本實(shí)用新型涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域,特別地,涉及一種直拉法單晶爐用提取熱系統(tǒng)的夾具。
背景技術(shù):
單晶爐是一種在惰性氣體(氬氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,并用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。在直拉法制備單晶硅工藝中,有時(shí)需取出熱系統(tǒng)的中保溫筒后對(duì)熱場進(jìn)行冷卻和清理。
但中保溫筒尺寸大、本身石墨材質(zhì)加上外邊的碳?xì)质沟谜w重量較大,加之提取時(shí)內(nèi)部還有處于高溫、固定狀態(tài)的石墨加熱器,可抓取的空間比較小。在實(shí)際生產(chǎn)中,需要4個(gè)身高力大的員工穿戴高溫保護(hù)手套小心提取,否則就需要長時(shí)間冷卻,耽誤生產(chǎn)運(yùn)行。即使如此,依然有燙傷員工或中保溫筒掉落損壞的事件發(fā)生,給生產(chǎn)帶來極大不便。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題,本實(shí)用新型的目的在于提供一種直拉法單晶爐用提取熱系統(tǒng)的夾具,解決了生產(chǎn)中無專用夾具取出熱系統(tǒng)的中保溫筒的問題。
為了達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)。
一種直拉法單晶爐用提取熱系統(tǒng)的夾具,其特征在于,包括:剛性外殼、軟性內(nèi)襯、吊桿和吊鉤;所述剛性外殼的截面為凹槽形,所述軟性內(nèi)襯設(shè)置于所述剛性外殼的凹槽內(nèi)部;所述吊桿的上端為安裝端,所述吊桿通過所述安裝端固定安裝在所述剛性外殼的外側(cè),所述吊桿的下端連接所述吊鉤。
作為優(yōu)選地,所述軟性內(nèi)襯通過沉頭螺絲固定連接所述剛性外殼。
作為優(yōu)選地,所述軟性內(nèi)襯的內(nèi)側(cè)為弧形凹槽狀。
作為優(yōu)選地,所述安裝端通過沉頭螺絲將所述吊桿固定安裝在所述剛性外殼的外側(cè),且所述外側(cè)為所述軟性內(nèi)襯的內(nèi)側(cè)為內(nèi)弧的一側(cè)。
作為優(yōu)選地,所述吊鉤焊接于所述吊桿的下端。
作為優(yōu)選地,所述吊桿為弧形,使得所述吊桿下端的吊鉤與所述剛性外殼的水平距離為5-10厘米。
作為優(yōu)選地,所述軟性內(nèi)襯的材質(zhì)為聚四氟乙烯。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果為:
本實(shí)用新型的一種直拉法單晶爐用提取熱系統(tǒng)的夾具結(jié)構(gòu)簡單、使用方便,在用于提取單晶爐熱系統(tǒng)的中保溫筒時(shí),將剛性外殼卡入爐筒上沿,將吊鉤鉤住中保溫筒,提升爐筒,即可將中保溫桶提取出,避免了人工提取時(shí)燙傷員工或者中保溫筒掉落損壞的事件發(fā)生,也不需要長時(shí)間冷卻,提高了生產(chǎn)效率。
附圖說明
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說明。
圖1為本實(shí)用新型的一種直拉法單晶爐用提取熱系統(tǒng)的夾具的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖中:1、沉頭螺絲;2、剛性外殼;3、軟性內(nèi)襯;4、安裝端;5、吊桿;6、吊鉤。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方案進(jìn)行詳細(xì)描述,但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員將會(huì)理解,下列實(shí)施例僅用于說明本實(shí)用新型,而不應(yīng)視為限制本實(shí)用新型的范圍。
