技術(shù)編號(hào)：9172406
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。目前單晶硅拋光片生產(chǎn)領(lǐng)域使用的拋光液配制系統(tǒng)，主要是通過(guò)人工用量杯量取規(guī)定體積的拋光液原液倒入配制罐中，然后向配制罐內(nèi)手動(dòng)加水，水到規(guī)定液位后關(guān)閉純水閥門，打開循環(huán)栗進(jìn)行拋光液循環(huán)，循環(huán)一定時(shí)間后，關(guān)閉循環(huán)栗，打開拋光液供應(yīng)栗，向拋光設(shè)備提供拋光液，設(shè)備不需要拋光液時(shí)，拋光液經(jīng)過(guò)回流管道又回到配制罐中，達(dá)到按規(guī)定比例配制拋光液的目的，但現(xiàn)有人工配制拋光液系統(tǒng)存在以下缺點(diǎn)1)人工量取拋光液，存在量取誤差，不同操作人員量取的拋光原液存在量取差別，造成配制后的拋...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。