專(zhuān)利名稱(chēng)：用負(fù)載于沸石的鐵和錳基催化劑純化有機(jī)金屬化合物或雜原子有機(jī)化合物的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用負(fù)載于沸石的鐵和錳基催化劑純化有機(jī)金屬化合物或雜原子有機(jī)化合物的方法。
有機(jī)金屬化合物的特征在于在一個(gè)金屬原子(在金屬中還包括砷、硒或碲)和一個(gè)碳原子之間存在鍵，所述碳原子構(gòu)成，例如脂族或芳族，飽和或不飽和的烴基的有機(jī)基團(tuán)的一部分；引申開(kāi)來(lái)，有機(jī)金屬化合物的定義就是含有通過(guò)碳之外的原子，與有機(jī)基團(tuán)，例如醇基(-OR)或酯基(-O-CO-R)，鍵合的金屬原子的化合物。
雜原子有機(jī)化合物(以下也簡(jiǎn)單定義為雜原子的)是那些除碳和氫之外，還含有，例如氧、氮、鹵素、硫、磷、硅和硼的原子的有機(jī)化合物。
這些化合物中的許多已經(jīng)長(zhǎng)期用于傳統(tǒng)的化學(xué)應(yīng)用。在該領(lǐng)域中，一般不需要純度非常高的試劑，并且它們的純化是通過(guò)，例如蒸餾(任選在減壓下，以降低沸點(diǎn)并因此減少化合物熱分解的危險(xiǎn))或從溶劑中重結(jié)晶的技術(shù)進(jìn)行的。
但是，最近這些化合物已經(jīng)被用于高技術(shù)，特別是半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用。在這些應(yīng)用中，有機(jī)金屬化合物和雜原子化合物被作為試劑，用于從氣態(tài)進(jìn)行化學(xué)沉積的工藝(已知本領(lǐng)域定義為“化學(xué)蒸汽淀積”并簡(jiǎn)稱(chēng)為CVD)中。在這些技術(shù)中，一種或多種有機(jī)金屬或雜原子化合物的氣流(或含有已知濃度的上述化合物的載氣流)被傳輸?shù)讲僮魇?；并且在操作室中，化合物被隨后分解或反應(yīng)，并因此就地形成了含金屬原子或雜原子的原料(一般是底物上的薄層形式)。有機(jī)金屬或雜原子化合物可以已經(jīng)是氣態(tài)，但其也可以是液體形式。在上述第二種情況下，通過(guò)蒸發(fā)化合物(此時(shí)氣流僅由感興趣的化合物組成)或通過(guò)向容器中的液體鼓入氣體(此時(shí)氣流含有載氣中的化合物蒸氣)得到化合物的氣流。
用于這些應(yīng)用中的主要的有機(jī)金屬氣體是四叔丁氧化鉿、三甲基鋁、三乙基鋁、三叔丁基鋁、氫化二異丁基鋁、三甲氧基鋁、氯化二甲基鋁、乙氧基化二乙基鋁、氫化二甲基鋁、三甲基銻、三乙基銻、三異丙基銻、三-二甲基氨基銻、三甲基砷、三-二甲基氨基砷、叔丁基胂、苯基胂、雙-四甲基庚烷二酮化(bis-tertamethylheptanedionate)鋇、三-四甲基庚烷二酮化鉍、二甲基鎘、二乙基鎘、五羰基鐵、雙-環(huán)戊二烯基鐵、三乙酰丙酮化鐵、三-四甲基庚烷二酮化鐵、三甲基鎵、三乙基鎵、三異丙基鎵、三異丁基鎵、三乙氧基鎵、三甲基銦、三乙基銦、二甲基乙基銦、三-四甲基庚烷二酮化釔、三-四甲基庚烷二酮化鑭、雙-環(huán)戊二烯基鎂、雙-甲基環(huán)戊二烯基鎂、雙-四甲基庚烷二酮化鎂、二甲基汞、五乙氧化鈮、二甲基四乙氧基氨基乙氧化鈮、乙酰丙酮化二