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一種干式微小顆粒分離裝置的制造方法

文檔序號:10560869閱讀:518來源:國知局
一種干式微小顆粒分離裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種干式微小顆粒分離裝置。其結(jié)構(gòu)包括真空室,在真空室內(nèi)水平設(shè)置有上下兩個極板,上極板接地線,下極板連接射頻電源的功率電極;在下極板上設(shè)置有顆粒分離器,所述顆粒分離器包括中間部位由若干內(nèi)凹的棘齒依次鄰接而構(gòu)成的棘齒曲面槽以及兩端的收集盒;在棘齒曲面槽的上方設(shè)置有用于盛放待分離顆粒的顆粒池;在真空室的外部設(shè)置有兩個相對的半導(dǎo)體激光器,且每一個半導(dǎo)體激光器分別對應(yīng)一個收集盒;在每個半導(dǎo)體激光器的前方均設(shè)有一個斬波器,在每個斬波器的前方均設(shè)有一個擴束鏡。采用本發(fā)明分離兩種不同尺寸的顆粒時操作簡單、快速,無污染,為實驗室及工業(yè)領(lǐng)域的快速分離提供了一個解決方案。
【專利說明】
一種干式微小顆粒分離裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及一種顆粒分離裝置,具體地說是一種干式微小顆粒分離裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]對于一種或者幾種微顆粒物的分離是一項非常有意義的工作,在樣品儲備、顆粒的物性分析、生物化學(xué)分析以及進一步形成功能化集成芯片等方面具有巨大的應(yīng)用前景。目前的分離方法分為干法和濕法。濕法分離包括微流中分離顆粒法,較為有效的物理方法通常是采用均勻電場的電泳技術(shù)、基于不均勻電場的介電泳技術(shù)、基于不均勻磁場的磁泳技術(shù),以及基于聲波的聲泳技術(shù)。在這些方法中,不同尺寸的顆粒在力的作用下流向不同的通道,從而可以實現(xiàn)空間上的分離。
[0003]另外基于物質(zhì)溶解性、吸附性等特性的一種分離方法叫做色譜法,其分離原理是根據(jù)混合物的各組分與互不相容的兩相(固定相和流動相)作用的差異。其中濕法類高效液相色譜法(HPLC)以分離效能高、速度快、檢測靈敏度高等特點使其應(yīng)用廣泛、發(fā)展迅速,但HPLC的儀器設(shè)備價格昂貴,操作嚴格。干法類氣相色譜法用于測定能氣化或能轉(zhuǎn)化為氣體的物質(zhì)或化合物,又分為氣固色譜(GSC)和氣液色譜(GLC)。值得一提的是干法分離中有一種方法叫做光色譜法,它是一種光學(xué)分離技術(shù),利用來自弱聚焦光束的光輻射壓力和流體給予的拖力之間的平衡,從而實現(xiàn)不同尺寸顆粒在不同平衡位置上的分離。同樣,同為色譜法不能避免操作復(fù)雜嚴格的主要缺點,針對色譜柱的清理也較為復(fù)雜和耗時,并且當目標物質(zhì)含量過低時分離難度驟升。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的就是提供一種干式微小顆粒分離裝置,以解決現(xiàn)有的干法和濕法分離技術(shù)操作繁瑣、處理時間長、分離精度低等的問題。
[0005]本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的:一種干式微小顆粒分離裝置,包括真空室,在所述真空室內(nèi)水平設(shè)置有上極板和下極板,所述上極板接地線,所述下極板連接射頻電源的功率電極,射頻電源的另一電極接地線;在所述下極板上設(shè)置有顆粒分離器,所述顆粒分離器包括中間部位由若干內(nèi)凹的棘齒依次鄰接而構(gòu)成的棘齒曲面槽以及兩端的收集盒;在所述棘齒曲面槽的上方設(shè)置有用于盛放待分離顆粒的顆粒池,所述顆粒池連接穿出所述真空室的振動桿;在所述真空室的外部設(shè)置有兩個相對的半導(dǎo)體激光器,且每一個半導(dǎo)體激光器分別對應(yīng)所述顆粒分離器中的一個收集盒;在每一個半導(dǎo)體激光器的前方均設(shè)有一個斬波器,在每一個斬波器的前方均設(shè)有一個擴束鏡。
