專利名稱：多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種活塞式氣體壓縮機，特別是涉及一種用于多晶硅行業(yè)的尾氣壓縮機的氣封裝置。
背景技術：
在多晶硅行業(yè)，由于壓縮機氣缸內(nèi)的壓縮介質(zhì)(氫氣占百分之九十多，剩下百分之幾是三氯氫硅、四氯化硅、二氯二氫硅、氯化氫等)具有特殊性質(zhì)，因而一旦氣缸壓縮腔體中的壓縮介質(zhì)沿著不斷運動的活塞桿(動密封)泄漏到機身內(nèi)，就會使機身內(nèi)的各處潤滑油與壓縮介質(zhì)發(fā)生反應，生成粘稠的膠狀物質(zhì)，堵塞油過濾器，影響傳動機構的潤滑，進而影響到整個尾氣壓縮機的正常運轉。為了盡可能地避免出現(xiàn)上述問題，現(xiàn)有的多晶硅行業(yè)用尾氣壓縮機，在氣缸與機身之間設置的中間座中采用填料密封與氣體吹掃密封相結合的方式，對沿著活塞桿往機身處泄漏的壓縮介質(zhì)進行逐級填料密封與氮氣吹掃相結合，以將泄漏至中間座內(nèi)的壓縮介質(zhì)徹底清除出去，從而避免由于壓縮介質(zhì)進入機身而帶來的一系列不利后果。上述氮氣吹掃措施在實際使用過程中，泄漏至中間座的壓縮介質(zhì)經(jīng)常會因為廢氣排放管線堵塞而不能及時排走，然而，壓縮機操作人員卻不能及時發(fā)現(xiàn)而進行處理，因而導致壓縮介質(zhì)越積越多最后就會泄漏至機身，給機身的各級潤滑系統(tǒng)帶來不利后果。

實用新型內(nèi)容為了解決上述技術問題，本實用新型提供一種結構簡單、操作簡便、便于壓縮機操作人員及時發(fā)現(xiàn)廢氣排放管線是否暢通，從而能夠在不暢通時及時處理，以避免壓縮介質(zhì)泄漏至機身內(nèi)的多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置。本實用新型一種多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置，包括固定連接于氣缸與機身之間的中間座，氣缸內(nèi)的活塞桿穿過中間座與機身內(nèi)的連桿相連，中間座與氣缸連接處上穿過活塞桿的位置設有主填料，中間座與機身連接處上穿過活塞桿的位置設有擋油器填料，主填料和擋油器填料均通過填料盒與中間座固定連接，填料盒一端設有壓蓋，主填料和擋油器填料在活塞桿位置均通過至少兩組浮動密封環(huán)與活塞桿動密封，所述中間座上開設有吹掃氣進氣口和第二排氣口，吹掃氣進氣口的入口端依次連接有壓力表、減壓閥、截止閥和氣源，還包括浮子流量計，所述浮子流量計連接在吹掃氣進氣口與該支路上的減壓閥之間。本實用新型與現(xiàn)有技術不同之處在于本實用新型多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置， 在現(xiàn)有技術的基礎上，在吹掃氣進氣口與減壓閥之間增設了浮子流量計，以使得在壓縮機運行過程中，壓縮機操作人員可以根據(jù)浮子流量計中的浮子高度來判斷第二排氣口是否出現(xiàn)堵塞不暢通的情況，則操作人員可以據(jù)此隨時清理第二排氣口，保證從吹掃氣進氣口進入的氣體能夠有效對泄漏至機身側隔室內(nèi)的壓縮介質(zhì)進行吹掃，以避免因泄漏壓縮介質(zhì)進入機身而給機身帶來一系列不利后果。本實用新型多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置，其中所述吹掃氣進氣口連接的氣源為第
3一氮氣氣源，第一氮氣氣源的輸出壓力為0. 05-0. IMpa,第二排氣口與連通至安全區(qū)的管線連接。采用氮氣氣源是因為氮氣成本較低，且氮氣不與氣缸內(nèi)的壓縮氣體發(fā)生化學反應。本實用新型多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置，其中所述中間座中設有隔板，將中間座分隔為靠近氣缸的氣缸側隔室和靠近機身的機身側隔室，隔板上穿過活塞桿的位置設有中間填料，中間填料通過填料盒與中間座固定連接，填料盒一端設有壓蓋，中間填料在活塞桿位置通過至少兩組浮動密封環(huán)與活塞桿動密封。