本實(shí)用新型涉及排氣閥領(lǐng)域，尤其是一種于關(guān)閉時(shí)可達(dá)到極佳氣密性以防止廢氣逸出的排氣閥裝置。

背景技術(shù)：

在制程中會(huì)產(chǎn)生有毒性廢氣的各式加工產(chǎn)業(yè)，都須針對(duì)該廢氣先進(jìn)行相關(guān)處理，才可將其排放至外界。例如在半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)的蝕刻步驟中，隨著化學(xué)藥液的使用，便會(huì)產(chǎn)生有毒性廢氣，而產(chǎn)生的廢氣將沿著一排氣管路排出，并做凈化處理以排放至大氣中。

現(xiàn)有安裝于該排氣管路的閥門(mén)裝置，具有一管體、一桿體及一逆止閥體，該桿體的兩端系固設(shè)于該管體的管壁，該逆止閥體對(duì)應(yīng)該管體開(kāi)口并憑借該桿體組設(shè)于該管體內(nèi)。該閥門(mén)裝置的開(kāi)關(guān)狀態(tài)由逆止閥體控制，該逆止閥體可受排氣管路的氣流推抵而相對(duì)該桿體移動(dòng)，以達(dá)封閉或開(kāi)啟該管體開(kāi)口的功效?；蚴且宰詣?dòng)旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)該桿體以帶動(dòng)該逆止閥體封閉或開(kāi)啟該管體開(kāi)口。然而無(wú)論是利用氣流自然推抵或是通過(guò)旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源來(lái)移動(dòng)該逆止閥體，在該逆止閥體復(fù)歸至封閉該管體開(kāi)口狀態(tài)時(shí)，系會(huì)產(chǎn)生無(wú)法確實(shí)緊閉開(kāi)口的情況，導(dǎo)致廢氣由該逆止閥體與管體所形成的余隙排出造成廢氣污染。

有鑒于此，如何使排氣閥門(mén)裝置準(zhǔn)確地關(guān)閉而提高其氣密性，實(shí)為當(dāng)前相關(guān)業(yè)者亟需解決的缺失。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的一目的，旨在提供一種排氣閥裝置，其是在關(guān)閉狀態(tài)下可具有極佳的氣密效果，防止廢氣逸漏造成的污染現(xiàn)象。

為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型的一種排氣閥裝置，具有一主管體及一閥片，該閥片通過(guò)一固定軸設(shè)置于該主管體內(nèi)，以控制該排氣閥裝置的開(kāi)關(guān)狀態(tài)，其特征在于：該主管體內(nèi)側(cè)對(duì)應(yīng)該閥片設(shè)有呈相對(duì)設(shè)置的二阻擋膠體，使各該阻擋膠體分別擋抵于該閥片相對(duì)的二表面，且各該阻擋膠體底部開(kāi)設(shè)有一凹槽，使該阻擋膠體于受力時(shí)可產(chǎn)生形變，進(jìn)而提高阻擋效能。如此，當(dāng)該排氣閥裝置為關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，通過(guò)該阻擋膠體頂?shù)钟谠撻y片而提高該排氣閥裝置的氣密效果。

為可利用該凹槽處受力而讓該阻擋膠體產(chǎn)生形變，于該凹槽內(nèi)設(shè)有一充氣管，灌注氣體至該充氣管時(shí)，該充氣管頂?shù)衷撟钃跄z體而使該阻擋膠體產(chǎn)生形變。

此外，該排氣閥裝置更具有一氣體控制裝置，與該充氣管連接，供以偵測(cè)該充氣管內(nèi)的氣壓值，并將其與一氣壓設(shè)定值進(jìn)行比較，以調(diào)整該充氣管的充氣狀態(tài)。如此達(dá)到隨時(shí)監(jiān)測(cè)該充氣管內(nèi)的氣壓變化，而適時(shí)地停止或保持注氣。

