專利名稱：保護滾輪的外罩裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是關(guān)于傳送沉積系統(tǒng)中的基材的領(lǐng)域。特別地是，本實用新型是揭示
用于改善一基材沉積系統(tǒng)制程成效的裝置及其方法。
背景技術(shù)：
光電伏特裝置、光電轉(zhuǎn)換裝置或太陽電池為可將光(特別是陽光)轉(zhuǎn)換成直流電 力的裝置。為了廉價大量生產(chǎn)，薄膜太陽電池是想要的，由于其允許將玻璃、玻璃陶瓷或其 它堅硬或彈性基材當(dāng)作基底材料(即是基材)使用，取代結(jié)晶或多晶硅。太陽電池結(jié)構(gòu)(即 是負責(zé)或能夠發(fā)揮光電伏特效果的層序列)沉積在薄層中。 該等層的沉積通常是在一 CVD系統(tǒng)中完成。反應(yīng)物(例如先驅(qū)物材料)通過所謂 氣體沖洗而饋入制程站。待處理(例如涂層)的基材(例如工作部件)被置于熱板(即是 一基材載體)上加熱，以建立用于在基材表面上沉積的較佳環(huán)境。通常，這些至少部分的反 應(yīng)物會被沉積，然而殘留物會經(jīng)由排氣構(gòu)件(例如真空泵)加以排除。 隨著傳統(tǒng)系統(tǒng)，基材通過滾輪組(從下方支撐基材)，透過系統(tǒng)予以水平傳送。通 常，基材是矩形或方形片玻璃、玻璃陶瓷、微晶玻璃、塑料或甚至金屬。滾輪通常例如經(jīng)由傳 動軸，通過馬達予以促動。 當(dāng)這些滾輪配置在制程室內(nèi)(例如CVD統(tǒng)的的制程站)時，滾輪會暴露于制程氣 體，例如反應(yīng)物及/或前驅(qū)物，且如此將會隨時間涂層。此涂層會負面影響系統(tǒng)的制程成 效。首先，滾輪會受到涂料的污染，且在進一步使用滾輪涂層期間，將傳輸至基材的低端并 將被黏住。如此，隨后系統(tǒng)的隨后系統(tǒng)成效會受到負面影響。其次，配置在用于傳送基材的 滾輪上的O型環(huán)涂層將會慢慢地建立并在特定某些薄膜厚度上開始剝落。這些薄片會污染 制程室并負面影響基材的涂層。 結(jié)果，存在對于改善此系統(tǒng)制程成效的需要。
實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是要改善基材處理系統(tǒng)的流程成效，特別是改善用于基材處理 系統(tǒng)的滾輪成效。 因此，此目的可通過一裝置達成，該裝置包括至少一滾輪，用于傳送沉積系統(tǒng)中的 基材；及至少一外罩構(gòu)件，其中該滾輪可從基材收回，且該外罩構(gòu)件被調(diào)適成至少部分保護 收回滾輪，以免受到沉積系統(tǒng)中出現(xiàn)的物質(zhì)所污染。 因此，本實用新型的一必要觀念是要至少部分保護收回的滾輪不受到沉積的影
響。有利地是，收回和至少部分受保護的滾輪及/或至少一些重要部份收回滾輪受到保護，
以免受到起源于制程氣體涂層的污染，例如來自使用在沉積系統(tǒng)的前驅(qū)物。 此外，當(dāng)變成不能收回(即是延伸)及傳送另一基材時，此受保護的滾輪將不會負
面影響另一基材。因此，本實用新型可避免從用于沉積系統(tǒng)的物質(zhì)出現(xiàn)的任何負面影響，例
