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一種直拉法單晶爐用分段式接晶框的制作方法

文檔序號(hào):11366594閱讀:419來(lái)源:國(guó)知局

本實(shí)用新型涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域,特別地,涉及一種直拉法單晶爐用分段式接晶框。



背景技術(shù):

單晶爐是一種在惰性氣體(氬氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,并用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備。在直拉法制備單晶硅工藝中,晶體拉制完成拆爐后,晶棒溫度依然達(dá)到數(shù)百度,需要專(zhuān)用的接晶框接取晶棒后冷卻才能搬運(yùn)。

隨著技術(shù)提升,晶棒直徑、長(zhǎng)度、重量快速增大,原始一體式接晶框的弊端越來(lái)越大:大型一體式接晶框高度高,只能放于單晶爐底水平基面,當(dāng)放入晶棒后,重量達(dá)到近200KG,且與地面有約70CM的落差,為取出晶棒,需要4個(gè)身體強(qiáng)壯的人員通力合作,勞動(dòng)強(qiáng)度巨大;晶棒長(zhǎng)度達(dá)到近2米,爐底空間狹小操作困難,有磕碰人員和產(chǎn)品的危險(xiǎn),晶棒取出后還需稱(chēng)重,需要人工多次搬運(yùn),耗費(fèi)人力;而小型一體式接晶框因重心不穩(wěn)無(wú)法放置長(zhǎng)晶體。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題,本實(shí)用新型的目的在于一種直拉法單晶爐用分段式接晶框,解決了使用傳統(tǒng)一體式接晶框時(shí)晶體不便搬運(yùn)的問(wèn)題。

為了達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)。

一種直拉法單晶爐用分段式接晶框,其特征在于,包括:

圓柱形固定框架,所述圓柱形固定框架包含多個(gè)圓環(huán)框架和連接桿,所述連接桿豎向連接所述多個(gè)圓環(huán)框架;

軟性框架,所述軟性框架包含多條軟鏈、防脫環(huán)和底部承接盤(pán),所述多條軟鏈之間平行連接有所述防脫環(huán)和所述底部承接盤(pán);

所述多條軟鏈與所述圓柱形固定框架的最下端的圓環(huán)框架連接,所述最下端的圓環(huán)框架的兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置有支撐耳。

作為優(yōu)選地,所述連接桿豎向焊接連接所述多個(gè)圓環(huán)框架,且所述多個(gè)圓環(huán)框架相互平行設(shè)置。

作為優(yōu)選地,所述多個(gè)圓環(huán)框架為3個(gè)。

作為優(yōu)選地,所述多條軟鏈通過(guò)焊接固定在所述圓柱形固定框架的最下端的圓環(huán)框架上,并均勻分布于圓環(huán)框架的一周,且不與所述支撐耳相互干擾。

作為優(yōu)選地,所述多條軟鏈為4條。

作為優(yōu)選地,所述防脫環(huán)設(shè)置于所述多條軟鏈的下部,且距離所述多條軟鏈的下端10-15厘米。

作為優(yōu)選地,所述多條軟鏈與所述防脫環(huán)的一周均勻連接,且所述防脫環(huán)平行于所述圓環(huán)框架。

作為優(yōu)選地,所述多條軟鏈與所述底部承接盤(pán)的一周均勻連接,且所述底部承接盤(pán)平行于所述防脫環(huán)。

作為優(yōu)選地,所述支撐耳為兩個(gè)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果為:

本實(shí)用新型的直拉法單晶爐用分段式接晶框利用圓柱形固定框架連接軟性框架的結(jié)構(gòu),解決了使用傳統(tǒng)一體式接晶框時(shí)晶體不便搬運(yùn)的問(wèn)題,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。

圖1為本實(shí)用新型的一種直拉法單晶爐用分段式接晶框的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖中:1、圓環(huán)框架;2、連接桿;3、支撐耳;4、軟鏈;5、防脫環(huán);6、底部承接盤(pán)。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方案進(jìn)行詳細(xì)描述,但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員將會(huì)理解,下列實(shí)施例僅用于說(shuō)明本實(shí)用新型,而不應(yīng)視為限制本實(shí)用新型的范圍。

本實(shí)用新型提供了一種直拉法單晶爐用分段式接晶框,包括:圓柱形固定框架,所述圓柱形固定框架包含多個(gè)圓環(huán)框架1和多個(gè)連接桿2,所述多個(gè)連接桿2豎向連接所述多個(gè)圓環(huán)框架1;還包括軟性框架,所述軟性框架包含多條軟鏈4、防脫環(huán)5和底部承接盤(pán)6,所述多條軟鏈4之間平行連接有所述防脫環(huán)5和所述底部承接盤(pán)6;所述多條軟鏈4與所述圓柱形固定框架的最下端的圓環(huán)框架1連接,所述最下端的圓環(huán)框架1的兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置有支撐耳3。

其中,具體地,連接桿2豎向焊接連接圓環(huán)框架1,且多個(gè)圓環(huán)框架1相互平行設(shè)置;多個(gè)圓環(huán)框架1至少3個(gè)。

其中,具體地,多條軟鏈4通過(guò)焊接固定在圓柱形固定框架的最下端的圓環(huán)框架1上,并均勻分布于圓環(huán)框架1的一周,且不與支撐耳3相互干擾;多條軟鏈為至少4條。

其中,具體地,防脫環(huán)5為Φ4圓鋼材質(zhì),設(shè)置于多條軟鏈4的下部,穿過(guò)軟鏈4的下部等距處并成封閉狀態(tài),距離多條軟鏈4的下端10-15厘米。

其中,具體地,多條軟鏈4與防脫環(huán)5的一周均勻連接,且防脫環(huán)5平行于圓環(huán)框架1。

其中,具體地,底部承接盤(pán)6為鋼板制扁平圓環(huán),多條軟鏈4與底部承接盤(pán)6的一周均勻焊接連接,且底部承接盤(pán)6平行于防脫環(huán)5,保持水平狀態(tài)。

其中,具體地,支撐耳3為兩個(gè),對(duì)稱(chēng)設(shè)置于位于圓柱形固定框架的最下端的圓環(huán)框架上,并不與軟鏈4相互影響。

使用時(shí),將軟鏈4從爐臺(tái)邊開(kāi)口扔下,保持軟鏈4不相互纏繞,底部承接盤(pán)6水平,將支撐耳3放置于爐臺(tái)開(kāi)口兩邊的水平地面上,保持該分段式接晶框的圓柱形固定框架垂直即可。晶體從圓柱形固定框架的上部緩慢降入該分段式接晶框,底部承接盤(pán)6上設(shè)置有圓孔,有尾晶體的尾部直接進(jìn)入底部承接盤(pán)6的圓孔處,無(wú)尾晶體放置于底部承接盤(pán)6平面上。在取晶體時(shí),人員在平臺(tái)地面使用吊裝繩與舉升機(jī)就可將晶體直接取至平臺(tái)。

以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理、主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解,本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制,上述實(shí)施例和說(shuō)明書(shū)中描述的只是說(shuō)明本實(shí)用新型的原理,在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下,本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn),這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)及其等效物界定。

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