專利名稱：：氣體處理劑及其制造方法與氣體提純法、氣體提純器、及氣體提純裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明是關(guān)于一種存在有氧的環(huán)境下，使含于鉑的一氧化碳和/或氫氧化，同時(shí)經(jīng)吸附除去所生成的二氧化碳和/或水蒸氣。特別是，關(guān)于一種在壓縮空氣，除去所含的微量雜質(zhì)，冷卻，進(jìn)行液化精餾而分離制造高純度氮、氧等的空氣液化分離裝置的原料氣體提純系統(tǒng)，以及使用于自壓縮空氣氧化并除去一氧化碳和/或氫的氣體提純器的氣體提純用處理劑。而且，關(guān)于該氣體提純用處理劑的制造方法，使用該氣體提純用處理劑的氣體提純法及氣體提純器的氣體提純裝置。熟知，用于制造高純度氮等空氣液化分離裝置的提純?cè)峡諝獾臍怏w提純用處理劑，使用鉑載體氧化鋁催化劑或鈀載體氧化鋁催化劑等。這些催化劑，為了在大氣壓中氧化并除去含1至數(shù)ppm的一氧化碳和/或氫，故必須于100℃-250℃的溫度范圍下使用，而且因?yàn)檠趸蹲剿傻亩趸?、水蒸氣，故反?yīng)后必須使氣體冷卻，而且使用吸附劑除去。因此，加熱多量空氣與催化劑，而且不使用用以捕捉二氧化碳、水蒸氣的冷卻設(shè)備與吸附劑不行，非常不經(jīng)濟(jì)。日本專利公報(bào)特開(kāi)平4-219111號(hào)公報(bào)中公開(kāi)，于4.4℃-50℃的反應(yīng)溫度下使用催化劑制造高純度氣體的方法系，于室溫附近使用催化劑的氣體提純例。此方法是，借助于含有一氧化碳、氫、二氧化碳、水蒸氣的空氣流動(dòng)，首先以吸附劑除去水蒸氣，接著以氧化鉬與氧化銅的混合物將一氧化碳氧化成二氧化碳后，使用鈀催化劑將氫氧化成水蒸氣，在這些催化劑的最后段配置吸附劑，吸附去除二氧化碳和水蒸氣。然而，氧化一氧化碳與氫時(shí)分別需要一氧化碳反應(yīng)用與氫反應(yīng)用催化劑層，而且，為了從處理氣體去除氧化反應(yīng)時(shí)生成的二氧化碳和水蒸氣，在催化劑層后段需要額外的吸附劑層。相同地，日本專利公報(bào)特開(kāi)平10-85588號(hào)公報(bào)中也公開(kāi)了，于0℃-100℃的反應(yīng)溫度下使用催化劑的氣體提純例。此方法是，在氧的環(huán)境下，個(gè)別單獨(dú)或組合使用金載體金屬氧化物或堿土類氫氧化物或鈀，以及二氧化碳吸附能力、水分吸附能力強(qiáng)的載附于吸附劑的催化劑，而除去含于氣體中的一氧化碳、氫、二氧化碳、水分。然而，具有優(yōu)良一氧化碳吸附能力與水分吸附能力的吸附劑，因其上載附有催化劑成分，所以，其催化活性點(diǎn)上一氧化碳與氫的氧化生成而吸附蓄積的二氧化碳與水蒸氣具有以下缺點(diǎn)阻礙氣體流中的一氧化碳與氫吸附于催化活性點(diǎn)上，甚至?xí)璧K催化活性，而且維持氣體流中一氧化碳與氫氧化能的時(shí)間較短。因此，本發(fā)明的目的就是提供一種氣體提純用處理劑，于0℃-100℃的溫度范圍內(nèi)，具有可同時(shí)吸附去除氧化一氧化碳和/或氫，所生成的二氧化碳和/或水分的雙重功能，而且，此吸附能力能持續(xù)較長(zhǎng)時(shí)間。本發(fā)明為了解決上述課題，其目的在于，提供一種氣體處理劑及其制造方法，以及氣體提純法、氣體提純器、及氣體提純裝置，可同時(shí)去除含于氣體中的一氧化碳、氫、二氧化碳及水分的氣體處理劑，保有高度氧化活性，而且壽命長(zhǎng)。本發(fā)明的發(fā)明人等，為了解決上述課題經(jīng)討論結(jié)果研究出，在含氧的環(huán)境0℃-80℃下，氧化含于氣體中的一氧化碳(CO)和/或氫(H2)，同時(shí)除去所生成的二氧化碳(CO2)和/或水分(H2O)，壽命較長(zhǎng)的氣體處理劑，而完成本發(fā)明。本發(fā)明的目的在于提供一種氣體處理劑，該氣體處理劑由，以無(wú)機(jī)多孔性物質(zhì)形成的催化劑與吸附劑構(gòu)成，該無(wú)機(jī)多孔性物質(zhì)層含有由鉑(Pt)、鈀(Pd)、釕(Ru)、銠(Rh)所組成的群體中選出的元素或其氧化物的至少一種物質(zhì)。而且，本發(fā)明的另一目的在于提供一種上述氣體處理劑的制造方法，以及使用該氣體處理劑的氣體提純法、氣體提純器與氣體提純裝置。本發(fā)明的氣體處理劑是，于吸附劑表面形成無(wú)機(jī)多孔性物質(zhì)層，該無(wú)機(jī)多孔性物質(zhì)層含有由Pt、Pd、Ru與Rh所組成的群體中選出的元素或其氧化物的至少一種物質(zhì)。本發(fā)明氣體處理劑中，使用載附由Pt、Pd、Ru與Rh所組成的群體中選出的元素或其氧化物的無(wú)機(jī)多孔性物質(zhì)，作為使氣體中的CO或H2氧化的催化劑。被載附的Pt、Pd、Ru和Rh一種也可，二種以上也可。而且，被載附物呈金屬狀態(tài)也可，呈氧化物狀態(tài)也可，但是金屬狀態(tài)較佳。用以作為無(wú)機(jī)多孔性物質(zhì)，最好使用氧化鋁、二氧化鈦、二氧化硅、矽鋁(硅酸鋁)、氧化鋯、氧化錫、氧化鑭、氧化鈰、活性炭、石墨碳。其中，氧化鋁、二氧化硅、矽鋁、二氧化鈦、氧化鋯、氧化錫更佳?？蓡为?dú)使用一種，也可二種以上混合使用。這些無(wú)機(jī)多孔性物質(zhì)的比表面積為10m2/g以上較佳，30m2/g更佳。比表面積小于10m2/g時(shí)，被載附于上述無(wú)機(jī)多孔性物質(zhì)成分的分散狀態(tài)將變差，活性也傾于降低。