如前驅(qū)物、及/或前驅(qū)物的反應(yīng)產(chǎn)物、及影響滾輪，為了不降低隨后系統(tǒng)進一步處理基材的成效位準。換句話說， 一般會不預(yù)期地發(fā)現(xiàn)，避免負面影響沉積系統(tǒng)質(zhì)量及/或成效的滾輪 上任何不想要涂層可通過在沉積系統(tǒng)的制程步驟期間至少部分保護滾輪而加以達成。如 此，制程氣體不能夠到達滾輪的表面并沉積在那里。優(yōu)選地，外罩構(gòu)件可保護該收回的滾 輪。在甚至更佳具體實施例中，外罩構(gòu)件可完全保護該收回的滾輪。 優(yōu)選地，該沉積系統(tǒng)是調(diào)適成光電伏特裝置制造，即是該沉積系統(tǒng)允許制造光電 伏特裝置，例如基于基材。 根據(jù)本實用新型，滾輪可收回以減少其隨后處理步驟的影響。術(shù)語「收回」意謂從 基材移開滾輪，即是移開滾輪支撐基材的工作位置，最好是從下面，例如在沉積系統(tǒng)中。一 旦從基材收回，外罩構(gòu)件可至少部分保護滾輪，以免受到例如在光電伏特裝置制造中所使 用物質(zhì)的影響。 一旦使用前驅(qū)物的意欲處理已發(fā)生，滾輪將不會受到保護(即是延伸)至 回到其工作位置，通過降低基材支撐可將基材置放在滾輪及傳送基材。最好地是，沉積系統(tǒng) 包括復(fù)數(shù)個滾輪(例如此方式的情況)，該等滾輪的一部份配置在基材的一端，且該等滾輪 的另一部份配置在基材的另一端。在另一具體實施例中，該基材只從其較低表面后端接觸。 因此，不需要基材載體或架。如果出現(xiàn)在意欲位置，基材支撐體(例如一熱臺)會從較低位 提起，以從滾輪提起基材。 外罩構(gòu)件可如從先前技術(shù)已知的任何適當(dāng)外罩構(gòu)件提供。最佳地是，外罩構(gòu)件可 如同一活板、一活板門、一外罩、一附件屏蔽、一阻壁、一護板、及/或含有開口的護板予以 提供。在一甚至更佳具體實施例中，外罩構(gòu)件包括一材料，該材料可防止物質(zhì)用于光電伏特 裝置制造(例如鋁或金屬)，因此，外罩構(gòu)件的材料提供足夠和持續(xù)性保護，防止此前驅(qū)物 (即是制程氣體)使用例如在光電伏特裝置制造。在另一具體實施例中，外罩構(gòu)件調(diào)適成完 全保護收回的滾輪。 較佳地是，沉積系統(tǒng)是從由一 CVD系統(tǒng)、一 PCD系統(tǒng)、一 PECVD系統(tǒng)、一 APCVD系統(tǒng) 及/或一MOCVD系統(tǒng)所組成的群組選擇。最佳地是，沉積系統(tǒng)為一「TCO 1200」，其由市場上 已知的0erlikon Solar所供應(yīng)。「TC01200」為一線性在線CVD系統(tǒng)，該系統(tǒng)具有隨后以列 線性配置的處理臺。在進一步具體實施例中，滾輪由如任何適當(dāng)?shù)臉?gòu)件提供，用以傳送沉積 系統(tǒng)中的基材，例如一帶狀或一基材支撐構(gòu)件。基材可為來自先前技術(shù)已知的任何適當(dāng)基 材，最好能適于制造一薄膜光電伏特裝置或至少一部份薄膜光電伏特裝置。較佳地是，沉積 系統(tǒng)的壓力體系可在近大氣條件(例如數(shù)百hPa)至真空條件(例如10—1至10—5hPa)之間 做改變(取決于處理)。 根據(jù)本實用新型的另一較佳具體實施例，滾輪被調(diào)適成關(guān)閉及/或打開外罩構(gòu) 件。在一具體實施例中，該滾輪是調(diào)適成當(dāng)從基材收回時，關(guān)閉該外罩構(gòu)件，及/或該滾輪 調(diào)適成當(dāng)延伸向其先前工作位置(即是朝向該滾輪調(diào)適成傳送基材的位置)時，可打開該 外罩構(gòu)件。