專利名稱：一種線體制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及PDP(等離子顯示板)屏制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種線體制作工藝。
背景技術(shù)：
前介質(zhì)線體的生產(chǎn)是PDP屏制作過程中的重要工序之一，在PDP屏中主要使用到 Cr-Cu-Cr電極，由于Cr-Cu-Cr電極工藝的特殊性，對前介質(zhì)的工藝設(shè)計要求也很高。這種適合Cr-Cu-Cr電極前介質(zhì)的制作工藝，直接影響到PDP屏的質(zhì)量與良品率。因此，PDP屏的生產(chǎn)廠家加強了對Cr-Cu-Cr電極前介質(zhì)線體的研究力度，以提高帶Cr-Cu-Cr電極前介質(zhì)工序的良品率。現(xiàn)有技術(shù)中，前介質(zhì)線體的生產(chǎn)主要有兩種方法一種是一次涂布，一次干燒結(jié)工藝；另一種是兩次涂布，兩次干燒結(jié)工藝。其中第一種制作方法適合生產(chǎn)匯流電極為銀漿料印刷的前介質(zhì)線體，操作簡便；第二種方法適合生產(chǎn)匯流電極為Cr-Cu-Cr的前介質(zhì)線體。 對于第二種前介質(zhì)線體制作工藝其具體步驟為涂布前干式清洗一一次涂布一涂布濕膜檢查一一次干燥燒結(jié)一膜面邊緣在線檢查一二次涂布前干式清洗一二次涂布一二次干燥燒
結(jié)一在線缺陷檢查一......一端末刻蝕。上述Cr-Cu-Cr電極前介質(zhì)線體制作工藝中存在
設(shè)計上的不足，此種生產(chǎn)工藝不能有效的控制前介質(zhì)線體中燒結(jié)膜的厚度，從而導(dǎo)致燒結(jié)膜的厚度無法實現(xiàn)均一性，使用這種燒結(jié)膜制作出來的PDP屏，大大降低了其良品率，影響產(chǎn)品的質(zhì)量。因此提供一種應(yīng)用于Cr-Cu-Cr電極前介質(zhì)上線體的制作工藝，以實現(xiàn)可以隨時準(zhǔn)確的監(jiān)控線體生產(chǎn)中各階段膜的厚度，確保膜厚的均一性，進(jìn)而提高PDP屏的良品率，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種線體制作工藝，應(yīng)用于Cr-Cu-Cr電極前介質(zhì)上，實現(xiàn)了隨時準(zhǔn)確的監(jiān)控了線體生產(chǎn)中各階段膜的厚度，確保了膜厚的均一性，進(jìn)而提高了 PDP屏的良品率。本發(fā)明提供的Cr-Cu-Cr電極前介質(zhì)線體制作工藝，其包括步驟1)完成玻璃基板的干式清洗后，通過噴嘴對玻璃基板進(jìn)行第一次涂布形成一次濕膜，隨后測定一次濕膜在噴嘴方向的厚度，并對一次濕膜的缺陷進(jìn)行檢查；2)對一次濕膜進(jìn)行第一次干燥燒結(jié)形成一次燒結(jié)膜，在線檢查一次燒結(jié)膜的邊緣，同時在線檢測一次燒結(jié)膜的厚度；3)對含有一次燒結(jié)膜玻璃基板進(jìn)行干式清洗，并在一次燒結(jié)膜上通過噴嘴進(jìn)行第二次涂布形成二次濕膜，測定二次濕膜在噴嘴方向的厚度，并對二次濕膜的缺陷進(jìn)行檢查；4)對二次濕膜進(jìn)行二次干燥燒結(jié)形成二次燒結(jié)膜，在線檢測二次燒結(jié)膜的厚度， 并在線檢查二次燒結(jié)膜的缺陷情況；5)對上述檢查后的二次燒結(jié)膜進(jìn)行端末刻蝕工藝，最終形成成品Cr-Cu-Cr電極前介質(zhì)線體。