[0006]所述半導(dǎo)體激光器、所述斬波器以及所述擴束鏡均設(shè)置在升降臺上,所述升降臺與步進電機相連接。
[0007]所述步進電機、所述半導(dǎo)體激光器和所述斬波器均與控制器相接,所述控制器可控制所述步進電機工作,以驅(qū)動升降臺上下運動,進而實現(xiàn)調(diào)整所述半導(dǎo)體激光器、所述斬波器及所述擴束鏡的高度;所述控制器還可控制所述半導(dǎo)體激光器的照射時間以及所述斬波器的脈沖頻率。
[0008]所述顆粒分離器由絕緣材料制成。
[0009]所述棘齒曲面槽的曲面彎曲度為180°。
[0010]所述收集盒是通過在內(nèi)凹的半圓形凹槽兩側(cè)分別設(shè)置半圓環(huán)形的矮沿而形成。
[0011]待分離顆粒為兩種不同尺寸的微米量級的顆粒。
[0012]所述棘齒的齒深與齒長比例為1:2。
[0013]所述真空室由不銹鋼腔體圍成,且不銹鋼腔體接地線;在所述不銹鋼腔體的側(cè)壁上設(shè)有兩個相對的側(cè)窗口,每一個側(cè)窗口對應(yīng)一個半導(dǎo)體激光器;所述半導(dǎo)體激光器所發(fā)的激光經(jīng)對應(yīng)的側(cè)窗口后照射到真空室內(nèi)的棘齒曲面槽內(nèi)。
[0014]所述顆粒池由不同目數(shù)的多層金屬網(wǎng)壓制而成;所述振動桿呈豎直設(shè)置,所述顆粒池通過水平設(shè)置的絕緣桿與所述振動桿相接。
[0015]打開本發(fā)明裝置中的射頻電源,通過氣體放電可在上、下極板之間產(chǎn)生均勻的等離子體,等離子體的組分主要包括電子、離子以及中性分子。當待分離的微小顆粒(一般為兩種不同尺寸的微米量級的顆粒)自顆粒池撒出進入等離子體環(huán)境后,等離子體將會對其進行充電。由于電子擴散的比離子快,因此當入射到顆粒上的電子流與離子流達到平衡時,顆粒攜帶大量負電荷。當顆粒受重力落入下極板上方附近鞘層中所受重力與靜電場力平衡時,顆粒將懸浮于下極板上方附近。同時由于顆粒具有高帶電性,顆粒間可以很好的分散,形成分散懸浮體系。由于顆粒分離器位于下極板上且處于等離子體環(huán)境中,因此在棘齒曲面槽表面形成棘齒形的等離子體鞘層,此鞘層為不滿足反演對稱性的周期勢(在物理學(xué)中稱為棘齒勢),棘齒勢滿足對稱性破缺,能夠產(chǎn)生定向輸運。分散懸浮著的待分離的顆粒就處于棘齒形的等離子體鞘層中。不同大小的顆粒所帶電量不同,所懸浮的高度不同,固有頻率也不同,在激光脈沖照射下所產(chǎn)生的共振頻率(共振頻率與顆粒半徑成反比,與顆粒帶電量成正比)也不同,通過調(diào)節(jié)斬波器的脈沖頻率,可控制使得兩種不同尺寸的顆粒分別向相反方向運動,最終由兩個收集盒分別收集兩種不同尺寸的顆粒,實現(xiàn)微小顆粒的分離。
[0016]本發(fā)明在真空室內(nèi)通過氣體放電形成等離子體,待分離顆粒在等離子體環(huán)境中帶負電,并形成穩(wěn)態(tài)、分散的懸浮體系,這為實現(xiàn)顆粒的分離提供了基礎(chǔ)條件。由于采用等離子體使顆粒分散并處于穩(wěn)態(tài)懸浮狀態(tài),因此分離過程屬于干法工藝,這種干法工藝與現(xiàn)有激光粒度儀的濕法工藝相比,可避免現(xiàn)有濕法工藝所帶來的測量過程繁瑣、測量時間長等的一系列問題。由于真空室內(nèi)的氣體基本靜止,因此可以克服現(xiàn)有干法工藝中因氣體流動而對激光光路造成干擾的缺點,進而可以實現(xiàn)準確分離顆粒。除此之外,采用本發(fā)明可以實現(xiàn)對極低含量的微小顆粒進行分離。