而且，被載附成分的載附量，相對(duì)于氣體處理劑的全部重量(催化劑重量+下述吸附劑重量)，金屬換算最好是0.25-10重量％，0.50-5重量％更佳。載附量少于0.25重量％時(shí)，氫氧化活性容易降低，多于10重量％時(shí)活性無(wú)法隨著載附量增加，較不經(jīng)濟(jì)。使此種催化劑以層狀形成于吸附劑。催化劑的厚度最好是10-500μm，30-200μm更佳。厚度不到10μm時(shí)，所生成的CO2或H2O，容易阻礙CO或H2對(duì)催化活性點(diǎn)的吸附。而，若厚度超過(guò)500μm則催化劑層容易剝落。上述催化劑使氣體中的CO或H2氧化，成為CO2或H2O。本發(fā)明的氣體處理劑，為了吸附這些生成的CO2或H2O，而使用吸附劑。吸附劑，只要適合于本發(fā)明的目的，其他并無(wú)特別的限制?？墒褂美绶惺?、活性氧化鋁、活性炭，作為吸附劑。這些之中，使用沸石較佳。沸石的比表面積最好大于100m2/g。比表面積小于100m2/g時(shí)容易降低吸附性能。沸石中，特別是Li-X型、Na-X型、Ca-X型、Ba-X型、Na-A型、K-A型、Ca-A型較佳。吸附劑的形狀，并無(wú)限制，依條件適當(dāng)?shù)剡x擇球狀、顆粒狀等即可。而，吸附劑的規(guī)格也是依使用條件選擇適當(dāng)?shù)募纯?。本發(fā)明的氣體處理劑在吸附劑上形成催化劑層，催化劑層氧化的CO2或H2O，未經(jīng)留于催化劑層即立刻被催化劑層的吸附劑吸附。因此，催化劑層可對(duì)CO或H2維持高度氧化活性。本發(fā)明的氣體處理劑，不但可同時(shí)自氣體除去CO、H2、CO2及H2O，對(duì)于氧化CO、H2與吸附CO2、H2O皆具有較長(zhǎng)壽命。氣體處理劑，可由下述方法制造。較佳的制造方法包括(a)調(diào)制催化劑的前體或催化劑的研漿步驟；(b)使研漿附著于吸附劑再燒結(jié)的步驟。此處，調(diào)制催化劑前體的研漿的方法，可混合例如水、無(wú)機(jī)多孔性物質(zhì)的粉末、被載附的Pt、Pd、Rh或Ru的原材料及膠粘劑等，再粉碎而得到?？墒褂美缏然Z、氯化銠等氯化物，硝酸鈀、硝酸釕等硝酸鹽，硫酸銠、硫酸釕等硫酸鹽，乙酸鈀、乙酸銠等乙酸鹽，作為被載附成分的原材料。而且，也可使用此些元素的有機(jī)酸鹽、胺鹽、堿鹽、有機(jī)襄復(fù)體等?？墒褂美?，硫酸鋁、硝酸鋁、硅酸鈉、二氧化硅溶膠、氧化鋁溶膠、氧化鋯溶膠等作為膠粘劑。而且，可使用乙酸等有機(jī)酸、硝酸等無(wú)機(jī)酸代替上述膠粘劑。而且，還可視需要添加消泡劑。接著，使研漿附著于吸附劑的方法，并無(wú)特別的限制，例如，浸漬法、噴霧法等習(xí)知方法。燒結(jié)也可在空氣中也可在不活性氣體中，燒結(jié)溫度最好在200-600℃，400-500℃更佳，燒結(jié)時(shí)間最好是30分鐘-5小時(shí)，1-3小時(shí)更佳。而且上述(b)步驟后，也進(jìn)行氣相還原工藝。由氣相還原工藝可制造具有更高活性的氣體處理劑。此氣相還原工藝所使用的還原劑可使用，氫或與氫及氮等不活性氣體的混合氣體。還原溫度最好在150-500℃，500-400℃更佳，還原時(shí)間最好是30分鐘-5小時(shí)，2-3小時(shí)更佳。上述氣體處理劑的另一較佳制造方法包括下列步驟(a)調(diào)制上述無(wú)機(jī)多孔性物質(zhì)的研漿的步驟；(b)使研漿附著于吸附劑再燒結(jié)的步驟；(c)調(diào)制由鉑、鈀、釕與銠所組成的群體中至少選出一種的原材料研漿的步驟；(d)使研漿附著于該吸附劑再燒結(jié)的步驟。而且，此(d)步驟后也可進(jìn)行氣相還原。圖1為，電子束微分析器(EPMA)測(cè)定的上述制造方法制造的氣體處理劑的模式圖。得知吸附劑上形成催化劑層。接著，說(shuō)明可達(dá)成上述目的的氣體提純法。此氣體提純法的實(shí)施方案是，提純被視為微量雜質(zhì)的至少含一氧化碳和/或氫的原料氣體，再除去該微量雜質(zhì)的氣體提純法，使用具有上述氧化催化性能與吸附性能的氣體處理劑作為上述原料氣體，設(shè)定溫度為0-80℃再提純。上述氣體處理劑，由下述評(píng)價(jià)結(jié)果明顯得知，常溫左右較適于使用。用于常溫附近操作的氣體提純器、氣體提純裝置，具有操作成本上的優(yōu)勢(shì)。而且，對(duì)于氫與氫的氧化反應(yīng)，高溫時(shí)較有益于反應(yīng)，由氧化反應(yīng)提純的二氧化碳與水的吸附去除能力在低溫時(shí)較易進(jìn)行，故本氣體處理劑若于低于100℃，最好是低于80℃的環(huán)境下，較適于進(jìn)行所預(yù)期的氣體處理操作。圖2為，本發(fā)明的實(shí)施方案中，適用于空氣液化分離裝置的前處理時(shí)的提純器及提純裝置。圖2中，氣體提純器11a、11b順著空氣流動(dòng)方向，在具有原料氣體導(dǎo)入口與導(dǎo)出口的充填用容器內(nèi)，由吸附去除壓縮空氣中水分的吸附劑(例如活性氧化鋁)形成的第一吸附劑層28，及由吸附去除壓縮空氣中的二氧化碳的吸附劑(例如，Na-X形沸石)的第二吸附劑層29，及由上述氣體處理劑形成的氣體處理劑層30構(gòu)成，該氣體處理劑在氧存在的環(huán)境下，將氧化一氧化碳與氫的含金屬催化劑涂布于吸附劑。以空氣壓縮機(jī)加壓的原料空氣，經(jīng)分離在空冷或水冷時(shí)以適當(dāng)溫度冷卻的凝縮水后，被導(dǎo)入第一吸附劑層28。第一吸附劑層28的吸附劑是干燥劑，被含于壓縮空氣中的大部分水分被吸附去除后，成為高度干燥狀態(tài)而被導(dǎo)入第二吸附劑層29。