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光定向照射裝置制造方法

文檔序號:2698077閱讀:117來源:國知局
光定向照射裝置制造方法
【專利摘要】光定向照射裝置,具備:偏振單元(3),其具備沿鄰接方向鄰接而配置的多個單位起偏器(31a~f);掃描單元,其通過使工作臺(4)或偏振光照射單元(2)的至少一方移動,從而相對于載置于所述工作臺(4)的基板(9),沿既定的掃描方向掃描來自所述偏振光照射單元(2)的紫外線;以及偏振方向檢測單元(6a~f),其能夠?qū)τ诿總€所述單位起偏器(31a~f)檢測從所述單位起偏器(31a~f)出射的紫外線的偏振方向,從而謀求實現(xiàn)良好的定向特性。
【專利說明】光定向照射裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及在液晶顯示板制造領(lǐng)域中使用的、特別是用于在液晶顯示裝置所使用的基板上,對定向膜賦予定向性以使液晶分子沿所期望的角度和方向排列的光定向照射裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著近年來的液晶顯示領(lǐng)域的利用擴大、需求增大,強烈要求改善作為以往的液晶顯示裝置的缺點即視場角、對比度比、動畫性能顯示等。特別在液晶顯示基板上,在對液晶分子賦予定向性的定向膜中,進行定向方向的均等化、預(yù)傾(preti 11)角的賦予、單一像素內(nèi)的多個區(qū)域的形成(多域(multidomain))等各種改善。
[0003]一直以來,眾所周知對在液晶顯示基板上形成的聚合物層(定向膜)賦予定向特性的優(yōu)點及為此而用的技術(shù)。作為此種賦予定向特性的方法,有被稱為布摩擦(rubbing)法的方法,該方法是在使纏繞了布的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的同時,使基板移動,將表面的聚合物層沿單方向較強地摩擦的處理。
[0004]然而,在該布摩擦法中,被指出存在靜電的產(chǎn)生、在定向膜表面?zhèn)鄣漠a(chǎn)生、粉塵的產(chǎn)生等種種缺點。為了避免該布摩擦法的問題,已知對定向膜照射紫外區(qū)的偏振光以賦予定向特性的光摩擦法。
[0005]在專利文獻I中,關(guān)于使用此種光摩擦法的方法,公開了利用曝光掩模,分開形成定向方向不同的多個定向區(qū)域的液晶顯示用基板的制造方法。
[0006]在專利文獻2中,公開了具有多個石英基板部、和由支持石英基板部的起偏器支持器構(gòu)成的大面積偏振板的偏振裝置,能夠通過使起偏器支持器移動來對大面積偏振板的下方均等地進行光照射。
[0007]專利文獻
專利文獻1:日本特開2007 - 219191號公報;
專利文獻2:日本特許第4046427號公報。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]在專利文獻2所公開的偏振裝置中,通過使用由多個石英基板構(gòu)成的大面積偏振板,能夠用于大面積的液晶顯示元件的偏振。然而,無法保證從各石英基板出射的偏振光出射完全沿相同方向偏振的振動光。尤其是在使用伴隨熱的強烈光源的環(huán)境下,支持石英基板部的起偏器支持器的熱膨脹等導(dǎo)致石英基板的支持位置產(chǎn)生偏移。另外,從裝置內(nèi)外發(fā)生的振動也使石英基板的支持位置產(chǎn)生偏移。此種偏移,尤其是如使偏振方向變化的旋轉(zhuǎn)偏移在所制造的液晶顯示裝置的圖像品質(zhì)方面成為問題。具體而言,在來自一部分石英基板的照射光的偏振方向產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)偏移的情況下,在該部分中顯示的圖像呈現(xiàn)為不均(A7 )0
[0009]因此,本發(fā)明所涉及的光定向照射裝置具備: 偏振光照射單元、工作臺、掃描單元、以及偏振方向檢測單元,
所述光定向照射裝置的特征在于:
所述偏振光照射單元具備紫外線照射單元和偏振單元,
所述偏振單元具備沿鄰接方向鄰接而配置的多個單位起偏器,
所述單位起偏器使從所述紫外線照射單元出射的紫外線偏振,
所述工作臺能夠載置在表面形成了定向膜的基板,
所述掃描單元通過使所述工作臺或所述偏振光照射單元的至少一方移動,從而相對于載置于所述工作臺的所述基板,沿既定的掃描方向掃描來自所述偏振光照射單元的紫外線,
所述偏振方向檢測單元能夠?qū)τ诿總€所述單位起偏器檢測從所述單位起偏器出射的紫外線的偏振方向。
[0010]而且在本發(fā)明所涉及的光定向照射裝置中,其特征在于:
所述偏振方向檢測單元位于所述工作臺的載置所述基板的區(qū)域內(nèi)。
[0011]而且在本發(fā)明所涉及的光定向照射裝置中,其特征在于:
所述偏振方向檢測單元位于所述工作臺外。
[0012]而且在本發(fā)明所涉及的光定向照射裝置中,其特征在于:
所述偏振方向檢測單元為設(shè)于與各所述單位起偏器對應(yīng)的位置的多個偏振傳感器。
[0013]而且在本發(fā)明所涉及的光定向照射裝置中,其特征在于:
所述偏振方向檢測單元為能夠移動至與所述單位起偏器對應(yīng)的位置的偏振傳感器。
[0014]而且在本發(fā)明所涉及的光定向照射裝置中,其特征在于:
所述偏振方向檢測單元能夠檢測從所述偏振光照射單元出射的紫外線的消光比。
[0015]而且在本發(fā)明所涉及的光定向照射裝置中,其特征在于:
所述偏振方向檢測單元能夠檢測從所述偏振光照射單元出射的紫外線的強度。
[0016]而且在本發(fā)明所涉及的光定向照射裝置中,其特征在于:
所述掃描單元使用線性電動機使所述工作臺移動。
[0017]而且本發(fā)明所涉及的光定向照射裝置的特征在于,具備:
通知單元,其基于通過所述偏振方向檢測單元檢測的紫外線的偏振方向來進行通知。
[0018]而且本發(fā)明所涉及的光定向照射裝置的特征在于:
具備使所述工作臺或者所述偏振光照射單元旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部,
