一種全自動(dòng)拋光液配制系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及到單晶硅拋光片生產(chǎn)領(lǐng)域，具體的說是一種全自動(dòng)拋光液配制系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前單晶硅拋光片生產(chǎn)領(lǐng)域使用的拋光液配制系統(tǒng)，主要是通過人工用量杯量取規(guī)定體積的拋光液原液倒入配制罐中，然后向配制罐內(nèi)手動(dòng)加水，水到規(guī)定液位后關(guān)閉純水閥門，打開循環(huán)栗進(jìn)行拋光液循環(huán)，循環(huán)一定時(shí)間后，關(guān)閉循環(huán)栗，打開拋光液供應(yīng)栗，向拋光設(shè)備提供拋光液，設(shè)備不需要拋光液時(shí)，拋光液經(jīng)過回流管道又回到配制罐中，達(dá)到按規(guī)定比例配制拋光液的目的，但現(xiàn)有人工配制拋光液系統(tǒng)存在以下缺點(diǎn):1)人工量取拋光液，存在量取誤差，不同操作人員量取的拋光原液存在量取差別，造成配制后的拋光液濃度出現(xiàn)波動(dòng)，會(huì)造成產(chǎn)品質(zhì)量不穩(wěn)定；2)用量杯量取拋光原液后，如果不及時(shí)沖洗量杯，長(zhǎng)時(shí)間放置量杯表面會(huì)存在拋光液結(jié)晶，再次配制時(shí)結(jié)晶會(huì)混入拋光液中，造成產(chǎn)品質(zhì)量下降；3)沒有取樣盒，配制后的拋光液不能及時(shí)取樣，不能檢測(cè)配制完成后拋光液的PH值，達(dá)不到及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題的目的。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為解決現(xiàn)有的拋光液配制系統(tǒng)存在的上述不足，本實(shí)用新型提供了一種全自動(dòng)拋光液配制系統(tǒng)，該配制系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)拋光液的自動(dòng)配制、自動(dòng)循環(huán)混合、自動(dòng)供應(yīng)、自動(dòng)回流和米樣。
[0004]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問題采用的技術(shù)方案為:一種全自動(dòng)拋光液配制系統(tǒng)，包括通過供應(yīng)栗將純水桶內(nèi)純水抽入拋光液配制罐內(nèi)的主管路、通過供應(yīng)栗將拋光原液桶內(nèi)拋光液原液抽入拋光液配制罐內(nèi)的支管路、向拋光液配制罐內(nèi)供應(yīng)純水的純水供應(yīng)管路、通過供應(yīng)栗向拋光機(jī)供應(yīng)拋光液的拋光液供應(yīng)管路、與拋光液供應(yīng)管路配合對(duì)拋光液配制罐內(nèi)液體進(jìn)行循環(huán)混合的循環(huán)支路、分流拋光液供應(yīng)管路中的拋光液進(jìn)行取樣檢測(cè)的取樣支路和在拋光機(jī)不需要拋光液時(shí)將拋光液導(dǎo)回拋光液配制罐的拋光液回流管路，所述主管路和支管路分別將純水和拋光液原液導(dǎo)入到儲(chǔ)液罐內(nèi)，然后再由儲(chǔ)液罐供應(yīng)給拋光液配制罐，所述儲(chǔ)液罐和拋光液配制罐內(nèi)設(shè)置有液位傳感器，外設(shè)的控制系統(tǒng)根據(jù)儲(chǔ)液罐和拋光液配制罐內(nèi)液位傳感器輸出的信號(hào)控制各管路的通斷以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)配液和供液。
[0005]所述純水桶通過主管路與拋光液配制罐連通，在主管路上依次設(shè)置有氣動(dòng)閥1、供應(yīng)栗1、氣動(dòng)閥I1、儲(chǔ)液罐和氣動(dòng)閥III，供應(yīng)栗I抽取純水桶中的純水依次經(jīng)氣動(dòng)閥1、供應(yīng)栗1、氣動(dòng)閥I1、儲(chǔ)液罐和氣動(dòng)閥III進(jìn)入到拋光液配制罐內(nèi)，所述拋光原液桶通過支管路與主管路連通，該支管路上設(shè)置有氣動(dòng)閥IV，其末端連接在主管路上氣動(dòng)閥I和供應(yīng)栗I之間的位置。
[0006]所述拋光液供應(yīng)管路的首端連接在拋光液配制罐的底部，末端依次連通氣動(dòng)閥V1、供應(yīng)栗I1、氣動(dòng)閥νπ和過濾器后向拋光機(jī)供應(yīng)拋光液；所述拋光液回流管路的一端與拋光液供應(yīng)管路的末端連通，另一端通過氣動(dòng)閥VID連接在拋光液配制罐的上部；所述循環(huán)支路和取樣支路上分別設(shè)有氣動(dòng)閥IX和氣動(dòng)閥X，其中，循環(huán)支路的一端與拋光液配制罐的上部連接，另一端連接在拋光液供應(yīng)管路上供應(yīng)栗II和氣動(dòng)閥VII之間的位置，取樣支路分流拋光液供應(yīng)管路中經(jīng)過濾器過濾后的拋光液，并導(dǎo)入取樣盒內(nèi)。
