1.XYθ三自由度大行程高頻響精密定位平臺，包括剛性基底(1)，其特征在于：剛性基底(1)內(nèi)側(cè)分別和四個雙層菱形位移放大機構(gòu)(2)的外側(cè)固定端連接，四個雙層菱形位移放大機構(gòu)(2)的內(nèi)側(cè)第一剛性輸出端與柔性支鏈機構(gòu)(4)連接，柔性支鏈機構(gòu)(4)的第二剛性輸出端與動平臺(5)連接，動平臺(5)中心有第二螺紋孔(6)，第二螺紋孔(6)剛性連接被驅(qū)動對象，動平臺(5)、柔性支鏈機構(gòu)(4)、雙層菱形位移放大機構(gòu)(2)關(guān)于第二螺紋孔(6)旋轉(zhuǎn)對稱；
菱形位移放大機構(gòu)(2)的內(nèi)側(cè)第一剛性輸出端通過矩形梁(7)與剛性基底(1)連接，菱形位移放大機構(gòu)(2)兩側(cè)第一剛性輸入端與壓電陶瓷(3)連接；
整個機構(gòu)由一塊鋼板經(jīng)電火花加工工藝一體化加工而成，機構(gòu)內(nèi)部空腔加工通透，空腔內(nèi)部構(gòu)件處于懸空狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的XYθ三自由度大行程高頻響精密定位平臺，其特征在于：所述的菱形位移放大機構(gòu)(2)是由外側(cè)固定端(21)、內(nèi)側(cè)第一剛性輸出端(22)、兩側(cè)第一剛性輸入端(23)以及柔性臂(24)連接構(gòu)成基于三角原理的位移放大機構(gòu)，壓電陶瓷(3)通過預(yù)緊力安裝于兩側(cè)第一剛性輸入端(23)之間，柔性臂(24)是雙層結(jié)構(gòu)，每層柔性臂的兩端切割成圓形、橢圓或雙曲線型柔性鉸鏈以提高機構(gòu)位移放大效果，壓電陶瓷(3)利用逆壓電效應(yīng)輸出橫向位移和力，驅(qū)動柔性臂(24)產(chǎn)生彎曲變形進而在第一剛性輸出端(22)處產(chǎn)生放大了的縱向輸出位移和輸出力。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的XYθ三自由度大行程高頻響精密定位平臺，其特征在于：所述的柔性支鏈機構(gòu)(4)是由第二剛性輸出端(41)、約束梁(42)和兩個柔性梁(43)組成的柔性機構(gòu)，兩個柔性梁(43)和約束梁(42)的一側(cè)連接，關(guān)于約束梁(42)中點對稱，第二剛性輸出端(41)和約束梁(42)的另一側(cè)連接，第二剛性輸出端(41)與約束梁(42)中點存在一定偏距，第二剛性輸出端(41)分別與動平臺(5)四側(cè)連接，第二剛性輸出端(41)和動平臺(5)的連接處與動平臺(5)的中心存在偏距；四個第二剛性輸出端(41)關(guān)于動平臺(5)的中心旋轉(zhuǎn)對稱，動平臺(5)與四個第二剛性輸出端(41)形成‘田’字形結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的XYθ三自由度大行程高頻響精密定位平臺，其特征在于：所述的剛性基底(1)四個角通過螺紋孔(8)與工作臺面固定，動平臺(5)的中心設(shè)有第二螺紋孔(6)作為第三剛性輸出端。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的XYθ三自由度大行程高頻響精密定位平臺，其特征在于：設(shè)四個菱形位移放大機構(gòu)(2)的兩個相鄰菱形位移放大機構(gòu)(2)的輸出位移方向分別為X和Y方向，動平臺(5)的中心為坐標(biāo)原點，具體的三個自由度實現(xiàn)方法如下：
1)輸出方向為Y方向的菱形位移放大機構(gòu)(2)無位移輸出，輸出方向為X方向的菱形位移放大機構(gòu)(2)的內(nèi)側(cè)第一剛性輸出端同時沿著X軸正向或反向運動，在柔性支鏈機構(gòu)(4)的解耦作用下，動平臺(5)實現(xiàn)X軸的正向或反向運動，實現(xiàn)X方向的平動自由度；
2)Y方向的自由度實現(xiàn)與X方向自由度實現(xiàn)方式相同；
3)為了實現(xiàn)轉(zhuǎn)動自由度，位于X軸負(fù)方向的菱形位移放大機構(gòu)(2)的內(nèi)側(cè)第一剛性輸出端向X軸負(fù)方向運動，位于X軸正方向的菱形位移放大機構(gòu)(2)的內(nèi)側(cè)第一剛性輸出端向X軸正方向運動，Y軸運動情況與X軸類似；由于柔性支鏈機構(gòu)4的第二剛性輸出端與動平臺(5)的中心存在一定的偏距，且四個第二剛性輸出端與動平臺(5)組成‘田’字形結(jié)構(gòu)，在四個菱形位移放大機構(gòu)(2)同時運動下，實現(xiàn)動平臺(5)的轉(zhuǎn)動自由度。