到拋光液配制罐5內(nèi)，所述拋光原液桶2通過支管路22與主管路21連通，該支管路22上設(shè)置有氣動閥IV 9，其末端連接在主管路21上氣動閥I 8和供應(yīng)栗I 3之間的位置；
[0014]所述拋光液供應(yīng)管路24的首端連接在拋光液配制罐5的底部，末端依次連通氣動閥VI 13、供應(yīng)栗II 6、氣動閥νπ 18和過濾器20后向拋光機供應(yīng)拋光液；所述拋光液回流管路25的一端與拋光液供應(yīng)管路24的末端連通，另一端通過氣動閥VID 15連接在拋光液配制罐5的上部；所述循環(huán)支路26和取樣支路27上分別設(shè)有氣動閥IX 14和手動閥16，其中，循環(huán)支路26的一端與拋光液配制罐5的上部連接，另一端連接在拋光液供應(yīng)管路24上供應(yīng)栗II 6和氣動閥VII 18之間的位置，取樣支路27分流拋光液供應(yīng)管路24中經(jīng)過濾器20過濾后的拋光液，并導(dǎo)入取樣盒7內(nèi)；所述純水供應(yīng)管路23上設(shè)置有氣動閥V 12 ;
[0015]所述儲液罐4和拋光液配制罐5的上部分別設(shè)置有液位傳感器I 17和液位傳感器II 19，外設(shè)的控制系統(tǒng)根據(jù)液位傳感器I 17和液位傳感器II 19輸出的信號控制各氣動閥的通斷和供應(yīng)栗I 3、供應(yīng)栗II 6的啟停:
[0016]當(dāng)儲液罐4內(nèi)的拋光液原液液位到液位傳感器I 17時，氣動閥IV 9、氣動閥II 10及供應(yīng)栗I 3關(guān)閉，停止供應(yīng)拋光液原液，這時氣動閥IIIll打開，拋光液原液流入拋光液配制罐5中，待拋光原液完全流入拋光液配制罐5中后，氣動閥III 11關(guān)閉，同時氣動閥I 8、氣動閥II 10及供應(yīng)栗I 3打開，純水桶I內(nèi)純水供應(yīng)到儲液罐4中，當(dāng)純水液位到液位傳感器I 17時，氣動閥II 10、氣動閥I 8及供應(yīng)栗I 3關(guān)閉，停止向儲液罐4供應(yīng)純水，氣動閥III 11打開，純水流入拋光液配制罐5中，同時氣動閥V 12打開，純水流入拋光液配制罐5中，當(dāng)液位升到液位傳感器II 19時，氣動閥V 12關(guān)閉，氣動閥VI 13、氣動閥IX 14及供應(yīng)栗II 6打開，進行拋光液循環(huán)攪拌，循環(huán)到一定時間后，氣動閥IX 14關(guān)閉，氣動閥νπ 18、氣動閥VID 15打開，開始向拋光機供應(yīng)配制好的拋光液，當(dāng)拋光機不需要拋光液時，拋光液經(jīng)拋光液回流管路25及氣動閥VID 15回到拋光液配制罐5中，同時可以打開取樣支路27的手動閥16，在取樣盒7內(nèi)接取一定量的拋光液進行PH值檢測。
【主權(quán)項】
1.一種全自動拋光液配制系統(tǒng)，其特征在于:包括通過供應(yīng)栗將純水桶(I)內(nèi)純水抽入拋光液配制罐(5 )內(nèi)的主管路(21)、通過供應(yīng)栗將拋光原液桶(2 )內(nèi)拋光液原液抽入拋光液配制罐(5 )內(nèi)的支管路(22 )、向拋光液配制罐(5 )內(nèi)供應(yīng)純水的純水供應(yīng)管路(23 )、通過供應(yīng)栗向拋光機供應(yīng)拋光液的拋光液供應(yīng)管路(24)、與拋光液供應(yīng)管路(24)配合對拋光液配制罐(5)內(nèi)液體進行循環(huán)混合的循環(huán)支路(26)、分流拋光液供應(yīng)管路(24)中的拋光液進行取樣檢測的取樣支路(27)和在拋光機不需要拋光液時將拋光液導(dǎo)回拋光液配制罐(5 )的拋光液回流管路(25 )，所述主管路(21)和支管路(22 )分別將純水和拋光液原液導(dǎo)入到儲液罐(4 )內(nèi)，然后再由儲液罐(4 )供應(yīng)給拋光液配制罐(5 )，所述儲液罐(4 )和拋光液配制罐(5)內(nèi)設(shè)置有液位傳感器，外設(shè)的控制系統(tǒng)根據(jù)儲液罐(4)和拋光液配制罐(5)內(nèi)液位傳感器輸出的信號控制各管路的通斷以實現(xiàn)自動配液和供液。