甲基金、雙-四甲基庚烷二酮化鉛、乙酰丙酮化雙-六氟化銅、雙-四甲基庚烷二酮化銅、三-四甲基庚烷二酮化鈧、二甲基硒、二乙基硒、四甲基錫、四乙基錫、四叔丁氧化錫、雙-四甲基庚烷二酮化鍶、五氧化鉭、二甲基四乙氧基氨基乙氧化鉭、四甲基四乙氧基庚烷二酮化鉭、四甲基四甲氧基庚烷二酮化鉭、四甲基四異丙氧基庚烷二酮化鉭、三-二乙基叔丁基酰氨基酰亞胺鉭、二甲基碲、二乙基碲、二異丙基碲、雙-四甲基-雙-異丙氧基庚烷二酮化鈦、雙-二甲基-雙-異丙氧基氨基乙氧化鈦、雙-二甲基-雙-乙氧基乙氧化鈦、四二甲基酰胺鈦、四二乙基酰胺鈦、四叔丁氧化鈦、四異丙氧化鈦、異丙氧化釩、二甲基鋅、二乙基鋅、雙-四甲基庚烷二酮化鋅、雙-乙酰丙酮化鋅、四叔丁基化鋯、四-四甲基庚烷二酮化鋯和三-四甲基-異丙氧基庚烷二酮化鋯。
用于這些應(yīng)用的主要的雜原子化合物是三甲基硼烷、不對(duì)稱(chēng)的二甲基肼(即其中兩個(gè)甲基鍵連在相同的氮原子上)、叔丁胺、苯基肼、三甲基磷、叔丁基膦和叔丁基硫醇。
這些方法的一些典型的應(yīng)用例子是例如GaAs或InP的III-V型，或者例如ZnSe的II-VI型半導(dǎo)體的制備；用于傳統(tǒng)硅基半導(dǎo)體裝置的p摻雜(例如與硼)或n摻雜(例如與磷)的用途；用于鐵電存儲(chǔ)元件的具有高介電常數(shù)的材料(例如，諸如PbZrxTi1-xO3的化合物)的制備；或者用于半導(dǎo)體裝置中絕緣電接點(diǎn)的具有低介電常數(shù)的材料(例如SiO2)的制備。
為了上述應(yīng)用，需要試劑必須具有10-1，10-2ppm數(shù)量級(jí)水平的非常高的純度，而傳統(tǒng)的化學(xué)技術(shù)不能達(dá)到雜質(zhì)含量低于約10ppm的水平。而且，甚至在制備純度非常高的有機(jī)金屬或雜原子化合物的情況下，因?yàn)閺娜萜鞅卺尫诺臍怏w，存儲(chǔ)成為了污染的來(lái)源，使得無(wú)論如何需要在即將應(yīng)用之前使用凈化器(因此稱(chēng)為“使用瞬時(shí)(point-of-use)凈化器”)。
專(zhuān)利US5470555描述了通過(guò)使用由銅或鎳金屬形成的催化劑，或通過(guò)用氫氣還原活化，沉積在例如氧化鋁、二氧化硅或硅酸鹽的相關(guān)氧化物，從有機(jī)金屬化合物中脫除作為雜質(zhì)存在的氧氣。根據(jù)該專(zhuān)利，通過(guò)這一方法，從有機(jī)金屬化合物流中脫除氧氣最低可達(dá)到10-2ppm的值。
但是，氧氣不是必須從有機(jī)金屬化合物或雜原子化合物中除去的僅有的雜質(zhì)。其它有害于CVD操作的雜質(zhì)是例如水，以及特別是由同一有機(jī)金屬化合物或雜原子化合物的蝕變(alteration)產(chǎn)生的物質(zhì)，所述蝕變通常是伴隨著與水或氧的不希望的反應(yīng)的。例如，在普通的有機(jī)金屬化合物MRn的情況下，其中M表示金屬，R是有機(jī)基團(tuán)，且n是金屬M(fèi)的化合價(jià)，會(huì)由MRn-x(-OR)x物質(zhì)產(chǎn)生污染，其中x是在1和n之間變化的整數(shù)。這些氧化的物質(zhì)有害于CVD操作，因?yàn)樗鼈儗⒀踉右氲郊磳⑿纬傻奈镔|(zhì)中，因此明顯地改變了其電特性。