具備基于通過所述偏振方向檢測單元檢測的每個所述單位起偏器的偏振方向來使所述旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)的控制單元。
[0019]而且本發(fā)明所涉及的光定向照射裝置的特征在于:
具備使所述單位起偏器旋轉(zhuǎn)的起偏器旋轉(zhuǎn)部,
具備基于通過所述偏振方向檢測單元檢測的每個所述單位起偏器的偏振方向來使所述起偏器旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)的控制單元。
[0020]而且在本發(fā)明所涉及的光定向照射裝置中,其特征在于:
所述偏振方向檢測單元能夠在所述掃描單元的多個掃描位置處檢測從所述偏振單元出射的紫外線的偏振方向。
[0021]而且本發(fā)明所涉及的光定向照射裝置的特征在于: 具備使所述工作臺或者所述偏振光照射單元旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部,
具備在對所述基板掃描紫外線時,基于通過所述偏振方向檢測單元檢測的多個掃描位置處的紫外線的偏振方向來使所述旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)的控制單元。
[0022]另外在本說明書中,公開下述所記載的第二光定向照射裝置。
[0023]光定向照射裝置具備:
偏振光照射單元、工作臺、掃描單元和偏振方向檢測單元,
所述光定向照射裝置的特征在于:
所述偏振光照射單元具備紫外線照射單元和偏振單元,
所述偏振單元使從所述紫外線照射單元出射的紫外線偏振,
所述工作臺能夠載置在表面形成了定向膜的基板,
所述掃描單元通過使所述工作臺或所述偏振光照射單元的至少一方移動,從而相對于載置于所述工作臺的所述基板,沿既定的掃描方向掃描來自所述偏振光照射單元的紫外線,
所述偏振方向檢測單元能夠在所述掃描單元的多個掃描位置處檢測從所述偏振單元出射的紫外線的偏振方向。
[0024]而且在所述第二光定向照射裝置中,其特征在于:
所述偏振單元具備沿鄰接方向鄰接而配置的多個單位起偏器,
所述偏振方向檢測單元能夠在所述掃描單元的多個掃描位置處檢測從既定的所述單位起偏器出射的紫外線的偏振方向。
[0025]而且所述第二光定向照射裝置中的任一個的特征在于,具備:
通知單元,其基于通過所述偏振方向檢測單元檢測的多個掃描位置處的紫外線的偏振方向來進行通知。
[0026]而且所述第二光定向照射裝置中的任一個的特征在于:
具備使所述工作臺或者所述偏振光照射單元旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部,
具備在對所述基板掃描紫外線時,基于通過所述偏振方向檢測單元檢測的多個掃描位置處的紫外線的偏振方向來使所述旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)的控制單元。
[0027]根據(jù)本發(fā)明的光定向照射裝置,在使用包含多個單位起偏器而構(gòu)成的偏振單元時,通過設(shè)置能夠?qū)τ诿總€單位起偏器檢測從單位起偏器出射的紫外線的偏振方向的偏振方向檢測單元,能夠事先確認相對于基板掃描的紫外線的偏振方向。另外,基于所檢測的各單位起偏器的偏振方向,通過手動或者自動調(diào)整單位起偏器的安裝,能夠?qū)遒x予良好的定向特性。
[0028]另外,根據(jù)本說明書中公開的第二光定向照射裝置,通過設(shè)置能夠在掃描單元的多個掃描位置處檢測從偏振單元出射的紫外線的偏振方向的偏振方向檢測單元,能夠事先確認當(dāng)通過掃描單元使工作臺或者偏振光照射單元移動時產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)偏移(被稱為軸移(軸走D )的現(xiàn)象)。另外,通過基于所檢測的偏振方向手動或者自動調(diào)整掃描單元的固定以抑制旋轉(zhuǎn)偏移,能夠?qū)遒x予良好的定向特性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0029]圖1是本發(fā)明的實施方式所涉及的光定向照射裝置的立體圖; 圖2是本發(fā)明的實施方式所涉及的光定向照射裝置的側(cè)截面圖;
圖3是本發(fā)明的實施方式所涉及的光定向照射裝置的俯視圖;
圖4是示出本發(fā)明的實施方式所涉及的光定向裝置的紫外線照射的情況的示意圖;
圖5是示出本發(fā)明的實施方式所涉及的偏振單元的構(gòu)成的圖;
圖6是示出本發(fā)明的其他實施方式所涉及的偏振單元的構(gòu)成的圖;
圖7是示出本發(fā)明的其他實施方式所涉及的偏振單元的構(gòu)成的圖;
圖8是示出本發(fā)明的實施方式所涉及的偏振傳感器的構(gòu)成的圖;
圖9是示出本發(fā)明的實施方式所涉及的光定向照射裝置的控制構(gòu)成的框圖;
圖10是示出本發(fā)明的實施方式所涉及的偏振方向確認處理的流程圖;
圖11是說明本發(fā)明的實施方式所涉及的偏振方向確認處理的旋轉(zhuǎn)部的控制的圖;
圖12是說明本發(fā)明的實施方式所涉及的偏振方向確認處理的旋轉(zhuǎn)部的控制的圖;
圖13是說明本發(fā)明的實施方式所涉及的旋轉(zhuǎn)部的控制所使用的代表角的計算方法的
圖;
圖14是示出本發(fā)明的其他實施方式所涉及的光定向照射裝置的俯視圖;
圖15是用于說明本發(fā)明的其他實施方式所涉及的偏振方向確認處理的動作的光定向照射裝置的側(cè)截面圖;
圖16是示出本發(fā)明的其他實施方式所涉及的光定向照射裝置的俯視圖;
圖17是示出本發(fā)明的其他實施方式所涉及的光定向照射裝置的控制構(gòu)成的框圖;
圖18是示出本發(fā)明的其他實施方式所涉及的偏振方向確認處理的流程圖;
圖19是用于說明本發(fā)明的其他實施方式所涉及的偏振方向確認處理的動作的光定向照射裝置的俯視圖;
圖20是示出本發(fā)明的其他實施方式所涉及的光定向照射裝置的側(cè)截面圖;
圖21是用于說明本發(fā)明的其他實施方式所涉及的光定向處理的示意圖;