[0017]顆粒分離器中棘齒曲面槽的設(shè)計,使得在其表面形成棘齒形的等離子體鞘層,該鞘層具有不對稱性,分散、懸浮著的顆粒被束縛在該等離子體鞘層中。打開半導(dǎo)體激光器以及斬波器,并調(diào)節(jié)斬波器的脈沖頻率,在激光的推動下,不同尺寸的顆粒分別向兩個方向運動,從而實現(xiàn)顆粒的分離。本發(fā)明裝置結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,且能準確分離兩種不同尺寸的微米量級的顆粒。
【附圖說明】
[0018]圖1是本發(fā)明中干式微小顆粒分離裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖2是圖1中顆粒分離器的三維立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖中:1、真空室,2、上極板,3、顆粒池,4、振動桿,5、側(cè)窗口,6、待分尚顆粒,7、升降臺,8、半導(dǎo)體激光器,9、斬波器,10、擴束鏡,11、下極板,12、顆粒分離器,12-1、棘齒曲面槽,12-2、收集盒,13、真空計,14、射頻電源,15、控制器。
【具體實施方式】
[0021]如圖1所示,本發(fā)明所提供的干式微小顆粒分離裝置包括真空室I,真空室I由不銹鋼腔體圍成,不銹鋼腔體接地線;在真空室I內(nèi)水平設(shè)置有上下兩個極板,分別為上極板2和下極板11。本實施例中上極板2由兩塊ITO導(dǎo)電玻璃相對疊加在一起而構(gòu)成,下極板11為金屬平板。上極板2接地線,下極板11連接射頻電源14的功率電極,射頻電源14的另一電極接地線,射頻電源14位于真空室I外。下極板11在與射頻電源14的功率電極連接時,具體連接方式為:在下極板11的板底中心鉆孔,在所鉆的孔內(nèi)套接絕緣套,在絕緣套內(nèi)穿接金屬導(dǎo)線,下極板11通過絕緣套內(nèi)的金屬導(dǎo)線與真空室I外的射頻電源14的功率電極電連接。在射頻電源14的功率電極與下極板11之間可設(shè)置用來調(diào)節(jié)功率匹配的電容。當射頻電源14接通后,射頻電源14的電壓不斷地改變極性,經(jīng)過幾次充放電之后,最終會使下極板11具有負偏壓,通過高頻放電可在上、下極板之間產(chǎn)生均勻的等離子體。射頻電源14的頻率可調(diào)為13.56MHz,電源功率可為I?60W。
[0022]在下極板11上設(shè)置有顆粒分離器12,顆粒分離器12由絕緣材料制作而成,其具體結(jié)構(gòu)如圖2所示。顆粒分離器的底部為平面結(jié)構(gòu),上面整體為頂部敞口的、內(nèi)凹的通道結(jié)構(gòu),該通道結(jié)構(gòu)具體又包括中間部位的棘齒曲面槽12-1以及兩端的收集盒12-2。棘齒曲面槽12-1是由若干內(nèi)凹的均勻排列的棘齒依次鄰接而構(gòu)成,棘齒的截面為傾斜的不對稱結(jié)構(gòu),棘齒傾斜后的短邊(也稱棘齒的齒深,或稱陡坡)與棘齒傾斜后的長邊(也稱棘齒的齒長,或稱緩坡)的比例為1: 2。每一個棘齒的兩端側(cè)均向上彎曲,并使棘齒曲面槽12-1的曲面彎曲度為180°,以便于束縛待分離顆粒。兩個收集盒12-2沿棘齒曲面槽12-1的軸心線方向分別位于棘齒曲面槽12-1的左右兩端,每一個收集盒12-2均是通過在內(nèi)凹的半圓形凹槽左右兩側(cè)分別設(shè)置半圓環(huán)形的矮沿而形成。顆粒分離器12處于上、下極板之間的等離子體環(huán)境中后,可在棘齒曲面槽12-1的表面形成內(nèi)凹的、棘齒形的等離子體鞘層,在收集盒12-2的盒底表面形成內(nèi)凹的、半圓形的等離子體鞘層。