優(yōu)選的，在上述Cr-Cu-Cr電極前介質(zhì)線體制作工藝中，在步驟1)中，對玻璃基板進(jìn)行干式清洗前還包括濕法清洗，以增強對玻璃基板的清洗效果，干式清洗后還包括對玻璃基板進(jìn)行除靜電操作，清除玻璃基板帶電極圖形面浮塵與玻璃基板背面塵埃。優(yōu)選的，在上述線體制作工藝中，在步驟1)中，使用變位傳感器測定一次濕膜在噴嘴方向的厚度，并將數(shù)據(jù)導(dǎo)入監(jiān)視器中，制成一次濕膜膜厚曲線。優(yōu)選的，在上述線體制作工藝中，在步驟2)中，通過在線燒結(jié)膜厚度檢測裝置檢測一次燒結(jié)膜的厚度，確保一次燒結(jié)膜的厚度滿足工藝需求。優(yōu)選的，在上述線體制作工藝中，在步驟幻中，完成對玻璃基板的干式清洗后還包括對玻璃基板進(jìn)行除靜電操作，清除基板帶電極圖形面浮塵與玻璃基板背面塵埃。優(yōu)選的，在上述線體制作工藝中，在步驟幻中，使用變位傳感器測定二次濕膜在噴嘴方向的厚度，并將數(shù)據(jù)導(dǎo)入監(jiān)視器中，制成二次濕模膜厚曲線。優(yōu)選的，在上述線體制作工藝中，在步驟3)中，通過在線燒結(jié)膜厚度檢測裝置檢測二次燒結(jié)膜的厚度，確保二次燒結(jié)膜的厚度滿足工藝需求。優(yōu)選的，在上述線體制作工藝中，在步驟4)中，完成在線檢測二次燒結(jié)膜的厚度及檢查二次燒結(jié)膜的缺陷情況，在進(jìn)行燒結(jié)后傾斜檢查，及完成對二次燒結(jié)膜切割后，再次進(jìn)行切割后人工檢查。本發(fā)明提供的應(yīng)用于Cr-Cu-Cr電極前介質(zhì)上的線體制作工藝，相對于現(xiàn)有技術(shù)在第一次涂布及第二次涂布工序后均增加了濕膜的厚度測定裝置，并在第一次干燥燒結(jié)及第二次干燥燒結(jié)工藝后均增加了燒結(jié)膜厚度檢測裝置，通過增加這兩個裝置可以及時的檢測到不同工序中各種膜的厚度，在膜厚不均勻時，可以根據(jù)膜的厚度調(diào)節(jié)設(shè)備反過來準(zhǔn)確的控制膜的厚度，使膜厚在每個工序中都能達(dá)到均一性，并能滿足工藝需求，避免了由于膜厚及膜厚均一性不合格對PDP屏造成的影響，有效的提高了 PDP屏的良品率。


為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本發(fā)明實施例提供的線體制作工藝的流程圖。
具體實施例方式本發(fā)明提供的線體制作工藝，應(yīng)用于Cr-Cu-Cr電極前介質(zhì)上，實現(xiàn)了隨時準(zhǔn)確的監(jiān)控線體生產(chǎn)中各階段膜的厚度，確保了膜厚的均一性，進(jìn)而提高了 PDP屏的良品率。下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述，顯然，所述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。請參考圖1，圖1為本發(fā)明實施例提供的線體制作工藝的流程圖。