本發(fā)明的目的在于提供了一種純化有機(jī)金屬化合物或雜原子有機(jī)化合物，除去氧、水以及由水和氧與欲純化的有機(jī)金屬或雜原子化合物的反應(yīng)中產(chǎn)生的化合物的方法。
本發(fā)明的這一目的可以通過(guò)以下方法實(shí)現(xiàn)其中將待純化的有機(jī)金屬或雜原子化合物與基于沉積在沸石上的鐵和錳的催化劑接觸。純化可以在液態(tài)或氣態(tài)的有機(jī)金屬或雜原子化合物上進(jìn)行。
除鐵基或錳基催化劑之外，還可以使用其它的雜質(zhì)吸附材料，例如氫化的吸氣劑合金或鈀基催化劑。
以下將參照附圖描述本發(fā)明，其中-

圖1顯示了本發(fā)明方法的第一實(shí)施方案中可能使用的純化器的剖視圖；-圖2顯示了本發(fā)明方法的第二實(shí)施方案中可能使用的純化器的剖視圖。
在其一個(gè)實(shí)施方案中，本發(fā)明方法的要素在于將待純化的有機(jī)金屬或雜原子化合物與基于沉積在沸石上的鐵和錳的催化劑接觸。所述接觸可以通過(guò)將催化劑引入液體化合物的容器簡(jiǎn)單進(jìn)行，液體化合物通過(guò)加熱或與載氣一起從該容器中蒸發(fā)。
但是，在優(yōu)選實(shí)施方案中，純化是通過(guò)將基于鐵和錳的催化劑與有機(jī)金屬或雜原子化合物的純蒸氣或載氣中的蒸氣接觸而進(jìn)行的。接下來(lái)，特別參考?xì)鈶B(tài)下的純化描述本發(fā)明，因?yàn)樗鰲l件是工業(yè)中最常用的。
金屬的總量通常是催化劑總重量的約10-90％。鐵和錳的比例可以在約7∶1和1∶1，優(yōu)選約2∶1的范圍內(nèi)變化。
適用于本發(fā)明目的的催化劑是稱(chēng)為Nissan Girdler Catalyst Co.Ltd.的日本公司出售的，用于純化例如氦、氬或氮的惰性氣體。該產(chǎn)品所含的鐵和錳的重量比為約1.8∶1。
當(dāng)希望兩種物質(zhì)之間的比例不同時(shí)，可以通過(guò)將金屬鐵和錳以所需比例沉積在沸石上而制備催化劑。金屬在沸石上的沉積通常是通過(guò)溶液的共沉淀技術(shù)形成的，所述溶液含有溶于其中的鐵和錳的可溶性化合物(以下也稱(chēng)為前體)，并且在其中提供了用于形成催化劑載體的沸石。起始的溶劑和前體可以在很寬的范圍內(nèi)選擇，唯一的條件是所述前體能夠溶于選擇的溶劑。例如，可以使用帶有前體的諸如醇和酯的有機(jī)溶劑，其中金屬與有機(jī)配體絡(luò)合此時(shí)通常使用的是金屬與乙酰丙酮的絡(luò)合物。但優(yōu)選水溶液用于操作。此時(shí)，所用前體是金屬的可溶性鹽，例如氯化物、硝酸鹽或乙酸鹽。通常采用增加溶液的pH值進(jìn)行化合物沉淀，以形成沸石上的第一沉積；由此得到的金屬化合物形成的第一沉積通常是氧化物或氫氧化物，更通常是氧代-氫氧化物類(lèi)型的中間體種類(lèi)。一旦得到了該第一沉積，離心或過(guò)濾溶液，并首先干燥濕粉末，隨后在高溫下處理，以將鐵和錳的化合物轉(zhuǎn)化為金屬?？梢允褂脙刹綗崽幚?，使氧代-氫氧化物還原為金屬形式，其中在第一步中，將溫度高于200℃的氫氣流通過(guò)中間產(chǎn)物至少約4小時(shí)；在第二步中，將溫度至少為200℃的純氬氣通過(guò)還原的中間產(chǎn)物至少4小時(shí)，所述第二步是立即跟隨第一步的。
催化劑的載體通常是尺寸在1-3mm之間的顆粒狀和小柱狀。