圖22是示出本發(fā)明的其他實施方式所涉及的光定向照射裝置的控制構(gòu)成的框圖;
圖23是示出本發(fā)明的實施方式所涉及的軸移確認處理的流程圖;
圖24是示出本發(fā)明的實施方式所涉及的光定向處理的流程圖;
圖25是示出本發(fā)明的其他實施方式所涉及的光定向照射裝置的俯視圖;
圖26是示出本發(fā)明的其他實施方式所涉及的光定向照射裝置的俯視圖;
圖27是示出本發(fā)明的其他實施方式所涉及的光定向照射裝置的俯視圖;
圖28是示出本發(fā)明的其他實施方式所涉及的光定向照射裝置的俯視圖。
【具體實施方式】
[0030]圖1是示出本發(fā)明的實施方式所涉及的光定向照射裝置的構(gòu)成的圖。作為主要構(gòu)成要素,本實施方式的光定向照射裝置I具有偏振光照射單元2、掃描單元。偏振光照射單元2是通過對在基板9的表面形成的定向膜照射紫外線的光束來對定向膜賦予定向特性的單元,在本實施方式中,偏振光照射單元2具備偏振單元3和具有反射鏡21a、紫外線照射光源21b的紫外線照射單元21而構(gòu)成。此外,在本實施方式中,作為照射光使用紫外線,但是也可以使用其他波段的照射光。此時,使用與所使用的波段對應(yīng)的照射光源。
[0031]在圖2中示出本發(fā)明的實施方式所涉及的光定向照射裝置的側(cè)截面圖,在圖3中示出本發(fā)明的實施方式所涉及的光定向照射裝置的俯視圖。掃描單元是通過使工作臺4沿既定的移動方向(在圖中為Y軸方向)移動,從而使從偏振光照射單兀2照射的光束在基板9上掃描的單元。本實施方式的掃描單元具有工作臺4、可動臺55、滾珠絲杠52、LM導(dǎo)引件51、旋轉(zhuǎn)部54而構(gòu)成??蓜优_55經(jīng)由旋轉(zhuǎn)部54與工作臺4機械地結(jié)合。另外,可動臺55能夠通過LM導(dǎo)引件51而沿掃描方向移動。在該LM導(dǎo)引件51中,LM塊51c、51d能夠在LM軌道51a、51b上滑動。在LM塊51c、51d固定有可動臺55。在本實施方式中,如圖3所示,能夠通過兩根LM導(dǎo)引件5la、5Ib來移動可動臺55。
[0032]在可動臺55,切有與滾珠絲杠52對應(yīng)的螺紋孔。將滾珠絲杠52通過該螺紋孔,使?jié)L珠絲杠52旋轉(zhuǎn),從而將滾珠絲杠52的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換為可動臺55相對于掃描方向的移動。另夕卜,在可動臺55,在上表面設(shè)有旋轉(zhuǎn)部54。該旋轉(zhuǎn)部54能夠在圖示的XY平面內(nèi)進行旋轉(zhuǎn),能夠使用于通過偏振光照射單元2照射的偏振光的偏振方向的調(diào)整、以及掃描單元的各掃描位置處的旋轉(zhuǎn)偏移(被稱為“軸移”的現(xiàn)象)的校正等。
[0033]作為掃描單元,除了如本實施方式這樣使用LM導(dǎo)引件51、滾珠絲杠52之外,還可以使用線性電動機使工作臺4移動。通過使用線性電動機,能夠迅速地、且以抑制了機械振動的狀態(tài)使工作臺移動。另外,除了使工作臺4移動以外,還可以通過使偏振光照射單元2移動,或者使工作臺4和偏振光照射單元2 二者移動來使從偏振光照射單元2照射的偏振紫外線B沿基板9掃描。
[0034]在本實施方式中,將來自偏振單元3的偏振紫外線B直接照射于基板9,但是也可以在偏振單元3與基板9之間設(shè)置將照射區(qū)域限制為狹縫狀的屏蔽掩模,通過設(shè)置屏蔽掩模,能夠限制照射區(qū)域,僅僅使有效的照射光曝光于基板9,能夠謀求定向性能的提高。
[0035]在工作臺4,設(shè)置有成為曝光對象的基板9。在本實施方式中,基板9的掃描方向以作為液晶顯示裝置利用時成為縱方向或者橫方向的方式進行設(shè)置。在成為曝光對象的基板9的表面,由聚酰亞胺等光反應(yīng)性高分子組成的高分子形成膜狀。若在該定向膜上照射偏振紫外線使高分子膜變性,在未圖示的以后的工序中將液晶分子涂布在高分子膜上,則液晶分子受來自高分子膜的作用而沿特定的方向排列(定向)。本來,將該具有定向特性的高分子膜稱為定向膜,但是一般而言,將賦予定向特性以前的高分子膜也稱為定向膜,在本說明書中也將賦予定向特性以前的高分子膜一并稱作定向膜。
[0036]偏振光照射單元2包括偏振單元3和包含紫外線照射光源21b、反射鏡21a的紫外線照射光源21而構(gòu)成。紫外線照射光源21使用在圖2、圖3的X軸方向上具有長軸的線光源。在紫外線照射光源21中,不僅能夠使用此種線光源,還能夠使用點光源等各種光源。從紫外線燈等紫外線照射光源21b照射的紫外線通過拋物面鏡等的反射鏡21a等被調(diào)整成為平行光或部分平行光,作為非偏振紫外線A向偏振單元3側(cè)照射。偏振單元3是從非偏振紫外線A取出既定方向的線偏振分量的單兀。在本實施方式中,由該偏振單兀3從非偏振紫外線A取出沿既定方向偏振的偏振紫外線B,成為對基板9的入射光。
[0037]在圖5中,示出本發(fā)明的實施方式所涉及的偏振單元的構(gòu)成。圖5是從下方即從圖1?圖3所示的Z軸的正方向觀察偏振單元3的圖。本實施方式的偏振單元3具有沿鄰接方向33鄰接配置的多個單位起偏器31a?31f而構(gòu)成。單位起偏器31a?31f由使用了介電多層膜的布儒斯特(Brewster)起偏器或線柵起偏器構(gòu)成。此種單位起偏器31a?31f是以石英等為成分而構(gòu)成的光學(xué)元件(起偏器),在本實施方式中使用矩形狀的起偏器。如圖1所示,在將照射區(qū)域形成于基板9時,為了對基板9均勻地照射偏振紫外線,需要長度從基板9的一邊直到相向的另一邊的偏振單元3。現(xiàn)在,在50英寸以上的大型液晶顯示裝置中使用的基板9中,需求具有足夠長度的偏振單元3。大片的起偏器不僅制造困難,而且現(xiàn)狀是其價格也很高價。在本實施方式中,通過如圖5所示那樣使小片的單位起偏器31a?31f沿鄰接方向33鄰接并使用,能夠抑制光定向照射裝置的成本。
[0038]這些單位起偏器31a?31f由固定部32沿既定的偏振分量出射的方向固定。通過使用如此使多個單位起偏器31a?31f鄰接的偏振單元3,即使在使用50英寸以上的大型的基板9的情況下,也能夠?qū)崿F(xiàn)足夠長度的偏振單元3。
