本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，特別是指一種硅片倒角砂輪修整系統(tǒng)和硅片。

背景技術(shù)：

1、采用金剛線切割后的硅片，由于其邊緣存在一定的加工壓力，需要使用專用的倒角砂輪(或稱為外周精研砂輪)的溝槽對硅片進(jìn)行倒角加工，也就是使用外周精研砂輪的形狀復(fù)制出硅片邊緣的形狀，但是使用倒角砂輪長期加工之后，砂輪溝槽的槽壁上的磨粒結(jié)構(gòu)會逐漸磨鈍，磨鈍后的砂輪在進(jìn)行加工時(shí)會影響硅片的表面質(zhì)量和幾何精度，因此，外周精研砂輪在使用一段時(shí)間后需要對其溝槽進(jìn)行修整。

2、現(xiàn)有技術(shù)中，是使用外周粗研砂輪對修整片進(jìn)行研磨，將外周粗研砂輪的溝槽形狀復(fù)制到修整片上，然后在將修整片的形狀復(fù)制到外周精研砂輪上，完成對外周精研砂輪的溝槽修整。

3、但是現(xiàn)有的使用外周粗研砂輪對修整片進(jìn)行修整的過程中，隨著對修整片加工次數(shù)的增加，也會使得加工出的修整片的精度降低，導(dǎo)致產(chǎn)品的邊沿?cái)?shù)據(jù)失控，良品率降低，以及，針對不同的產(chǎn)品規(guī)格，需要使用不同的外周粗研砂輪對修整片進(jìn)行修整，導(dǎo)致設(shè)備稼動率低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明實(shí)施例提供一種硅片倒角砂輪修整系統(tǒng)和硅片，用以解決現(xiàn)有的邊緣倒角硅片的產(chǎn)品穩(wěn)定性差、倒角設(shè)備稼動率低的問題。

2、為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的實(shí)施例提供技術(shù)方案如下：

3、本發(fā)明實(shí)施例提供一種硅片倒角砂輪修整系統(tǒng)，包括：

4、修整片加工裝置，所述修整片加工裝置與修整片的邊緣之間能夠發(fā)生相對運(yùn)動，并且所述修整片加工裝置通過所述相對運(yùn)動加工所述修整片的邊緣；

5、轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，所述轉(zhuǎn)運(yùn)裝置設(shè)置于所述修整片的上方，用于將加工完成的修整片轉(zhuǎn)運(yùn)至第一砂輪的一側(cè)，所述加工完成的修整片用于對所述第一砂輪的砂輪形狀進(jìn)行修整，所述第一砂輪用于對硅片進(jìn)行邊緣倒角加工。

6、一些實(shí)施例中，所述修整片加工裝置包括第一修整片承載機(jī)構(gòu)和第一修整片研磨機(jī)構(gòu)；

7、所述第一修整片承載機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述修整片的下方，所述第一修整片承載機(jī)構(gòu)用于承載所述修整片以及帶動所述修整片旋轉(zhuǎn)；

8、所述第一修整片研磨機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述修整片的一側(cè)，所述第一修整片研磨機(jī)構(gòu)能夠朝向靠近或者遠(yuǎn)離所述修整片的方向移動；

9、通過所述第一修整片承載機(jī)構(gòu)帶動所述修整片旋轉(zhuǎn)，以及通過所述第一修整片研磨機(jī)構(gòu)由遠(yuǎn)離朝向靠近所述修整片的方向移動，所述第一修整片研磨機(jī)構(gòu)加工所述修整片的邊緣。