用基于鐵和錳的催化劑純化有機(jī)金屬或雜原子化合物的溫度范圍約-20℃至100℃；更低的溫度限制了氧的除去，而在高于約100℃的溫度下，會(huì)發(fā)生待純化氣體的分解反應(yīng)。優(yōu)選的溫度范圍是室溫至約50℃。
在優(yōu)選約1-10bar的絕對(duì)壓力下，待純化的氣流可以在約0.1-20slpm(在標(biāo)準(zhǔn)條件下測(cè)量的升氣體/每分鐘)范圍內(nèi)變化。
該氣流可以?xún)H由待純化化合物的蒸氣形成，也可以由所述蒸氣在載氣流中形成。載氣可以是對(duì)基于鐵和錳的催化劑(或其它可能使用的氣體吸收材料)和沉積操作(其中使用了有機(jī)金屬或雜原子化合物)都沒(méi)有影響的任何氣體。常用的是氬氣、氮?dú)馍踔翚錃狻?br> 圖1是可能用于本發(fā)明方法的第一實(shí)施方案的純化器的剖視圖。純化器10由通常是柱狀的腔體11組成；在腔體11的兩端，提供了配管12，用作氣體進(jìn)入純化器的入口，以及配管13，用作氣體出口。負(fù)載于沸石(以柱狀的載體類(lèi)型為例)上的鐵基和錳基催化劑14位于腔體11的內(nèi)部。氣體的入口12和出口13優(yōu)選提供VCR型的標(biāo)準(zhǔn)連接件，所述標(biāo)準(zhǔn)連接件是本領(lǐng)域已知(圖中未示出)的與純化器的上游和下游氣體管線的連接件。純化器的腔體可以由各種金屬材料制造，用于此目的的優(yōu)選材料是鋼AISI316。優(yōu)選將與氣體接觸的純化器腔體的內(nèi)表面電拋光，直至得到低于約0.5μm的表面粗糙度。為了防止純化器下游的出口氣流攜帶的痕量催化劑粉末，可以在純化器腔體的出口13處放置保留顆粒的裝置，例如網(wǎng)狀物或多孔的隔片，其“空隙”或孔的尺寸適于留住顆粒而不會(huì)導(dǎo)致氣流的過(guò)量壓力降低；這些開(kāi)口的尺寸通常是約10-0.003μm。
待純化的氣體流不僅與基于鐵和錳的催化劑接觸，還與至少一種其它材料接觸，所述其它材料選自氫化的吸氣劑合金和沉積于多孔載體的鈀基催化劑，或以上二者。
氫化的吸氣劑合金在微電子領(lǐng)域的氣體純化中的用途是已知的(EP-B-470936公開(kāi))，但僅限于簡(jiǎn)單氫化物的純化，例如SiH4、PH3和AsH3。
用于本發(fā)明的吸氣劑合金是基于鈦或鋯以及一種或多種選自過(guò)渡金屬和鋁的元素的合金，或者一種或多種這些合金與鈦和/或鋯的混合物。特別用于本發(fā)明的是專(zhuān)利US5180568中描述的合金ZrM2，其中M是選自Cr、Mn、Fe、Co或Ni的一種或多種過(guò)渡金屬；專(zhuān)利US4312669中描述的合金Zr-V-Fe，特別是申請(qǐng)人生產(chǎn)和銷(xiāo)售的名稱(chēng)為St707的合金，其組分的重量百分比是Zr70％-V24.6％-Fe5.4％；專(zhuān)利US5961750中描述的合金Zr-Co-A，其中A是選自釔、鑭、稀土元素或這些元素的混合物的任何元素；合金Ti-Ni；以及US4457891中描述的合金Ti-V-Mn。
用氫氣加載上述合金是在低于10bar，優(yōu)選高于大氣壓的氫氣壓力下，于室溫至約400℃之間的溫度下進(jìn)行的。有關(guān)用氫氣加載吸氣劑合金的方法的更多細(xì)節(jié)可見(jiàn)于上述專(zhuān)利EP-B-470936。在本申請(qǐng)中，用于氫化的吸氣劑合金的最佳溫度是介于室溫至約100℃的溫度。
