專利名稱：晶片單面拋光機防撞減壓裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明為拋光機的緩沖裝置，特別是晶片單面拋光機的防撞緩沖裝置，屬于拋光 機械技術領域。氣缸運動終止時的緩沖裝置，讓快速運動的氣缸以逐步減速停下，以求得運動的 平穩(wěn)無沖擊。
背景技術：
傳統(tǒng)的拋光機都是以氣缸運動來實現上拋光頭的提升及下降，并保持壓力前行拋 光，這類傳統(tǒng)拋光機對于常見的金屬零件或光學零件的加工是正常的。但是，在半導體晶片 的拋光過程中，沒有緩沖的情況下，當氣缸運動到行程的上下二個端頭時，就會產生沖擊， 這樣就會造成摔壞拋光盤和破壞拋光晶片的后果，長時間運行還會損壞機器設備，使拋光 機不能正常的工作，因此傳統(tǒng)拋光機不能適用于半導體晶片的拋光。

發(fā)明內容
本發(fā)明緩沖裝置所要解決的問題是提供一種晶片單面拋光機防撞減壓裝置，其結 構簡單但卻可以緩沖氣缸在上下行程止點產生的沖擊，有利于保證半導體晶片的拋光質 量，并延長拋光機的使用壽命。本發(fā)明技術解決此問題的方法是在與氣缸活塞桿成一體的上磨盤轉軸上連接有 減振傳動桿，在傳動桿的行程上、下止點分別安裝有阻尼油缸，阻尼油缸內裝有復位的壓力 彈簧，阻尼油缸的液壓油接口接于儲油器上。所述的傳動桿通過一連接板與轉軸的上端連接，并且采用二根傳動桿對稱安裝在 連接板上。所述的阻尼油缸的下缸體與氣缸的支座成一體，缸內安裝的壓力彈簧采用圓柱螺
旋彈簧。本發(fā)明的工作原理是當氣缸中的轉軸運動到終點時，撞上阻尼油缸的活塞，由于 阻尼油缸的液壓油接口只能讓設定量的液壓油通過，迫使氣缸中轉軸下移速度降低，直至 終點。當氣缸中轉軸向上運動時，阻尼油缸中的活塞在彈簧的作用下回位，液壓油重新被吸 回到油缸中。本發(fā)明的有益效果是采用了活塞式液壓壓力油循環(huán)方式的阻尼油缸，可以承受 很大的氣缸壓力和較長的行程，緩沖拋光頭的沖擊力量，保證半導體晶片的拋光質量，并延 長拋光機的使用壽命。


圖1為本發(fā)明的結構示意圖。圖2為本發(fā)明的阻尼油缸結構示意圖
圖中各標號為氣缸上蓋01、氣管接口 02、氣缸套03、上氣室04、支座05、下蓋06、轉軸07、上磨盤連接法蘭08、軸承09、液壓油接口 10、壓力彈簧11、活塞12、密封圈13、密封圈 14、傳動桿15、軸承16、連接板17。
具體實施例方式參見圖1、2，上磨盤的轉軸07與氣缸活塞桿成一體，裝入氣缸套03中，轉軸07的 上端連接一連接板17，連接板17兩側對稱安裝二根傳動桿15，在傳動，15的行程上、下止 點分別安裝阻尼油缸，阻尼油缸的下缸體直接設置在氣缸的支座05上，阻尼油缸內裝有復 位的壓力彈簧11，阻尼油缸的液壓油接口 10接于儲油器(圖中未畫)上。阻尼油缸的缸內 安裝的壓力彈簧11采用圓柱螺旋彈簧，一端觸壓在缸底，另一端觸壓在活塞12的內孔中。氣缸中轉軸07向下運動時，帶動連接板17 —起運動，通過穿過氣缸體外面的導 孔，減振作用的傳動桿15向下運動。當碰上阻尼油缸的活塞12時，活塞12繼續(xù)向下運動， 將油缸里的油通過液壓油接口的限流孔推回儲油器，調節(jié)流量，控制油缸活塞的運動速度。 當轉軸07提起后，油缸活塞12在壓力彈簧11作用下彈起，將儲油器里的油重新吸入阻尼 油缸，完成復位。
權利要求
1.一種晶片單面拋光機防撞減壓裝置，其特征是在與氣缸活塞桿成一體的上磨盤轉 軸上連接有減振傳動桿，在傳動桿的行程上、下止點分別安裝有阻尼油缸，阻尼油缸內裝有 復位的壓力彈簧，阻尼油缸的液壓油接口接于儲油器上。
2.按權利要求1所述的晶片單面拋光機防撞減壓裝置，其特征是傳動桿通過一連接 板與轉軸的上端連接，并且采用二根傳動桿對稱安裝在連接板上。
3.按權利要求2所述的晶片單面拋光機防撞減壓裝置，其特征是阻尼油缸的下缸體 與氣缸的支座成一體，缸內安裝的壓力彈簧采用圓柱螺旋彈簧。
全文摘要
本發(fā)明拋光機的緩沖裝置，特別是晶片單面拋光機的防撞緩沖裝置，屬于拋光機械技術領域。本緩沖裝置的特征是，在與氣缸活塞桿成一體的上磨盤轉軸上連接有減振傳動桿，在傳動桿的行程上、下止點分別安裝有阻尼油缸，阻尼油缸內裝有復位的壓力彈簧，阻尼油缸的液壓油接口接于儲油器上。本發(fā)明結構簡單，可以承受很大的氣缸壓力和較長的行程，緩沖氣缸在上下行程止點產生的沖擊，減輕拋光頭的沖擊力量，保證半導體晶片的拋光質量，并延長拋光機的使用壽命。
文檔編號B24B29/02GK102133728SQ20101058307
公開日2011年7月27日 申請日期2010年12月11日 優(yōu)先權日2010年12月11日
發(fā)明者李明, 楊理, 陳明壽 申請人:昆明臺興精密機械有限責任公司