采用這種結構是為了實現(xiàn)氣缸與機身之間的空間隔離與逐級填料密封相結合，加強氣缸與機身之間的密封，防止氣缸內(nèi)的壓縮介質(zhì)泄漏至機身內(nèi)。本實用新型多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置，其中所述主填料通過至少四組浮動密封環(huán)與活塞桿動密封，主填料內(nèi)設置氣室和充氣空腔，氣室與充氣空腔分別位于兩組浮動密封環(huán)之間，且環(huán)繞活塞桿并與活塞桿的外表面相接觸，充氣空腔設于氣室右側，所述氣缸側隔室上開設有第一排氣口和第一高壓進氣口，氣室通過管路與第一排氣口相連通，充氣空腔通過管路與第一高壓進氣口相連通，所述第一高壓進氣口的入口端依次連接有壓力表、 減壓閥、截止閥和氫氣氣源，氫氣氣源的輸出壓力為0. 15-0. 2Mpa，第一高壓進氣口處的具體輸入壓力值可通過本支路上的減壓閥來控制。采用上述結構，是為了將氣缸內(nèi)泄漏的壓縮介質(zhì)在其泄漏至主填料內(nèi)時通過第一排氣口排放出去，并在主填料處增加高壓氫氣阻塞密封裝置，阻止泄漏介質(zhì)繼續(xù)往右側泄漏，使用氫氣高壓阻塞，是為了避免其他氣體如氮氣進入汽缸影響用戶的加工工藝。本實用新型多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置，其中所述氣缸側隔室或機身側隔室上開設有第二高壓進氣口，第二高壓進氣口與位于中間填料與活塞桿之間且在兩組浮動密封環(huán)之間的間隙通過管路相連通，所述第二高壓進氣口的入口端依次連接有壓力表、減壓閥、截止閥和第二氮氣氣源，第二氮氣氣源的輸出壓力為0. 15-0. 2Mpa，第二高壓進氣口處的具體輸入壓力值可通過本支路上的減壓閥來控制。采用這種結構，是為了在中間填料處增加一級高壓氣體阻塞密封，進一步加強了整個氣封裝置的密封性能，阻止壓縮介質(zhì)經(jīng)中間填料進一步往機身側泄漏。本實用新型多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置，其中所述機身側隔室上開設有第三高壓進氣口，第三高壓進氣口與位于擋油器填料與活塞桿之間且在兩組浮動密封環(huán)之間的間隙通過管路相連通，所述第三高壓進氣口的入口端依次連接有壓力表、減壓閥、截止閥和第三氮氣氣源，第三氮氣氣源的輸出壓力為0. 15-0. 2Mpa，第三高壓進氣口處的具體輸入壓力值可通過本支路上的減壓閥來控制。采用這種結構，是為了在擋油器填料處增加一級高壓氣體阻塞密封，進一步加強了整個氣封裝置的密封效果，起到在壓縮介質(zhì)進入機身前的最后的阻塞密封，阻止泄漏至此的壓縮介質(zhì)往機身內(nèi)泄漏。
以下結合附圖對本實用新型的多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置作進一步說明。
圖1為本實用新型多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置的結構示意圖；圖2為本實用新型多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置的局部剖視圖；圖3為圖2中I部分的局部放大圖；圖4為圖2中II部分的局部放大圖；[0018]圖5為圖2中III部分的局部放大圖。
具體實施方式
如圖1至圖5所示，本實用新型一種多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置，包括設于氣缸1 與機身2之間的雙隔室中間座，靠近氣缸1的為氣缸側隔室6，靠近機身2的為機身側隔室 7，兩隔室6、7通過隔板11分隔，氣缸1內(nèi)的活塞3通過活塞桿4與機身2內(nèi)的連桿相連， 氣缸側隔室6與氣缸1通過螺栓緊固連接，機身側隔室7與機身2通過螺栓緊固連接，其中氣缸側隔室6與氣缸1連接處上穿過活塞桿4的位置設有主填料8，隔板11上穿過活塞桿 4的位置設有中間填料9，機身側隔室7與機身2連接處上穿過活塞桿4的位置設有擋油器填料10，主填料8、中間填料9和擋油器填料10均通過填料盒22與雙隔室中間座通過螺栓連接，填料盒22上開設有使活塞桿4從中穿過的通孔，填料盒22 —端設有壓蓋33，以將填料盒22內(nèi)的填料8、9、10壓緊，中間填料9和擋油器填料10均通過兩組浮動密封環(huán)12與活塞桿4動密封，擋油器填料10內(nèi)浮動密封環(huán)12的右側設有兩組刮油環(huán)21，主填料8通過七組浮動密封環(huán)12與活塞桿4動密封，主填料8內(nèi)設置氣室14和充氣空腔15，氣室14 與充氣空腔15分別位于兩組浮動密封環(huán)12之間，且環(huán)繞活塞桿4并與活塞桿4的外表面相接觸，充氣空腔15設于氣室14右側，氣缸側隔室6上開設有第一排氣口 16和第一高壓進氣口 17，氣室14通過管子與第一排氣口 16相連通，充氣空腔15通過密封墊圈、管子和卡套式接頭與第一高壓進氣口 17相連通，機身側隔室7上開設有吹掃氣進氣口 18、第二排氣口 19和第二高壓進氣口 20，第三高壓進氣口與第二高壓進氣口 20為同一個進氣口，第三氮氣氣源與第二氮氣氣源四為同一個氮氣氣源，下面所述的第二高壓進氣口 20皆同指第三高壓進氣口，第二氮氣氣源四皆同指第三氮氣氣源，第二高壓進氣口 20與位于中間填料 9與活塞桿4之間且在兩組浮動密封環(huán)12之間的間隙通過卡套式接頭、管子和密封墊圈相連通，第二高壓進氣口 20與位于擋油器填料10與活塞桿4之間且在兩組浮動密封環(huán)12之間的間隙通過卡套式接頭、管子和密封墊圈相連通，吹掃氣進氣口 18的入口端依次連接有浮子流量計110、壓力表111、減壓閥112、截止閥113和第一氮氣氣源觀，第一高壓進氣口 17和第二高壓進氣口 20的入口端均依次連接有壓力表、減壓閥、截止閥，其中第一高壓進氣口 17最外端還連接有氫氣氣源27，第二高壓進氣口 20的最外端還連接有第二氮氣氣源四，氫氣氣源27的輸出壓力為0. 15-0. 2Mpa，第一氮氣氣源28的輸出壓力為0. 05-0. IMpa, 第二氮氣氣源四的輸出壓力為0. 15-0. 2Mpa，其中第一排氣口 16和第二排氣口 19分別與連通至安全區(qū)的管線連接。如圖1所示，本裝置在使用時，可首先調(diào)節(jié)吹掃氣進氣口 18上的減壓閥112，通過觀察該支路上的壓力表111，將該減壓閥112的出口壓力調(diào)節(jié)至0. 05-0. IMpa之間的某一具體數(shù)值，以保證氮氣吹掃的流量，此后在壓縮機運行過程中，操作人員可通過隨時觀察浮子流量計110中的浮子高度，來判斷第二排氣口是否暢通，以便于在發(fā)現(xiàn)第二排氣口不暢通時及時處理，避免泄漏至機身側隔室內(nèi)的壓縮介質(zhì)進入機身；當?shù)诙艢饪?19處不能零壓排放時，可通過調(diào)節(jié)減壓閥112適當提高吹掃氣進氣口 18處的進氣壓力，以保證盡量在第二排氣口 19處零壓排放。以上所述的實施例僅僅是對本實用新型的優(yōu)選實施方式進行描述，并非對本實用新型的范圍進行限定，在不脫離本實用新型設計精神的前提下，本領域普通技術人員對本實用新型的技術方案作出的各種變形和改進，均應落入本實用新型權利要求書確定的保護范圍內(nèi)。
權利要求1.一種多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置，包括固定連接于氣缸(1)與機身( 之間的中間座，氣缸⑴內(nèi)的活塞桿⑷穿過中間座與機身⑵內(nèi)的連桿相連，中間座與氣缸⑴連接處上穿過活塞桿(4)的位置設有主填料(8)，中間座與機身( 連接處上穿過活塞桿(4)的位置設有擋油器填料(10)，主填料(8)和擋油器填料(10)均通過填料盒0 與中間座固定連接，填料盒0 —端設有壓蓋(33)，主填料(8)和擋油器填料(10)在活塞桿(4)位置均通過至少兩組浮動密封環(huán)(12)與活塞桿(4)動密封，所述中間座上開設有吹掃氣進氣口(18)和第二排氣口(19)，吹掃氣進氣口(18)的入口端依次連接有壓力表(111)、減壓閥 (112)、截止閥(11 和氣源，其特征在于還包括浮子流量計(110)，所述浮子流量計(110) 連接在吹掃氣進氣口(18)與減壓閥(112)之間。