在本發(fā)明提供的適合線體制作工藝，其具體操作步驟如下步驟SOl 第一次涂布及對一次濕膜進(jìn)行檢測；在正式進(jìn)行涂布操作前，先對玻璃基板進(jìn)行第一次干式清洗，干式清洗完成后，利用噴嘴在玻璃基板上進(jìn)行第一次涂布操作，形成一次濕膜，隨后利用測定裝置測定一次濕膜在噴嘴方向厚度，確保一次濕膜在噴嘴方向厚度滿足均一性，且厚度達(dá)到工藝要求，再對一次濕膜進(jìn)行缺陷檢查，在發(fā)現(xiàn)有缺陷后，做相應(yīng)的報廢處理，避免流入后工序，合格品輸入下一道工序。步驟S02 第一次干燥燒結(jié)及對一次燒結(jié)膜進(jìn)行檢測；對一次濕膜進(jìn)行第一次干燥燒結(jié)，形成一次燒結(jié)膜，隨后在線對一次燒結(jié)膜的邊緣進(jìn)行檢查，查看其是否有缺陷，如果發(fā)現(xiàn)一次燒結(jié)膜有缺陷后，做報廢處理，對符合要求的一次燒結(jié)膜，利用檢測裝置在線檢測燒結(jié)膜的厚度，可以第一時間發(fā)現(xiàn)一次燒結(jié)膜的異常，進(jìn)而可避免批次性膜厚異常導(dǎo)致的產(chǎn)品不良，將符合要求的一次燒結(jié)膜輸送到下個工序。步驟S03 第二次涂布及對濕膜進(jìn)行檢測；對含有一次燒結(jié)膜的玻璃基板進(jìn)行第二次干式清洗，完成第二次清洗后，通過噴嘴在一次燒結(jié)膜上完成第二次涂布操作，形成二次濕膜，然后利用測定裝置測定二次濕膜在噴嘴方向的厚度，以確保二次濕膜在噴嘴方向厚度滿足均一性，且厚度達(dá)到工藝要求，隨后對二次膜進(jìn)行缺陷檢查，如果發(fā)現(xiàn)二次濕膜有缺陷，對二次濕膜做報廢處理，將符合要求的二次濕膜膜送到下個工序中。步驟S04 第二次干燥燒結(jié)及對燒結(jié)膜進(jìn)行檢測；對二次膜進(jìn)行第二次干燥燒結(jié)，形成二次燒結(jié)膜，對二次燒結(jié)膜通過檢測裝置在線進(jìn)行膜厚檢測，及時了解二次燒結(jié)膜的厚度，確保燒結(jié)膜厚度滿足均一性，能達(dá)到工藝要求，并在線對二次燒結(jié)膜進(jìn)行缺陷檢查，查看其是否有缺陷，如果發(fā)現(xiàn)有缺陷后，對二次燒結(jié)膜做報廢處理，將符合要求的二次燒結(jié)膜輸送到下個工序。步驟S05 刻蝕處理；將上述檢查后的二次燒結(jié)膜，進(jìn)行端末刻蝕處理，最終完成帶Cr-Cu-Cr電極的前介質(zhì)制作。本發(fā)明提供的線體制作工藝，應(yīng)用于Cr-Cu-Cr電極前介質(zhì)上，相對于現(xiàn)有技術(shù)在第一次涂布及第二次涂布工序后均增加了濕膜的厚度測定裝置，并在第一次干燥燒結(jié)及第二次干燥燒結(jié)工藝后均增加了燒結(jié)膜厚度檢測裝置，通過增加這兩個裝置可以及時的檢測到不同工序中各種膜的厚度，在膜厚不均勻時，可以根據(jù)膜的厚度調(diào)節(jié)設(shè)備反過來準(zhǔn)確的控制膜的厚度，使膜厚在每個工序中都能達(dá)到均一性，并能滿足工藝需求，避免了由于膜厚及膜厚均一性不合格對PDP屏造成的影響，有效的提高了 PDP屏的良品率。為了進(jìn)一步提高PDP屏的良品率，在步驟1)中，本實施例在對設(shè)備進(jìn)行干式清洗前增加了對玻璃基板進(jìn)行濕法清洗，干式清洗后增加了對玻璃基板的除靜電操作；增加濕法清洗后，提高了玻璃基板正反面的清潔度，減少了由于異物導(dǎo)致在涂布時產(chǎn)生表面不平或凹陷等缺陷；在完成干式清洗后還需對玻璃基板進(jìn)行除靜電操作，除靜電設(shè)備就是將這些靜電處理掉，避免了由于靜電對濕膜造成的缺陷；滾輪表面的清潔度，對濕膜的表面影響較大，因此需經(jīng)常性的對滾輪進(jìn)行清潔，以保證其表面的清潔度。