[0039]在偏振單元3中,在此種使用矩形狀的單位起偏器31a?31f的方式之外,能夠采用各種方式。在圖5所示的使矩形狀的單位起偏器31a?31f鄰接而使用,并且各單位起偏器31a?31f的鄰接面34與掃描方向平行的情況下,有時鄰接面34的接縫使出射的偏振紫外線產(chǎn)生不均。因此,考慮采用如圖6所示的偏振單元3的構(gòu)成。在圖6的構(gòu)成中,各單位起偏器31a?31f為具有相對于掃描方向傾斜的邊的平行四邊形形狀。通過采用此種形狀,使鄰接的單位起偏器31a?31f之間的鄰接面34相對于掃描方向傾斜,使從鄰接面34照射的偏振紫外線重復(fù),從而謀求抑制接縫的影響。
[0040]然而,難以精度較好地制造圖6這樣的平行四邊形形狀的單位起偏器31a?31f,并且成本變高。另外,成為銳角的部分由于易損壞故處理也變得困難。在圖7中,與圖6同樣,為使鄰接面34相對于掃描方向傾斜的構(gòu)成。在該實施方式中,與圖5同樣,使用矩形狀的單位起偏器31a?31f。但是,在相對于固定部32的固定方向這一點上不同。S卩,通過將矩形狀的單位起偏器31a?31f以相對于掃描方向傾斜的方式固定于固定部32,與圖6同樣地,形成相對于掃描方向傾斜的鄰接面34。此時,為了不使偏振紫外線的出射區(qū)域變得不均衡,優(yōu)選如圖所示地在固定部32設(shè)置矩形狀的狹縫等,設(shè)置屏蔽不需要的區(qū)域的屏蔽掩模。根據(jù)此種方式,雖然各單位起偏器31a?31f的使用比例減少,但是能夠抑制接縫的影響,并且使單位起偏器31a?31f的制造以及處理變?nèi)菀住?br> [0041]在圖4中示意性地示出該偏振單元3的紫外線照射的狀況。從紫外線照射光源21出射的平行或者部分平行的非偏振紫外線A通過透射各單位起偏器31a?31f,使其在各單位起偏器31a?31f的每一個中分別設(shè)定的偏振方向上偏振而轉(zhuǎn)換為偏振紫外線Ba?Bf。各偏振紫外線Ba?Bf入射到基板9上并使定向膜定向。在圖4的照射區(qū)域中,以箭頭示意性地示出各偏振紫外線Ba?Bf的偏振方向。在由一個起偏器構(gòu)成偏振單元3的情況下,所照射的偏振紫外線的偏振方向在照射區(qū)域中全部成為相同方向。然而,在像本實施方式這樣由多個單位起偏器31a?31f構(gòu)成的情況下,若不使各單位起偏器31a?31f的偏振方向一致,則在將基板9用作液晶顯示裝置時,觀察為影像不均。
[0042]為了抑制此種液晶顯示裝置中的影像不均發(fā)生,需要確認各單位起偏器31a?31f的偏振方向是否朝既定方向,或者各單位起偏器31a?31f之間的偏振方向的誤差是否收斂在既定角度以內(nèi)。因此,在本實施方式的光定向照射裝置中,設(shè)置檢測從各單位起偏器31a?31f出射的偏振紫外線的偏振方向的偏振方向檢測單元。
[0043]該偏振方向檢測單兀能夠使用一至多個偏振傳感器6而構(gòu)成。在本實施方式中,在工作臺4上使用與各單位起偏器31a?31f對應(yīng)的多個偏振傳感器6a?6f。在圖2所示的光定向照射裝置I的側(cè)截面圖、圖3所示的俯視圖中,示出該多個偏振傳感器6a?6f的配置的情況。如圖2所示,偏振傳感器6使檢測面朝上,以不從工作臺4的面突出的方式埋入工作臺4內(nèi)。這是為了在將基板9載置于工作臺4時防止偏振傳感器6突出而引起的載置阻礙。為了能夠檢測照射基板9時的偏振方向,優(yōu)選地使偏振傳感器6的檢測面位于基板9的定向膜附近,但是此時,偏振傳感器6從工作臺4的面突出。在此種情況下,還可以僅僅在檢測偏振方向的情況下安裝偏振傳感器6,或者使用驅(qū)動機構(gòu)使偏振傳感器6從工作臺突出等。
[0044]在圖3的俯視圖中,能夠看出各偏振傳感器6a?6f和各單位起偏器31a?31f的位置關(guān)系。在圖中,為了易于確認位置關(guān)系,示出偏振傳感器6a?6f與單位起偏器31a?31f偏移的位置,但是在確認偏振方向時,通過掃描單元將來自單位起偏器31a?31f的偏振紫外線B移動至入射到各自對應(yīng)的偏振傳感器6a?6f的位置。通過將從各單位起偏器31a?31f出射的偏振紫外線Ba?Bf入射到偏振傳感器6a?6f而確認其偏振方向。
[0045]在圖8中,示出偏振傳感器6的構(gòu)成。在本實施方式中使用的偏振傳感器6不僅能夠檢測入射光的偏振方向,還能夠檢測入射光的P波與S波之比即消光比(也稱為偏振比)、以及入射光的強度。偏振傳感器6具備棱鏡61、光量傳感器62、驅(qū)動部63、驅(qū)動力傳遞部64、傳感器控制部65而構(gòu)成。在棱鏡61中,使用格蘭泰勒(Glan-Tylor)棱鏡、格蘭湯姆遜(Glan-Thomson)棱鏡等透射既定方向的偏振分量的光學(xué)兀件。光量傳感器62將棱鏡61的透射光的光量作為光量信號而輸出。驅(qū)動部63能夠使用步進電動機等,經(jīng)由驅(qū)動力傳遞部64使棱鏡61旋轉(zhuǎn)。傳感器控制部65進行通過驅(qū)動部63的棱鏡61的旋轉(zhuǎn)控制,并且接收從光量傳感器62輸出的光量信號。
[0046]傳感器控制部65通過由驅(qū)動信號驅(qū)動驅(qū)動部63,從而使棱鏡61旋轉(zhuǎn)。例如,在使棱鏡61旋轉(zhuǎn)I周(也能夠是半周)時,輸出最大的光量信號的棱鏡61的方向被檢測為入射光的偏振方向。另外,通過最大的光量信號Imax相對于最小的光量信號Imin之比(Imax/Imin)來求消光比。而且,入射光的強度能夠通過使棱鏡61轉(zhuǎn)I周(或者半周)時的光量信號的積分值而算出。
[0047]如此,在本實施方式的偏振傳感器6中,不僅能夠輸出入射光的偏振方向,還能夠輸出消光比(偏振比)、強度。在照射于基板9的偏振紫外線的各位置處,若在消光比、強度中存在偏差,則存在對照射處理定向膜時的定向限制力等造成影響,定向膜的特性變得不均勻的情況。在本實施方式中,使偏振傳感器6不僅能夠檢測偏振方向,還能夠檢測消光比(偏振比)、強度,從而不需要另行設(shè)置用于檢測消光比、強度的傳感器。對用戶通知由偏振傳感器6檢測的各種信息,在存在問題(異常)的情況下能夠進行處理。