[0023 ]在棘齒曲面槽12-1的上方、上極板2的下方設(shè)置有顆粒池3,顆粒池3內(nèi)盛放有待分離顆粒6,待分離顆粒6—般為兩種不同尺寸的微米量級的顆粒。顆粒池3由不同目數(shù)的多層金屬網(wǎng)壓制而成;顆粒池3的表面最好處于水平狀態(tài),且顆粒池3的中心最好處于上、下極板的軸心線上。顆粒池3通過水平的連接桿與豎直的振動桿4相接,振動桿4穿出真空室I外。在真空室I外通過上下移動振動桿4可使顆粒池3上下移動,在真空室I外通過轉(zhuǎn)動振動桿4可使顆粒池3左右移動;在真空室I外通過使振動桿4振動可使顆粒池3內(nèi)的待分離顆粒6撒出顆粒池3外,振動桿4的振動可以通過人工手動操作,也可以通過電動操作,電動操作時其頻率可以為I?10Hz。顆粒池3與振動桿4之間的連接桿為絕緣桿,其材料可以為聚四氟乙烯;該絕緣桿可以防止顆粒池3在等離子體區(qū)域中由于導(dǎo)電而損壞振動桿4。由顆粒池3撒出的待分離顆粒6在等離子體環(huán)境中會帶上負電荷,并最終懸浮于下極板11上方的棘齒形等離子體鞘層中。
[0024]在真空室I的腔體上開有進氣口和出氣口。通過進氣口可向真空室I內(nèi)充入空氣或氬氣;在出氣口處安裝有用于測量真空室I內(nèi)氣壓的真空計13。真空室I內(nèi)的氣壓一般控制在5?200Pa之間。
[0025]在真空室I的腔體上開有兩個相對的側(cè)窗口5,兩個側(cè)窗口 5的連線正好處于顆粒分離器12的軸心線上,從而使得每一個側(cè)窗口 5對應(yīng)一個收集盒。在真空室I外與每一個側(cè)窗口 5對應(yīng)的部位分別設(shè)置一個半導(dǎo)體激光器8,半導(dǎo)體激光器8的功率范圍為0.01?2W,半導(dǎo)體激光器8所發(fā)激光的中心波長為532nm或650nm。在每一個半導(dǎo)體激光器8的前方(即朝向側(cè)窗口的一方)均設(shè)有一個斬波器9,在每一個斬波器9的前方均設(shè)有一個擴束鏡10。側(cè)窗口 5外部的半導(dǎo)體激光器8、斬波器9和擴束鏡10三者構(gòu)成一個光動力系統(tǒng)。光動力系統(tǒng)設(shè)置在升降臺7上,升降臺7與步進電機相連接。本實施例中步進電機的最小步長可達微米量級,因此可精確地對微米量級的顆粒進行掃描從而更好地觀察顆粒。步進電機、半導(dǎo)體激光器8和斬波器9均與控制器15(例如為計算機)相接,控制器15—方面控制步進電機的脈沖數(shù)和頻率,以驅(qū)動升降臺7上下運動,進而實現(xiàn)調(diào)整半導(dǎo)體激光器8、斬波器9及擴束鏡10的高度,使得半導(dǎo)體激光器8所發(fā)激光可照射到真空室I內(nèi)的棘齒凹面槽內(nèi)??刂破?5另一方面還控制半導(dǎo)體激光器8的照射時間以及斬波器9的脈沖頻率。通過設(shè)置應(yīng)保證兩個半導(dǎo)體激光器8所發(fā)的激光處于同一直線上,且兩個半導(dǎo)體激光器8所發(fā)激光的光強相等。
[0026]斬波器9位于半導(dǎo)體激光器8的前方,其作用是調(diào)節(jié)半導(dǎo)體激光器8所發(fā)激光的脈沖頻率;擴束鏡10用于對半導(dǎo)體激光器8所發(fā)激光進行擴束,以使激光可照射棘齒曲面槽內(nèi)所有懸浮著的待分離顆粒。在激光的照射下,加之棘齒曲面槽在等離子體環(huán)境中所形成的棘齒形等離子體鞘層的作用,通過調(diào)節(jié)斬波器9的脈沖頻率(即實現(xiàn)對激光脈沖頻率的調(diào)整),選擇合適的斬波器頻率,可使待分離顆粒6中的不同尺寸的兩種顆粒分別沿棘齒曲面槽軸心線向相反方向運動,以達到分離目的。