根據(jù)本實(shí)用新型的一種直拉法單晶爐用提取熱系統(tǒng)的夾具,包括:剛性外殼2、軟性內(nèi)襯3、吊桿5和吊鉤6;所述剛性外殼2的截面為凹槽形,所述軟性內(nèi)襯3設(shè)置于所述剛性外殼2的凹槽內(nèi)部;所述吊桿5的上端為安裝端4,所述吊桿5通過所述安裝端4固定安裝在所述剛性外殼2的外側(cè),所述吊桿5的下端連接所述吊鉤6。
以上實(shí)施例中,剛性外殼2作為主要承力體,為截面為凹槽形的形狀,凹槽內(nèi)部設(shè)置有軟性內(nèi)襯3,剛性外殼2的凹槽狀形狀可以使得剛性外殼2卡在爐筒的上沿,吊鉤6鉤住中保溫筒,進(jìn)而提取出熱系統(tǒng)的中保溫筒。
根據(jù)本實(shí)用新型的一種直拉法單晶爐用提取熱系統(tǒng)的夾具,所述軟性內(nèi)襯3通過沉頭螺絲1固定連接所述剛性外殼2。
根據(jù)本實(shí)用新型的一種直拉法單晶爐用提取熱系統(tǒng)的夾具,所述軟性內(nèi)襯3的內(nèi)側(cè)為弧形凹槽狀。
以上實(shí)施例中,軟性內(nèi)襯3設(shè)置為弧形凹槽狀,可以使得剛性外殼2卡在爐筒上沿時(shí),軟性內(nèi)襯3與爐筒的外壁緊密貼合,提取中保溫筒時(shí),中保溫筒受力均勻,不易發(fā)生提取時(shí)掉落的現(xiàn)象。
根據(jù)本實(shí)用新型的一種直拉法單晶爐用提取熱系統(tǒng)的夾具,所述安裝端4通過沉頭螺絲1將所述吊桿5固定安裝在所述剛性外殼2的外側(cè),且所述吊桿5固定安裝在所述剛性外殼2的外側(cè)為所述軟性內(nèi)襯3的內(nèi)側(cè)為內(nèi)弧的一側(cè)。
根據(jù)本實(shí)用新型的一種直拉法單晶爐用提取熱系統(tǒng)的夾具,所述吊鉤6焊接于所述吊桿6的下端。
根據(jù)本實(shí)用新型的一種直拉法單晶爐用提取熱系統(tǒng)的夾具,所述吊桿5為弧形,使得所述吊桿5下端的吊鉤6與所述剛性外殼2的水平距離為5-10厘米。
根據(jù)本實(shí)用新型的一種直拉法單晶爐用提取熱系統(tǒng)的夾具,所述軟性內(nèi)襯3的材質(zhì)為聚四氟乙烯。
以上實(shí)施例中,吊桿5固定安裝在剛性外殼2的外側(cè)為軟性內(nèi)襯3的內(nèi)側(cè)為內(nèi)弧的一側(cè),使得吊桿5下端的吊鉤6鉤住中保溫筒的外壁,吊桿5為弧形,使得吊鉤6與剛性外殼2的水平距離為5-10厘米,這樣,吊鉤6在鉤住中保溫筒向上提取時(shí),吊鉤6可以更穩(wěn)定的鉤住中保溫筒,而使其不容易滑落。
使用本實(shí)用新型的直拉法單晶爐用提取熱系統(tǒng)的夾具提取中保溫筒時(shí),至少需要3個(gè)本實(shí)用新型的直拉法單晶爐用提起熱系統(tǒng)的夾具,且3個(gè)夾具的剛性外殼2均勻卡入爐筒上沿,呈120°夾角,吊鉤6鉤住中保溫筒,可以保證中保溫筒的受力均勻,同時(shí)也可以利用爐筒原有的定位塊來保證中保溫筒的受力均勻;當(dāng)?shù)蹉^6鉤住中保溫筒時(shí),控制爐筒內(nèi)液壓,提升爐筒,在爐筒的提升過程中,夾具就可利用爐筒升力水平提升中保溫桶,最終將中保溫桶提取出,避免了人工提取時(shí)燙傷員工或者中保溫筒掉落損壞的事件發(fā)生,也不需要長時(shí)間冷卻,提高了生產(chǎn)效率。
以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理、主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解,本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制,上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理,在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下,本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn),這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。