一種廢膠過濾裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種廢膠過濾裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)今半導(dǎo)體晶片在GPP生產(chǎn)過程中因其特性需要用到大量光刻膠進(jìn)行掩膜作業(yè)，使用方式為旋轉(zhuǎn)涂覆，涂覆在晶片表面的有效光刻膠量為滴膠總量的1/3，其余2/3光刻膠在旋轉(zhuǎn)過程中被甩出流入廢膠收集瓶內(nèi)，因廢膠內(nèi)含有碎片，固化膠塊等顆粒狀雜物及其粘性發(fā)生變化，所以不再使用進(jìn)行報(bào)廢處理。廢膠沒有過濾重復(fù)使用的方法，直接排掉造成成本浪費(fèi)；廢膠為有機(jī)化學(xué)物質(zhì)其分解過程漫長，處理存在較大困難，直接排掉造成環(huán)境污染。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型為了解決上述技術(shù)問題，提供一種廢膠過濾裝置，它具有緩解環(huán)保壓力和降低生產(chǎn)成本等優(yōu)點(diǎn)。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案。
[0005]一種廢膠過濾裝置，包括:進(jìn)膠漏斗、不銹鋼過濾器、過濾網(wǎng)芯、壓力表、進(jìn)膠管、出膠管、進(jìn)氣管及出氣管；所述不銹鋼過濾器上部設(shè)有進(jìn)膠管，上部左側(cè)設(shè)有出氣管，下部設(shè)有出膠管，進(jìn)膠管、出氣管、出膠管分別與不銹鋼過濾器連通；所述進(jìn)膠管上部設(shè)有進(jìn)膠漏斗，進(jìn)膠管右側(cè)設(shè)有進(jìn)氣管，進(jìn)膠漏斗和進(jìn)氣管分別與進(jìn)膠管相連通，進(jìn)氣管上設(shè)有壓力表；所述不銹鋼過濾器底部設(shè)有過濾網(wǎng)芯。
[0006]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述進(jìn)氣管、出氣管上分別設(shè)有進(jìn)氣閥門、出氣閥門，進(jìn)氣閥門設(shè)在壓力表的右側(cè)，通過進(jìn)氣閥門、出氣閥門與壓力表控制不銹鋼過濾器內(nèi)壓力，便于黏性的膠液在氮?dú)鈮毫ψ饔孟马樌ㄟ^過濾網(wǎng)芯。
[0007]所述進(jìn)膠管上設(shè)有進(jìn)膠閥門，進(jìn)膠閥門設(shè)在進(jìn)氣管上方，出膠管上設(shè)有出膠閥門。
[0008]所述過濾裝置還包括收集瓶，用于儲蓄過濾后的膠液。
[0009]本實(shí)用新型所達(dá)到的有益效果:本發(fā)明解決了廢膠過濾后重復(fù)使用的技術(shù)難題，廢膠過濾重復(fù)使用可節(jié)約光刻膠近2/3成本，降低生產(chǎn)成本。廢膠過濾裝置實(shí)現(xiàn)了生產(chǎn)材料的循環(huán)使用，減少有機(jī)物質(zhì)的排放，有利于緩解環(huán)保壓力，保護(hù)環(huán)境。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]其中附圖標(biāo)記為:1、進(jìn)膠漏斗；2、不銹鋼過濾器；3、過濾網(wǎng)芯；4、壓力表；5、進(jìn)膠管；6、出膠管；7、進(jìn)氣管；8、出氣管；9、進(jìn)膠閥門；10、出膠閥門；11、進(jìn)氣閥門；12、出氣閥門。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖與實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0013]如圖1所示，一種廢膠過濾裝置，包括:進(jìn)膠漏斗1、不銹鋼過濾器2、過濾網(wǎng)芯3、壓力表4、進(jìn)膠管5、出膠管6、進(jìn)氣管7及出氣管8。
[0014]所述不銹鋼過濾器2上部設(shè)有進(jìn)膠管5，上部左側(cè)設(shè)有出氣管8，下部設(shè)有出膠管6，進(jìn)膠管5、出氣管8、出膠管6分別與不銹鋼過濾器2內(nèi)部連通；所述進(jìn)膠管5上部設(shè)有進(jìn)膠漏斗1，進(jìn)膠管5右側(cè)設(shè)有進(jìn)氣管7，進(jìn)膠漏斗I和進(jìn)氣管7分別與進(jìn)膠管(5)相連通，進(jìn)氣管7上設(shè)有壓力表4 ;所述不銹鋼過濾器2底部設(shè)有過濾網(wǎng)芯3。所述進(jìn)膠管5上設(shè)有進(jìn)膠閥門9，進(jìn)膠閥門9設(shè)在進(jìn)氣管7的上方，出膠管6上設(shè)有出膠閥門10。