[0048]像本實施方式這樣,各單位起偏器31a?31f由固定部32固定于既定位置,以使偏振方向朝向既定方向。通常,該固定部32采用金屬制的框架等,通過夾著單位起偏器31a?31f的兩端以進行固定。在光定向照射裝置I中,由于需要從紫外線照射光源21照射強紫外線,故由此發(fā)生的熱量也較大。因而,在正面接收所發(fā)生的熱量的偏振單元3中溫度上升,在金屬制的固定部32中產(chǎn)生熱膨脹。另一方面,由于單位起偏器31a?31f是以石英等為素材的比較易損壞的光學(xué)元件,故若通過固定部32牢固地固定,則有可能由于熱膨脹而損壞。在此種條件下,不能夠使用過度的力固定單位起偏器31a?31f,由于熱膨脹等而產(chǎn)生該位置偏移。
[0049]如果是關(guān)于相對掃描方向平行或者正交的方向的位置偏移,則沒有特別的問題,但是使單位起偏器31a?31f旋轉(zhuǎn)的位置偏移由于使偏振方向上產(chǎn)生偏移所以是不理想的。尤其,像本實施方式這樣,多個單位起偏器31a?31f之間的偏振方向的偏移與作為液晶顯示裝置利用時的影像品質(zhì)相關(guān)。因此,在本實施方式的光定向照射裝置中,通過執(zhí)行偏振方向確認處理來進行各單位起偏器31a?31f的偏振方向的確認。另外,在本實施方式的偏振方向確認處理中,還進行基于所確認的偏振方向,使旋轉(zhuǎn)部54旋轉(zhuǎn)讓偏振方向變得合理的校正處理。
[0050]圖9是示出本發(fā)明的實施方式所涉及的光定向照射裝置的控制構(gòu)成的框圖,圖10是示出本發(fā)明的實施方式所涉及的偏振方向確認處理的流程圖。如圖9所示,本實施方式的光定向照射裝置具有控制部81、滾珠絲杠驅(qū)動部82而構(gòu)成其控制單元。在控制部81,連接用于進行對用戶的各種信息的交換的顯示部83、輸入部84。另外,控制部81與旋轉(zhuǎn)部54、紫外線照射光源21b、傳感器控制部65連接,能夠控制這些各種構(gòu)成。
[0051]偏振方向確認處理是用于確認從各單位起偏器31a?31f出射的偏振紫外線Ba?Bf的偏振方向光的處理。該偏振方向確認處理在將基板9載置于工作臺4之前的狀態(tài)下執(zhí)行。如圖10的流程圖所示,若偏振方向確認處理開始,則首先,將工作臺4移動至從各單位起偏器31a?31f出射的偏振紫外線能夠照射所對應(yīng)的偏振傳感器6a?6f的位置(SlOl)。在本實施方式中,控制部81通過滾珠絲杠驅(qū)動部82使?jié)L珠絲杠52旋轉(zhuǎn),而進行工作臺4的移動。接著,控制部81點亮紫外線照射光源21b,使偏振紫外線入射各偏振傳感器6a ?6f (S102)。
[0052]在本實施方式中,由于設(shè)有與各單位起偏器31a?3If對應(yīng)的多個偏振傳感器6a?6f,故同時取得各單位起偏器31a?31f的偏振方向(S103)。所取得的各偏振傳感器6a?6f的偏振方向存儲于控制部81內(nèi)的存儲單元(S105)。在本實施方式中,基于如此存儲的各偏振方向執(zhí)行通知(結(jié)果顯示)處理(S106)。在簡易的通知處理中,能夠考慮使各偏振方向顯示于顯示部83?;蛘?,還可以檢測各偏振方向上的異常,將檢測到異常的偏振傳感器6a?6f、或者與之對應(yīng)的單位起偏器31a?31f所相關(guān)的各種信息顯示于顯示部83。作為偏振方向的異常,能夠考慮如下所示的情況。(I)偏振方向相對于既定方向的偏移、(2)偏振方向的最大角與最小角之差、(3)偏振方向在鄰接的單位起偏器31a?31f之間的偏移、等。
[0053](I)偏振方向相對于既定方向的偏移
這是通過與在設(shè)計階段預(yù)先對基板9設(shè)定的偏振方向的偏移來判定異常的方式。在各偏振傳感器6a?6f所檢測的偏振方向與所設(shè)定的偏振方向偏移閾值以上的情況下,通知產(chǎn)生了偏移的偏振傳感器6a?6f。
[0054](2)偏振方向的最大角與最小角之差
這是在各偏振傳感器6a?6f所檢測的最大的偏振方向的角度(最大角)與最小的偏振方向的角度(最小角)之差為閾值以上的情況下,判定為異常的方式。在各偏振傳感器6a?6f的偏振方向全部向相同方向旋轉(zhuǎn)的情況下,有時在影像形成方面不成為問題。本方式為考慮了此種情況的判定方式,不考慮對基板9設(shè)定的偏振方向,在偏振方向之間的最大差為閾值以上的情況下,判定為異常。在通知處理中,能夠考慮通知檢測到最大角、最小角的偏振傳感器6a?6f、以及該差等。
[0055](3)在鄰接的單位起偏器31a?31f之間的偏振方向的偏移 這是若偏振方向在鄰接的單位起偏器31 a?31 f之間的偏移為閾值以上則判定為異常的方式。當(dāng)在鄰接的單位起偏器31a?31f之間,在偏振方向上產(chǎn)生偏移時,更容易作為影像不均而變得顯眼。因此,在本方式中,對鄰接的單位起偏器31a?31f之間的偏振方向設(shè)置閾值,在超過閾值的情況下判定為異常。因而,在本方式中,在單位起偏器3Ia?31f之間容許緩慢地移位的偏振方向的偏移。在通知處理中,能夠考慮通知超過閾值的偏振傳感器6a?6f、以及該差等。
[0056]作為偏振方向的異常檢測的條件,還可以使用上述⑴?(3)中的多個。另外,若基于通過各偏振傳感器6a至6f檢測的各單位起偏器31a?31f中每一個的偏振方向來進行,則不限于上述方式,能夠采用各種方式。通過通知所檢測的異常(S106),維護光定向照射裝置的用戶能夠進行產(chǎn)生了異常的單位起偏器31a?31f的偏振方向的調(diào)整。具體而言,進行單位起偏器31a?31f的安裝的調(diào)整,再次執(zhí)行偏振方向確認處理,從而進行偏振方向的合理化。
[0057]而且,通過控制使工作臺4旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部54,本實施方式的控制部81能夠進行偏振方向的最優(yōu)化。在S107中,判定在S106中通知的偏移是否為需要修正的偏移。在不需要修正的偏移的情況下,即在偏振方向在容許范圍內(nèi)(S107:否)的情況下,結(jié)束偏振方向確認處理。另一方面,在需要修正的偏移(S107:是)的情況下,判定是否為能夠通過旋轉(zhuǎn)部54的旋轉(zhuǎn)修正的偏移。在不能夠修正的偏移的情況(S108:否)下,在通知不能修正偏移的消息(Slll)之后,結(jié)束偏振方向確認處理。在為能夠修正的偏移的情況(S108:是)下,計算用于消除偏移的代表角(S109),使旋轉(zhuǎn)部54旋轉(zhuǎn)至所計算的代表角。
