專利名稱：一種pecvd鍍膜設(shè)備特氣槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及硅片鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽。
背景技術(shù)：
太陽能電池組件是一種能夠?qū)⒐饽苻D(zhuǎn)化為電能的裝置，其主要的光電轉(zhuǎn)換部件為硅片。隨著光伏行業(yè)的快速發(fā)展，對硅片的光電轉(zhuǎn)化效率要求也拉越來越高。為了提高硅片的光電轉(zhuǎn)化效率，一般采用的措施包括1、提高保護玻璃板的透射率；2、降低組件內(nèi)電阻；
3、減小硅片的反射率以及鈍化作用。在上述三種方法中，以第三種減小硅片的反射率以及鈍化作用對提高硅片光電轉(zhuǎn)化效率的效果最為明顯?，F(xiàn)有技術(shù)中實現(xiàn)第三種措施的方法為使用PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,等離子體增強化學(xué)氣相沉積法)設(shè)備于娃片表面進行鍍膜。在此對光伏行業(yè)中一些名詞進行解釋PECVD是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜，以實現(xiàn)降低硅片反射率和鈍化作用。鍍膜，指經(jīng)過PECVD設(shè)備在硅片的表面沉積一層起減反射和鈍化作用的氮化硅薄膜。特氣槽，將特氣孔以外的裸露的特氣管路之間的大蓋部分覆蓋保護起來，防止沉積物附著在管路及大蓋上面。現(xiàn)有技術(shù)中提供的PECVD設(shè)備，下面以R0TH&RAU公司生產(chǎn)的SINA 2XXL設(shè)備為例進行說明。該設(shè)備包含兩個工藝腔室，即PCl和PC2，這兩個腔室共設(shè)置有13組特氣管路，每組特氣管路都需要使用特氣槽進行保護。由于特氣槽是采用U型一體槽結(jié)構(gòu)設(shè)計，靠U型槽自身的張力，擠壓在兩個管路之間。因此，容易造成每次維護(徹底清理槽體表面的氮化硅)因使用鐵錘敲砸將特氣槽拆下而引起的槽子容易變形的問題。一旦特氣槽發(fā)生變形，將會遮擋特氣管路上的特氣孔影響了特氣分布，進而嚴重影響了工藝質(zhì)量。同時隨著設(shè)備的老化，特氣槽的自張力不能有效地起到固定特氣槽的作用，經(jīng)常發(fā)生槽體脫落的現(xiàn)象。綜上所述，如何提供一種安裝可靠同時又便于拆卸的特氣槽，成為了本領(lǐng)域技術(shù)人員接待結(jié)局的問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題為提供一種PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽，該特氣槽通過其結(jié)構(gòu)設(shè)計，不僅能夠與特氣管路可靠連接，同時又便于其于特氣管路上的安裝拆卸。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽，用于對PECVD鍍膜設(shè)備特氣輸送管的保護，包括保護板主體，所述保護板主體包括底板和側(cè)板；所述底板上開設(shè)有用于特氣輸出的第一特氣孔；所述側(cè)板鉸接于所述底板的兩側(cè)，所述側(cè)板上開設(shè)有用于特氣輸出的第二特氣孔；夾緊組件，所述夾緊組件包括夾緊彈簧和固定軸；所述夾緊彈簧套設(shè)于所述固定軸上，所述固定軸固定設(shè)置于所述保護板主體上；所述夾緊彈簧的兩端均設(shè)置有分別與所述底板和所述側(cè)板抵接的尾端，所述夾緊彈簧套設(shè)于所述安裝軸上。優(yōu)選地，所述固定軸設(shè)置于所述底板上，所述側(cè)板上設(shè)置有與所述固定軸插接的套管。優(yōu)選地，所述固定軸設(shè)置于所述側(cè)板上，所述底板上設(shè)置有與所述固定軸插接的套管。優(yōu)選地，所述夾緊組件為八個，并對稱設(shè)置于所述底板的兩側(cè)。
優(yōu)選地，所述側(cè)板的一邊與所述底板鉸接，所述側(cè)板的另一邊設(shè)置有穩(wěn)定翼板，所述穩(wěn)定翼板向所述側(cè)板的內(nèi)側(cè)彎折設(shè)置。優(yōu)選地，所述側(cè)板與所述穩(wěn)定翼板為一體結(jié)構(gòu)設(shè)計。本實用新型提供了一種PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽，用于對PECVD鍍膜設(shè)備特氣輸送管的保護，包括保護板主體，保護板主體包括底板和側(cè)板；底板上開設(shè)有用于特氣輸出的第一特氣孔；側(cè)板鉸接于底板的兩側(cè)，側(cè)板上開設(shè)有用于特氣輸出的第二特氣孔；夾緊組件，夾緊組件包括夾緊彈簧和固定軸；夾緊彈簧套設(shè)于固定軸上，固定軸固定設(shè)置于保護板主體上；夾緊彈簧的兩端均設(shè)置有分別與底板和側(cè)板抵接的尾端，夾緊彈簧套設(shè)于安裝軸上。