此處的干燥狀態(tài)中，露點(diǎn)最好高于-70℃。第二吸附劑層29中，含于壓縮空氣被吸附去除的二氧化碳非常少(約低于1ppm)。而且，上述水分和/或二氧化碳吸附劑具有，可吸附含于上述原料氣體的引起催化劑中毒成分的功能。因此，壓縮空氣在通過(guò)第一、第二吸附劑層28、29的期間，可對(duì)含于其中的極微量揮發(fā)性碳?xì)浠衔镱悺⒂袡C(jī)硫磺化合物、硫磺氧化物、氮氧化物等，含于空氣中的氧化活性除去其有害的成分，而對(duì)催化劑形成清凈的條件。然后，對(duì)催化劑為清凈條件的壓縮空氣，被導(dǎo)入一氧化碳與氫處理去除用的上述氣體處理劑層30，含于壓縮空氣中的微量一氧化碳與氫，經(jīng)由含有對(duì)被涂布于上述吸附劑的一氧化碳與氫進(jìn)行氧化處理的金屬的催化劑層的催化劑作用，而與加壓空氣中的氧反應(yīng)，被變換為二氧化碳與水。此二氧化碳與水，可立即被催化劑載體吸附而被從原料空氣去除。接著從圖3說(shuō)明本發(fā)明的其他實(shí)施方案。如圖3，氣體提純器11a、11b中，于氣體處理劑層30前段僅設(shè)置一層吸附劑層31，即作為二層充填式提純器。此例中，于前段吸附劑層31，使用可同時(shí)吸附水分與二氧化碳二者的吸附劑(具有上述吸附劑層28+29的吸附劑，例如Na-X型沸石)，預(yù)先除去原料空氣中所含有的水分與二氧化碳，接著于氣體處理劑層30，除去微量的一氧化碳與氫。然后，也可于前段吸附劑層31，使用吸附去除水分的吸附劑(例如活性氧化鋁)。上述氣體提純器，為達(dá)到上述目的，于具有原料氣體導(dǎo)入口及導(dǎo)出口的充填用容器中，自原料氣體導(dǎo)入口側(cè)依序形成，水分吸附劑充填層、二氧化碳吸附劑充填層，再形成具有上述氧化催化劑功能與吸附功能的氣體處理劑充填層，或是形成水分與二氧化碳吸附劑充填層，再形成上述氣體處理劑的充填層，或是形成水分吸附劑充填層，再形成上述氣體處理劑的充填層，然后充填上述吸附劑與上述氣體處理劑。特別是，上述吸附劑類為具有可吸附含于上述原料氣體的引起催化劑中毒的成分的功能的吸附劑的氣體提純器。為達(dá)成上述目的，本發(fā)明氣體提純裝置包括，多級(jí)的上述氣體提純器，及切換裝置，用以使該氣體提純器的提純操作與再生操作交互切換，及再生氣體供給裝置，用以以向流方向供給于再生操作的該提純器中再生氣體，而交互切換使用氣體提純器，并反復(fù)再生使用。本發(fā)明的氣體提純法，提純含有少量水分與二氧化碳雜質(zhì)，及至少含有微量一氧化碳和/或氫雜質(zhì)的原料氣體，再去除該少量雜質(zhì)與微量雜質(zhì)時(shí)，首先由水分吸附劑吸附去除所含的水分，接著由二氧化碳吸附劑吸附去除所含的二氧化碳，然后由上述氣體處理劑去除所含的微量一氧化碳和/或氫。而且，本發(fā)明的方法，提純含有少量水分和/或二氧化碳雜質(zhì)，及至少含有微量一氧化碳和/或氫雜質(zhì)的原料氣體，再去除該少量雜質(zhì)與微量雜質(zhì)，首先由水分與二氧化碳吸附劑吸附去除所含的水分和/或二氧化碳，接著由具有上述氧化催化劑功能與吸附功能的處理劑去除所含的微量一氧化碳和/或氫，或是，首先由水分吸附劑或二氧化碳吸附劑吸附去除所含的水分和/或二氧化碳，接著由具有上述氧化催化劑功能與吸附功能的處理劑去除所含的微量一氧化碳和/或氫。因?yàn)槭褂蒙鲜鰵怏w處理劑可以一個(gè)處理劑對(duì)應(yīng)，在氧存在的環(huán)境0-80℃溫度范圍內(nèi)，有效地氧化一氧化碳和/或氫至低濃度，同時(shí)有效地吸附去除所生成的水蒸氣和/或二氧化碳至低濃度的二元機(jī)能，故相對(duì)于氣體提純器中的氣體流向，可配置于最下游位置，不需要如習(xí)知再提純裝置的處理劑后段中，由氧化去除所生成的二氧化碳與水蒸氣，故不需吸附劑層，裝置也可變小。而且，提純前若氣體中含有氯、硫磺化合物等催化劑中毒成分時(shí)，也可將本氣體處理劑配置于提純器中最下游位置，而將上述中毒成分對(duì)本氣體處理劑中催化劑成分的影響防止至最小限度。而且，因二氧化碳與水蒸氣的吸附而降低本氣體處理劑的氧化功能或吸附能力時(shí)，經(jīng)向流再生氣體處理時(shí)，可在最后段配置上述氣體處理劑，而以最清凈的再生氣體處理該氣體處理劑而有效地再生，而且維修上也較佳。本發(fā)明的氣體處理劑，于0-80℃的溫度范圍內(nèi)具有一氧化碳和/或氫的氧化功能，而且，可同時(shí)低濃度且長(zhǎng)時(shí)間地吸附去除所生成的二氧化碳與水蒸氣，故進(jìn)行含大氣等一氧化碳、氫、二氧化碳、水分氣體的氣體提純時(shí)，對(duì)提純器中氣體的流向，于入口處依序充填水分和/或二氧化碳吸附劑充填層，及氣體處理劑，即可容易地獲得提純氣體。本發(fā)明所開(kāi)發(fā)的氣體處理劑，于0-80℃的溫度范圍內(nèi)具有同時(shí)氧化一氧化碳和/或氫的氧化功能，而且，可同時(shí)低濃度且長(zhǎng)時(shí)間地吸附去除所生成的二氧化碳與水蒸氣，故用以作為催化劑層的本氣體處理劑充填層相對(duì)于氣體提純器中的氣體流向，可配置于最下游位置，而且不需要于提純裝置氣體處理劑層后段中，除去經(jīng)氧化而生成的二氧化碳與水蒸氣的吸附設(shè)備，可使吸附設(shè)備整體變小且簡(jiǎn)略化。提純前因?yàn)殚L(zhǎng)期使用大氣空氣等的中，所含微量自工廠廢氣、汽車排氣排除的氯、氯化氫、三氯乙烯等氯化物或硫化氫、硫醇等硫磺化合物、VOC(有機(jī)揮發(fā)化合物)、其他碳黑等催化劑，使催化劑表面含有蓄積的中毒成分，然而即使如此差的狀況下，本氣體處理劑，也因可配置于提純器中最后方，而將上述中毒成分對(duì)本氣體處理劑中催化劑的影響防止至最小限度。