較佳者，該阻擋膠體具有一凸肋及至少一靠抵部，該粘合部由該凸肋底部一側(cè)延伸形成，且該凸肋具有一凹部，以使該閥片邊緣靠抵于上。如此利用該粘合部使該阻擋膠體粘附設(shè)置于該主管體，并憑借該凸肋及其上的該凹部相對(duì)該閥片達(dá)到阻擋效能，確保該排氣閥裝置的氣密性。

為防止該二阻擋膠體于應(yīng)用時(shí)產(chǎn)生松脫或移動(dòng)的情況，可使該二阻擋膠體更具有復(fù)數(shù)限位肋，其分別設(shè)于該靠抵部，該主管體對(duì)應(yīng)該復(fù)數(shù)限位肋具有復(fù)數(shù)限位槽，該二阻擋膠體固設(shè)于該主管體時(shí)，該復(fù)數(shù)限位肋分別卡掣于該復(fù)數(shù)限位槽內(nèi)。

其中，該主管體內(nèi)側(cè)面具有二對(duì)定位肋，各該對(duì)定位肋與該主管體內(nèi)側(cè)面夾設(shè)形成一容置空間，供以安裝各該阻擋膠體。憑借此種安裝結(jié)構(gòu)可使該阻擋膠體的組裝強(qiáng)度提升，并防止移位現(xiàn)象產(chǎn)生。

較佳者，各該定位肋為L(zhǎng)型，于各該阻擋膠體安裝于該容置空間時(shí)，至少一該定位肋的長(zhǎng)邊擋抵于該靠抵部，如此以更進(jìn)一步防止該二阻擋膠體松脫。

或另一種實(shí)施態(tài)樣，各該定位肋垂直該主管體內(nèi)側(cè)面設(shè)置，于各該阻擋膠體安裝于該容置空間后，是在夾設(shè)形成該容置空間的任一該定位肋相對(duì)連接該主管體的一側(cè)組設(shè)一擋抵件，以擋抵于各該阻擋膠體的該靠抵部，于此則提供另一種安裝該二阻擋膠體的方式。

其中，該固定軸可為水平設(shè)置，而使該閥片呈上下翻轉(zhuǎn)狀態(tài)，且該排氣閥裝置更具有一驅(qū)動(dòng)元件，與該固定軸連接設(shè)置，以驅(qū)動(dòng)該固定軸使其帶動(dòng)該閥片變更該排氣閥裝置的開(kāi)關(guān)狀態(tài)。

此外，該主管體設(shè)有一開(kāi)關(guān)組件，該開(kāi)關(guān)組件包括一調(diào)整件及一卡合件，該卡合件對(duì)應(yīng)該閥片固設(shè)于該主管體，該調(diào)整件設(shè)于該主管體并與該氣體控制裝置及該卡合件連接，以通過(guò)該氣體控制裝置驅(qū)使該調(diào)整件帶動(dòng)該卡合件而卡抵于該閥片或遠(yuǎn)離該閥片，如此以增強(qiáng)該閥片于閉合狀態(tài)時(shí)的密閉性，并可防止廢氣自閥片與主管體間隙溢出。

綜上所述，本實(shí)用新型通過(guò)該阻擋膠體有效地提升該排氣閥裝置于關(guān)閉狀態(tài)下的氣密性，避免關(guān)閉該排氣閥裝置后仍有廢氣逸出進(jìn)而導(dǎo)致空氣污染等情事發(fā)生。該阻擋膠體并可因受力形變而提升其相對(duì)該閥片的阻擋效能，可采用于該阻擋膠體的該凹槽內(nèi)設(shè)置該充氣管，于該充氣管充氣后頂?shù)衷撟钃跄z體使其產(chǎn)生形變使該阻擋膠體的該凹槽處充滿氣體進(jìn)而產(chǎn)生形變，進(jìn)而使該閥片與該阻擋膠體的相對(duì)靠抵更為確實(shí)及密合。此外，通過(guò)該氣體控制裝置則可隨時(shí)監(jiān)測(cè)與自動(dòng)調(diào)整該充氣管內(nèi)部氣體量，以使其內(nèi)部氣壓維持定值。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型第一實(shí)施例的立體示意圖。