如此，因為滾輪能夠關(guān)閉及/或打開外罩構(gòu)件本身，所以具體實施例根據(jù)本實用 新型允許非常簡單的裝置實現(xiàn)。 在本實用新型的另一較佳具體實施例中，該外罩構(gòu)件包括一平衡力構(gòu)件及/或一 彈簧構(gòu)件，其調(diào)適成打開該外罩構(gòu)件。該平衡力構(gòu)件(其可為如從先前技術(shù)已知的任何適 當(dāng)?shù)闹亓浚缃饘僦亓?調(diào)適成打開外罩構(gòu)件，由于其重力重量，如此提供非常簡單機制 供打開該外罩構(gòu)件。當(dāng)關(guān)閉外罩構(gòu)件時，該彈簧構(gòu)件(如從先前技術(shù)已知的任何彈簧類型 提供)為具有彈簧負載的最佳裝載，因此彈簧構(gòu)件的彈簧負載可打開外罩構(gòu)件。較佳地是，當(dāng)滾輪延伸向其工作位置以在傳送期間支撐基材時，平衡力構(gòu)件及/或彈簧構(gòu)件可分別調(diào) 適成打開外罩構(gòu)件。在一具體實施例中，平衡力構(gòu)件有固定大小，以致于外罩構(gòu)件可在無需 任何外部支持下，保持在其打開位置。 根據(jù)本實用新型的另一較佳具體實施例，外罩構(gòu)件包括一凸出構(gòu)件，且當(dāng)收回滾 輪時，凸出構(gòu)件調(diào)適成關(guān)閉外罩構(gòu)件。在進一步具體實施例，滾輪、或該滾輪的任何其它適 當(dāng)部份(例如板輪)可在凸出構(gòu)件上動作，用以當(dāng)從基材收回時，可關(guān)閉外罩構(gòu)件。此具體 實施例(即是平衡力構(gòu)件)，彈簧構(gòu)件及/或凸出構(gòu)件允許整個系統(tǒng)(即是裝置)的非常簡 單和有效設(shè)計，如此不需要任何其它額外主動器及/或控制，因為外罩構(gòu)件可通過將滾輪 從其收回位置移至其延伸位置(反之亦然)而促動。 根據(jù)本實用新型的另一較佳具體實施例，外罩構(gòu)件是調(diào)適隨著一軸做旋轉(zhuǎn)，且該 軸平行或垂直于滾輪的收回運動方向，及/或該外罩構(gòu)件調(diào)適垂直于滾輪收回運動方向的 滑動。平行及/或垂直亦意謂平行和垂直的進一步變化亦包括，例如，平行及/或垂直方向 的+/-1° 、2° 、5° 、10°及/或20° 。較佳地是，來回于收回至延伸位置的滾輪運動(反 之亦然)是轉(zhuǎn)移成外罩構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)、回轉(zhuǎn)及/或樞軸轉(zhuǎn)動。如此，外罩構(gòu)件最好能以一鐘擺 及/或類似外罩的滑動器提供。使?jié)L輪的運動轉(zhuǎn)移成旋轉(zhuǎn)、回轉(zhuǎn)及/或樞軸運動可例如通過 一導(dǎo)銷予以達成，其下端受到滾輪的來回運動而促動。較佳地是，導(dǎo)銷的上端可在與收回運 動方向平行的軸上，與導(dǎo)槽咬合。導(dǎo)槽可能出現(xiàn)一螺紋類似形狀，如此當(dāng)導(dǎo)梢線性移動時， 可使前述的軸旋轉(zhuǎn)。此具體實施例造成一簡單和有效打開及/或關(guān)閉運動。 在另一具體實施例中，外罩構(gòu)件可通過一扭轉(zhuǎn)彈簧促動。較佳地是，外罩構(gòu)件以活 板或如一活板門提供，其可隨著垂直于收回運動方向的軸做旋轉(zhuǎn)。