為了進(jìn)一步完善上述技術(shù)方案，本實施例中采用變位傳感器對一次濕膜和二次濕膜進(jìn)行厚度測定，并將最后測得的結(jié)果導(dǎo)入監(jiān)視器中，并將得到的數(shù)據(jù)分別制成一次濕膜厚度曲線和二次濕膜厚度曲線；變位傳感器與監(jiān)視器配合使用能即時準(zhǔn)確的掌握一次濕膜的厚度，一次濕膜厚度曲線及二次濕膜厚度曲線能將一次濕膜與二次的厚度直觀的反映出來，便于操作人員掌握一次濕膜和二次濕膜的厚度信息，從而根據(jù)這些信息判斷一次濕膜與二次濕膜的厚度和厚度均一性是否符合工藝要求，如果其中包含不符合工藝要求的情況，及時調(diào)整一次濕膜或二次濕膜濕膜的厚度，使其達(dá)到工藝生產(chǎn)的需求。為了進(jìn)一步完善上述技術(shù)方案，在本實施例中采用在線燒結(jié)膜檢測裝置檢測一次燒結(jié)膜的厚度與二次燒結(jié)膜的厚度，在線燒結(jié)膜檢測裝置能利用設(shè)備直接檢測出一次燒結(jié)膜與二次燒結(jié)膜的厚度情況，方便省時，通過檢測結(jié)果能在第一時間發(fā)現(xiàn)一次燒結(jié)膜或二次燒結(jié)膜厚度的異常情況，及時作出補救處理，避免次品燒結(jié)膜進(jìn)入后續(xù)工序中，造成批次性燒結(jié)膜厚度異常，最終降低產(chǎn)品的良品率。由于在線體的生產(chǎn)工藝需要進(jìn)行兩次涂布操作，因此為了進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，本實施例中在對玻璃基板完成第二次干式清洗后，同樣增加了對玻璃基板的除靜電，進(jìn)一步降低了外界對前介質(zhì)線體生產(chǎn)過程的影響，提高了 Cr-Cu-Cr電極前介質(zhì)線體的良品率。為了進(jìn)一步完善上述技術(shù)方案，在線完成檢查二次燒結(jié)膜的缺陷情況后，本實施例增加了二次燒結(jié)膜的燒結(jié)后傾斜檢查，及在對二次燒結(jié)膜切割后，再次進(jìn)行切割后人工檢查操作；增加二次燒結(jié)后傾斜檢查，可以進(jìn)一步檢查二次燒結(jié)膜表面的有無凹陷、異物、 劃傷等異常情況，及時發(fā)現(xiàn)發(fā)現(xiàn)這些缺陷，并對存在缺陷的二次燒結(jié)膜及時作出處理，避免其流入后續(xù)工序；切割后人工檢查是對前面工序中的產(chǎn)品做最終確認(rèn)，檢查前面工序中沒有被找出的具有缺陷的產(chǎn)品，做報廢處理。本說明書中各個實施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其它實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。 對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求
1.一種線體制作工藝，應(yīng)用于Cr-Cu-Cr電極前介質(zhì)上，其特征在于，包括步驟1)完成玻璃基板的干式清洗后，通過噴嘴對玻璃基板進(jìn)行第一次涂布形成一次濕膜， 隨后測定一次濕膜在噴嘴方向的厚度，并對一次濕膜的缺陷進(jìn)行檢查；2)對一次濕膜進(jìn)行第一次干燥燒結(jié)形成一次燒結(jié)膜，在線檢查一次燒結(jié)膜的邊緣，同時在線檢測一次燒結(jié)膜的厚度；3)對含有一次燒結(jié)膜玻璃基板進(jìn)行干式清洗，并在一次燒結(jié)膜上通過噴嘴進(jìn)行第二次涂布形成二次濕膜，測定二次濕膜在噴嘴方向的厚度，并對二次濕膜的缺陷進(jìn)行檢查；4)對二次濕膜進(jìn)行二次干燥燒結(jié)形成二次燒結(jié)膜，在線檢測二次燒結(jié)膜的厚度，并在線檢查二次燒結(jié)膜的缺陷情況；5)對上述檢查后的二次燒結(jié)膜進(jìn)行端末刻蝕工藝，最終形成成品線體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線體制作工藝，其特征在于，在步驟1)中，對玻璃基板干式清洗前還包括對玻璃基板進(jìn)行濕法清洗，干式清洗后還包括對玻璃基板進(jìn)行除靜電操作，清除玻璃基板帶電極圖形面浮塵與玻璃基板背面塵埃。