技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種A向藍寶石化學機械拋光用拋光液及其制備方法，屬于表面處理技術(shù)領(lǐng)域。其首先在硅溶膠中加入分散劑，隨后將表面活性劑溶于去離子水，將兩者混合繼續(xù)添加消泡劑和pH調(diào)節(jié)劑，最后得到A向藍寶石化學機械拋光用拋光液。本發(fā)明分別添加不同種類的表面活性劑對A向藍寶石晶片進行化學機械拋光，并得出結(jié)論：在堿性條件下，使用陽離子型表面活性劑和兩性表面活性劑時，拋光效率最高，并且具有較低的表面粗糙度；其次是非離子型表面活性劑；而陰離子型表面活性劑在堿性環(huán)境中抑制A向藍寶石晶片的去除速率，從而提高拋光效率，節(jié)約成本。

技術(shù)研發(fā)人員：倪自豐;白亞雯;陳國美;滕康
受保護的技術(shù)使用者：江南大學
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.12
技術(shù)公布日：2017.09.22