在進一步較佳具體實施 例中，外罩構(gòu)件調(diào)適垂直于滾輪收回運動方向的滑動，如此外罩構(gòu)件最好是以一延伸的屏 蔽提供(例如從金屬)，且例如包括一開口，以便可收回滾輪及/或通過開口延伸。對于保 護滾輪而言，外罩構(gòu)件垂直于滑動收回運動方向做滑動，以便開口不會在滾輪之前提供。如 此，外罩構(gòu)件可例如經(jīng)由一壓力柱及/或另一構(gòu)件促動，用以提供一較佳線性運動。尤其最 好提供此具復(fù)數(shù)個開口的外罩構(gòu)件，用于保護復(fù)數(shù)個滾輪，以致于每個開口屏蔽分別允許 收回，分別延伸每一滾輪的運動。 根據(jù)本實用新型的另一較佳具體實施例，該外罩構(gòu)件包括一板輪，用于導(dǎo)引基材。
如此，板輪可提供屏蔽不使?jié)L輪污染，其最好是由收回板輪后面屏蔽的滾輪而達成。在進一 步較佳具體實施例中，板輪通過調(diào)適成延伸滾輪的彈簧構(gòu)件而連接至滾輪。此具體實施例
是當(dāng)收回板輪后面的滾輪(即是板輪調(diào)適成屏蔽滾輪)時，允許壓縮彈簧構(gòu)件(其能夠從 先前技術(shù)已知的任何彈簧加以提供)，所以彈簧構(gòu)件最好是完全壓縮在收回滾輪的端位置。 較佳地是，板輪包括大于傳送基材的滾輪部份的較大直徑。 在另一具體實施例中，該裝置包括一清潔構(gòu)件，用以當(dāng)從基材收回滾輪及/或當(dāng) 使?jié)L輪延伸向基材時，可清潔滾輪。此可于收回滾輪的分別延伸運動期間，提供容易方法從 滾輪較佳機械式移開刷子，例如在滾輪和基材的下個接觸之前。此外偏愛實行此清潔步驟， 例如通過圍繞滾輪的圓形刷子。 物質(zhì)可為在最好用于光電伏特裝置制造的沉積系統(tǒng)中出現(xiàn)的任何物質(zhì)。然而，根 據(jù)本實用新型的另一較佳具體實施例，物質(zhì)為一前驅(qū)物及/或該前驅(qū)物的反應(yīng)產(chǎn)物。在進 一步具體實施例中，物質(zhì)是從由自燃性金屬有機化學(xué)，如磷化氫、二硼烷、硅烷、二甲基鋅及/或二乙基鋅所組成的群組選擇。在另一具體實施例中，該物質(zhì)為自燃性金屬有機化學(xué)，如 磷化氫、二硼烷、硅烷、二甲基鋅及/或二乙基鋅的反應(yīng)產(chǎn)物。例如，該反應(yīng)產(chǎn)物可為從沉積 程序造成及/或沉積系統(tǒng)(例如在CVD系統(tǒng))中出現(xiàn)的鋅及/或氧化鋅、或任何其它金屬 或氧沉積。 在本實用新型的另一較佳具體實施例中，沉積系統(tǒng)用于薄膜沉積，最佳地是用于 Zn0薄膜沉積。沉積可在大氣或真空情況下發(fā)生。在進一步具體實施例中，該沉積系統(tǒng)用于 薄層的沉積。在較佳具體實施例中，沉積系統(tǒng)為如同此大量前驅(qū)物的較大尺寸制程系統(tǒng)的 大規(guī)模及/或工業(yè)尺寸沉積系統(tǒng)，例如用于制造具有1. lmxl. 3m尺寸的薄膜光電伏特裝置。 在本實用新型的進一步具體實施例中，該滾輪包含可供傳送基材的0型環(huán)，且該 外罩構(gòu)件調(diào)適成保護0型環(huán)。O型環(huán)可增加滾輪和基材間的摩擦，以避免滑動及允許更精確 的基材位置控制。因此，使用外罩構(gòu)件保護O型環(huán)可避免負面影響制程成效的環(huán)污染。因 此，相較于先前技術(shù)系統(tǒng)，由于更換O型環(huán)的頻率降低，本實用新型允許減少制造成本。此