以催化劑的總重量計(jì)，載于多孔載體的鈀基催化劑優(yōu)選含0.3-4％鈀。如果鈀的含量更低，限制了雜質(zhì)除去的活性，而鈀含量高于4重量％，將使得催化劑成本大大增加，而純化收率并未顯著增長(zhǎng)。用于該材料的最佳溫度是約-20至100℃，優(yōu)選約室溫至50℃。
用于鈀基催化劑的載體可以是催化劑領(lǐng)域常用的任何多孔材料，例如陶瓷、分子篩、沸石、多孔玻璃等。載于多孔載體的鈀基催化劑可從市場(chǎng)購(gòu)買(mǎi)，并由Siid Chemie、Degussa和Engelhard公司銷(xiāo)售，用于化學(xué)反應(yīng)的催化(例如，氫化反應(yīng))?；蛘撸ㄟ^(guò)在多孔載體的溶液中浸漬一定量的鈀鹽或絡(luò)合物(以最終催化劑中所需的鈀的量為基準(zhǔn)計(jì)算)，例如氯化鈀、PdCl2；干燥如此浸漬后的多孔載體；(例如熱)分解前體；任選在例如約400-500℃的溫度下煅燒由此得到的產(chǎn)物。
其它的材料(或其它的材料等)可以沿氣流的方向，有差別地位于鐵和錳基催化劑的上游或下游。當(dāng)使用上述其它的兩種材料時(shí)，也可以它們中的一種位于鐵和錳基催化劑的上游，而另一種位于下游。
其它的材料(或其它的材料等)可以放置于分離的腔體中，所述分離的腔體通過(guò)配管和接頭與含有鐵和錳基催化劑的純化器的腔體11相連，例如上述的VCR型。該第二腔體的制造材料和表面加工水平優(yōu)選與所述第一腔體相同。
優(yōu)選將其它材料(或其它的材料等)安置于相同的提供了鐵和錳基催化劑的純化器腔體中。此時(shí)，不同的材料可以混合，但它們?cè)诩兓髑惑w中優(yōu)選是分離的。
圖2是含有多于一種材料(以?xún)煞N材料的情況為例)的可能的純化器的剖視圖。它特別顯示了根據(jù)優(yōu)選方式制造的純化器，其中不同的材料分別放置于純化器腔體中。純化器20由腔體21、氣體入口22和氣體出口23組成；鐵和錳基催化劑24放置于腔體21內(nèi)部的入口22一側(cè)，而在出口23一側(cè)放置了選自氫化的吸氣劑合金或載于多孔載體的鈀基催化劑的材料25；易于透過(guò)氣體的機(jī)械部件26，例如金屬網(wǎng)，放置于兩種材料之間，以幫助保持二者的分離并保持材料最初的幾何分布。
在兩種不同的材料在同一時(shí)間存在于同一腔體的情況下(圖2舉例的情況)，純化器應(yīng)保持在與所有已有材料的操作溫度一致的溫度下，并因此優(yōu)選介于室溫至約50℃之間。
最后，還可以加入各種列舉的材料，以及化學(xué)吸水劑，例如氧化鈣和氧化硼，后者可以根據(jù)申請(qǐng)人的專(zhuān)利EP-A-960647的教導(dǎo)制備。
以下通過(guò)實(shí)施例進(jìn)一步闡述本發(fā)明。該實(shí)施例并不限制發(fā)明的保護(hù)范圍，并用于闡述可能的技術(shù)方案，用于教導(dǎo)本領(lǐng)域技術(shù)人員如何將本發(fā)明付諸實(shí)踐，其可以視作本發(fā)明的最佳實(shí)施方式。