圖2是本實(shí)用新型第一實(shí)施例的阻擋膠體示意圖。

圖3是本實(shí)用新型第一實(shí)施例的應(yīng)用示意圖(一)。

圖4是本實(shí)用新型第一實(shí)施例的應(yīng)用示意圖(二)。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：1-排氣閥裝置；10-主管體；101-定位肋；1011-容置空間；102-擋抵件；103-限位槽；104-開(kāi)關(guān)組件；11-閥片；111-固定軸；112-表面；12-阻擋膠體；121-凹槽；122-凸肋；1221-凹部；123-靠抵部；1231-肋條；124-限位肋；13-充氣管；14-氣體控制裝置；141-偵測(cè)單元；15-驅(qū)動(dòng)元件。

具體實(shí)施方式

為使貴審查委員能清楚了解本實(shí)用新型的內(nèi)容，謹(jǐn)以下列說(shuō)明搭配圖式，敬請(qǐng)參閱。

請(qǐng)參閱圖1、圖2及圖3～圖4，其是本實(shí)用新型第一實(shí)施例的立體示意圖、阻擋膠體示意圖及各應(yīng)用示意圖。本實(shí)用新型揭示一種排氣閥裝置1，供以設(shè)置于一排氣管路(圖中未示)，其具有一主管體10及一閥片11，該閥片11通過(guò)一固定軸111設(shè)置于該主管體10內(nèi)，以控制該排氣閥裝置1的開(kāi)關(guān)狀態(tài)。

該排氣閥裝置1的特征在于，該主管體10內(nèi)側(cè)對(duì)應(yīng)該閥片11設(shè)有呈相對(duì)設(shè)置的二阻擋膠體12，使各該阻擋膠體12分別擋抵于該閥片11相對(duì)的二表面1121。且該阻擋膠體12底部開(kāi)設(shè)有一凹槽121，以使該阻擋膠體12于受力時(shí)可產(chǎn)生形變，提高其相對(duì)該閥片11的抵擋效能，使該排氣閥裝置1于關(guān)閉時(shí)具有極佳的氣密效果。

其中較佳者，各該阻擋膠體12具有一凸肋122及至少一靠抵部123，該凹槽121并對(duì)應(yīng)該凸肋122位置形成于該二阻擋膠體12，該靠抵部123由該凸肋122底部一側(cè)延伸形成，且該凸肋122具有一凹部1221，該閥片11邊緣系卡抵于該凹部1221。由于該二阻擋膠體12為相對(duì)設(shè)置，并為配合該閥片11的轉(zhuǎn)動(dòng)而擋抵于其邊緣，是以該二阻擋膠體12設(shè)置于該主管體10內(nèi)側(cè)時(shí)，各該凹部1221的凹設(shè)方向會(huì)相反，使該閥片11封閉該主管體10開(kāi)口時(shí)由相對(duì)的該二表面112邊緣分別靠抵所述的這些凹部1221。而該二阻擋膠體12可憑借該靠抵部123直接粘設(shè)于該主管體10內(nèi)部，或是于該主管體10內(nèi)側(cè)面具有二對(duì)定位肋101，各該對(duì)定位肋101與該主管體10內(nèi)側(cè)面夾設(shè)形成一容置空間1011，供以安裝各該阻擋膠體12，同時(shí)因該阻擋膠體12具可撓性的特性而可依據(jù)該主管體10的形狀態(tài)樣彎曲安裝。

此外，該二阻擋膠體12更具有復(fù)數(shù)限位肋124，其分別設(shè)于該靠抵部123，該主管體10對(duì)應(yīng)該復(fù)數(shù)限位肋124具有復(fù)數(shù)限位槽103，該二阻擋膠體12固設(shè)于該主管體10時(shí)，該復(fù)數(shù)限位肋124分別卡掣于該復(fù)數(shù)限位槽103內(nèi)，如此可達(dá)到固定該二阻擋膠體12的功效，防止其安裝于該主管體10且受力形變后產(chǎn)生移位的情況。