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動拋光液配制系統(tǒng)，其特征在于:所述純水桶(I)通過主管路(21)與拋光液配制罐(5)連通，在主管路(21)上依次設(shè)置有氣動閥I (8)、供應(yīng)栗1(3)、氣動閥II (10)、儲液罐(4)和氣動閥III (11)，供應(yīng)栗1(3)抽取純水桶(I)中的純水依次經(jīng)氣動閥I (8)、供應(yīng)栗I (3)、氣動閥II (10)、儲液罐(4)和氣動閥III(Il)進入到拋光液配制罐(5)內(nèi)，所述拋光原液桶(2)通過支管路(22)與主管路(21)連通，該支管路(22)上設(shè)置有氣動閥IV(9)，其末端連接在主管路(21)上氣動閥I (8)和供應(yīng)栗I (3)之間的位置。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動拋光液配制系統(tǒng)，其特征在于:所述拋光液供應(yīng)管路(24)的首端連接在拋光液配制罐(5)的底部，末端依次連通氣動閥VK13)、供應(yīng)栗II(6)、氣動閥VE(IS)和過濾器(20)后向拋光機供應(yīng)拋光液；所述拋光液回流管路(25)的一端與拋光液供應(yīng)管路(24)的末端連通，另一端通過氣動閥VID(15)連接在拋光液配制罐(5)的上部；所述循環(huán)支路(26)和取樣支路(27)上分別設(shè)有氣動閥IX(14)和手動閥(16)，其中，循環(huán)支路(26)的一端與拋光液配制罐(5)的上部連接，另一端連接在拋光液供應(yīng)管路(24)上供應(yīng)栗II (6)和氣動閥VE(IS)之間的位置，取樣支路(27)分流拋光液供應(yīng)管路(24)中經(jīng)過濾器(20 )過濾后的拋光液，并導(dǎo)入取樣盒(7 )內(nèi)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動拋光液配制系統(tǒng)，其特征在于:所述儲液罐(4)和拋光液配制罐(5)的上部分別設(shè)置有液位傳感器I (17)和液位傳感器II (19)，外設(shè)的控制系統(tǒng)根據(jù)液位傳感器I (17)和液位傳感器II (19)輸出的信號控制各管路的通斷。
【專利摘要】一種全自動拋光液配制系統(tǒng)，屬于單晶硅拋光片生產(chǎn)領(lǐng)域，主管路和支管路分別將純水和拋光液原液導(dǎo)入到儲液罐內(nèi)，然后再由儲液罐供應(yīng)給拋光液配制罐，儲液罐和拋光液配制罐內(nèi)設(shè)置有液位傳感器，外設(shè)的控制系統(tǒng)根據(jù)儲液罐和拋光液配制罐內(nèi)液位傳感器輸出的信號控制各管路的通斷以實現(xiàn)自動配液和供液。該配制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，配置拋光液濃度穩(wěn)定，沒有拋光液結(jié)晶，而且增加了取樣支路能及時檢測配置好的拋光液pH值，降低了人為誤差，保證了產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。
【IPC分類】B01F15/02, B01F15/04, B01F5/10
【公開號】CN204841441
【申請?zhí)枴緾N201520609185
【發(fā)明人】高燁, 胡曉亮, 李宏儒, 趙文龍, 魏海霞, 張磊, 焦二強, 陳衛(wèi)群
【申請人】麥斯克電子材料有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2015年8月14日