因?yàn)槎趸寂c水蒸氣的吸附飽和降低本氣體處理劑的氧化催化劑功能或吸附功能時(shí)，經(jīng)向流清凈氣體進(jìn)行再生處理時(shí)，因最后段配置有上述氣體處理劑故不會(huì)受自前段層脫落的雜質(zhì)的影響，而可有效率地進(jìn)行再生。圖式的簡(jiǎn)單說(shuō)明圖1為所測(cè)定的本發(fā)明氣體處理劑剖面圖。圖2為本發(fā)明氣體提純器的一種實(shí)施方案。圖3為本發(fā)明氣體提純器的另一種實(shí)施方案。圖4為本發(fā)明氣體提純器適用于空氣液化分離裝置的前處理的一實(shí)施方案。附圖標(biāo)號(hào)說(shuō)明1催化劑層2吸附劑8路徑9a氣體入口閥9b氣體入口閥10a原料氣體入口路徑10b原料氣體入口路徑11a氣體提純器11b氣體提純器12a氣體出口閥12b氣體出口閥13a氣體出口路徑13b氣體出口路徑14精制空氣出口路徑15空氣液化分離裝置16加熱器17再生氣導(dǎo)入路徑18a再生氣入口閥18b再生氣入口閥19a再生氣入口路徑19b再生氣入口路徑20a再生氣出口閥20b再生氣出口閥21a再生氣出口路徑21b再生氣出口路徑22再生氣導(dǎo)出路徑25a氣體導(dǎo)入口25b氣體導(dǎo)入口26a氣體導(dǎo)出口26b氣體導(dǎo)出口27充填用容器28第一吸附劑層29第二吸附劑層30氣體處理劑31吸附劑層實(shí)施例以下通過(guò)本氣體處理劑的制造方法實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明，但是這些實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明。第一實(shí)施例(1)在市售的5重量％Pd氧化鋁粉末330g中加入去離子水740g，乙酸30ml，經(jīng)研磨機(jī)濕式粉碎此混合物15小時(shí)，即獲得催化劑研漿。(2)將吸附劑(Na-X型，直徑1.5mm，高3mm)900g投入藥丸涂布機(jī)(pillcoatmachine)，使其轉(zhuǎn)動(dòng)，再經(jīng)噴霧器將(1)所獲得的催化劑研漿550g涂布于吸附劑。將其取出后，以熱風(fēng)干燥機(jī)100℃干燥1小時(shí)后，移至石英盤，由電氣爐于空氣中500℃下燒結(jié)1小時(shí)，即獲得氣體處理劑A-1。第二實(shí)施例利用氫還原爐將自第一實(shí)施例獲得的處理劑A-1，于10容量％H2(其余為N2)氣體中，200℃下進(jìn)行2小時(shí)還原處理，即獲得氣體處理劑A-2。第三實(shí)施例利用氫還原爐將自第一實(shí)施例獲得的處理劑A-1，于10容量％H2(其余為N2)氣體中，400℃下進(jìn)行2小時(shí)還原處理，即獲得氣體處理劑A-3。第四實(shí)施例(1)在市售的氧化鋁粉末462.5g(比表面積100m2/g)中加入含相當(dāng)于金屬鈀12.5g的硝酸鈀(Pd(NO3)2)的去離子水715.5g和氧化鋁溶膠(氧化鋁10重量％)，經(jīng)研磨機(jī)濕式粉碎此混合物15小時(shí)，即獲得催化劑前體研漿。(2)將與第一實(shí)施例(2)所使用相同的吸附劑742g投入藥丸涂布機(jī)，使其轉(zhuǎn)動(dòng)，再經(jīng)噴霧器將(1)所獲得的催化劑研漿472g涂布于吸附劑。將其取出后，以熱風(fēng)干燥機(jī)100℃干燥1小時(shí)。再投入藥丸涂布機(jī)，使其轉(zhuǎn)動(dòng)，重復(fù)上述涂布、干燥。接著，移至石英盤，經(jīng)電氣爐于空氣中500℃下燒結(jié)1小時(shí)后，使用氫還原爐，于10容量％H2(余N2)氣體中，200℃下進(jìn)行2小時(shí)還原處理，即獲得氣體處理劑A-4。第五實(shí)施例(1)市面上的10重量％Pd氧化鋁粉末165g中加入去離子水645g，乙酸15ml，經(jīng)研磨機(jī)濕式粉碎此混合物15小時(shí)，即獲得催化劑研漿。(2)將與第一實(shí)施例(2)所使用相同的吸附劑989g投入藥丸涂布機(jī)，使其轉(zhuǎn)動(dòng)，再經(jīng)噴霧器將(1)所獲得的研漿413g涂布于吸附劑。將其取出后，以熱風(fēng)干燥機(jī)100℃干燥1小時(shí)。移至石英盤，由電氣爐于空氣中500℃下燒結(jié)1小時(shí)。(3)其后，使用氫還原爐，于10容量％H2(余N2)氣體中，200℃下進(jìn)行2小時(shí)還原處理，即獲得氣體處理劑A-5。第六實(shí)施例(1)市面上的5％Pt氧化鋁粉末330g中加入去離子水740g，乙酸30ml，由研磨機(jī)濕式粉碎此混合物15小時(shí)，即獲得催化劑研漿。(2)將與第一實(shí)施例(2)所使用相同的吸附劑900g投入藥丸涂布機(jī)，使其轉(zhuǎn)動(dòng)，再經(jīng)噴霧器將(1)所獲得的研漿550g涂布于吸附劑。將其取出后，以熱風(fēng)干燥機(jī)100℃干燥2小時(shí)后。移至石英盤，由電氣爐于空氣中500℃下燒結(jié)1小時(shí)。(3)其后，使用氫還原爐，于10容量％H2(其余為N2)氣體中，200℃下進(jìn)行2小時(shí)還原處理，即獲得氣體處理劑A-6。