較佳者，各該定位肋101可為L(zhǎng)型，并于各該阻擋膠體12安裝于該容置空間1011時(shí)，至少一該定位肋101的長(zhǎng)邊擋抵于該靠抵部123?；蚋髟摱ㄎ焕?01可為垂直自該主管體10內(nèi)側(cè)面延伸形成，于各該阻擋膠體安裝于該容置空間后，再于夾設(shè)形成該容置空間1011的任一該定位肋101相對(duì)連接該主管體10的一側(cè)組設(shè)一擋抵件102，以擋抵于各該阻擋膠體12的該靠抵部123。于本實(shí)施例中，以該二對(duì)定位肋101配合所述的這些擋抵件102以固設(shè)該阻擋膠體12為例說(shuō)明。當(dāng)該二阻擋膠體12安裝于該容置空間1011后，可通過(guò)焊接方式將所述的這些擋抵件102與該二對(duì)定位肋101組合固定，并該凸肋122系高于該該擋抵件102，以利于阻擋該閥片11。而該靠抵部123系貼合于該主管體10內(nèi)側(cè)面，并受該擋抵件102阻擋以防止該阻擋膠體12自該容置空間1011脫離。其中，于本實(shí)施例，該靠抵部123是二個(gè)，并由該凸肋122的相對(duì)側(cè)向外延伸而成，而所述的這些擋抵件102并對(duì)應(yīng)該靠抵部123數(shù)量設(shè)置。

為加強(qiáng)該排氣閥裝置1于關(guān)閉狀態(tài)下的密閉性，該凹槽121內(nèi)設(shè)有一充氣管13，灌注氣體至該充氣管13時(shí)，該充氣管13頂?shù)衷摱钃跄z體12而使該二阻擋膠體12產(chǎn)生形變。如此，于關(guān)閉狀態(tài)下，該閥片11受該二阻擋膠體12抵擋后通過(guò)該充氣管13使該二阻擋膠體12受力而形變膨脹，提升該二阻擋膠體12相對(duì)該閥片11的阻擋效能。

此外，該排氣閥裝置1更具有一氣體控制裝置14，其與該充氣管13連接，供以偵測(cè)該充氣管13內(nèi)的氣壓值，并將其與一氣壓設(shè)定值進(jìn)行比較，以調(diào)整該充氣管13的充氣狀態(tài)。例如當(dāng)該充氣管13內(nèi)的氣壓值大于該氣壓設(shè)定值時(shí)，系停止注入氣體至該充氣管13，反的當(dāng)該充氣管13內(nèi)的氣壓值小于該氣壓設(shè)定值時(shí)，系補(bǔ)充氣體至該充氣管13內(nèi)。如此，可精準(zhǔn)地控制該充氣管13內(nèi)的氣體狀態(tài)，避免過(guò)度充氣而影響使用，或是氣體不足而無(wú)法有效使該二阻擋膠體12產(chǎn)生形變。其中，舉例說(shuō)明，該充氣管13的氣體壓力可經(jīng)由該氣體控制裝置14的一偵測(cè)單元141取得，充氣過(guò)程中，該氣體控制裝置13可憑借該偵測(cè)單元141不斷地監(jiān)測(cè)該充氣管13內(nèi)的氣體壓力狀態(tài)，再將偵測(cè)到的氣壓值與該氣壓設(shè)定值進(jìn)行比較，待其達(dá)到該氣壓設(shè)定值或是超出該氣壓設(shè)定值時(shí)可即時(shí)停止注氣動(dòng)作，以防止造成該充氣管13損壞等狀況發(fā)生，反的若該充氣管13內(nèi)的氣壓值未到達(dá)該氣壓設(shè)定值時(shí)，則可憑借如電磁閥的開(kāi)關(guān)控制輸氣動(dòng)作，并配合增壓泵繼續(xù)注氣動(dòng)作。

