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技術(shù)特征:

1.一種研磨組件,其特征在于,所述研磨組件包括:

基座;

吸附機構(gòu),所述吸附機構(gòu)設(shè)置于所述基座的下表面;

研磨環(huán),所述研磨環(huán)設(shè)置于所述基座的下表面,且設(shè)置于所述吸附機構(gòu)的外圍,其中,所述研磨環(huán)上設(shè)置橫向貫穿所述研磨環(huán)的通孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨組件,其特征在于,所述研磨環(huán)可拆卸套置于所述吸附機構(gòu)的外圍。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨組件,其特征在于,所述研磨環(huán)固定設(shè)置于所述吸附機構(gòu)的外圍。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨組件,其特征在于,所述通孔沿所述研磨環(huán)的周向均勻分布。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨組件,其特征在于,所述吸附機構(gòu)呈倒“T”形,包括第一直徑部和第二直徑部,所述第一直徑部與所述基座的下表面相接觸,所述第一直徑部的直徑小于所述第二直徑部的直徑。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的研磨組件,其特征在于,所述通孔設(shè)置于所述研磨環(huán)與所述吸附機構(gòu)的所述第一直徑部對應(yīng)的位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的研磨組件,其特征在于,所述研磨環(huán)與所述吸附機構(gòu)的所述第二直徑部具有間隙。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的研磨組件,其特征在于,所述間隙的水平距離為1.00mm-1.15mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨組件,其特征在于,所述研磨組件還設(shè)有清洗管,所述清洗管位于所述研磨環(huán)外圍,且至少所述清洗管的管嘴與所述通孔位于同一平面內(nèi)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的研磨組件,其特征在于,所述清洗管沿所述研磨環(huán)的周向均勻分布。

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