[0058]在圖11、圖12中,示出說明本發(fā)明的實施方式所涉及的偏振方向確認處理的旋轉(zhuǎn)部54的控制的圖。圖11示出偏振傳感器6a?6f的各單位起偏器31a?31f的偏振方向檢測時的情況。在圖中示出各偏振方向A?F,在此以容易理解的方式將偏振方向夸張地示出。圖中,偏振方向A與偏振方向F為偏振方向的角度差最大的狀態(tài)。另外,在本實施方式中,工作臺4為初始狀態(tài),即,其長邊朝向相對于掃描方向大體平行的狀態(tài)。
[0059]在本實施方式中,使用該角度差最大的偏振方向A與偏振方向F計算代表角,即,計算通過旋轉(zhuǎn)部54進行的工作臺4旋轉(zhuǎn)角。在圖12中,示出使工作臺4旋轉(zhuǎn)時的情況。在圖中,示出通過旋轉(zhuǎn)部54使工作臺4相對于圖2所示的可動臺55只旋轉(zhuǎn)角度Θ的情況。在遵循代表角旋轉(zhuǎn)的工作臺4中,全部單位起偏器31a?31f的偏振方向收斂在偏移的容許范圍內(nèi)。
[0060]在圖13中,示出該代表角的計算方法的一例。在圖11所示的示例中,在各偏振傳感器6a?6f中,偏振傳感器6a的偏振方向A與偏振傳感器6f的偏振方向F的角度差為最大。在此,將偏振傳感器6a的偏振方向A命名為最大角,將偏振傳感器6f的偏振方向F命名為最小角,代表角計算為最大角與最小角的中間值??蓜优_55遵循所計算的代表角只旋轉(zhuǎn)角度Θ。通過根據(jù)此種代表角使旋轉(zhuǎn)部54旋轉(zhuǎn),能夠?qū)⒏髌穹较虻钠钜种圃诩榷ǚ秶鷥?nèi)。
[0061]通過如此執(zhí)行偏振方向確認處理,將各單位起偏器31a?31f的偏振方向調(diào)整在合理范圍內(nèi)。本實施方式的旋轉(zhuǎn)部54是使工作臺4旋轉(zhuǎn)的方式,但是還能夠通過使用圖2所示的使偏振光照射單元2在XY平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部來謀求偏振方向的合理化。而且,還能夠通過讓使工作臺54和偏振光照射單元2旋轉(zhuǎn)的兩個旋轉(zhuǎn)部協(xié)同工作來進行偏振方向的合理化。
[0062]在本實施方式中,利用旋轉(zhuǎn)部54的旋轉(zhuǎn)謀求偏振方向的合理化,但是該合理化還可以全部手動進行,即通過對單位起偏器31a?31f手動進行位置調(diào)整來進行。通過使用調(diào)整至合理的偏振方向的光定向照射裝置執(zhí)行光定向處理,能夠使基板9以良好的曝光狀態(tài)定向,謀求作為液晶顯示裝置使用時的影像的高品質(zhì)化。
[0063]在偏振傳感器6的配置中還能夠采用其他方式。在圖14中,示出本發(fā)明的其他實施方式所涉及的光定向照射裝置的俯視圖。在該實施方式中,在工作臺4外配置偏振傳感器6a?6f。偏振傳感器6a?6f設(shè)置在傳感器載置臺66上。該傳感器載置臺66配置在不阻礙工作臺4的基于掃描單位的移動的位置。在本實施方式中,具有使偏振單元3、包含紫外線照射光源21的偏振光照射單元2移動至傳感器載置臺66上的移動部。如圖15所示,在偏振方向確認處理中,通過移動部使偏振光照射單元2移動至傳感器載置臺66上,從而使偏振傳感器6a?6f接受從各單位起偏器31a?31f出射的偏振紫外線B。
[0064]在本實施方式中,通過如此將偏振傳感器6a?6f設(shè)置在工作臺4的外部,從而不需要在工作臺4內(nèi)配置偏振傳感器6a?6f。在偏振傳感器6a?6f中需要用于收發(fā)信號的布線,但是如上述實施方式那樣在工作臺4內(nèi)設(shè)置偏振傳感器6a?6f的情況下,有可能布線由于工作臺4的移動而疲勞并引起斷線等。在本實施方式中,通過在沒有可動部的工作臺4外設(shè)置偏振傳感器6a?6f,能夠抑制斷線等故障的發(fā)生,并且容易地進行其設(shè)置。另外,即使在將基板9設(shè)置于工作臺4的狀態(tài)下,也能夠執(zhí)行偏振方向確認處理。此外,通過掃描單元使偏振光照射單元2移動,在進行偏振紫外線的掃描的情況下,能夠通過掃描單元進行(兼用)偏振光照射單元2向傳感器載置臺66上的移動。
[0065]另外在上述實施方式中,使用與各單位起偏器31a?31f對應(yīng)的多個偏振傳感器6a?6f,但是通過使偏振傳感器6移動,也能夠檢測各單位起偏器31a?31f的偏振方向。圖16?圖18是以使偏振傳感器6移動為特征的實施方式,圖16是本實施方式的光定向照射裝置的俯視圖,圖17是示出本實施方式的光定向照射裝置的控制構(gòu)成的框圖,圖18是示出本實施方式的偏振方向確認處理的流程圖。
[0066]如圖16的俯視圖所75,本實施方式具有一個偏振傳感器6而構(gòu)成。該偏振傳感器6能夠在狹縫狀地設(shè)于工作臺4的可動范圍內(nèi)移動。如圖17的控制構(gòu)成所示,偏振傳感器6能夠通過傳感器控制部65而在狹縫狀的可動范圍內(nèi)自由地移動。在本實施方式中,通過移動至位置a?位置f,檢測各單位起偏器31a?31f的偏振方向。
[0067]在圖18的偏振方向確認處理中,首先通過掃描單元使工作臺4移動到單位起偏器31a位于偏振傳感器6的上方的位置(S201)。接著,控制部81點亮紫外線照射光源21b以使偏振紫外線入射偏振傳感器6 (S202)。在將變量η設(shè)定為初始值即I (S203)之后,控制部81使偏振傳感器6移動至作為第一個單位起偏器31a的檢測位置的位置a(S204)。在取得所移動的位置處的偏振傳感器6的偏振方向(S205)之后,控制部81將該偏振方向與取得位置a或者單位起偏器31a建立對應(yīng)關(guān)系并存儲(S206)。在S207中,為了檢測下個偏振方向,在對變量η疊加I之后,執(zhí)行S204?S206。通過直到變?yōu)閚 = N(在圖16的示例中為N = 6)為止反復(fù)執(zhí)行S204?S206,取得并存儲各單位起偏器31a?31f的偏振方向。