于本實(shí)施例中，該固定軸111是水平設(shè)置，并位于該閥片11中央，使該閥片11是上下開(kāi)合方式控制該排氣閥裝置1的開(kāi)關(guān)狀態(tài)。該固定軸111可為固定安裝于該主管體10內(nèi)，或是為可相對(duì)該主管體10轉(zhuǎn)動(dòng)的方式設(shè)置。于此以該固定軸111可受一驅(qū)動(dòng)元件15驅(qū)動(dòng)，而相對(duì)該主管體10轉(zhuǎn)動(dòng)并帶動(dòng)該閥片11的態(tài)樣為例說(shuō)明，該排氣閥裝置1的該驅(qū)動(dòng)元件15與該固定軸111連接設(shè)置，以驅(qū)動(dòng)該固定軸111而使其帶動(dòng)該閥片11，變更該排氣閥裝置1的開(kāi)關(guān)狀態(tài)。該驅(qū)動(dòng)元件15并可以遠(yuǎn)端控制方式操作以利于使用者依據(jù)廢氣排除狀態(tài)，即時(shí)開(kāi)關(guān)該排氣閥裝置1。此外，為利于在該排氣閥裝置1關(guān)閉時(shí)防止該閥片11未緊閉而使廢氣泄出，該主管體10系更設(shè)有一開(kāi)關(guān)組件104，該開(kāi)關(guān)組件104包括一調(diào)整件1041及一卡合件1042，該卡合件1042對(duì)應(yīng)該閥片11固設(shè)于該主管體10內(nèi)側(cè)面，該調(diào)整件1041設(shè)于該主管體10并與該氣體控制裝置14及該卡合件1042連接，以通過(guò)該氣體控制裝置14驅(qū)使該調(diào)整件1041帶動(dòng)該卡合件1042而卡抵于該閥片11或遠(yuǎn)離該閥片11。

當(dāng)欲排放氣體時(shí)，通過(guò)該驅(qū)動(dòng)元件15使該閥片11移動(dòng)而讓該主管體10形成通路，此時(shí)該調(diào)整件1041一并作動(dòng)而使該卡合件1042遠(yuǎn)離該閥片11以使其移動(dòng)。關(guān)合時(shí)，則憑借該驅(qū)動(dòng)元件15控制該閥片11反向移動(dòng)，此時(shí)該閥片11邊緣分別靠抵于對(duì)應(yīng)的該凹部1221的一側(cè)邊緣，以確保該排氣閥裝置1的密合度，防止廢氣逸出，如圖3所示，同時(shí)該調(diào)整件1041則使該卡合件1042復(fù)位形成與該閥片11卡抵的狀態(tài)。接續(xù)并于該閥片11至封閉該主管體10開(kāi)口位置后，于該充氣管13進(jìn)行注氣動(dòng)作，使該二阻擋膠體12的該凹槽121受力而產(chǎn)生形變，進(jìn)一步提高該二阻擋膠體12相對(duì)該閥片11的抵擋效果，以提升該排氣閥裝置1于關(guān)閉狀態(tài)下的氣密性，而如圖4所示。

綜上所述，本實(shí)用新型的該排氣閥裝置1，通過(guò)該二阻擋膠體12有效地提升該排氣閥裝置1于關(guān)閉狀態(tài)下的氣密性，避免廢氣自該閥片11與該主管體10之間隙逸出，進(jìn)而導(dǎo)致空氣污染等情事發(fā)生。該二阻擋膠體12并可因受力形變而提升其相對(duì)該閥片11的阻擋效能，如前述實(shí)施例所述，可于該二阻擋膠體12的該凹槽121內(nèi)設(shè)置該充氣管13，于該充氣管13充氣后頂?shù)衷摱钃跄z體12使其產(chǎn)生形變，使該二阻擋膠體12的該凹槽121處充滿氣體進(jìn)而產(chǎn)生形變，進(jìn)而使該閥片11與該二阻擋膠體12的相對(duì)靠抵更為確實(shí)及密合。此外，通過(guò)該氣體控制裝置14則可隨時(shí)監(jiān)測(cè)與自動(dòng)調(diào)整該充氣管13內(nèi)部氣體量，以使其內(nèi)部氣壓維持定值。

以上說(shuō)明對(duì)本實(shí)用新型而言只是說(shuō)明性的，而非限制性的，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解，在不脫離本申請(qǐng)所限定的精神和范圍的情況下，可作出許多修改、變化或等效，但都將落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。