側(cè)板鉸接于底板的兩側(cè)，當(dāng)保護板主體安裝于特氣輸送管上時，兩塊側(cè)板能夠?qū)μ貧廨斔凸苁┘颖Ьo力，使得本實用新型抱于特氣輸送管上，從而實現(xiàn)與特氣輸送管的安裝。底板以及側(cè)板上開設(shè)有用于特氣輸出的第一特氣孔和第二特氣孔，用于特氣的輸出。在底板與側(cè)板之間采用鉸接的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上，為了使得側(cè)板能夠?qū)μ貧廨斔凸苁┘涌煽康谋Ьo力，本實用新型特別設(shè)置了夾緊組件。夾緊組件由夾緊彈簧和固定軸構(gòu)成，夾緊彈簧套設(shè)于固定軸上，并能夠圍繞固定軸轉(zhuǎn)動。夾緊彈簧的兩端均設(shè)置有分別與底板和側(cè)板抵接的尾端，夾緊彈簧套設(shè)于安裝軸上，在結(jié)構(gòu)設(shè)計中，側(cè)板與底板能夠?qū)A緊彈簧的尾端施加作用力，使其產(chǎn)生形變。當(dāng)安裝于特氣輸送管上時，夾緊彈簧將在自身回復(fù)力的作用下對底板、側(cè)板施加回復(fù)力，該回復(fù)力使得底板兩側(cè)的側(cè)板相互靠攏。本實用新型提供的PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽，通過夾緊組件將保護板主體安裝于特氣輸送管上的結(jié)構(gòu)設(shè)計，能夠使得側(cè)板在夾緊彈簧的作用下，緊抱于特氣輸送管上，其連接可靠。并且，當(dāng)需要將本實用新型安裝或者拆卸時，僅需要扳動側(cè)板即可實現(xiàn)，其拆卸操作簡單易行。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。圖I為本實用新型一種實施例中PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽的結(jié)構(gòu)示意圖；圖I中部件名稱與附體標(biāo)記的對應(yīng)關(guān)系為[0025]底板I ;側(cè)板2 ；夾緊彈簧3 ;尾端31 ；固定軸4;穩(wěn)定翼板5。
具體實施方式
本實用新型的核心為提供一種PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽，該特氣槽通過設(shè)置夾緊彈簧將保護板主體夾設(shè)于特氣管路上，通過該結(jié)構(gòu)設(shè)計，不僅能夠與特氣管路可靠連接，同時又便于其于特氣管路上的安裝拆卸?！0031]為了使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本實用新型的技術(shù)方案，
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步的詳細說明。請參考圖1，圖I為本實用新型一種實施例中PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽的結(jié)構(gòu)示意圖。本實用新型提供了一種PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽，用于對PECVD鍍膜設(shè)備特氣輸送管的保護，為了實現(xiàn)本實用新型同時具有可靠的連接性能以及安裝的簡易性，特別提出了如下技術(shù)方案，PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽包括保護板主體，保護板主體包括底板I和側(cè)板2 ；底板I上開設(shè)有用于特氣輸出的第一特氣孔；側(cè)板2鉸接于底板I的兩側(cè)，側(cè)板2上開設(shè)有用于特氣輸出的第二特氣孔；夾緊組件，夾緊組件包括夾緊彈簧3和固定軸4 ;夾緊彈簧3套設(shè)于固定軸4上，固定軸4固定設(shè)置于保護板主體上；夾緊彈簧3的兩端均設(shè)置有分別與底板I和側(cè)板2抵接的尾端31，夾緊彈簧3套設(shè)于安裝軸上。在上述結(jié)構(gòu)設(shè)計中，底板I為作為特氣槽的主體部件，用于安裝側(cè)板2。偵彳板2鉸接于底板I的兩側(cè)，當(dāng)保護板主體安裝于特氣輸送管上時，兩塊側(cè)板2能夠?qū)μ貧廨斔凸苁┘颖Ьo力，使得本實用新型抱于特氣輸送管上，從而實現(xiàn)與特氣輸送管的安裝。底板I以及側(cè)板2上開設(shè)有用于特氣輸出的第一特氣孔和第二特氣孔，根據(jù)特氣輸送管上開設(shè)的固定的出氣孔，對底板I與側(cè)板2上的特氣孔進行結(jié)構(gòu)設(shè)計，使得出氣孔與特氣孔之間形成對應(yīng)的開設(shè)關(guān)系，以使得特氣的輸出順暢。