本實(shí)用新型屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種納米鍍膜設(shè)備化學(xué)原料汽化裝置。

背景技術(shù)：

納米鍍膜作為提升材料表面性能有效方法被廣泛應(yīng)用于航空航天、汽車制造、機(jī)械重工和五金工具制造等領(lǐng)域。在納米鍍膜時(shí)，需要將反應(yīng)腔室抽真空，然后向反應(yīng)腔室內(nèi)通入化學(xué)原料?；瘜W(xué)原料以液體形式加入與反應(yīng)腔室連通的汽化裝置中，通過汽化裝置把化學(xué)原料汽化，由于反應(yīng)腔室持續(xù)抽真空，汽化的化學(xué)原料擴(kuò)散進(jìn)入反應(yīng)腔室。

現(xiàn)有納米鍍膜設(shè)備的汽化裝置通常只有單個(gè)汽化腔室，該汽化腔室直接與反應(yīng)腔室連通。實(shí)際使用過程中，單個(gè)汽化腔室的汽化效率較低，經(jīng)常出現(xiàn)化學(xué)原料汽化不充分，汽化腔室內(nèi)殘留的液態(tài)化學(xué)原料或者未充分汽化的化學(xué)原料被吸入反應(yīng)釜，而導(dǎo)致鍍膜厚度不均勻甚至鍍膜失效等問題。而且，由于汽化腔室直接與反應(yīng)腔室連通，反應(yīng)腔室內(nèi)的等離子體引發(fā)汽化腔室內(nèi)殘留的化學(xué)原料反應(yīng)，形成固態(tài)的聚合物，最后由于聚合物不斷累積，造成汽化腔室和反應(yīng)腔室連接管路的堵塞，從而影響到產(chǎn)品鍍膜的質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題，本實(shí)用新型提供一種納米鍍膜設(shè)備化學(xué)原料汽化裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便?；瘜W(xué)原料經(jīng)化學(xué)原料泵入導(dǎo)管加入到汽化裝置第一基體管路，在汽化裝置第一基體管路和一級(jí)汽化腔室加熱形成的化學(xué)原料蒸汽通過汽化腔室連接管路進(jìn)入二級(jí)汽化腔室，化學(xué)原料蒸汽在二級(jí)汽化腔室進(jìn)一步充分汽化，再進(jìn)入汽化裝置第二基體管路，最后經(jīng)過導(dǎo)熱管和等離子體擋板均勻擴(kuò)散到反應(yīng)腔室內(nèi)。

本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案如下：

一種納米鍍膜設(shè)備化學(xué)原料汽化裝置，其特征是：該裝置包括汽化裝置基體，汽化裝置基體上方連接安裝有化學(xué)原料泵入導(dǎo)管，所述化學(xué)原料泵入導(dǎo)管底部與第一基本管路連通；所述第一基本管路前端封閉，后端與一級(jí)汽化腔室連通；所述一級(jí)汽化腔室經(jīng)汽化腔室連接管路與二級(jí)汽化腔室連通，所述一級(jí)汽化腔室與二級(jí)汽化腔室分別位于汽化裝置基體兩側(cè)，所述二級(jí)汽化腔室經(jīng)第二基本管路與導(dǎo)熱管前端連通，所述導(dǎo)熱管后端連接有等離子體擋板，所述導(dǎo)熱管上安裝有氣體出口，所述第一基本管路與所述汽化腔室連接管路下方安裝有電熱管，所述汽化裝置基體底部安裝有溫控?zé)犭娕肌?/p>

所述汽化裝置基體材質(zhì)為鋁、銅或不銹鋼。

所述電熱管功率為10W-1000W；所述溫控?zé)犭娕嫉臏y(cè)溫范圍為0～250℃。

所述一級(jí)汽化腔室容積為0.01L-0.5L，材質(zhì)為鋁、銅或不銹鋼。

所述二級(jí)汽化腔室容積為0.01L-0.5L，材質(zhì)為鋁、銅或不銹鋼。

所述導(dǎo)熱管內(nèi)徑為3mm-50mm。

所述等離子體擋板垂直于導(dǎo)熱管設(shè)置。

所述等離子體擋板為平面或曲面形狀，其厚度為1mm-5mm，材質(zhì)為鋁、銅或不銹鋼。

所述等離子體擋板為圓盤形或至少四邊的柱形，厚度為1mm-5mm，材質(zhì)為鋁、銅或不銹鋼。

所述等離子體擋板為圓盤形時(shí)，其直徑為20mm-200mm。

綜上，本實(shí)用新型可提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便的納米鍍膜設(shè)備化學(xué)原料汽化裝置，與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)：

(1)采用多級(jí)汽化的方式，化學(xué)原料經(jīng)過一級(jí)汽化腔室汽化后進(jìn)入二級(jí)汽化腔室，逐級(jí)汽化更充分，保證進(jìn)料的速度和數(shù)量可以精確控制。

(2)汽化裝置出口安裝等離子體擋板，等離子體擋板右側(cè)有等離子體存在，左側(cè)基本沒有等離子體存在，原料蒸汽從擋板左側(cè)的導(dǎo)熱管的氣體出口擴(kuò)散到擋板右側(cè)后進(jìn)行等離子體聚合反應(yīng)；等離子體擋板可阻止等離子體進(jìn)入汽化裝置引發(fā)反應(yīng)生成聚合物，引起腔體及管路堵塞。

(3)汽化裝置基體安裝導(dǎo)熱管和溫控?zé)犭娕?，維持化學(xué)原料蒸汽和等離子擋板的溫度，避免化學(xué)原料蒸汽冷凝。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型裝置的截面結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為圖1中A-A剖面圖。