由于不同尺寸顆粒的固有頻率不同,而棘齒曲面槽內(nèi)各棘齒具有不對稱性,即:棘齒兩側(cè)的坡度不同;對于大尺寸顆粒,其固有頻率低周期長,位置較低,相對通過緩坡更為容易,所以大尺寸顆粒向緩坡一側(cè)定向移動;對于小尺寸顆粒,其固有頻率較高周期短,位置較高,相對通過陡坡更為容易,所以小尺寸顆粒向陡坡一側(cè)定向移動。且尺寸小的顆粒運動的相對快些,尺寸大的顆粒運動的相對慢些。當顆粒運動到收集盒上方的等離子體鞘層內(nèi)時,由于失去了棘齒形等離子體鞘層的作用,因此顆粒將不再運動。待大尺寸顆粒和小尺寸顆粒分別進入兩個收集盒上方的等離子體鞘層內(nèi)后,關(guān)閉射頻電源,使上、下極板之間不再產(chǎn)生等離子體,即:使得收集盒上方的等離子體鞘層消失,此時大尺寸顆粒和小尺寸顆粒會自由下落,進而由兩個收集盒分別對兩種不同尺寸的顆粒進行收集。
[0027]下面以一具體例子介紹本發(fā)明中兩種不同尺寸的微米量級的顆粒分離的過程。
[0028]結(jié)合圖1和圖2,下極板11和顆粒分離器12的長度均為100_,顆粒分離器12為玻璃材質(zhì)。棘齒曲面槽的曲面彎曲度為180度,棘齒曲面槽中的棘齒個數(shù)為18個,每一個棘齒的齒深為3mm,齒長為6mm。待分離顆粒6(待分離顆粒6中包含兩種不同尺寸的顆粒,其中一種顆粒尺寸為23ym,另一種顆粒尺寸為1ym)置于真空室I內(nèi)的顆粒池3中;調(diào)節(jié)真空室I內(nèi)氣壓達到10Pa。設(shè)置射頻電源14的功率為20W,接通射頻電源14,使下極板11具有負偏壓,通過高頻放電在上、下極板之間產(chǎn)生均勻的等離子體。
[0029]打開半導(dǎo)體激光器8,設(shè)置其功率為50mW,半導(dǎo)體激光器8所發(fā)激光的中心波長為532nm。半導(dǎo)體激光器8所發(fā)的激光經(jīng)擴束鏡10擴束后形成激光束。通過調(diào)節(jié)擴束鏡10的水平位置,使激光經(jīng)擴束鏡10后所形成的激光束可覆蓋棘齒曲面槽的寬度范圍??刂撇竭M電機的脈沖數(shù)及頻率,調(diào)節(jié)升降臺7的高度,使水平面激光束可照射到真空室I內(nèi)的棘齒曲面槽內(nèi)。
[0030]電動操作振動桿4以使顆粒池3處于上、下極板的中心位置處。在真空室I外使振動桿4振動,從而帶動真空室I內(nèi)的顆粒池3振動,使得顆粒池3內(nèi)的顆粒撒出。撒完顆粒后轉(zhuǎn)動振動桿4將顆粒池3移離等離子體區(qū)域。
[0031]撒出的待分離顆粒6進入等離子體區(qū)域中,等離子體中帶負電的電子和帶正電的離子會積累到待分離顆粒6上,由于電子的運動速度遠大于離子的運動速度,因此當積累到待分離顆粒6上的電子流和離子流達到平衡時顆粒一般會帶上一定量的負電荷。顆粒在等離子體區(qū)域中會由于重力的作用而向下運動;當待分離顆粒6下落到棘齒曲面槽附近時,由于下極板11具有負電位,因此顆粒將受到向上的靜電場作用力。當顆粒受到的重力與靜電場力達到平衡時,顆粒將懸浮并被束縛在曲面棘齒狀玻璃槽內(nèi)。同時,由于顆粒都攜帶負電荷,它們之間將相互排斥,從而分散開,形成一個良好的分散懸浮體系。
[0032]調(diào)節(jié)升降臺7的高度,使激光束照射到棘齒鞘層凹槽內(nèi)的待分離顆粒6。調(diào)節(jié)斬波器9的頻率,使顆粒能夠穩(wěn)定懸浮在棘齒鞘層的凹槽之中,再調(diào)節(jié)斬波器9的脈沖頻率,使懸浮顆粒產(chǎn)生定向移動,以達到對不同尺寸的粒子進行分離的目的。
[0033]采用本發(fā)明分離兩種不同尺寸的顆粒時操作簡單、快速,無污染,很好的實現(xiàn)了對不同尺寸微米量級微小顆粒的分離。
【主權(quán)項】