第七實(shí)施例(1)市面上的氧化鋁粉末442g(比表面積100m2/g)中加入含相當(dāng)于金屬鈀25g的硝酸鈀(Pd(NO3)2)的去離子水487.5g、含相當(dāng)于金屬鉑8.35g的四氨合鉑·乙酸鹽[Pt(NH3)4·(OAc)2]的去離子水487.5g與氧化鋁溶膠(氧化鋁10重量％)250g，經(jīng)研磨機(jī)濕式粉碎此混合物15小時(shí)，即獲得催化劑前體研漿。(2)將與第一實(shí)施例(2)所使用相同的吸附劑900g投入藥丸涂布機(jī)，使其轉(zhuǎn)動(dòng)，再經(jīng)噴霧器將(1)所獲得的研漿550g涂布于吸附劑。將其取出后，以熱風(fēng)干燥機(jī)100℃干燥1小時(shí)后。移至石英盤，用電氣爐于空氣中500℃下燒結(jié)1小時(shí)。(3)其后，使用氫還原爐，于10容量％H2(余N2)氣體中，200℃下進(jìn)行2小時(shí)還原處理，即獲得氣體處理劑A-7。第八實(shí)施例(1)市面上的氧化鋁粉末442g(比表面積100m2/g)中加入含相當(dāng)于金屬鈀25g的硝酸鈀(Pd(NO3)2)的去離子水487.5g、含相當(dāng)于金屬銠8.35g的硝酸銠(Rh(NO3)3)的去離子水487.5g與氧化鋁溶膠(氧化鋁10重量％)250g，用研磨機(jī)濕式粉碎此混合物15小時(shí)，即獲得催化劑前體研漿。(2)與第七實(shí)施例(2)進(jìn)行相同處理。(3)與第七實(shí)施例(3)，除了溫度為400℃，皆進(jìn)行相同處理，即獲得氣體處理劑A-8。第九實(shí)施例(1)市面上的氧化鋁粉末442g(比表面積100m2/g)中加入含相當(dāng)于金屬鈀25g的硝酸鈀(Pd(NO3)2)的去離子水487.5g、含相當(dāng)于金屬釕8.35g的Runitrosylnitrate([Ru(NO)(NO3)3])的去離子水487.5g與氧化鋁溶膠(氧化鋁10重量％)250g，用研磨機(jī)濕式粉碎此混合物15小時(shí)，即獲得催化劑前體研漿。(2)與第七實(shí)施例(2)進(jìn)行相同處理。(3)與第八實(shí)施例(3)進(jìn)行相同處理，即獲得氣體處理劑A-9。第十實(shí)施例(1)市面上的氧化鋁粉末450g(比表面積100m2/g)中加入含相當(dāng)于金屬鈀25g的硝酸鈀(Pd(NO3)2)的去離子水1067g與二氧化硅溶膠(氧化鋁20重量％)125g，用研磨機(jī)濕式粉碎此混合物15小時(shí)，即獲得催化劑研漿。(2)與第七實(shí)施例(2)進(jìn)行相同處理。(3)與第八實(shí)施例(3)進(jìn)行相同處理，即獲得氣體處理劑A-10。第十一實(shí)施例(1)市面上的氧化鋁粉末80g(比表面積100m2/g)中加入含相當(dāng)于金屬鈀100g的碳黑鈀、去離子水191g與氧化鋁溶膠(氧化鋁10重量％)200g，用研磨機(jī)濕式粉碎此混合物15小時(shí)，即獲得催化劑前體研漿。(2)將與第一實(shí)施例(2)所使用相同的吸附劑400g投入藥丸涂布機(jī)，使其轉(zhuǎn)動(dòng)，再經(jīng)噴霧器將(1)所獲得的催化劑研漿286g涂布于吸附劑。將其取出后，以熱風(fēng)干燥機(jī)100℃干燥1小時(shí)。(3)與第八實(shí)施例(3)進(jìn)行相同處理，即獲得氣體處理劑A-11。第十二實(shí)施例(1)用研磨機(jī)濕式粉碎市面上的氧化鋁粉未180g(比表面積100m2/g)、去離子水287g與氧化鋁溶膠(氧化鋁10重量％)200g的混合物15小時(shí)，即獲得氧化鋁研漿。(2)將與第一實(shí)施例(2)所使用相同的吸附劑900g投入藥丸涂布機(jī)，使其轉(zhuǎn)動(dòng)，再用噴霧器將(1)所獲得的氧化鋁研漿522g涂布于吸附劑。將其取出后，以熱風(fēng)干燥機(jī)100℃干燥1小時(shí)，再移至石英盤，用電氣爐于空氣中500℃下燒結(jié)1小時(shí)。接著，再將燒結(jié)的吸附劑投入藥丸涂布機(jī)，使其轉(zhuǎn)動(dòng)，然后經(jīng)噴霧器涂布含相當(dāng)于金屬鈀8.25g的硝酸鈀(Pd(NO3)2)的去離子水300g。接著，重復(fù)(2)的干燥、燒結(jié)。(3)與第八實(shí)施例(3)進(jìn)行相同處理，即獲得氣體處理劑A-12。第一比較例根據(jù)日本專利公報(bào)特開(kāi)平10-85588號(hào)公報(bào)的第一實(shí)施例1制造。(1)用去離子水稀釋相當(dāng)于金屬鈀5.3g的硝酸鈀(Pd(NO3)2)，而制成硝酸Pd水溶液310g。(2)將與第一實(shí)施例(2)所使用相同的吸附劑500g投入藥丸涂布機(jī)，使其轉(zhuǎn)動(dòng)，再用噴霧器將(1)所獲得的硝酸Pd水溶液310g涂布于沸石。將其取出后，以熱風(fēng)干燥機(jī)100℃干燥1小時(shí)，再移至石英盤，用電氣爐于空氣中500℃下燒結(jié)1小時(shí)，即獲得氣體處理劑B-1。第二比較例使用氫還原爐，將第一比較例所獲得的氣體處理劑B-1，進(jìn)行與第二實(shí)施例相同的處理，即獲得氣體處理劑B-2。第三比較例(1)用研磨機(jī)濕式粉碎市面上的2重量％Pd氧化鋁粉末330g(比表面積100m2/g)、去離子水740g與乙酸30ml混合物15小時(shí)，即獲得催化劑研漿。(2)將與第一實(shí)施例(2)所使用相同的吸附劑1115g投入藥丸涂布機(jī)，使其轉(zhuǎn)動(dòng)，再用噴霧器將(1)所獲得的研漿550g涂布于吸附劑。