在底板I與側(cè)板2之間采用鉸接的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上，為了使得側(cè)板2能夠?qū)μ貧廨斔凸苁┘涌煽康谋Ьo力，本實用新型特別設(shè)置了夾緊組件。夾緊組件由夾緊彈簧3和固定軸4構(gòu)成，夾緊彈簧3套設(shè)于固定軸4上，并能夠圍繞固定軸4轉(zhuǎn)動。固定軸4設(shè)置于保護板主體上，既可以設(shè)置于底板I上，也可以設(shè)置于側(cè)板2上，將固定軸4設(shè)置于保護板主體上的目的在于，使得固定軸4相對于保護板主體固定，從而實現(xiàn)夾緊彈簧3能夠?qū)崿F(xiàn)與保護板主體(更具體地說是實現(xiàn)夾緊彈簧3與底板I或者側(cè)板2之間的轉(zhuǎn)動設(shè)置)之間的可轉(zhuǎn)動連接的目的。夾緊彈簧3的兩端均設(shè)置有分別與底板I和側(cè)板2抵接的尾端31，夾緊彈簧3套設(shè)于安裝軸上，在結(jié)構(gòu)設(shè)計中，側(cè)板2與底板I能夠?qū)A緊彈簧3的尾端31施加作用力，使其產(chǎn)生形變。結(jié)合上述的夾緊彈簧3可轉(zhuǎn)動地套設(shè)于固定軸4上的結(jié)構(gòu)設(shè)計，本領(lǐng)域技術(shù)人員可知，夾緊彈簧3將在自身回復(fù)力的作用下對底板I、側(cè)板2施加回復(fù)力，該回復(fù)力使得底板I兩側(cè)的側(cè)板2相互靠攏。該結(jié)構(gòu)應(yīng)用于本實用新型中，能夠?qū)崿F(xiàn)了 PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽能夠緊抱于特氣輸送管上的目的。本實用新型提供的PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽，通過夾緊組件將保護板主體安裝于特氣輸送管上的結(jié)構(gòu)設(shè)計，能夠使得側(cè)板2在夾緊彈簧3的作用下，緊抱于特氣輸送管上，其連接可靠。并且，當(dāng)需要將本實用新型安裝或者拆卸時，僅需要扳動側(cè)板2即可實現(xiàn)，其拆卸操作簡單易行。具體地，在本實用新型的一個具體實施方式
中，固定軸4設(shè)置于底板I上，側(cè)板2上設(shè)置有與固定軸4插接的套管。 具體地，在本實用新型的另一個具體實施方式
中，固定軸4設(shè)置于側(cè)板2上，底板I上設(shè)置有與固定軸4插接的套管。在上述兩種結(jié)構(gòu)中，據(jù)設(shè)置有套管，套管與固定軸4之間形成可轉(zhuǎn)動連接的結(jié)構(gòu)形式，使得底板I與側(cè)板2之間形成類似于合頁的結(jié)構(gòu)形式，以實現(xiàn)底板I與側(cè)板2之間的鉸接。夾緊組件為實現(xiàn)側(cè)板2能夠?qū)μ貧廨斔凸苁┘颖Ьo力的核心部件，為了保證夾緊組件能夠提供足夠且可靠的抱緊力，用于進一步提高本實用新型與特氣輸送管之間的連接的可靠性，在本實施例中，夾緊組件為八個，并對稱設(shè)置于底板I的兩側(cè)。如圖I所示，八個夾緊組件平均分為兩組，并對稱設(shè)置于底板I的兩側(cè)。八個夾緊組件中各個夾緊組件施加的抱緊力近似，因此，采用對稱設(shè)置的結(jié)構(gòu)方式，能夠使得底板I兩側(cè)的側(cè)板2施加的抱緊力相同，避免由于側(cè)板2施力不同而造成本實用新型安裝的不可靠性出現(xiàn)。需要說明的是，上述實施例中設(shè)置八個夾緊組件僅為本實用新型的一個具體的實施方案，在保證夾緊組件能夠?qū)ΨQ設(shè)置的前提下，夾緊組件還可以設(shè)置為六個、四個或者是其它的數(shù)量。本實用新型提供的PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽是通過側(cè)板2圍繞于特氣輸送管上施加抱緊力而實現(xiàn)保護板主體與特氣輸送管之間安裝的，由此可見，保護板主體與特氣輸送管之間的環(huán)抱程度，對本實用新型連接的可靠性具有很大影響。需要說明的是，上述環(huán)抱程度是指底板I以及側(cè)板2與特氣輸送管之間的圍繞程度。因此，為了提高本實用新型的安裝可靠性，在本實施例中，側(cè)板2的一邊與底板I鉸接，側(cè)板2的另一邊設(shè)置有穩(wěn)定翼板5，穩(wěn)定翼板5向側(cè)板2的內(nèi)側(cè)彎折設(shè)置。