外，本實用新型可當(dāng)外罩構(gòu)件屏蔽滾輪及/或o型環(huán)以防制程氣體時，避免(即是減少)污
染滾輪及/或0型環(huán)的回收。0型環(huán)能夠以供傳送基材的任何適當(dāng)材料加以提供，例如0型 環(huán)可包括橡皮或類似橡皮的材料。 在本實用新型的另一較佳具體實施例中，外罩構(gòu)件包括一調(diào)整組件，用于安裝在 沉積系統(tǒng)內(nèi)；及一可移除組件，用于至少部分保護收回的滾輪。此具體實施例可增加裝置的 系統(tǒng)正常運行時間，并允許容易維護，因為外罩構(gòu)件分成一第一元素，即是調(diào)整組件，其最 好只在沉積系統(tǒng)安裝一次；及第二組件(即是可移除元素)，其受制于維護和容易從沉積系 統(tǒng)去除。如此，當(dāng)可移除組件可非常有效率安裝在沉積系統(tǒng)(例如，維護之后)時，調(diào)整組 件的時間吸收調(diào)整只完成一次，不需要任何冗時調(diào)整。 裝置及/或沉積系統(tǒng)的整體系統(tǒng)正常運行時間可通過將復(fù)數(shù)個外罩構(gòu)件分成具 有相等維護頻率的數(shù)個群組而進一步增加。因此，對于一般維護而言，僅具有同樣污染和因 此相同維護頻率的組件必須每次交換、修護或清潔。較少暴露沉積的外罩構(gòu)件可留在沉積 系統(tǒng)內(nèi)部較久，且需要以較少頻率間隔交付維護。依次，此具體實施例可增加系統(tǒng)正常運行 時間。增加正常運行時間的進一步方法可包括一些具體實施例，例如修改滾輪及/或0型 環(huán)的表面以增加沉積的附著性，例如通過選擇滾輪的材料(例如金屬)、及/或0型環(huán)(例 如橡皮)，允許容易和簡單清潔。因此，此一具體實施例會造成降低清潔費用、以及減少滾輪 表面的磨損及/或0型環(huán)減少滾輪的壽命。 用于保護至少一滾輪的方法(調(diào)適成用于傳送沉積系統(tǒng)中基材)可進一步達成本 實用新型的目的，該方法包括下列步驟a)從基材收回滾輪；及b)至少部分保護該收回的 滾輪，以免受到沉積系統(tǒng)中出現(xiàn)的物質(zhì)所污染。 意外地，已發(fā)現(xiàn)根據(jù)本實用新型的方式至少部分保護滾輪可改善沉積系統(tǒng)的整體 制程成效，因為收回及至少部分受保護的滾輪、及/或該收回滾輪的至少一些重要部分受 到屏蔽，以免受到源自于制程氣體涂層的污染，例如用于光電伏特裝置制造的前驅(qū)物具有 改善的壽命及減少維護的機器停止時間。 根據(jù)本實用新型的另一較佳具體實施例，步驟b)是由步驟a)所引起，及/或步驟 b)是至少部分在步驟a)期間完成。此意謂已在收回滾輪期間，至少部分保護滾輪，如此，允 許非?？焖俦Ｗo滾輪。此進一步意謂滾輪的運動會造成保護滾輪的步驟。在另一較佳具體實施例中，該方法進一步包括c)的步驟。使?jié)L輪延伸至基材，由此暴露滾輪。 根據(jù)本實用新型的方法較佳具體實施例是以上述裝置的類似方式浮現(xiàn)。