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線體制作工藝，其特征在于，在步驟1)中，使用變位傳感器測定一次濕膜在噴嘴方向的厚度，并將數(shù)據(jù)導(dǎo)入監(jiān)視器中，制成一次濕膜膜厚曲線。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線體制作工藝，其特征在于，在步驟2)中，通過在線燒結(jié)膜厚度檢測裝置檢測一次燒結(jié)膜的厚度，確保一次燒結(jié)膜的厚度滿足工藝需求。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線體制作工藝，其特征在于，在步驟3)中，完成對玻璃基板的干式清洗后還包括對玻璃基板進(jìn)行除靜電操作，清除基板帶電極圖形面浮塵與玻璃基板背面塵埃。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線體制作工藝，其特征在于，在步驟3)中，使用變位傳感器測定二次濕膜在噴嘴方向的厚度，并將數(shù)據(jù)導(dǎo)入監(jiān)視器中，制成二次濕膜膜厚曲線。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線體制作工藝，其特征在于，在步驟3)中，通過在線燒結(jié)膜厚度檢測裝置檢測二次燒結(jié)膜的厚度，確保二次燒結(jié)膜的厚度滿足工藝需求。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線體制作工藝，其特征在于，在步驟4)中，完成在線檢測二次燒結(jié)膜的厚度及檢查二次燒結(jié)膜的缺陷情況后，在進(jìn)行燒結(jié)后傾斜檢查，及完成對二次燒結(jié)膜切割后，再次進(jìn)行切割后人工檢查。
全文摘要
本發(fā)明提供的應(yīng)用于Cr-Cu-Cr電極前介質(zhì)的線體制作工藝，相對于現(xiàn)有技術(shù)在第一次涂布及第二次涂布工序后均增加了濕膜厚度測定裝置，并在第一次干燥燒結(jié)及第二次干燥燒結(jié)工藝后均增加了在線燒結(jié)膜厚度檢測裝置，通過增加這兩個裝置可以及時的檢測到不同工序中各種膜的厚度，在膜厚不均勻時，可以根據(jù)膜的厚度調(diào)節(jié)設(shè)備，從而準(zhǔn)確的控制膜的厚度，使膜厚在每個工序中都能達(dá)到均一性，并能滿足工藝需求，避免了由于膜厚及膜厚均一性不合格對PDP(等離子顯示板)屏品質(zhì)造成的影響。另外，增加二次燒結(jié)后缺陷檢查和切割后缺陷檢查，可進(jìn)一步減少不良品流向后工序有效的提高了PDP屏的良品率。
文檔編號H01J11/38GK102543628SQ201210031619
公開日2012年7月4日 申請日期2012年2月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月13日
發(fā)明者衛(wèi)平牛 申請人:安徽鑫昊等離子顯示器件有限公司