本實用新型涉及長晶爐技術領域，具體為一種提拉式長晶爐。

背景技術：

一般制備碳化硅的方法是，采用直拉晶棒制備方法。具體地說，其步驟是，加料：將制備碳化硅的原料放入石英坩堝內(nèi)；融化：把加好原料的石英坩堝放入長晶爐(真空石墨電阻爐)內(nèi)，然后長晶爐關閉并抽成真空后充入惰性氣體，然后打開石墨加熱器電源，加熱至熔化溫度以上，將原料熔化；縮頸生長：當熔體的溫度穩(wěn)定之后，將籽晶慢慢浸入坩堝中，將籽晶快速向上提升，使長出的籽晶的直徑縮小到4-6mm；放肩生長：長完細頸之后，須降低溫度與拉速，使得晶體的直徑漸漸增大到所需的大??；等徑生長：長完細頸和肩部之后，借著拉速與溫度的不斷調(diào)整，可使晶棒直徑維持在正負2mm之間，這段直徑固定的部分即稱為等徑部分；尾部生長：在長完等徑部分之后，必須先將晶棒的直徑慢慢縮小，直到成一尖點而與液面分開，長完的晶棒被升至上爐室冷卻一段時間后取出，即完成一次生長周期。

現(xiàn)有的長晶爐在晶體生長過程中難以直接觀察，生長周期比較長，同時如果晶體在生長過程中直接與坩堝接觸，會在晶體中產(chǎn)生較多的雜質(zhì)。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提供一種提拉式長晶爐，以解決上述背景技術中提出現(xiàn)有的長晶爐在晶體生長過程中難以直接觀察，生長周期比較長，同時如果晶體在生長過程中直接與坩堝接觸，會在晶體中產(chǎn)生較多的雜質(zhì)的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案一種提拉式長晶爐，包括機體、坩堝蓋和坩堝，所述機體的兩端安裝有箱體，且其下端安置有底座，所述機體的外表面設置有顯示器，且其外表面后端連接有插頭，所述顯示器的下端安裝有控制面板，所述坩堝蓋的上端安置有電機，所述箱體的內(nèi)部安裝有抽氣泵，所述坩堝的外端設置有隔熱屏，所述隔熱屏的外端設置有射頻線圈，且其下端安置有發(fā)熱體，所述坩堝蓋的下端連接有固定頭，所述固定頭的下端連接有提拉桿，所述提拉桿上安裝有夾頭，且其內(nèi)部底端設置有重量傳感器，所述夾頭的下端安置有籽晶桿。

優(yōu)選的，所述坩堝蓋的外表面上設置有微孔攝像頭。

優(yōu)選的，所述籽晶桿與提拉桿為可拆卸連接裝置。

優(yōu)選的，所述機體的右端設置有氣泵。

優(yōu)選的，所述提拉桿為伸縮裝置，且其伸縮為0-15cm。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益效果是：該提拉式長晶爐采用微孔攝像頭，可以直接觀察晶體的生長情況，為控制晶體外形提供了有利的條件；同時在提拉桿上增加籽晶桿，且其與籽晶桿為可拆卸連接裝置，可根據(jù)實際情況，利用籽晶桿結(jié)成不同形狀的晶體，增強其實用性，同時可防止籽晶在結(jié)晶過程中觸碰到坩堝壁；增加抽氣泵，除去內(nèi)部的氧氣，防止在結(jié)晶成品中存在氣泡；設置有重量傳感，不僅可直接了解結(jié)晶的重量，同時可根據(jù)結(jié)晶的重量進行控制結(jié)晶的速度以及內(nèi)部溫度，間接地反應機體內(nèi)部的結(jié)晶情況。

附圖說明

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型外觀結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、機體，2、箱體，3、底座，4、顯示器，5、控制面板，6、坩堝蓋，7、電機，8、抽氣泵，9、坩堝，10、隔熱屏，11、射頻線圈，12、發(fā)熱體，13、固定頭，14、提拉桿，15、夾頭，16、籽晶桿，17、微孔攝像頭，18、插頭，19、氣泵，20、重量傳感器。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1-2，本實用新型提供一種技術方案：一種提拉式長晶爐，包括機體1、箱體2、底座3、顯示器4、控制面板5、坩堝蓋6、電機7、抽氣泵8、坩堝9、隔熱屏10、射頻線圈11、發(fā)熱體12、固定頭13、提拉桿14、夾頭15、籽晶桿16、微孔攝像頭17、插頭18、氣泵19和重量傳感器20，機體1的兩端安裝有箱體2，且其下端安置有底座3，機體1的右端設置有氣泵19，機體1的外表面設置有顯示器4，且其外表面后端連接有插頭18，顯示器4的下端安裝有控制面板5，坩堝蓋6的上端安置有電機7，坩堝蓋6的外表面上設置有微孔攝像頭17，可以直接觀察晶體的生長情況，為控制晶體外形提供了有利的條件，箱體2的內(nèi)部安裝有抽氣泵8，坩堝9的外端設置有隔熱屏10，隔熱屏10的外端設置有射頻線圈11，且其下端安置有發(fā)熱體12，坩堝蓋6的下端連接有固定頭13，固定頭13的下端連接有提拉桿14，提拉桿14為伸縮裝置，且其伸縮為0-15cm，提拉桿14上安裝有夾頭15，且其內(nèi)部底端設置有重量傳感器20，夾頭15的下端安置有籽晶桿16，籽晶桿16與提拉桿14為可拆卸連接裝置，根據(jù)實際情況使用，靈活性強。

工作原理：在使用該提拉式長晶爐之前，需要對整個裝置的結(jié)構(gòu)進行簡單的了解，在使用前，利用抽氣泵8和氣泵19，將機體1內(nèi)部的空氣抽出，并充入惰性氣體，插上插頭18，將將藍寶石原料放入坩堝9內(nèi)，利用夾頭15夾住籽晶，并降低提拉桿14，發(fā)熱體12對坩堝9內(nèi)的熔體進行加熱，當熔體的溫度加熱到預設值時，籽晶既不熔解，也不生長，緩慢的提升提拉桿14以及轉(zhuǎn)動籽晶桿16，利用控制面板5控制緩慢降低加熱功率，籽晶逐漸生長，直至生長到一定程度，同時重量傳感器20感應晶體的重量，并將數(shù)據(jù)傳輸?shù)斤@示器4，同時微孔攝像頭17將結(jié)晶圖像反應到顯示器4上，結(jié)晶結(jié)束后，取出結(jié)晶體即可。

盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，對于本領域的技術人員來說，其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分技術特征進行等同替換,凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。