)，Y方向杠桿m (24)通過Y方向柔性鉸鏈IV (29)與Y方向杠桿Π (23 )相連，Y方向杠桿Π (23)通過Y方向柔性鉸鏈I (15)與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(I)相連，Y方向杠桿m (24)還通過Y方向柔性鉸鏈Π (17)與Y方向杠桿IV (25 )相連，杠桿固定螺栓孔I(Il)在Y方向杠桿IV (25 )上起固定Y方向杠桿IV(25)的作用。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二自由度微定位平臺(tái)，其特征在于:所述Y方向柔性鉸鏈I(15 )、Y方向柔性鉸鏈Π (17 )、Y方向柔性鉸鏈ΙΠ (18 )、X方向柔性鉸鏈I (19 )、X方向柔性鉸鏈Π (20)、X方向柔性鉸鏈m (21)、Y方向柔性鉸鏈IV(29)、X方向柔性鉸鏈IV(30)均為圓弧狀柔性鉸鏈。
【文檔編號(hào)】G12B5/00GK106057250SQ201610520807
【公開日】2016年10月26日
【申請(qǐng)日】2016年7月5日
【發(fā)明人】楊曉京, 彭蕓浩, 袁銳波, 蔣紅海, 錢俊兵, 何祖順
【申請(qǐng)人】昆明理工大學(xué)