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一種對位標記、顯示基板及顯示裝置的制作方法

文檔序號:11758055閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種對位標記,用于測試兩層膜層圖形的位移偏差,其特征在于,所述對位標記包括兩組標記,每組標記由不同膜層形成,每組標記包括至少一個圓形的子標記。

2.如權(quán)利要求1所述的對位標記,其特征在于,每組標記包括至少兩組子標記,每組子標記包括兩個相對設(shè)置的圓形的子標記,每組子標記中的兩個子標記的圓心之間的連線與其他組子標記中的兩個子標記的圓心之間的連線相交于一交點。

3.如權(quán)利要求1所述的對位標記,其特征在于,每個所述子標記的直徑為3微米至8微米。

4.如權(quán)利要求2所述的對位標記,其特征在于,其中一組標記中的每組子標記中相對設(shè)置的兩個子標記之間的距離為15微米至25微米。

5.如權(quán)利要求4所述的對位標記,其特征在于,所述至少兩組標記中除所述其中一組標記之外的其他組標記中,每組子標記中相對設(shè)置的兩個子標記之間的距離為30微米至40微米。

6.如權(quán)利要求2所述的對位標記,其特征在于,每組子標記中的兩個子標記關(guān)于所述交點中心對稱。

7.一種顯示基板,其特征在于,所述顯示基板上設(shè)置有至少一個如權(quán)利要求1至6中任一項所述的對位標記。

8.一種顯示裝置,其特征在于,所述顯示裝置包括權(quán)利要求7所述的顯示基板。

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