圖1是以上視圖顯示根據(jù)先前技術(shù)在復(fù)數(shù)個滾輪上傳送基材的部份沉積系統(tǒng)； 圖2是以側(cè)視圖顯示根據(jù)先前技術(shù)的部份滾輪； 圖3a和圖3b是顯示根據(jù)本實用新型較佳具體實施例的一關(guān)閉類似折合外罩構(gòu)件 的裝置的側(cè)視圖和透視圖； 圖4a和圖4b是顯示根據(jù)本實用新型較佳具體實施例的一打開類似折合外罩構(gòu)件 的裝置的側(cè)視圖和透視圖； 圖5是以透視圖顯示根據(jù)本實用新型另一較佳具體實施例的一彈簧促動外罩構(gòu) 件的裝置； 圖6是以透視圖顯示根據(jù)本實用新型另一較佳具體實施例的一類似滑動器、旋轉(zhuǎn) 外罩構(gòu)件的裝置； 圖7是以透視圖顯示根據(jù)本實用新型另一具體實施例的一類似滑動器、線性促動 外罩構(gòu)件的裝置配置； 圖8是以截面圖顯示根據(jù)本實用新型另一具體實施例的0型環(huán)提供的外罩構(gòu)件的 裝置； 圖9是以截面圖顯示根據(jù)本實用新型另一較佳具體實施例的0型環(huán)提供的外罩構(gòu) 件的裝置；及 圖10是以截面圖顯示根據(jù)本實用新型另一較佳具體實施例的一外罩構(gòu)件與一清
潔構(gòu)件的裝置。[0041]主要組件符號說明l基材2滾輪3傳動軸40型環(huán)5板輪6外罩構(gòu)件7附件8軸9重量構(gòu)件10凸出構(gòu)件ll彈簧構(gòu)件12導(dǎo)銷13軸14子配件15彈簧16清潔構(gòu)件具體實施方式圖1是以上視圖顯示根據(jù)先前技術(shù)在復(fù)數(shù)個滾輪2上傳送基材1的部份沉積系 統(tǒng)。滾輪2由例如透過馬達經(jīng)由傳動軸3所促動?；?如此只會從較低表面的后端接 觸。不需要基材載體或封裝。如果出現(xiàn)在意欲位置，基材支撐體(例如一熱臺)會從較低 位提起，以從滾輪2提起基材1。滾輪2然后會從基材2收回，以減少其隨后的處理步驟影 響。在發(fā)生沉積系統(tǒng)中的想要處理之后，滾輪2將返回其先前工作位置，通過降低基材支撐 體可將基材1置放在滾輪2，并傳送基材1。 圖2將顯示更多細節(jié)，基材2與安裝于滾輪2的0型環(huán)4接觸，以支撐基材1及增 加滾輪2和基材1之間的摩擦，以免滑動并允許更精確位置控制。附著至滾輪2的板輪5 可對垂直于傳送方向的基材1提供導(dǎo)引。 在第一具體實施例中，滾輪2禾P 0型環(huán)4會由來自沉積系統(tǒng)的外罩構(gòu)件6(如蓋 子)保護。通過沉積系統(tǒng)的制程步驟期間保護滾輪可抑制滾輪2和0型環(huán)4的涂層，如此 可避免該不必要的涂層，因為制程氣體無法到達滾輪2及/或0型環(huán)4的表面并沉積在那 里。 根據(jù)一具體實施例，如圖3a、圖3b、圖4a和圖4b所示，滾輪2的線性運動可用來 促動一機構(gòu)，此機構(gòu)在外罩構(gòu)件6上動作以保護滾輪2?；畎彘T可當(dāng)作外罩構(gòu)件6使用，只 要滾輪2延伸至制程區(qū)域，此活板門便會打開。此機構(gòu)可用在個別的滾輪2、以及每次有更 多滾輪2、以及連同沉積系統(tǒng)的制程室中的所有滾輪2。 圖3a是以橫截面圖顯示板輪5、 0型環(huán)4的凹槽、和滾輪2。圖3b是以透視圖顯 示根據(jù)本實用新型的裝置。滾輪2連同其傳動軸3會裝入及/或被附件7(例如一套管或 管部分)包圍，其在末端具有一門構(gòu)件6，如同一活板門，可隨著軸8旋轉(zhuǎn)。滾輪2會移至圖 4a和圖4b顯示的向前位置，即是朝向工作位置以在傳送期間支撐基材l。由于以重量件提 供的重量構(gòu)件9的重力重量，所以外罩構(gòu)件6會打開，且該重量構(gòu)件附著至如圖4a和圖4b 所示的外罩。重量件是有固定大小，以致于無需外部支持下，活板門將保持在打開位置。