本實用新型涉及一種除塵裝置，尤其是激光切割設備除塵裝置。

背景技術：

半導體晶圓激光切割時會產(chǎn)生粉塵，雖然激光切割設備自帶吸塵裝置，但是并不能吸附干凈，切割好的產(chǎn)品直接進入光學檢測設備中進行檢測，產(chǎn)品附著粉塵容易影響檢測結果，被系統(tǒng)判為不合格品，同時會影響檢測鏡頭，粉塵會吸附到鏡頭上，需要經(jīng)常維護檢測設備。

技術實現(xiàn)要素：

為解決上述問題，本實用新型提供一種能對產(chǎn)品進行二次除塵，并且除塵效果好的激光切割設備除塵裝置。具體技術方案為：

激光切割設備除塵裝置，包括支架、滑板、集塵罩、直線模組和控制系統(tǒng)；所述支架設有兩個，固定在輸送板底座上，所述輸送板底座上方設有輸送板，所述支架分別位于輸送板兩側；所述支架上設有導軌，導軌的兩端分別固定在支架上，所述滑板通過直線軸承滑動安裝在導軌上；所述集塵罩包括長方形的集塵口和管接頭，所述集塵口位于輸送板上方，集塵口的兩側設有集塵罩固定板，所述集塵罩固定板的兩端分別固定在滑板上，所述管接頭通過波紋管與吸塵器連接；所述直線模組固定在支架的頂部，直線模組的滑塊與滑板連接；所述吸塵器和直線模組均與控制系統(tǒng)連接。

還包括過濾網(wǎng)和過濾網(wǎng)支架；所述過濾網(wǎng)固定在過濾網(wǎng)支架內(nèi)，所述過濾網(wǎng)支架通過連接柱固定在支架上，且位于輸送板和集塵口之間。

還包括光電傳感器和報警器；所述光電傳感器安裝在過濾網(wǎng)支架的下方，所述光電傳感器和報警器均與控制系統(tǒng)連接。

所述報警器為聲光報警器。

輸送板為網(wǎng)孔板，產(chǎn)品放置在輸送板上，集塵罩位于輸送板上方。集塵罩通過直線模組帶動進行往復運動，保證所述所有產(chǎn)品均經(jīng)過集塵罩除塵。為了保證除塵效果和降低噪音，沒有采用大功率大的吸塵器，因此集塵罩不能做的很大，通過直線模組帶動進行往復移動除塵。采用小的集塵罩吸力容易控制，且集塵口的吸力分布均勻，開口大的集塵口吸力分布不均，容易造成吸塵效果不好，加大吸力又容易吸附起產(chǎn)品。

直線模組有幾種叫法，線性模組、直角坐標機器人、直線滑臺等，是繼直線導軌、滾珠絲桿直線傳動機構的自動化升級單元?？梢酝ㄟ^各個單元的組合實現(xiàn)負載的直線、曲線運動，使輕負載的自動化更加靈活、定位更加精準。直線模組已經(jīng)形成標準產(chǎn)品，很多廠家生產(chǎn)。

過濾網(wǎng)放置在產(chǎn)品和集塵口之間，防止吸力過大，將產(chǎn)品吸進吸塵器內(nèi)損壞產(chǎn)品。過濾網(wǎng)使用一段時間后更換新的，防止粉塵堵塞過濾網(wǎng)。

過濾網(wǎng)支架下方設有光電傳感器，光電傳感器檢測過濾網(wǎng)下方有無產(chǎn)品，如果有產(chǎn)品被吸附到過濾網(wǎng)下方，光電傳感器將信號傳給控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)啟動聲光報警器，提醒操作人員處理。

本實用新型提供的激光切割設備除塵裝置除塵效果好、對產(chǎn)品無損傷、具有多重保護裝置。

附圖說明

圖1是本實用新型的主視圖；

圖2是本實用新型的俯視圖。

具體實施方式

現(xiàn)結合附圖說明本實用新型的具體實施方式。

如圖1和圖2所示，激光切割設備清潔裝置，包括支架2、滑板22、集塵罩、直線模組4、過濾網(wǎng)51和控制系統(tǒng)。

所述支架2設有兩個，固定在輸送板底座1上，所述輸送板底座1上方設有輸送板11，所述支架2分別位于輸送板11兩側。

所述支架2上設有導軌21，導軌21的兩端分別固定在支架2上，所述滑板22通過直線軸承滑動安裝在導軌21上。

所述過濾網(wǎng)51固定在過濾網(wǎng)支架52內(nèi)，所述過濾網(wǎng)支架52通過連接柱12固定在支架2上，且在輸送板11上方。所述光電傳感器6安裝在過濾網(wǎng)支架52的下方。

所述集塵罩包括長方形的集塵口31和管接頭32，所述集塵口31位于過濾網(wǎng)51上方，集塵口31的兩側設有集塵罩固定板34，所述集塵罩固定板34的兩端分別固定在滑板22上，所述管接頭32通過波紋管33與吸塵器連接。

所述直線模組4固定在支架2的頂部，直線模組4的滑塊與滑板22連接。

聲光報警器安裝在直線模組4的上方。

所述吸塵器、直線模組4、光電傳感器6和聲光報警器均與控制系統(tǒng)連接。

使用時啟動吸塵器和直線模組4，直線模組4帶動集塵罩往復移動，集塵罩吸收粉塵，當有半導體晶圓被吸附到過濾網(wǎng)51下方時，光電傳感器6檢測到半導體晶圓，控制系統(tǒng)發(fā)出報警信號，聲光報警器啟動，提示操作人員處理。