[0007]所述儲(chǔ)液罐和拋光液配制罐的上部分別設(shè)置有液位傳感器I和液位傳感器II，外設(shè)的控制系統(tǒng)根據(jù)液位傳感器I和液位傳感器II輸出的信號(hào)控制各管路的通斷。
[0008]有益效果:本實(shí)用新型通過從拋光原液桶自動(dòng)抽取拋光液原液供應(yīng)到儲(chǔ)液罐中，供應(yīng)到儲(chǔ)液罐中的拋光液原液體積由液位感應(yīng)器控制，當(dāng)達(dá)到液位感應(yīng)器感應(yīng)到液位時(shí)，自動(dòng)停止向儲(chǔ)液罐供應(yīng)拋光液原液，儲(chǔ)液罐將其內(nèi)的拋光原液流入拋光液配制罐中，達(dá)到自動(dòng)量取拋光液原液，自動(dòng)供應(yīng)拋光液原液的目的；同時(shí)，增加一個(gè)純水桶，當(dāng)儲(chǔ)液罐中的拋光液原液完全流入到拋光液配制罐后，純水桶中的純水自動(dòng)向儲(chǔ)液罐供應(yīng)純水，供應(yīng)的純水體積同樣由液位感應(yīng)器控制，達(dá)到液位后，純水流入拋光液配制罐中，達(dá)到純水沖洗儲(chǔ)液罐的目的，防止儲(chǔ)液罐內(nèi)拋光液結(jié)晶；在拋光液供應(yīng)管路上設(shè)置取樣支路，增加一個(gè)取樣盒，取樣盒中安裝有手動(dòng)閥，當(dāng)每配制完成一罐拋光液向拋光機(jī)供應(yīng)時(shí)，可以打開該取樣支路上的手動(dòng)閥，接取拋光液進(jìn)行檢測(cè)，達(dá)到及時(shí)檢測(cè)拋光液配比是否準(zhǔn)確的目的。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的系統(tǒng)圖；
[0010]附圖標(biāo)記:1、純水桶，2、拋光原液桶，3、供應(yīng)栗I，4、儲(chǔ)液罐，5、拋光液配制罐，6、供應(yīng)栗II，7、取樣盒，8、氣動(dòng)閥I，9、氣動(dòng)閥IV，10、氣動(dòng)閥II，11、氣動(dòng)閥III，12、氣動(dòng)閥V，13、氣動(dòng)閥VI，14、氣動(dòng)閥IX，15、氣動(dòng)閥廁，16、手動(dòng)閥，17、液位傳感器I，18、氣動(dòng)閥VII，19、液位傳感器II，20、過濾器，21、主管路，22、支管路，23、純水供應(yīng)管路，24、拋光液供應(yīng)管路，25、拋光液回流管路，26、循環(huán)支路，27、取樣支路。
【具體實(shí)施方式】
[0011]一種全自動(dòng)拋光液配制系統(tǒng)，包括通過供應(yīng)栗將純水桶I內(nèi)純水抽入拋光液配制罐5內(nèi)的主管路21、通過供應(yīng)栗將拋光原液桶2內(nèi)拋光液原液抽入拋光液配制罐5內(nèi)的支管路22、向拋光液配制罐5內(nèi)供應(yīng)純水的純水供應(yīng)管路23、通過供應(yīng)栗向拋光機(jī)供應(yīng)拋光液的拋光液供應(yīng)管路24、與拋光液供應(yīng)管路24配合對(duì)拋光液配制罐5內(nèi)液體進(jìn)行循環(huán)混合的循環(huán)支路26、分流拋光液供應(yīng)管路24中的拋光液進(jìn)行取樣檢測(cè)的取樣支路27和在拋光機(jī)不需要拋光液時(shí)將拋光液導(dǎo)回拋光液配制罐5的拋光液回流管路25，所述主管路21和支管路22分別將純水和拋光液原液導(dǎo)入到儲(chǔ)液罐4內(nèi)，然后再由儲(chǔ)液罐4供應(yīng)給拋光液配制罐5，所述儲(chǔ)液罐4和拋光液配制罐5內(nèi)設(shè)置有液位傳感器，外設(shè)的控制系統(tǒng)根據(jù)儲(chǔ)液罐4和拋光液配制罐5內(nèi)液位傳感器輸出的信號(hào)控制各管路的通斷以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)配液和供液。
[0012]下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的闡述。
[0013]如圖所示，所述純水桶I通過主管路21與拋光液配制罐5連通，在主管路21上依次設(shè)置有氣動(dòng)閥I 8、供應(yīng)栗I 3、氣動(dòng)閥II 10、儲(chǔ)液罐4和氣動(dòng)閥III11，供應(yīng)栗I 3抽取純水桶I中的純水依次經(jīng)氣動(dòng)閥I 8、供應(yīng)栗I 3、氣動(dòng)閥II 10、儲(chǔ)液罐4和氣動(dòng)閥III 11進(jìn)入