10、一些實(shí)施例中，所述第一修整片研磨機(jī)構(gòu)包括第二砂輪和第三砂輪；

11、所述第二砂輪的橫截面和所述第三砂輪的橫截面垂直于所述修整片所在平面設(shè)置，且所述第二砂輪的中心和所述第三砂輪的中心與所述修整片位于同一水平面上；

12、所述第二砂輪和所述第三砂輪能夠在水平方向上朝向靠近或者遠(yuǎn)離所述修整片的方向移動；

13、所述第二砂輪能夠在豎直方向上朝向遠(yuǎn)離所述修整片的第一方向運(yùn)動；

14、所述第三砂輪能夠在豎直方向上朝向遠(yuǎn)離所述修整片的第二方向運(yùn)動；

15、所述第一方向與所述第二方向?yàn)橄喾吹姆较颍?/p>

16、通過所述第一修整片承載機(jī)構(gòu)帶動所述修整片旋轉(zhuǎn)、所述第二砂輪和所述第三砂輪在水平方向上朝向靠近所述修整片的方向移動，以及，所述第二砂輪和所述第三砂輪接觸所述修整片的邊緣、所述第二砂輪在豎直方向上朝向第一方向運(yùn)動、以及所述第三砂輪在豎直方向上朝向第二方向運(yùn)動，所述第一修整片研磨機(jī)構(gòu)加工所述修整片的邊緣。

17、一些實(shí)施例中，所述第二砂輪和所述第三砂輪的尺寸相同。

18、一些實(shí)施例中，所述修整片加工裝置包括第二修整片研磨機(jī)構(gòu)和第二修整片承載機(jī)構(gòu)；

19、所述第二修整片承載機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述修整片的下方，所述第二修整片承載機(jī)構(gòu)用于承載所述修整片，調(diào)整所述修整片所在平面與水平面之間的角度；

20、所述第二修整片研磨機(jī)構(gòu)用于研磨不同角度的所述修整片的邊緣。

21、一些實(shí)施例中，所述第二修整片研磨機(jī)構(gòu)包括砂輪支撐機(jī)構(gòu)和第四砂輪；

22、所述砂輪支撐機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述第四砂輪的下方，且所述砂輪支撐機(jī)構(gòu)帶動所述第四砂輪旋轉(zhuǎn)。

23、一些實(shí)施例中，所述第二修整片承載機(jī)構(gòu)包括承載臺、角度調(diào)整機(jī)構(gòu)以及驅(qū)動機(jī)構(gòu)；

24、所述承載臺用于承載所述修整片；

25、所述角度調(diào)整機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述承載臺的下方，所述角度調(diào)整機(jī)構(gòu)與所述承載臺連接，所述角度調(diào)整機(jī)構(gòu)與用于通過所述承載臺調(diào)整所述修整片所在平面與水平面之間的角度；

26、所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)與所述角度調(diào)整機(jī)構(gòu)連接，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動所述承載臺和所述角度調(diào)整機(jī)構(gòu)朝向靠近或者遠(yuǎn)離所述第二修整片研磨機(jī)構(gòu)的方向移動。

27、一些實(shí)施例中，所述角度調(diào)整機(jī)構(gòu)包括萬向球軸承；

28、所述角度調(diào)整機(jī)構(gòu)通過所述萬向球軸承調(diào)整所述修整片所在平面與水平面之間的角度。

29、一些實(shí)施例中，所述轉(zhuǎn)運(yùn)裝置通過真空吸附的方式固定連接所述修整片的上表面，將加工完成的修整片轉(zhuǎn)運(yùn)至所述第一砂輪的一側(cè)。