實(shí)施例1制造圖1所示的純化器。純化器的腔體由鋼AISI316制造，內(nèi)部容積為約30cm3。將催化劑引入純化器，所述催化劑由沉積了鐵和錳的小沸石柱體形成，以沸石總重量計(jì)，鐵和錳的測(cè)量值分別是56％和31％。隨后，通過(guò)VCR連接件將純化器的上游與含10ppm體積(ppmv)的水和100ppmv的氧的氮?dú)馄窟B接，下游與APIMS型質(zhì)譜儀連接(常壓電離質(zhì)譜)，Sensar公司的TOF2000型，其對(duì)于水和氧均具有10-4ppmv的敏感閾值。實(shí)驗(yàn)在氮?dú)舛皇窃谟袡C(jī)金屬化合物的蒸氣流中進(jìn)行，這是因?yàn)樗玫姆治鰞x(APIMS)在這些化合物的蒸氣中敏感度降低，因此對(duì)有機(jī)金屬化合物的實(shí)驗(yàn)不能得到明顯的結(jié)果。在5bar下，將待純化氣體以0.1slpm的流量通過(guò)保持在室溫下的純化器。在實(shí)驗(yàn)開(kāi)始時(shí)，純化器氣體出口的水和氧的量低于分析儀敏感閾值，這表明了鐵和錳基催化劑對(duì)于除去這些物質(zhì)的官能度。繼續(xù)實(shí)驗(yàn)，直至分析儀檢測(cè)到純化器出口氣體中污染物含量為10-3ppmv；該出口氣體污染物的值被用作純化器損耗的指示。從實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可以看出，純化器對(duì)于氧和水均具有20l/l(在標(biāo)準(zhǔn)條件下測(cè)量的每升鐵和錳基催化劑的氣體的升數(shù))的生產(chǎn)能力。
權(quán)利要求
1.一種純化有機(jī)金屬化合物或雜原子有機(jī)化合物，除去氧、水以及由水和氧與待純化化合物的反應(yīng)中產(chǎn)生的化合物的方法。包括將待純化的有機(jī)金屬或雜原子化合物與載于沸石上的鐵和錳基催化劑接觸的操作。
2.權(quán)利要求1的方法，其中鐵和錳基催化劑與純粹的或與載氣中的蒸氣形式的有機(jī)金屬或雜原子化合物接觸。
3.權(quán)利要求1的方法，其中鐵和錳的總重量是催化劑總重量的10-90％。
4.權(quán)利要求1的方法，其中鐵和錳重量比是7∶1至1∶1。
5.權(quán)利要求4的方法，其中所述比例是約2∶1。
6.權(quán)利要求2的方法，其中所述操作在約-20至100℃的溫度下進(jìn)行。
7.權(quán)利要求6的方法，其中所述操作在室溫至50℃的溫度下進(jìn)行。
8.權(quán)利要求2的方法，其中在約1-10bar的絕對(duì)壓力下，所述操作采用約0.1-20slpm的待純化氣流進(jìn)行。
9.權(quán)利要求1的方法，其中有機(jī)金屬化合物選自四叔丁氧化鉿、三甲基鋁、三乙基鋁、三叔丁基鋁、氫化二異丁基鋁、三甲氧基鋁、氯化二甲基鋁、乙氧基化二乙基鋁、氫化二甲基鋁、三甲基銻、三乙基銻、三異丙基銻、三-二甲基氨基銻、三甲基砷、三-二甲基氨基砷、叔丁基胂、苯基胂、雙-四甲基庚烷二酮化鋇、三-四甲基庚烷二酮化鉍、二甲基鎘、二乙基鎘、五羰基鐵、雙-環(huán)戊二烯基鐵、三乙酰丙酮化鐵、三-四甲基庚烷二酮化鐵、三甲基鎵、三乙基鎵、三異丙基鎵、三異丁基鎵、三乙氧基鎵、三甲基銦、三乙基銦、二甲基乙基銦、三-四甲基庚烷二酮化釔、三-四甲基庚烷二酮化鑭、雙-環(huán)戊二烯基鎂、雙-甲基環(huán)戊二烯基鎂、雙-四甲基庚烷二酮化鎂、二甲基汞、五乙氧化鈮、二甲基四乙氧基氨基乙氧化鈮、