將其取出后，以熱風(fēng)干燥機(jī)100℃干燥1小時(shí)后，移至石英盤，用電氣爐于空氣中500℃下燒結(jié)1小時(shí)。(3)與第二實(shí)施例進(jìn)行相同處理，即獲得氣體處理劑B-3。第四比較例根據(jù)日本專利公報(bào)特開(kāi)平10-85588號(hào)公報(bào)的第一實(shí)施例4制造。以市售的0.50％Pd氧化鋁球(催化劑尺寸直徑3mm)作為氣體處理劑B-4。表1表示以上所獲得的氣體處理劑詳細(xì)說(shuō)明。表1</tables>接著，針對(duì)第一至第十二實(shí)施例與第一至第四比較例進(jìn)行評(píng)價(jià)試驗(yàn)。將氣體處理劑77ml充填于內(nèi)徑17.5mm，長(zhǎng)320mm的氣體提純器，再將提純器內(nèi)維持在溫度10℃，壓力880Kpa。自氣體提純器入口導(dǎo)入下述組成的原料氣體，并測(cè)定自氣體提純器出口導(dǎo)出的氣體CO、H2、CO2與露點(diǎn)。CO、H2、CO2與露點(diǎn)的測(cè)定值分別達(dá)到10ppb、10ppb、100ppb、-80℃時(shí)的時(shí)間為吸附轉(zhuǎn)效時(shí)間。原料氣體組成CO5ppmH210ppm提純空氣剩余部分表2表示所制造的氣體處理劑的評(píng)價(jià)試驗(yàn)結(jié)果。表2<p>由評(píng)價(jià)試驗(yàn)結(jié)果可明顯得知，本發(fā)明第一實(shí)施例至第十二實(shí)施例與第一比較例至第四比較例相比之下，功能上有明顯地差異。第一實(shí)施例至第十二實(shí)施例的任一氣體處理劑皆較第一、二與四比較例的氣體處理劑吸附轉(zhuǎn)效時(shí)間長(zhǎng)。第三比較例中，CO吸附轉(zhuǎn)效時(shí)間、CO2吸附轉(zhuǎn)效時(shí)間、與本發(fā)明的氣體處理劑程度幾乎相同，但是H2吸附轉(zhuǎn)效時(shí)間則非常短。由上述評(píng)價(jià)試驗(yàn)結(jié)果明顯得知，使用本發(fā)明氣體處理劑可得到下述有利的效果。(1)使用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的空氣為原料的高純度氮?dú)庵圃爝^(guò)程中，使含于原料空氣中的一氧化碳和/或氫，于氧環(huán)境下0-80℃的溫度范圍內(nèi)有效地氧化，同時(shí)可有效地吸附去除水蒸氣和/或二氧化碳的極低濃度，而與習(xí)知將原料空氣一旦加熱至100-250℃的溫度并經(jīng)一氧化碳和/或氫的催化劑反應(yīng)氧化去除的過(guò)程比較的下，得知其不需加熱經(jīng)濟(jì)上較優(yōu)。(2)因可以一氣體處理劑對(duì)應(yīng)二元機(jī)能，故相對(duì)于氣體提純器中的氣體流向，可配置于最后方，相對(duì)于已知工藝，不需要于提純裝置中處理劑后段，由冷卻裝置與氧化除去所生成的二氧化碳與水蒸氣的吸附劑層，使裝置整體簡(jiǎn)略化，且較經(jīng)濟(jì)。(3)即使原料氣體中含有氯、硫磺化合物、VOC等引起催化劑中毒的成分時(shí)，也可將本發(fā)明處理劑配置于提純裝置中最后方，而將上述中毒成分對(duì)本氣體處理劑中催化劑成分的影響防止至最小限度，可延長(zhǎng)再生的量程，并延長(zhǎng)氣體處理劑的整體使用壽命。(4)因二氧化碳和/或水分的吸附使氣體處理劑的氧化催化劑功能或吸附功能降低時(shí)的清凈氣體的逆流引起的再生處理時(shí)，通過(guò)最后段配置上述氣體處理劑用最清凈的再生氣體處理該氣體處理劑，故較容易有效地接受再生，而提高氣體處理劑的活性回復(fù)度，并延長(zhǎng)使用壽命。接著說(shuō)明使用本發(fā)明氣體處理劑空氣液化分離裝置前處理裝置的實(shí)施例。圖4的流程圖中，11a、11b為上述提純器，于具有氣體導(dǎo)入口25a、25b與導(dǎo)出口26a、26b的充填用容器27a、27b內(nèi)，依序自氣體導(dǎo)入口側(cè)充填入充填第一吸附劑層28的吸附水的氣體導(dǎo)出口26a(例如活性氧化鋁)、充填第二吸附劑層29的吸附二氧化碳的吸附劑(例如沸石)、充填氣體處理劑層30的在氧的環(huán)境下氧化處理一氧化碳與氫的上述氣體處理劑?？諝馊∪肟?內(nèi)具備過(guò)濾器2，該空氣取入口1由路徑3連通空氣壓縮機(jī)4，該空氣壓縮機(jī)4由路徑5連通冷卻器6。該冷卻器6導(dǎo)出側(cè)設(shè)有水分離器7，由壓縮冷卻后的氣體去除飽和分以上的水。水分離器7導(dǎo)出側(cè)的路徑8分歧為，具有氣體入口閥9a的原料氣體入口路徑10a與具有氣體入口閥9b的原料氣體入口路徑10b，分別以氣體導(dǎo)入口25a、25b連通氣體提純器11a、11b。該氣體提純器11a具有自氣體導(dǎo)出口26a的氣體出口閥12a的提純氣體出口路徑13a與氣體提純器11b具有自氣體導(dǎo)出口26b的氣體出口閥12b的提純氣體出口路徑13b，匯流于精制空氣出口路徑14，并自路徑14將提純空氣送往空氣液化分離裝置15。而且，再生氣體導(dǎo)入路徑17分歧為，具有再生氣體入口閥18a的再生氣體入口路徑19a與具有再生氣體入口閥18b的再生氣體入口路徑19b，分別連通提純氣體出口路徑13a、13b的氣體出口閥12a、12b氣體流向上游。具有分別連通原料氣體入口路徑10a、10b的再生氣體出口閥20a、20b的再生氣體出口路徑21a、21b，匯流于再生氣體導(dǎo)出路徑22。