圖中，1、汽化裝置基體，2、電熱管，3、化學(xué)原料泵入導(dǎo)管，4、一級(jí)汽化腔室，5、二級(jí)汽化腔室，6、導(dǎo)熱管，7、等離子體擋板，8、汽化腔室連接管路，9、第一基本管路，10、第二基本管路，11、氣體出口，12、溫控?zé)犭娕肌?/p>

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體實(shí)施例及附圖詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型，但本實(shí)用新型并不局限于具體實(shí)施例。

實(shí)施例1：

如圖1所示，一種納米鍍膜設(shè)備化學(xué)原料汽化裝置，其特征是：該裝置包括汽化裝置基體，汽化裝置基體上方連接安裝有化學(xué)原料泵入導(dǎo)管，所述化學(xué)原料泵入導(dǎo)管底部與第一基本管路連通；所述第一基本管路前端封閉，后端與一級(jí)汽化腔室連通；所述一級(jí)汽化腔室經(jīng)汽化腔室連接管路與二級(jí)汽化腔室連通，所述一級(jí)汽化腔室與二級(jí)汽化腔室分別位于汽化裝置基體兩側(cè)，所述二級(jí)汽化腔室經(jīng)第二基本管路與導(dǎo)熱管前端連通，所述導(dǎo)熱管后端連接有等離子體擋板，所述導(dǎo)熱管上安裝有氣體出口，所述第一基本管路與所述汽化腔室連接管路下方安裝有電熱管，所述汽化裝置基體底部安裝有溫控?zé)犭娕肌?/p>

所述汽化裝置基體材質(zhì)為鋁。

所述電熱管功率為10W；所述溫控?zé)犭娕嫉臏y(cè)溫范圍為0～250℃。

所述一級(jí)汽化腔室容積為0.01L，材質(zhì)為鋁。

所述二級(jí)汽化腔室容積為0.01L，材質(zhì)為鋁。

所述導(dǎo)熱管內(nèi)徑為3mm。

所述等離子體擋板垂直于導(dǎo)熱管設(shè)置。

所述等離子體擋板為圓盤形，厚度為1mm，其直徑為20mm，材質(zhì)為鋁。

因此，本裝置采用多級(jí)汽化的方式，化學(xué)原料經(jīng)過一級(jí)汽化腔室汽化后進(jìn)入二級(jí)汽化腔室，逐級(jí)汽化更充分，保證了進(jìn)料的速度和數(shù)量可以精確控制；同時(shí)，汽化裝置出口安裝等離子體擋板，可阻止等離子體進(jìn)入汽化裝置引發(fā)反應(yīng)生成聚合物，防止腔體及管路堵塞；汽化裝置基體安裝導(dǎo)熱管，可維持化學(xué)原料蒸汽和等離子擋板的溫度，避免化學(xué)原料蒸汽冷凝。

實(shí)施例2：

本實(shí)施例中的一種納米鍍膜設(shè)備化學(xué)原料汽化裝置與實(shí)施例1中基本相同，其中不同的是：

所述汽化裝置基體材質(zhì)為銅。

所述電熱管功率為500W；所述溫控?zé)犭娕嫉臏y(cè)溫范圍為0～250℃。

所述一級(jí)汽化腔室容積為0.5L，材質(zhì)為銅。

所述二級(jí)汽化腔室容積為0.5L，材質(zhì)為鋁。

所述導(dǎo)熱管內(nèi)徑為50mm。

所述等離子體擋板為圓盤形，厚度為5mm，其直徑為200mm，材質(zhì)為銅。

實(shí)施例3：

本實(shí)施例中的一種納米鍍膜設(shè)備化學(xué)原料汽化裝置與實(shí)施例1中基本相同，其中不同的是：

所述汽化裝置基體材質(zhì)為鋁。

所述電熱管功率為10W；所述溫控?zé)犭娕嫉臏y(cè)溫范圍為0～250℃。

所述一級(jí)汽化腔室容積為0.01L，材質(zhì)為鋁。

所述二級(jí)汽化腔室容積為0.01L，材質(zhì)為鋁。

所述導(dǎo)熱管內(nèi)徑為3mm。

所述等離子體擋板垂直于導(dǎo)熱管設(shè)置。

所述等離子體擋板為曲面形狀，其厚度為1mm，材質(zhì)為鋁。

實(shí)施例4：

本實(shí)施例中的一種納米鍍膜設(shè)備化學(xué)原料汽化裝置與實(shí)施例1中基本相同，其中不同的是：

所述汽化裝置基體材質(zhì)為銅。

所述電熱管功率為500W；所述溫控?zé)犭娕嫉臏y(cè)溫范圍為0～250℃。

所述一級(jí)汽化腔室容積為0.3L，材質(zhì)為銅。

所述二級(jí)汽化腔室容積為0.3L，材質(zhì)為銅。

所述導(dǎo)熱管內(nèi)徑為20mm。

所述等離子體擋板垂直于導(dǎo)熱管設(shè)置。

所述等離子體擋板為四邊柱形，厚度為3mm，材質(zhì)為銅。

實(shí)施例5：

本實(shí)施例中的一種納米鍍膜設(shè)備化學(xué)原料汽化裝置與實(shí)施例1中基本相同，其中不同的是：

所述汽化裝置基體材質(zhì)為不銹鋼。

所述電熱管功率為1000W；所述溫控?zé)犭娕嫉臏y(cè)溫范圍為0～250℃。

所述一級(jí)汽化腔室容積為0.5L，材質(zhì)為不銹鋼。

所述二級(jí)汽化腔室容積為0.5L，材質(zhì)為不銹鋼。

所述導(dǎo)熱管內(nèi)徑為50mm。

所述等離子體擋板垂直于導(dǎo)熱管設(shè)置。

所述等離子體擋板為六邊柱形，厚度為5mm，材質(zhì)為不銹鋼。