30、本發(fā)明實(shí)施例還提供一種硅片，所述硅片的邊緣倒角是由第一砂輪的砂輪形狀加工得到的；

31、所述第一砂輪的砂輪形狀是通過如上中任一項(xiàng)所述的硅片倒角砂輪修整系統(tǒng)加工得到的。

32、本發(fā)明的實(shí)施例具有以下有益效果：

33、本發(fā)明實(shí)施例提供的硅片倒角砂輪修整系統(tǒng)，包括修整片加工裝置和轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其中，修整片加工裝置通過與修整片的邊緣之間產(chǎn)生的相對運(yùn)動，對修整片的邊緣進(jìn)行加工，直到加工完成，之后，通過轉(zhuǎn)運(yùn)裝置將加工完成的修整片轉(zhuǎn)運(yùn)至第一砂輪的一側(cè)，以修整片對第一砂輪的砂輪形狀進(jìn)行修整，直到完成對砂輪形狀的修整，之后，修整完成第一砂輪對硅片進(jìn)行邊緣倒角加工，該第一砂輪為外周精研砂輪。在該相對運(yùn)動軌跡確定的情況下，該相對運(yùn)動軌跡修整出的修整片的邊緣的形狀是一致的，即使隨著對修整片的加工次數(shù)的增加，在相同的運(yùn)動軌跡下加工出的修整片的邊緣精度也較高，保證修整片加工出的第一砂輪的砂輪形狀的精度，進(jìn)而保證第一砂輪加工出的產(chǎn)品的穩(wěn)定，以及，由于修整片加工裝置與修整片的邊緣之間產(chǎn)生的相對運(yùn)動的運(yùn)動軌跡并不固定，通過改變該運(yùn)動軌跡，可以使得修整片加工裝置加工出適用于不同產(chǎn)品的修整片，提高倒角設(shè)備的稼動率。

技術(shù)特征：

1.一種硅片倒角砂輪修整系統(tǒng)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片倒角砂輪修整系統(tǒng)，其特征在于，所述修整片加工裝置包括第一修整片承載機(jī)構(gòu)和第一修整片研磨機(jī)構(gòu)；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片倒角砂輪修整系統(tǒng)，其特征在于，所述第一修整片研磨機(jī)構(gòu)包括第二砂輪和第三砂輪；

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片倒角砂輪修整系統(tǒng)，其特征在于，所述第二砂輪和所述第三砂輪的尺寸相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片倒角砂輪修整系統(tǒng)，其特征在于，所述修整片加工裝置包括第二修整片研磨機(jī)構(gòu)和第二修整片承載機(jī)構(gòu)；

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片倒角砂輪修整系統(tǒng)，其特征在于，所述第二修整片研磨機(jī)構(gòu)包括砂輪支撐機(jī)構(gòu)和第四砂輪；

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片倒角砂輪修整系統(tǒng)，其特征在于，所述第二修整片承載機(jī)構(gòu)包括承載臺、角度調(diào)整機(jī)構(gòu)以及驅(qū)動機(jī)構(gòu)；

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅片倒角砂輪修整系統(tǒng)，其特征在于，所述角度調(diào)整機(jī)構(gòu)包括萬向球軸承；

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片倒角砂輪修整系統(tǒng)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)運(yùn)裝置通過真空吸附的方式固定連接所述修整片的上表面，將加工完成的修整片轉(zhuǎn)運(yùn)至所述第一砂輪的一側(cè)。

10.一種硅片，其特征在于，所述硅片的邊緣倒角是由第一砂輪的砂輪形狀加工得到的；

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種硅片倒角砂輪修整系統(tǒng)和硅片，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，所述硅片倒角砂輪修整系統(tǒng)，包括：修整片加工裝置，修整片加工裝置與修整片的邊緣之間能夠發(fā)生相對運(yùn)動，修整片加工裝置通過相對運(yùn)動加工修整片的邊緣；轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，設(shè)置于修整片的上方，用于將加工完成的修整片轉(zhuǎn)運(yùn)至第一砂輪的一側(cè)，加工完成的修整片用于對第一砂輪的砂輪形狀進(jìn)行修整，第一砂輪用于對硅片進(jìn)行邊緣倒角加工。通過相對運(yùn)動的方式加工修整片的邊緣，即使隨著對修整片的加工次數(shù)的增加，在相同的運(yùn)動軌跡下加工出的修整片的邊緣精度也較高，保證修整片加工出的第一砂輪的砂輪形狀的精度，進(jìn)而保證第一砂輪加工出的產(chǎn)品的穩(wěn)定，也可以提高倒角設(shè)備的稼動率。

技術(shù)研發(fā)人員：李亮亮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：西安奕斯偉材料科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9