一 旦滾輪2收回，板輪5、或滾輪2的另一適當(dāng)部份會在凸出構(gòu)件10及/或杠桿上動作，使外 罩構(gòu)件6關(guān)閉，并避免滾輪2和0型環(huán)4受到污染。該凸出10和平衡力構(gòu)件8的組合允許 使整個裝置保持非常簡單和有效。不需要額外的主動器或控制；無需過度用力下，滾輪2的 線性運動將間接促動活板門。 —些其它技術(shù)解決方案可實施此原理，例如使用一彈簧構(gòu)件11促動外罩構(gòu)件6， 如圖5所示。彈簧構(gòu)件11在此情況可功能取代平衡力構(gòu)件9。 另一具體實施例顯示在圖6，其使用一鐘擺或滑動器，類似外罩構(gòu)件6，將滾輪2的 線性運動來回轉(zhuǎn)移成旋轉(zhuǎn)，例如旋轉(zhuǎn)及/或樞軸轉(zhuǎn)動，類似外罩構(gòu)件6的鐘擺運動。此可通 過導(dǎo)銷12達成，滾輪2的來回運動可促動低端部分。導(dǎo)銷12的上端會在軸13上和導(dǎo)槽 (未在圖顯示)咬合。該導(dǎo)槽可能呈現(xiàn)螺紋的類似形狀，如此當(dāng)導(dǎo)銷12線性移動時，可強迫 軸13旋轉(zhuǎn)。此再次造成相對于外罩構(gòu)件6關(guān)閉運動的打開行為?；蛘撸慌まD(zhuǎn)彈簧可促動 鐘擺外罩構(gòu)件6。 —進一步具體實施例顯示一外罩構(gòu)件6，不僅用于一附件，且每次保護所有滾輪 6，如圖7所示。(例如從金屬)通過延長的護罩和個別開口可將此達成，其可例如經(jīng)由提供線性運動的一受壓圓柱或另一構(gòu)件而促動。 —變體可使用板輪5提供保護避免0型環(huán)4污染。此可通過收回在板輪5后面受 保護的滾輪6而達成。此具體實施例是在圖8和圖9說明。 一屏蔽子配件14配置移動與 附件7有關(guān)。 一彈簧15連結(jié)子配件14和傳動軸3。在圖8中，滾輪2處于其工作位置。當(dāng) 要收回滾輪6的傳動軸3時，子配件14將撞到附件7，并壓縮彈簧15。如此，滾輪2將滑入 子配件14，以保護在板輪5后面。圖9是顯示完全受壓彈簧15和收回滾輪2的末端位置。 在本實用新型的進一步變體中，如圖10所示，清潔構(gòu)件16(例如刷子)可機械式 從滾輪6和0型環(huán)4移除沉積。基本上， 一清潔步驟是引用在每個進出運動之間，以在和基 材1的下次接觸前移除沉積層。每次滾輪6來回移動時，通過使用例如圓形刷子清潔0型 環(huán)4表面可完成此清潔程序，如圖IO所指出。 雖然本實用新型已在附圖和先前的描述中詳細說明和描述，但是此說明和描述認 為只是說明或范例而不是限制，本實用新型并未受限于揭示的具體實施例。通過對附圖、說 明書、和文后申請專例范圍的研讀，熟悉此項技術(shù)人士應(yīng)可了解及促成有關(guān)揭示具體實施 例的其它變化。在申請專例范圍中，「包括」并未排除其它組件或步驟，且文中使用「一」并 未排除復(fù)數(shù)個。事實上，某些措施引用在互相不同相依申請專例范圍不表示這些措施組合 不能夠有效益地使用。申請專例范圍的任何參考符號應(yīng)不構(gòu)成對范疇的限制。
權(quán)利要求一種裝置，其包括至少一滾輪(2)，其用于傳送一沉積系統(tǒng)中的一基材(1)；及至少一外罩構(gòu)件(6)，其中該滾輪為可離開基材而收回；及該外罩構(gòu)件被調(diào)適成至少部分保護該收回的滾輪，以免受到沉積系統(tǒng)中出現(xiàn)的物質(zhì)所污染。
