專利名稱：高純混合氣自動(dòng)配制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及工業(yè)氣體配制裝置，具體涉及一種用于兩種高純度氣體自動(dòng)配制
>J-U ρ α裝直。
背景技術(shù)：
現(xiàn)代工業(yè)有幾個(gè)特點(diǎn)，規(guī)模大、集成度高、技術(shù)含量高，特別是在電子行業(yè)，尤為明顯，其對(duì)各種高純度混合氣體的純度、氣體配比精度的要求非常高。目前國(guó)內(nèi)的技術(shù)和設(shè)備在配制混合氣體時(shí)很難精確地控制進(jìn)行混配的兩種氣體的比例，配制出來(lái)的氣體也不能進(jìn)行及時(shí)、準(zhǔn)確地進(jìn)行分析，致使配制出來(lái)的混合氣體的純度和配比精度很難達(dá)到企業(yè)的要求，大部分企業(yè)選擇從國(guó)外進(jìn)口工業(yè)氣體，進(jìn)而大大地增加了用氣企業(yè)的生產(chǎn)成本。

實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的上述不足，本實(shí)用新型提供的高純混合氣自動(dòng)配制裝置解決了傳統(tǒng)設(shè)備不能精確地控制混配時(shí)兩種氣體的比例及不能準(zhǔn)確地對(duì)混配好的氣體進(jìn)行分析等問(wèn)題。為了達(dá)到上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為提供一種高純混合氣自動(dòng)配制裝置，其包括氣體檢測(cè)通道、分別與PLC控制器連接的混配器、緩沖罐和分析儀，及若干過(guò)濾器；所述混配器、緩沖罐、氣體檢測(cè)通道、分析儀依次連接；所述混配器的輸入端與兩個(gè)過(guò)濾器連接。·優(yōu)選地，所述混配器與氣體檢測(cè)通道之間還設(shè)置有一條混合氣回收管道C。優(yōu)選地，所述混配器包括第一氣體通道a、第二氣體通道b、混合閥和電磁閥，所述第一氣體通道a和第二氣體通道b的輸入端各連接有一個(gè)過(guò)濾器,第一氣體通道a和第二氣體通道b的輸出端均與混合閥連接；所述電磁閥的一端與混合閥連接，另一端與緩沖罐連接；所述混合氣回收管道c的輸出端與第一氣體通道a的輸出端連接。優(yōu)選地，所述氣體檢測(cè)通道包括混合氣通道f及依次連接在一起的三通電磁閥、壓力調(diào)節(jié)閥和過(guò)濾器；所述混合氣通道f的輸入端與緩沖罐連接，其輸出端分別與混合氣回收管道c的輸入端和三通電磁閥連接。優(yōu)選地，所述氣體檢測(cè)通道還包括一條標(biāo)氣通道d，其輸出端與三通電磁閥的輸入端連接。優(yōu)選地，該自動(dòng)配制裝置還包括一個(gè)報(bào)警單元，所述報(bào)警單元與PLC控制器連接。優(yōu)選地，所述報(bào)警單元為一蜂鳴器或聲光報(bào)警器。本實(shí)用新型的有益效果為:1、該高純混合氣自動(dòng)配制裝置的混配器能夠準(zhǔn)確地控制進(jìn)入其的兩種氣體的比例，分析儀能夠?qū)崟r(shí)的對(duì)配制后的混合氣體進(jìn)行監(jiān)測(cè)分析，若氣體純度及比例達(dá)不到要求，分析儀將相關(guān)監(jiān)測(cè)信息發(fā)送給PLC控制器，PLC控制器控制混配器關(guān)閉的同時(shí)提醒工作人員檢查混配器，從而保證了配制出來(lái)的混合氣體的純度和比例的精確控制；[0013]2、標(biāo)氣通道d能夠在該自動(dòng)配制裝置配制前對(duì)分析儀進(jìn)行標(biāo)定，進(jìn)一步地保證了分析儀在檢測(cè)氣體時(shí)的準(zhǔn)確度；3、混合氣回收管道c能夠?qū)⑦M(jìn)入氣體檢測(cè)通道中多余的氣體輸送回混配器，避免了氣體資源的浪費(fèi)。

圖1為高純混合氣自動(dòng)配制裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，1、過(guò)濾器；2、混配器；3、緩沖罐；4、氣體檢測(cè)通道；5、分析儀；6、PLC控制
器；7、報(bào)警單元。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步地說(shuō)明:如圖1所示，該高純混合氣自動(dòng)配制裝置包括氣體檢測(cè)通道4、分別與PLC控制器6連接的混配器2、緩沖罐3、報(bào)警單元7和分析儀5，及若干過(guò)濾器I ;所述混配器2、緩沖罐
