技術(shù)編號(hào)：12678700
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于精密定位平臺(tái)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及XYθ三自由度大行程高頻響精密定位平臺(tái)。背景技術(shù)近年來(lái)，隨著微電子技術(shù)、光學(xué)微裝配，生物醫(yī)療微操作以及掃描探針顯微鏡等領(lǐng)域的迅猛發(fā)展，工程領(lǐng)域?qū)芏ㄎ患夹g(shù)提出了越來(lái)越高的要求，尤其對(duì)大行程，高頻響的定位平臺(tái)工程需求極為迫切。由于壓電陶瓷具有分辨率高、剛度大和能量密度大等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于精密驅(qū)動(dòng)與控制領(lǐng)域，但是壓電陶瓷的輸出位移極小，即使是堆疊型壓電陶瓷，其輸出位移一般是自身尺寸的0.1％左右。因此，公知的大多數(shù)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的精密定位平臺(tái)均是采用壓電陶瓷和...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。