2.根據(jù)權利要求1所述的多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置，其特征在于所述氣源為第一氮氣氣源(觀)，第一氮氣氣源08)的輸出壓力為0.05-0. IMpa，第二排氣口(19)與連通至安全區(qū)的管線連接。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置，其特征在于所述中間座中設有隔板(11)，將中間座分隔為靠近氣缸的氣缸側隔室(6)和靠近機身的機身側隔室 (7)，隔板(11)上穿過活塞桿⑷的位置設有中間填料(9)，中間填料(9)通過填料盒02) 與中間座固定連接，填料盒0 —端設有壓蓋(33)，中間填料(9)在活塞桿(4)位置通過至少兩組浮動密封環(huán)(1 與活塞桿(4)動密封。
4.根據(jù)權利要求3所述的多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置，其特征在于所述主填料(8) 通過至少四組浮動密封環(huán)(1 與活塞桿(4)動密封，主填料(8)內(nèi)設置氣室(14)和充氣空腔(15)，氣室(14)與充氣空腔(15)分別位于兩組浮動密封環(huán)(12)之間，且環(huán)繞活塞桿 (4)并與活塞桿的外表面相接觸，充氣空腔(15)設于氣室(14)右側，所述氣缸側隔室 (6)上開設有第一排氣口(16)和第一高壓進氣口(17)，氣室(14)通過管路與第一排氣口(16)相連通，充氣空腔(1 通過管路與第一高壓進氣口(17)相連通，所述第一高壓進氣口(17)的入口端依次連接有壓力表、減壓閥、截止閥和氣源。
5.根據(jù)權利要求4所述的多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置，其特征在于所述氣源為氫氣氣源(27)，氫氣氣源(Xl)的輸出壓力為0. 15-0. 2Mpa。
6.根據(jù)權利要求3所述的多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置，其特征在于所述氣缸側隔室(6)或機身側隔室(7)上開設有第二高壓進氣口(20)，第二高壓進氣口00)與位于中間填料(9)與活塞桿(4)之間且在兩組浮動密封環(huán)(1 之間的間隙通過管路相連通，所述第二高壓進氣口 OO)的入口端依次連接有壓力表、減壓閥、截止閥和氣源。
7.根據(jù)權利要求6所述的多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置，其特征在于所述氣源為第二氮氣氣源(四)，第二氮氣氣源09)的輸出壓力為0. 15-0. 2Mpa。
8.根據(jù)權利要求3所述的多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置，其特征在于所述機身側隔室(7)上開設有第三高壓進氣口，第三高壓進氣口與位于擋油器填料(10)與活塞桿(4)之間且在兩組浮動密封環(huán)(1 之間的間隙通過管路相連通，所述第三高壓進氣口的入口端依次連接有壓力表、減壓閥、截止閥和氣源。
9.根據(jù)權利要求8所述的多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置，其特征在于所述氣源為第三氮氣氣源，第三氮氣氣源的輸出壓力為0. 15-0. 2Mpa。
專利摘要本實用新型涉及一種用于多晶硅行業(yè)活塞式尾氣壓縮機的氣封裝置。其目的是為了提供一種結構簡單、操作簡便、便于壓縮機操作人員及時發(fā)現(xiàn)廢氣排放管線是否暢通，從而能夠在不暢通時及時處理，以避免壓縮介質(zhì)泄漏至機身內(nèi)的多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置。本實用新型一種多晶硅尾氣壓縮機氣封裝置，包括固定連接于氣缸與機身之間的中間座，中間座上通過填料盒固定連接有主填料和擋油器填料，填料盒一端設有壓蓋，主填料和擋油器填料均通過至少兩組浮動密封環(huán)與活塞桿動密封，中間座上開設有吹掃氣進氣口和第二排氣口，吹掃氣進氣口的入口端依次連接有壓力表、減壓閥、截止閥和氣源，還包括連接在吹掃氣進氣口與減壓閥之間的浮子流量計。
文檔編號F04B39/00GK202209263SQ20112029933
公開日2012年5月2日 申請日期2011年8月17日 優(yōu)先權日2011年8月17日
發(fā)明者劉曉霞, 張艷芷 申請人:北京金凱威通用機械有限公司