[0068]在S209以后,基于所存儲的各單位起偏器31a?31f的偏振方向,通過通知處理、旋轉(zhuǎn)部54的旋轉(zhuǎn)執(zhí)行偏振方向的校正。由于這些處理(S209?S214)為與圖10的流程圖中的S106?Slll相同的處理,故省略此處的說明。
[0069]在所述實施方式的偏振方向確認處理中,通過基于代表角使旋轉(zhuǎn)部54旋轉(zhuǎn),將各單位起偏器31a?31f的偏振方向的偏移收斂在容許范圍內(nèi),但偏振方向的偏移的修正還能夠考慮通過其他單元來進行。圖19是用于說明其他實施方式所涉及的偏振方向確認處理的動作的光定向照射裝置的俯視圖。
[0070]在本實施方式中,對各單位起偏器31a?31f的每個,設(shè)置使單位起偏器31a?31f相對于固定部32而旋轉(zhuǎn)的起偏器旋轉(zhuǎn)部(未圖示)。該起偏器旋轉(zhuǎn)部通過使單位起偏器31a?31f個別地旋轉(zhuǎn),能夠個別地調(diào)整各單位起偏器31a?31f的偏振方向?;谕ㄟ^偏振方向確認處理檢測的各單位起偏器31a?31f的偏振方向,使該起偏器旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn),調(diào)整各單位起偏器31a?31f的偏振方向,從而能夠謀求偏振方向的合理化。
[0071]以上,在本實施方式中,設(shè)置能夠?qū)τ诿總€單位起偏器31a?31f檢測從單位起偏器出射的偏振紫外線的偏振方向B的偏振方向檢測單元,從而在使用由多個單位起偏器31a?31f構(gòu)成的偏振單元3中,也能夠適當(dāng)?shù)卣{(diào)整偏振方向。
[0072]此種偏振傳感器6不僅能夠用于每個單位起偏器31a?31f的偏振方向的檢測,還能夠用于掃描單元的各掃描位置處的旋轉(zhuǎn)偏移(被稱為“軸移”的現(xiàn)象)的檢測。在本實施方式的掃描單元中,因為使用直線前進精度優(yōu)良的LM導(dǎo)引件,所以幾乎不產(chǎn)生在LM導(dǎo)引件自身中發(fā)生的旋轉(zhuǎn)偏移。在LM導(dǎo)引件中,LM軌道51a、b固定于光定向照射裝置的設(shè)置部位,并且LM塊51c、d固定于可動臺55使用。各掃描位置處的旋轉(zhuǎn)偏移在此種掃描單元的固定之時發(fā)生。預(yù)想此種旋轉(zhuǎn)偏移根據(jù)由紫外線照射光源21b發(fā)生的熱、以及周圍的氣溫變化等各種周圍環(huán)境而變化。
[0073]在本實施方式中,使用偏振傳感器6檢測此種各掃描位置處的旋轉(zhuǎn)偏移。在圖20中,示出用于檢測掃描單元的軸移的光定向照射裝置的側(cè)截面圖。另外,在圖21中,示出光定向照射裝置的俯視圖。如觀察這些圖可知,在本實施方式的光定向照射裝置中,多個偏振傳感器6s?6x在工作臺4上沿掃描單元使工作臺4移動的方向而配置。在如本實施方式這樣由多個單位起偏器31a?31f構(gòu)成偏振單元3的情況下,各偏振傳感器6s?6x需要配置在接受來自一個單位起偏器31f的偏振紫外線B的位置。這是由于在單位起偏器31a?31f之間有可能在偏振方向上產(chǎn)生偏移。此外,在由一個起偏器構(gòu)成偏振單元3的方式中,通過在工作臺4上,在能夠接受偏振紫外線B的適當(dāng)多個掃描位置處檢測偏振方向,能夠檢測各掃描位置處的旋轉(zhuǎn)偏移。
[0074]另外,各偏振傳感器6s?6x埋入設(shè)置在工作臺4的基板設(shè)置區(qū)域9a內(nèi)。優(yōu)選地,與所述實施方式同樣,在設(shè)置基板9時的受光面的位置處檢測該各偏振方向。因此,還可以在確認掃描單兀的軸移之時設(shè)置各偏振傳感器6s?6x或者設(shè)置使各偏振傳感器6s?6x的受光面突出的機構(gòu)。
[0075]在本實施方式中,如圖21所示,沿掃描單元使工作臺4移動的方向,以等間隔設(shè)置六個偏振傳感器6s?6x。在圖21中,以箭頭示出各偏振傳感器6s?6x所檢測的偏振方向S?X。在該情況下,為了易于理解,各偏振方向S?X也夸張地記載其偏振方向。實際上,旋轉(zhuǎn)偏移的角度為0.1°以下的難以視覺辨認的極為微小的角度。
[0076]在圖22中,示出用于執(zhí)行軸移確認處理的光定向照射裝置的控制構(gòu)成。該控制構(gòu)成與在圖9中說明的控制構(gòu)成在偏振傳感器6s?6x的配置方面為不同的構(gòu)成。如圖22所示,光定向照射裝置具有控制部81、滾珠絲杠驅(qū)動部82作為其控制構(gòu)成而構(gòu)成。在控制部81,連接有用于進行對用戶的各種信息的交換的顯示部83、輸入部84。另外,控制部81與旋轉(zhuǎn)部54、紫外線照射光源21b、傳感器控制部65連接,能夠控制這些各種構(gòu)成。
[0077]在圖23中,示出圖20、圖21的光定向照射裝置的構(gòu)成的軸移確認處理的流程圖。該軸移確認處理是在通過掃描單元使工作臺4移動時,檢測工作臺4的各移動位置處的偏振方向,從而檢測工作臺4在各掃描位置處的旋轉(zhuǎn)偏移的處理。本實施方式的軸移確認處理在將基板9載置于工作臺4之前的狀態(tài)下執(zhí)行。若軸移確認處理開始,則首先點亮紫外線照射光源21b(S301)。在將變量m設(shè)定為初始值即I (S302)之后,控制部81驅(qū)動掃描單元(此時,驅(qū)動滾珠絲杠驅(qū)動部82)使工作臺4移動至偏振傳感器6s能夠接受從單位起偏器31f出射的偏振紫外線B的位置(S303)。在工作臺移動之后,取得與變量m = I對應(yīng)的偏振傳感器6s所輸出的偏振方向(S304),將工作臺4的移動位置(掃描位置)與所取得的偏振方向建立對應(yīng)關(guān)系并存儲(S305)。
