技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種納米鍍膜設(shè)備化學(xué)原料汽化裝置，屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域。該裝置包括汽化裝置基體，汽化裝置基體上安裝有電熱管、溫控?zé)犭娕己突瘜W(xué)原料泵入導(dǎo)管；化學(xué)原料泵入導(dǎo)管經(jīng)汽化裝置基本管路與一級汽化腔室連通，一級汽化腔室經(jīng)汽化腔室連接管路與二級汽化腔室連通，二級汽化腔室經(jīng)汽化裝置基本管路與導(dǎo)熱管連通，導(dǎo)熱管端部連接等離子體擋板。該裝置采用多級汽化方式，化學(xué)原料經(jīng)一級汽化腔室汽化后進(jìn)入二級汽化腔室，汽化充分；汽化裝置出口安裝等離子體擋板，可阻止等離子體進(jìn)入汽化裝置引發(fā)反應(yīng)生成聚合物，防止腔體及管路堵塞；導(dǎo)熱管和溫控?zé)犭娕伎删S持化學(xué)原料蒸汽和等離子擋板的溫度，避免化學(xué)原料蒸汽的冷凝。

技術(shù)研發(fā)人員：宗堅(jiān)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無錫榮堅(jiān)五金工具有限公司
文檔號碼：201720129986
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.14
技術(shù)公布日：2017.09.19