乙酰丙酮化二甲基金、雙-四甲基庚烷二酮化鉛、乙酰丙酮化雙-六氟化銅、雙-四甲基庚烷二酮化銅、三-四甲基庚烷二酮化鈧、二甲基硒、二乙基硒、四甲基錫、四乙基錫、四叔丁氧化錫、雙-四甲基庚烷二酮化鍶、五氧化鉭、二甲基四乙氧基氨基乙氧化鉭、四甲基四乙氧基庚烷二酮化鉭、四甲基四甲氧基庚烷二酮化鉭、四甲基四異丙氧基庚烷二酮化鉭、三-二乙基叔丁基酰氨基酰亞胺鉭、二甲基碲、二乙基碲、二異丙基碲、雙-四甲基-雙-異丙氧基庚烷二酮化鈦、雙-二甲基-雙-異丙氧基氨基乙氧化鈦、雙-二甲基-雙-乙氧基乙氧化鈦、四二甲基酰胺鈦、四二乙基酰胺鈦、四叔丁氧化鈦、四異丙氧化鈦、異丙氧化釩、二甲基鋅、二乙基鋅、雙-四甲基庚烷二酮化鋅、雙-乙酰丙酮化鋅、四叔丁基化鋯、四-四甲基庚烷二酮化鋯和三-四甲基-異丙氧基庚烷二酮化鋯。
10.權(quán)利要求1的方法，其中雜原子有機(jī)化合物選自三甲基硼烷、不對(duì)稱(chēng)的二甲基肼、叔丁胺、苯基肼、三甲基磷、叔丁基膦和叔丁基硫醇。
11.權(quán)利要求1的方法，進(jìn)一步包括將待純化有機(jī)金屬化合物或有機(jī)雜原子化合物與至少一種第二材料接觸的操作，所述第二材料選自氫化的吸氣劑合金和載于多孔載體的鈀基催化劑。
12.權(quán)利要求11的方法，其中有機(jī)金屬或雜原子化合物是純粹的或載氣中的蒸氣形式。
13.權(quán)利要求11的方法，其中第二材料是選自基于鈦和/或鋯與一種或多種選自過(guò)渡金屬和鋁的元素的合金的氫化的吸氣劑合金，和一種或多種這些合金與鈦和/或鋯的混合物。
14.權(quán)利要求13的方法，其中吸氣劑合金選自合金ZrM2，其中M是選自Cr、Mn、Fe、Co或Ni的一種或多種過(guò)渡金屬；合金Zr-V-Fe，特別是組分的重量百分比是Zr70％-V24.6％-Fe5.4％的合金；合金Zr-Co-A，其中A是選自釔、鑭、稀土元素或這些元素的混合物的任何元素；合金Ti-Ni；以及合金Ti-V-Mn。
15.權(quán)利要求12的方法，其中待純化蒸氣和氫化的吸氣劑合金之間的接觸在室溫至約100℃的溫度下進(jìn)行。
16.權(quán)利要求11的方法，其中第二材料是鈀含量是0.3-4重量％的載于多孔載體的鈀基催化劑。
17.權(quán)利要求12的方法，其中待純化氣體和負(fù)載的鈀之間的接觸在約-20℃至100℃的溫度下進(jìn)行。
18.權(quán)利要求17的方法，其中所述接觸在室溫至50℃的溫度下進(jìn)行。
19.權(quán)利要求1的方法，其中還包括將純粹的或載氣中的蒸氣形式的待純化的有機(jī)金屬或雜原子有機(jī)化合物與化學(xué)吸水劑進(jìn)行接觸的操作。
全文摘要
一種純化有機(jī)金屬化合物或雜原子有機(jī)化合物，除去氧、水以及由水和氧與待純化化合物的反應(yīng)中產(chǎn)生的化合物的方法。包括將液態(tài)或純蒸氣形式，或者載氣中的待純化的有機(jī)金屬或雜原子化合物與載于沸石上的鐵和錳基催化劑，以及任選與選自氫化的吸氣劑合金和沉積于多孔載體的鈀的一種或多種氣體吸收材料接觸的操作。
文檔編號(hào)C07FGK1425078SQ01808355
公開(kāi)日2003年6月18日 申請(qǐng)日期2001年4月13日 優(yōu)先權(quán)日2000年4月19日
發(fā)明者G·沃格尼, M·蘇絲 申請(qǐng)人:工程吸氣公司