而且，提純氣體出品路徑13a、13b氣體出口閥12a、12b的氣體流向上游，連通具有加壓閥23的加壓路徑24。接著，說(shuō)明由上述裝置的空氣提純法。自空氣取入口1供入的原料空氣，經(jīng)過(guò)濾器2、路徑3導(dǎo)入空氣壓縮機(jī)4，被壓縮為5-10kg/cm2G后，經(jīng)由路徑5被導(dǎo)入冷卻器6，凝縮水分由被冷卻為約5-50℃的水分離器7分離，含有水分成為飽和蒸氣壓分，自路徑8由具有開(kāi)放的氣體入口閥9a的原料氣體入口路徑10a，被導(dǎo)入具有吸附處理操作的提純器，例如氣體提純器11a。被導(dǎo)入氣體提純器11a的壓縮空氣，首先于導(dǎo)入口最下層的充填層的第一吸附劑層28吸附去除所含有的大部分水分，接著，于其上方所形成的第二吸附劑層29吸附去除其所含有的大部分二氧化碳。然后原料空氣在最上方被形成于靠近氣體導(dǎo)出口的氣體處理劑層30，經(jīng)壓縮空氣中的氧氧化處理所含有的一氧化碳和/或氫，而轉(zhuǎn)化為二氧化碳與水，此被轉(zhuǎn)化的二氧化碳與水，立即被氣體處理劑層30的吸附劑吸附成為提純空氣，在自氣體導(dǎo)出口26a由具有開(kāi)放氣體出口閥12a的提純氣體出口路徑13a與精制空氣出口路徑14送往空氣液化分離裝置15。而且，經(jīng)氣體提純器11a提純壓縮空氣時(shí)，于另一側(cè)氣體提純器11a進(jìn)行為了除去吸附在氣體處理劑層30、第一、第二吸附劑層28、29的雜質(zhì)的再生。亦即，開(kāi)放再生氣體出口閥20b，由再生氣體出口路徑21b與再生氣體導(dǎo)出路徑22將氣體提純器11b內(nèi)的壓力開(kāi)放疏散于大氣壓后，開(kāi)放再生氣體入口閥18b經(jīng)加熱器16將部分再生氣體，例如提純空氣，經(jīng)由再生氣體導(dǎo)入路徑17，升溫至約150℃后，由再生氣體入口路徑19b、再生氣體入口閥18b自氣體導(dǎo)出口26b導(dǎo)入氣體提純器11b內(nèi)，進(jìn)行氣體提純器11b的氣體處理劑或吸附劑再生。再生處理過(guò)的空氣，由原料氣體入口路徑10b、再生氣體出口閥20b、再生氣體出口路徑21b、與再生氣體導(dǎo)出路徑22排出至大氣。于氣體提純器11b內(nèi)加熱一定時(shí)間后，關(guān)上加熱器進(jìn)入冷卻工藝。當(dāng)氣體提純器11b內(nèi)達(dá)到特定的冷卻溫度即算完成再生操作。再生完成后，關(guān)上再生氣體入口閥18b與再生氣體出口閥20b打開(kāi)加壓閥23，將自氣體提純器11a的部分提純空氣，由提純氣體出口路徑13a、加壓路徑24與氣體出口路徑13b，從氣體導(dǎo)出口26b導(dǎo)入氣體提純器11b內(nèi)，再使氣體提純器11b內(nèi)升壓。完成此加壓后，關(guān)上加壓閥23，打開(kāi)氣體入口閥9b將壓縮空氣導(dǎo)入氣體提純器11b，使該氣體提純器11b內(nèi)充壓至特定的操作壓力。然后，關(guān)閉氣體入口閥9a與氣體出口閥12a，同時(shí)打開(kāi)氣體入口閥9a與氣體出口閥12b，將壓縮空氣導(dǎo)入氣體提純器11b開(kāi)始進(jìn)行在該氣體提純器11b的處理，其系與氣體提純器11a進(jìn)行相同的處理提純壓縮空氣，與氣體提純器11a時(shí)同樣自氣體提純器11b將提純空氣送往空氣液化分離裝置15。另外，對(duì)于氣體提純器11a，與上述進(jìn)行相同的再生操作。而且，關(guān)于此氣體提純器11a、11b的吸附一脫落系統(tǒng)，此處雖僅針對(duì)TSA法進(jìn)行說(shuō)明，也可進(jìn)行PSA法。而且，氣體提純器也可采用如圖3所示的二層充填式。而且，上述實(shí)施例為本發(fā)明于空氣液化分離中適用于原料空氣的提純例，但是并不限于空氣凡提純含有相同雜質(zhì)的氣體當(dāng)然皆適用。本發(fā)明氣體處理劑，由于吸附劑形成催化劑層的構(gòu)造，使在催化劑層氧化的CO2或H2O，無(wú)逗留于催化劑層而能立即自催化劑層吸附于吸附劑。因此，催化劑層相對(duì)于CO或H2可維持較高氧化活性。因此，本發(fā)明氣體處理劑，不但可自氣體同時(shí)除去CO、H2、CO2與H2O，而且對(duì)于氧化CO、H2與吸附CO2、H2O兩者皆具有較長(zhǎng)壽命。使用此氣體處理劑的氣體提純法，相對(duì)于已知?dú)怏w提純法具有下述優(yōu)點(diǎn)。即，可將長(zhǎng)期以來(lái)存在于氣體中的一氧化碳和/或氫，在氧的環(huán)境下0-80℃的溫度范圍內(nèi)有效地氧化至低濃度，同時(shí)可將所生成的水蒸氣和/或二氧化碳有效地吸附去除至低濃度。權(quán)利要求1.一種氣體處理劑，其以無(wú)機(jī)多孔性物質(zhì)層形成的催化劑形成于吸附劑表面，該無(wú)機(jī)多孔性物質(zhì)層含有至少一種由鉑、鈀、釕與銠所組成的組中選出的元素及其氧化物。2.如權(quán)利要求1中所述的氣體處理劑，上述吸附劑是沸石。3.如權(quán)利要求1中所述的氣體處理劑，上述無(wú)機(jī)多孔性物質(zhì)是從氧化鋁、二氧化鈦、二氧化硅、硅酸鋁、氧化鋯、氧化錫中至少選出一種。4.如權(quán)利要求2中所述的氣體處理劑，上述無(wú)機(jī)多孔性物質(zhì)系從氧化鋁、二氧化鈦、二氧化硅、硅酸鋁、氧化鋯、氧化錫中至少選出一種。5.