3、氣體檢測(cè)通道4、分析儀5依次連接；所述混配器2的輸入端與兩個(gè)過(guò)濾器I連接；所述混配器2與氣體檢測(cè)通道4之間還設(shè)置有一條混合氣回收管道C，所述報(bào)警單元7為一蜂鳴器或聲光報(bào)警器。所述混配器2包括第一氣體通道a、第二氣體通道b、混合閥和電磁閥，所述第一氣體通道a和第二氣體通道b的輸入端各連接有一個(gè)過(guò)濾器I，第一氣體通道a和第二氣體通道b的輸出端均與混合 閥連接；所述電磁閥的一端與混合閥連接，另一端與緩沖罐3連接；所述混合氣回收管道c的輸出端與第一氣體通道a的輸出端連接。所述氣體檢測(cè)通道4包括一條標(biāo)氣通道d、混合氣通道f及依次連接在一起的三通電磁閥、壓力調(diào)節(jié)閥和過(guò)濾器I ;所述混合氣通道f的輸入端與緩沖罐3連接，其輸出端分別與混合氣回收管道c的輸入端和三通電磁閥連接；所述標(biāo)氣通道d的輸出端與三通電磁閥的輸入端連接。采用該裝置進(jìn)行兩種氣體的配制:首先向氣體檢測(cè)通道4的標(biāo)氣通道d中通入標(biāo)準(zhǔn)氣體到分析儀5，對(duì)分析儀5進(jìn)行標(biāo)定；接著，將兩種氣體分別送入與第一氣體通道a和第二氣體通道b輸入端連接的過(guò)濾器I中進(jìn)行過(guò)濾，以保證氣體的純度，經(jīng)過(guò)過(guò)濾后的氣體分別進(jìn)入第一氣體通道a和第二氣體通道b進(jìn)行調(diào)壓后進(jìn)入混合閥進(jìn)行混配，配制完成后的混合氣體通過(guò)電磁閥進(jìn)入到緩沖罐3儲(chǔ)存；有配制好的混合氣體進(jìn)入緩沖罐3的同時(shí)，分析儀5對(duì)通過(guò)氣體檢測(cè)通道4的混合氣通道f輸入的混合氣進(jìn)行純度和混配比例的檢查，若混配比例和氣體純度符合生產(chǎn)要求，混配器2繼續(xù)混制，若是混配比例和氣體純度不符合生產(chǎn)需求，分析儀5將信號(hào)傳輸給PLC控制器6，PLC控制器6控制混配器2停止工作，并同時(shí)提醒工作人員檢查混配器2。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行若干改進(jìn)，這些改進(jìn)也落入本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種高純混合氣自動(dòng)配制裝置，其特征在于:包括氣體檢測(cè)通道(4)、分別與PLC控制器(6)連接的混配器(2)、緩沖罐(3)和分析儀(5)，及若干過(guò)濾器(I);所述混配器(2)、緩沖罐(3)、氣體檢測(cè)通道(4)、分析儀(5)依次連接；所述混配器(2)的輸入端與兩個(gè)過(guò)濾器(I)連接。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純混合氣自動(dòng)配制裝置，其特征在于:所述混配器(2)與氣體檢測(cè)通道(4 )之間還設(shè)置有一條混合氣回收管道(c )。
3、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高純混合氣自動(dòng)配制裝置，其特征在于:所述混配器(2)包括第一氣體通道(a)、第二氣體通道(b)、混合閥和電磁閥，所述第一氣體通道(a)和第二氣體通道(b)的輸入端各連接有一個(gè)過(guò)濾器(1)，第一氣體通道(a)和第二氣體通道(b)的輸出端均與混合閥連接；所述電磁閥的一端與混合閥連接，另一端與緩沖罐(3)連接；所述混合氣回收管道(C)的輸出端與第一氣體通道(a)的輸出端連接。
4、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高純混合氣自動(dòng)配制裝置，其特征在于:所述氣體檢測(cè)通道(4)包括混合氣通道(f)及依次連接在一起的三通電磁閥、壓力調(diào)節(jié)閥和過(guò)濾 器(I);所述混合氣通道(f)的輸入端與緩沖罐(3)連接，其輸出端分別與混合氣回收管道(c)的輸入端和三通電磁閥連接。
5、根據(jù)權(quán)利要求4所述的高純混合氣自動(dòng)配制裝置，其特征在于:所述氣體檢測(cè)通道(4)還包括一條標(biāo)氣通道(d)，其輸出端與三通電磁閥的輸 入端連接。
6、根據(jù)權(quán)利要求1、2或5所述的高純混合氣自動(dòng)配制裝置，其特征在于:該自動(dòng)配制裝置還包括一個(gè)報(bào)警單元(7 )，所述報(bào)警單元(7 )與PLC控制器(6 )連接。
7、根據(jù)權(quán)利要求6所述的高純混合氣自動(dòng)配制裝置，其特征在于:所述報(bào)警單元(7)為一蜂鳴器或聲光報(bào)警器。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高純混合氣自動(dòng)配制裝置，包括氣體檢測(cè)通道、分別與PLC控制器連接的混配器、緩沖罐和分析儀，及若干過(guò)濾器；所述混配器、緩沖罐、氣體檢測(cè)通道、分析儀依次連接；所述混配器的輸入端與兩個(gè)過(guò)濾器連接。該高純混合氣自動(dòng)配制裝置的混配器能夠準(zhǔn)確地控制進(jìn)入其的兩種氣體的比例，分析儀能夠?qū)崟r(shí)的對(duì)配制后的混合氣體進(jìn)行監(jiān)測(cè)分析，若氣體純度及比例達(dá)不到要求，分析儀將相關(guān)監(jiān)測(cè)信息發(fā)送給PLC控制器，PLC控制器控制混配器關(guān)閉的同時(shí)提醒工作人員檢查混配器，從而保證了配制出來(lái)的混合氣體的純度和比例的精確控制。
文檔編號(hào)B01F3/02GK203090780SQ20132001981
公開(kāi)日2013年7月31日 申請(qǐng)日期2013年1月15日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月15日
發(fā)明者李涌濤 申請(qǐng)人:成都成鋼梅塞爾氣體產(chǎn)品有限公司