[0015]所述進(jìn)氣管7、出氣管8上分別設(shè)有進(jìn)氣閥門11、出氣閥門12，進(jìn)氣閥門11設(shè)在壓力表4的右側(cè)，通過進(jìn)氣閥門11、出氣閥門12與壓力表4控制不銹鋼過濾器2內(nèi)部的壓力，便于黏性的膠液在氮?dú)鈮毫ψ饔孟马樌ㄟ^過濾網(wǎng)芯3 ;所述過濾裝置還包括收集瓶，用于儲蓄過濾后的膠液。
[0016]本實(shí)施例的具體操作程序如下。
[0017]關(guān)閉出膠閥門10，打開進(jìn)膠閥門9，將一定量廢膠倒入進(jìn)膠漏斗I內(nèi)，膠液流經(jīng)進(jìn)膠管5到達(dá)不銹鋼過濾器2內(nèi)，然后關(guān)閉進(jìn)膠閥門9，打開進(jìn)氣閥門11，氮?dú)饨?jīng)過進(jìn)氣管7到達(dá)不銹鋼過濾器2內(nèi)，調(diào)節(jié)壓力表4至一定壓力范圍，同時緩慢打開出氣閥門12，避免不銹鋼過濾器2內(nèi)壓力過高，通過增強(qiáng)不銹鋼過濾器2壓力將廢膠壓向不銹鋼過濾器2底部的過濾網(wǎng)芯3，然后緩慢打開出膠閥門10，過濾后的膠液流入收集瓶內(nèi)。
[0018]上述雖然結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行了描述，但并非對本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限制，所屬領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，在本實(shí)用新型的技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本領(lǐng)域技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性勞動即可做出的各種修改或變形仍在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍以內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種廢膠過濾裝置，其特征是，包括:進(jìn)膠漏斗(I)、不銹鋼過濾器(2)、過濾網(wǎng)芯(3)、壓力表(4)、進(jìn)膠管(5)、出膠管(6)、進(jìn)氣管(7)及出氣管⑶；所述不銹鋼過濾器(2)上部設(shè)有進(jìn)膠管(5)，上部左側(cè)設(shè)有出氣管(8)，下部設(shè)有出膠管￠)，進(jìn)膠管(5)、出氣管(8)、出膠管(6)分別與不銹鋼過濾器(2)連通；所述進(jìn)膠管(5)上部設(shè)有進(jìn)膠漏斗(1)，進(jìn)膠管(5)右側(cè)設(shè)有進(jìn)氣管(7)，進(jìn)膠漏斗(I)和進(jìn)氣管(7)分別與進(jìn)膠管(5)相連通，進(jìn)氣管(7)上設(shè)有壓力表(4);所述不銹鋼過濾器(2)底部設(shè)有過濾網(wǎng)芯(3)。2.如權(quán)利要求1所述的廢膠過濾裝置，其特征是，所述進(jìn)氣管(7)、出氣管(8)上分別設(shè)有進(jìn)氣閥門(11)、出氣閥門(12)，進(jìn)氣閥門(11)設(shè)在壓力表(4)的右側(cè)。3.如權(quán)利要求1所述的廢膠過濾裝置，其特征是，所述進(jìn)膠管(5)上設(shè)有進(jìn)膠閥門(9)，進(jìn)膠閥門(9 )設(shè)在進(jìn)氣管(7 )上方，出膠管(6 )上設(shè)有出膠閥門(10 )。4.如權(quán)利要求1所述的廢膠過濾裝置，其特征是，所述廢膠過濾裝置還包括儲蓄過濾后膠液的收集瓶。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種廢膠過濾裝置，包括：進(jìn)膠漏斗（1）、不銹鋼過濾器（2）、過濾網(wǎng)芯（3）、壓力表（4）、進(jìn)膠管（5）、出膠管（6）、進(jìn)氣管（7）及出氣管（8）；所述不銹鋼過濾器（2）上部設(shè)有進(jìn)膠管（5），上部左側(cè)設(shè)有出氣管（8），下部設(shè)有出膠管（6），進(jìn)膠管（5）、出氣管（8）、出膠管（6）分別與不銹鋼過濾器（2）內(nèi)部連通；所述進(jìn)膠管（5）上部設(shè)有進(jìn)膠漏斗（1），進(jìn)膠管（5）右側(cè)設(shè)有進(jìn)氣管（7），進(jìn)膠漏斗（1）和進(jìn)氣管（7）分別與進(jìn)膠管（5）相連通，進(jìn)氣管(7)上設(shè)有壓力表(4)；所述不銹鋼過濾器(2)底部設(shè)有過濾網(wǎng)芯(3)。本實(shí)用新型具有緩解環(huán)保壓力和降低生產(chǎn)成本等優(yōu)點(diǎn)。
【IPC分類】B01D29/58
【公開號】CN204841122
【申請?zhí)枴緾N201520616883
【發(fā)明人】郭城, 呂明, 趙海玲, 郭英云, 盧國香
【申請人】山東科芯電子有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2015年8月17日