如權(quán)利要求1中所述的氣體處理劑，由鉑、鈀、釕與銠所組成的組中選出的元素及其氧化物的至少一種的含有量為相對(duì)于氣體處理劑重量的0.25-10重量％。6.如權(quán)利要求2中所述的氣體處理劑，由鉑、鈀、釕與銠所組成的組中選出的元素及其氧化物的至少一種的含有量為相對(duì)于氣體處理劑重量的0.25-10重量％。7.如權(quán)利要求3中所述的氣體處理劑，由鉑、鈀、釕與銠所組成的組中選出的元素及其氧化物的至少一種的含有量為相對(duì)于氣體處理劑重量的0.25-10重量％。8.如權(quán)利要求4中所述的氣體處理劑，由鉑、鈀、釕與銠所組成的組中選出的元素及其氧化物的至少一種的含有量為相對(duì)于氣體處理劑重量的0.25-10重量％。9.如權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的氣體處理劑的制造方法，包括調(diào)制上述催化劑的前體或上述催化劑的研漿步驟；以及使該研漿附著于吸附劑再燒結(jié)的步驟。10.如權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的氣體處理劑制造方法，包括調(diào)制上述無(wú)機(jī)多孔性物質(zhì)的研漿的步驟；使該研漿附著于吸附劑再燒結(jié)的步驟；調(diào)制上述催化劑的前體或上述催化劑的研漿的步驟；以及使該研漿附著于吸附劑再燒結(jié)的步驟。11.如權(quán)利要求9中所述的氣體處理劑制造方法，于上述燒結(jié)步驟后進(jìn)行氣相還原步驟。12.如權(quán)利要求10中所述的氣體處理劑制造方法，于上述燒結(jié)步驟后進(jìn)行氣相還原步驟。13.一種氣體提純法，其使用權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的氣體處理劑，該方法包括提純至少含有一氧化碳和/或氫微量雜質(zhì)的原料氣體，再除去該微量雜質(zhì)，上述氣體處理劑的溫度被設(shè)定在0-80℃的范圍。14.一種氣體提純法，其提純含有少量水分與二氧化碳的雜質(zhì)，及至少含有微量一氧化碳和/或氫雜質(zhì)的原料氣體，再去除該少量雜質(zhì)與微量雜質(zhì)，其包括首先經(jīng)水分吸附劑吸附去除所含的水分；接著經(jīng)二氧化碳吸附劑吸附去除所含的二氧化碳；以及經(jīng)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的氣體處理劑，去除所含的一氧化碳和/或氫。15.一種氣體提純法，其提純含有少量水分和/或二氧化碳的雜質(zhì)，及至少含有一氧化碳和/或氫的微量雜質(zhì)的原料氣體，再去除該少量雜質(zhì)與微量雜質(zhì)，其包括首先經(jīng)水分與二氧化碳吸附劑，或水分吸附劑吸附去除所含的水分和/或二氧化碳；以及經(jīng)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的氣體處理劑，去除所含的微量一氧化碳和/或氫。16.一種氣體提純器，在具有原料氣體導(dǎo)入口與導(dǎo)出口的充填用容器內(nèi)，自原料氣體導(dǎo)入口側(cè)依序形成，水分吸附劑充填層、二氧化碳吸附劑充填層，再如形成權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的氣體處理劑充填層，來(lái)充填吸附劑與氣體提純處理劑。17.一種氣體提純器，在具有原料氣體導(dǎo)入口與導(dǎo)出口的充填用容器內(nèi)，自原料氣體導(dǎo)入口側(cè)依序形成，水分與二氧化碳吸附劑充填層，或水分吸附劑充填層，再如形成權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的氣體處理劑充填層，來(lái)充填吸附劑與氣體提純處理劑。18.如權(quán)利要求16或17中所述的氣體提純器，上述吸附及充填層可吸附含于上述原料氣體的引起催化劑中毒的成分。19.一種氣體提純裝置，其使用權(quán)利要求16、17或13中任一項(xiàng)所述的氣體提純器，包括至少2級(jí)以上的上述氣體提純器；切換裝置，用以使該氣體提純器的提純操作與再生操作交互切換；以及再生氣體供給裝置，用以以向流方向供給于再生操作的該提純器中再生氣體。20.一種氣體提純裝置，其使用權(quán)利要求18中所述的氣體提純器，包括至少2級(jí)以上的上述氣體提純器；切換裝置，用以使該氣體提純器的提純操作與再生操作交互切換；以及再生氣體供給裝置，用以以向流方向供給于再生操作的該提純器中再生氣體。全文摘要本發(fā)明的目的在于提供一種氣體處理劑及其制造方法和氣體提純法,這種氣體處理劑可同時(shí)去除含于氣體中的一氧化碳、氫、二氧化碳和水分的氣體處理劑,其可維持高度氧化活性并具有較長(zhǎng)壽命。而且提供一種氣體處理劑及其制造方法,該氣體處理劑由以無(wú)機(jī)多孔性物質(zhì)層形成的催化劑與吸附劑構(gòu)成,該無(wú)機(jī)多孔性物質(zhì)層含有由鉑、鈀、釕與銠所組成的群體中選出的元素或其氧化物的至少一種。并提供一種使用上述氣體處理劑的氣體提純器、氣體提純法機(jī)器裝置。文檔編號(hào)B01D53/04GK1276265SQ0010899公開(kāi)日2000年12月13日申請(qǐng)日期2000年5月26日優(yōu)先權(quán)日1999年6月4日發(fā)明者櫻井敏彥,中矢裕介,川井雅人,中村守光,岡村信宏申請(qǐng)人:日本酸素株式會(huì)社,恩伊凱慕凱特股份有限公司