在上述設(shè)置側(cè)板2的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上，增設(shè)穩(wěn)定翼板5使得本實用新型能夠呈筒狀結(jié)構(gòu)環(huán)抱于特氣輸送管上，降低了保護板主體掉落的情況出現(xiàn)，提高了本實用新型安裝的可靠性。具體地，側(cè)板2與穩(wěn)定翼板5為一體結(jié)構(gòu)設(shè)計，結(jié)構(gòu)設(shè)計能夠提高側(cè)板2與穩(wěn)定翼板5之間的機構(gòu)強度，同時也便于側(cè)板2的生產(chǎn)制造。以上對本實用新型所提供的一種PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽進行了詳細介紹。本文中應(yīng)用了具體個例對本實用新型的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本實用新型的方法及其核心思想。應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以對本實用新型進行若干改進和修飾，這些改進和修飾也落入本實用新型權(quán)利要求的保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽，用于對PECVD鍍膜設(shè)備特氣輸送管的保護，其特征在于，包括 保護板主體，所述保護板主體包括底板(I)和側(cè)板(2);所述底板(I)上開設(shè)有用于特氣輸出的第一特氣孔；所述側(cè)板(2)鉸接于所述底板(I)的兩側(cè)，所述側(cè)板(2)上開設(shè)有用于特氣輸出的第二特氣孔； 夾緊組件，所述夾緊組件包括夾緊彈簧(3)和固定軸(4);所述夾緊彈簧(3)套設(shè)于所述固定軸(4)上，所述固定軸(4)固定設(shè)置于所述保護板主體上；所述夾緊彈簧(3)的兩端均設(shè)置有分別與所述底板(I)和所述側(cè)板(2)抵接的尾端(31)，所述夾緊彈簧(3)套設(shè)于所述安裝軸上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽，其特征在于，所述固定軸(4)設(shè)置于所述底板(I)上，所述側(cè)板(2)上設(shè)置有與所述固定軸(4)插接的套管。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽，其特征在于，所述固定軸(4)設(shè)置于·所述側(cè)板(2)上，所述底板(I)上設(shè)置有與所述固定軸(4)插接的套管。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽，其特征在于，所述夾緊組件為八個，并對稱設(shè)置于所述底板(I)的兩側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4任一項所述的PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽，其特征在于，所述側(cè)板(2)的一邊與所述底板(I)鉸接，所述側(cè)板(2)的另一邊設(shè)置有穩(wěn)定翼板(5)，所述穩(wěn)定翼板(5)向所述側(cè)板(2)的內(nèi)側(cè)彎折設(shè)置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽，其特征在于，所述側(cè)板(2)與所述穩(wěn)定翼板(5)為一體結(jié)構(gòu)設(shè)計。
專利摘要本實用新型公開了一種PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽，包括保護板主體，保護板主體包括底板和側(cè)板；底板上開設(shè)有用于特氣輸出的第一特氣孔；側(cè)板鉸接于底板的兩側(cè)，側(cè)板上開設(shè)有用于特氣輸出的第二特氣孔；夾緊組件，夾緊組件包括夾緊彈簧和固定軸；夾緊彈簧套設(shè)于固定軸上，固定軸固定設(shè)置于保護板主體上；夾緊彈簧的兩端均設(shè)置有分別與底板和側(cè)板抵接的尾端，夾緊彈簧套設(shè)于安裝軸上。本實用新型提供的PECVD鍍膜設(shè)備特氣槽，通過夾緊組件將保護板主體安裝于特氣輸送管上的結(jié)構(gòu)設(shè)計，能夠使得側(cè)板在夾緊彈簧的作用下，緊抱于特氣輸送管上，其連接可靠。并且，當(dāng)需要將本實用新型安裝或者拆卸時，僅需要扳動側(cè)板即可實現(xiàn)，其拆卸操作簡單易行。
文檔編號C23C16/455GK202688438SQ201220350489
公開日2013年1月23日 申請日期2012年7月17日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月17日
發(fā)明者張自成, 張杜超, 李倩 申請人:英利能源(中國)有限公司