1.一種干式微小顆粒分離裝置,其特征是,包括真空室,在所述真空室內(nèi)水平設(shè)置有上極板和下極板,所述上極板接地線,所述下極板連接射頻電源的功率電極,射頻電源的另一電極接地線;在所述下極板上設(shè)置有顆粒分離器,所述顆粒分離器包括中間部位由若干內(nèi)凹的棘齒依次鄰接而構(gòu)成的棘齒曲面槽以及兩端的收集盒;在所述棘齒曲面槽的上方設(shè)置有用于盛放待分離顆粒的顆粒池,所述顆粒池連接穿出所述真空室的振動桿;在所述真空室的外部設(shè)置有兩個相對的半導(dǎo)體激光器,且每一個半導(dǎo)體激光器分別對應(yīng)所述顆粒分離器中的一個收集盒;在每一個半導(dǎo)體激光器的前方均設(shè)有一個斬波器,在每一個斬波器的前方均設(shè)有一個擴束鏡。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干式微小顆粒分離裝置,其特征是,所述半導(dǎo)體激光器、所述斬波器以及所述擴束鏡均設(shè)置在升降臺上,所述升降臺與步進電機相連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的干式微小顆粒分離裝置,其特征是,所述步進電機、所述半導(dǎo)體激光器和所述斬波器均與控制器相接,所述控制器可控制所述步進電機工作,以驅(qū)動升降臺上下運動,進而實現(xiàn)調(diào)整所述半導(dǎo)體激光器、所述斬波器及所述擴束鏡的高度;所述控制器還可控制所述半導(dǎo)體激光器的照射時間以及所述斬波器的脈沖頻率。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干式微小顆粒分離裝置,其特征是,所述顆粒分離器由絕緣材料制成。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干式微小顆粒分離裝置,其特征是,所述棘齒曲面槽的曲面彎曲度為180°。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的干式微小顆粒分離裝置,其特征是,所述收集盒是通過在內(nèi)凹的半圓形凹槽兩側(cè)分別設(shè)置半圓環(huán)形的矮沿而形成。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干式微小顆粒分離裝置,其特征是,待分離顆粒為兩種不同尺寸的微米量級的顆粒。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干式微小顆粒分離裝置,其特征是,所述棘齒的齒深與齒長比例為1:2。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干式微小顆粒分離裝置,其特征是,所述真空室由不銹鋼腔體圍成,且不銹鋼腔體接地線;在所述不銹鋼腔體的側(cè)壁上設(shè)有兩個相對的側(cè)窗口,每一個側(cè)窗口對應(yīng)一個半導(dǎo)體激光器;所述半導(dǎo)體激光器所發(fā)的激光經(jīng)對應(yīng)的側(cè)窗口后照射到真空室內(nèi)的棘齒曲面槽內(nèi)。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干式微小顆粒分離裝置,其特征是,所述顆粒池由不同目數(shù)的多層金屬網(wǎng)壓制而成;所述振動桿呈豎直設(shè)置,所述顆粒池通過水平設(shè)置的絕緣桿與所述振動桿相接。
【文檔編號】B03C7/04GK105921286SQ201610521217
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2016年7月5日
【發(fā)明人】賀亞峰, 閆佳, 馮帆, 劉富成, 范偉麗, 董麗芳
【申請人】河北大學(xué)
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