2. 如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，該收回的滾輪受到外罩裝置的保護。
3. 如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，該滾輪被調(diào)適成關(guān)閉及/或打開該外罩裝置。
4. 如權(quán)利要求l所述的裝置，其特征在于，該外罩構(gòu)件包括一平衡力構(gòu)件(9)及/或一 彈簧構(gòu)件(ll)，其被調(diào)適成打開該外罩構(gòu)件。
5. 如權(quán)利要求l所述的裝置，其特征在于，該外罩構(gòu)件包括一凸出構(gòu)件(IO)，且當(dāng)收回 該滾輪時，該凸出構(gòu)件被調(diào)適成關(guān)閉該外罩構(gòu)件。
6. 如權(quán)利要求l所述的裝置，其特征在于，該外罩構(gòu)件被調(diào)適成隨著一軸(8， 13)進行 旋轉(zhuǎn)，且該軸與該滾輪的收回運動方向平行或垂直，及/或該外罩構(gòu)件被調(diào)適可于該滾輪 收回運動方向垂直滑動。
7. 如權(quán)利要求l所述的裝置，其特征在于，該外罩構(gòu)件包括一板輪(5)，用于導(dǎo)引基材。
8. 如權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，該板輪可通過一彈簧構(gòu)件(15)連接至該滾 輪，該彈簧構(gòu)件被調(diào)適成延伸該滾輪。
9. 如權(quán)利要求l所述的裝置，其特征在于，該裝置包括一清潔構(gòu)件(16)，用于從基材收 回該滾輪、及/或該滾輪朝向基材延伸時，可清潔該滾輪。
10. 如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，該物質(zhì)為一前驅(qū)物及/或該前驅(qū)物的反應(yīng) 產(chǎn)物。
11. 如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，該滾輪包括一0型環(huán)(4)，用于傳送該基 材，且該外罩構(gòu)件被調(diào)適成保護該0型環(huán)。
12. 如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，該外罩構(gòu)件包括一調(diào)整組件，用于安裝在 沉積系統(tǒng)內(nèi)；及一可移動組件，用于至少部分保護該收回滾輪。
專利摘要本實用新型關(guān)于一種裝置，該裝置包括至少一滾輪(2)，用于傳送一沉積系統(tǒng)中的基材(1)；及至少外罩構(gòu)件(6)，其中該滾輪可從基材收回，且該外罩構(gòu)件被調(diào)適成至少部分保護該收回滾輪，以免受到沉積系統(tǒng)中出現(xiàn)的物質(zhì)所污染。此優(yōu)點可提高沉積系統(tǒng)的正常運行時間。
文檔編號C23C16/04GK201485502SQ20092015353
公開日2010年5月26日 申請日期2009年7月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月17日
發(fā)明者喬戈·柯斯堡穆爾, 安德烈·馬克, 斯蒂芬·施耐德, 阿諾·吉德爾 申請人:歐瑞康太陽能智慧財產(chǎn)特魯巴赫股份公司