本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體單晶硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于硅片清洗的清洗裝置。

背景技術(shù)：

在生產(chǎn)半導(dǎo)體單晶硅片的過程中，為了去除磨片加工過程中產(chǎn)生的損傷層，需要將承載硅片的片盒架放入酸腐蝕機(jī)中對硅片進(jìn)行腐蝕處理。經(jīng)過酸腐蝕處理的硅片需要再放入清洗裝置內(nèi)進(jìn)行清洗，目前的清洗裝置工序復(fù)雜，耗費(fèi)大量人力，且清洗效果不佳，返洗率高，嚴(yán)重影響生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決硅片清洗復(fù)雜、清洗效果不佳以及返洗率高的技術(shù)問題，本實(shí)用新型的目的是提供一種用于硅片清洗的清洗裝置，使經(jīng)酸腐蝕后的硅片不用從片盒架中移出清洗，節(jié)省人工，且在清洗過程中承載硅片的片盒架通過聯(lián)動插桿固定在擺動底座上，并由擺動底座帶動其擺動，使清洗水透過硅片與硅片之間的狹縫對硅片進(jìn)行清洗，清洗效果更好，并降低返洗率。

本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：一種用于硅片清洗的清洗裝置，包括清洗水槽、設(shè)置在清洗水槽內(nèi)的擺動底座和用于放置待清洗硅片的片盒架，片盒架通過聯(lián)動插桿可拆卸的設(shè)置在擺動底座上，所述擺動底座包括用于承載片盒架的承物板，承物板底壁中部設(shè)置有帶動承物板往復(fù)定格擺動的擺動軸，擺動軸由擺動氣缸帶動其擺動，所述片盒架由片臺和固定安裝在片臺上且其上承載有待清洗硅片的片盒構(gòu)成，片臺上開設(shè)有插桿孔a，承物板上開設(shè)有插桿孔b，插桿孔a和插桿孔b在豎直方向上的投影相重合，聯(lián)動插桿穿設(shè)在插桿孔a和插桿孔b內(nèi)從而將片臺和承物板連接在一起，進(jìn)而使擺動底座帶動片盒架往復(fù)擺動，以使硅片在清洗水槽內(nèi)得到徹底清洗，所述聯(lián)動插桿由J形握桿和與J形握桿螺紋連接的銷釘頭構(gòu)成，J形握桿直桿體的一端具有沿軸向的螺紋通孔，銷釘頭上設(shè)置有與螺紋通孔相配合的外螺紋。

所述J形握桿為實(shí)心聚丙烯握桿。

所述片盒通過連接架與片臺連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：

一、本實(shí)用新型所述的一種用于硅片清洗的清洗裝置，將經(jīng)過酸腐蝕處理后的硅片連同片盒架通過聯(lián)動插桿安裝在擺動底座上，使硅片在清洗水槽中實(shí)現(xiàn)往復(fù)擺動，使清洗水有力沖擊硅片表面，清洗更徹底，提高了清洗效率，并降低返洗率；

二、通過聯(lián)動插桿將片盒和擺動底座連接，不再需要將硅片拿出來清洗，大大節(jié)省人工，提高生產(chǎn)效率，且聯(lián)動插桿具有J形握桿，J形握桿為實(shí)心聚丙烯握桿，使得操作人員更容易抓取、安裝和拆卸，提高操作人員的工作效率，J形握桿與銷釘頭通過螺紋連接，強(qiáng)度更高，銷釘頭不易從J形握桿上脫落，延長聯(lián)動插桿的使用壽命。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型用于硅片清洗的清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型中的J形握桿的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型中的銷釘頭的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中標(biāo)記：1、清洗水槽，2、擺動底座，201、擺動氣缸，202、承物板，203、擺動軸，3、片盒架，301、片臺，302、片盒，303、連接架，4、聯(lián)動插桿，401、J形握桿，402、銷釘頭，403、螺紋通孔，404、外螺紋。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型作詳細(xì)說明，本實(shí)施例以本實(shí)用新型技術(shù)方案為前提，給出了詳細(xì)的實(shí)施方式和具體的操作過程，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不限于下述的實(shí)施例。

如圖所示，一種用于硅片清洗的清洗裝置，包括清洗水槽1、設(shè)置在清洗水槽1內(nèi)的擺動底座2和用于放置待清洗硅片的片盒架3，片盒架3通過聯(lián)動插桿4可拆卸的設(shè)置在擺動底座2上，所述擺動底座2包括用于承載片盒架3的承物板202，承物板202底壁中部設(shè)置有帶動承物板202往復(fù)定格擺動的擺動軸203，擺動軸203由擺動氣缸201帶動其擺動，擺動軸203的兩端均延伸至清洗水槽1外部，擺動軸203的一端與擺動氣缸201的往復(fù)滑塊連接，另一端穿設(shè)在限位支架上，且限位支架不影響擺動軸203擺動。

所述片盒架3由片臺301和固定安裝在片臺301上且其上承載有待清洗硅片的片盒302構(gòu)成，片臺301上開設(shè)有插桿孔a，承物板202上開設(shè)有插桿孔b，插桿孔a和插桿孔b在豎直方向上的投影相重合，聯(lián)動插桿4穿設(shè)在插桿孔a和插桿孔b內(nèi)從而將片臺301和承物板202連接在一起，進(jìn)而使擺動底座2帶動片盒架3往復(fù)擺動，以使硅片在清洗水槽1內(nèi)得到徹底清洗，所述聯(lián)動插桿4由J形握桿401和與J形握桿401螺紋連接的銷釘頭402構(gòu)成，J形握桿401直桿體的一端具有沿軸向的螺紋通孔403，銷釘頭402上設(shè)置有與螺紋通孔403相配合的外螺紋404。

以上為本實(shí)用新型的基本實(shí)施方式，可在以上基礎(chǔ)上做進(jìn)一步的改進(jìn)、優(yōu)化和限定：

如，所述J形握桿401為實(shí)心聚丙烯握桿。

又如，所述片盒302通過連接架303與片臺301連接。