[0078]通過反復(fù)執(zhí)行S303?305的處理,掃描單元的各掃描位置處的旋轉(zhuǎn)偏移作為偏振方向而被檢測。在圖21中,示出通過各偏振傳感器6s?6x檢測的偏振方向S?X。在S308中,基于通過各偏振傳感器6s?6x檢測的偏振方向,執(zhí)行通知(結(jié)果顯示)處理。簡單而言,該通知處理能夠認為是將各偏振傳感器6s?6x的偏振方向數(shù)值地或者圖形地顯示于顯示部83?;蛘?,還可以在偏振方向即各掃描位置處的旋轉(zhuǎn)偏移超過容許的范圍的情況下,在顯示部83中顯示警告。確認了警告的用戶能夠通過調(diào)整LM導(dǎo)引件的安裝等而將各掃描位置處的工作臺4的旋轉(zhuǎn)偏移收斂在既定范圍內(nèi)。
[0079]另外,所取得的各掃描位置處的偏振方向能夠在實際上將基板9載置于工作臺4且使基板9上的定向膜定向的光定向處理中使用。在圖24中,示出利用了該取得的偏振方向的光定向處理的流程圖。在該光定向處理中,基于所取得的各掃描位置處的偏振方向,使旋轉(zhuǎn)部54旋轉(zhuǎn),謀求各掃描位置處的偏振方向的合理化。若光定向處理開始,則讀出在軸移確認處理中存儲的掃描位置和偏振方向(S401)?;谧x出的各掃描位置處的偏振方向,計算各掃描位置處的旋轉(zhuǎn)部54的旋轉(zhuǎn)角(S402)。
[0080]在圖21中,以圖形繪出通過各偏振傳感器6s?6x檢測的偏振方向。各偏振方向S?X為相對于合理的偏振方向(O的位置)產(chǎn)生了旋轉(zhuǎn)偏移的狀態(tài)。在像本實施方式這樣,掃描位置為離散的情況下,掃描位置之間的偏振方向能夠通過增補來推定。圖形中的實線不出基于實測的偏振方向而推定的偏振方向。在本實施方式中,基于該以實線不出的各掃描位置處的偏振方向來計算旋轉(zhuǎn)部54的旋轉(zhuǎn)角度(S402)。具體而言,在通過掃描單元使工作臺4移動時,控制部81計算如消除各掃描位置處發(fā)生的旋轉(zhuǎn)偏移的旋轉(zhuǎn)部54的旋轉(zhuǎn)角度。此外,在本實施方式中,在將偏振方向增補之后計算旋轉(zhuǎn)部54的旋轉(zhuǎn)角度,但還可以基于實測的偏振方向,在計算旋轉(zhuǎn)部54的角度之后增補旋轉(zhuǎn)角度。
[0081]在計算與各掃描位置對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度之后,點亮紫外線照射光源21b (S403),通過掃描單元使工作臺4移動,從而使偏振紫外線B掃描設(shè)置于工作臺4上的基板9。此時,基于在S402中計算的旋轉(zhuǎn)角度,讀出與當(dāng)前的掃描位置對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度并使旋轉(zhuǎn)部54旋轉(zhuǎn)。在圖21中示出設(shè)置了偏振傳感器6s?6x的掃描位置處的工作臺4的旋轉(zhuǎn)狀態(tài)。在設(shè)置了偏振傳感器6s?6x的掃描位置處,通過旋轉(zhuǎn)部54旋轉(zhuǎn)工作臺4以使通過偏振傳感器6s?6x檢測的偏振方向變?yōu)楹侠淼姆较?。另?在偏振傳感器6s?6x之間,也基于通過增補而求得的旋轉(zhuǎn)角度來旋轉(zhuǎn)工作臺4,在各掃描位置處,使偏振方向成為合理的方向。執(zhí)行光定向處理,直到掃描結(jié)束(S406:是)。
[0082]在本實施方式中,通過使用沿工作臺4的掃描方向設(shè)置的偏振傳感器6s?6x,能夠進行各掃描位置的旋轉(zhuǎn)偏移的發(fā)生確認。而且,在執(zhí)行光定向處理時,基于通過偏振傳感器6s?6x檢測的各掃描位置處的偏振方向使旋轉(zhuǎn)部54旋轉(zhuǎn),能夠謀求偏振方向的合理化。此外,與偏振方向確認處理的情況同樣地,通過使用使圖2所示的偏振光照射單元2在XY平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部,也能夠謀求偏振方向的合理化。而且,還能夠通過讓使工作臺4和偏振光照射單元2旋轉(zhuǎn)的兩個旋轉(zhuǎn)部協(xié)同工作來進行偏振方向的合理化。
[0083]在本實施方式的軸移確認處理中,使用多個偏振傳感器6s?6x,但是與在圖16?圖18中說明的偏振方向確認處理同樣地,還能夠使偏振傳感器6移動而進行。在圖25中,示出具有能夠移動的偏振傳感器6的光定向照射裝置I的俯視圖。本實施方式與圖21的實施方式同樣地,檢測從單位起偏器31f出射的偏振紫外線B。偏振傳感器6能夠在設(shè)于工作臺4內(nèi)的狹縫狀的可動范圍內(nèi)自由地移動。在本實施方式中,通過移動至位置s?位置X,檢測單位起偏器31f的各掃描位置的偏振方向。在如此使偏振傳感器6移動的實施方式中,通過細致地選取偏振傳感器6的移動間隔,能夠詳細地取得旋轉(zhuǎn)偏移。
[0084]以上,說明了以掃描單元的設(shè)置等為原因而產(chǎn)生的各掃描位置處的旋轉(zhuǎn)偏移(軸移)的確認及其處理,但是通過使用多個偏振傳感器6s?6x或者偏振傳感器6檢測偏振方向,能夠判定各掃描位置處的工作臺4的旋轉(zhuǎn)偏移。
[0085]上述各單位起偏器31a?31f的偏振方向的偏移和各掃描位置的工作臺4的旋轉(zhuǎn)偏移的判定在通過偏振傳感器6檢測偏振方向這一點上具有共同的構(gòu)成。因此,能夠共用在偏振方向確認處理中使用的偏振傳感器6和在軸移確認處理中使用的偏振傳感器6。
[0086]在圖26?圖28中,關(guān)于共用偏振傳感器6的各種實施方式,不出光定向照射裝置的俯視圖。圖26的實施方式正好是將在圖3中說明的偏振方向確認處理中的偏振傳感器6a?6f的配置和在圖21中說明的軸移確認處理中的偏振傳感器6s?6x的配置合并的方式。圖26不出的偏振傳感器6a?6f用于確認各單位起偏器31a?31f的偏振方向的偏振方向確認處理。另一方面,偏振傳感器6f、6t?6x在確認在各掃描位置處工作臺4的旋轉(zhuǎn)偏移的軸移確認處理中使用。如此,通過在偏振方向確認處理和軸移確認處理雙方中共用偏振傳感器6f,能夠削減所使用的偏振傳感器6的數(shù)量。
[0087]在圖27的實施方式中,使用偏振傳感器6a?6f執(zhí)行偏振方向確認處理和軸移確認處理。S卩,在執(zhí)行偏振方向確認處理時,偏振傳感器6f位于與其他偏振傳感器6a?6e沿圖中縱方向排列的位置S。因而,在偏振方向確認處理中,從各單位起偏器31a?31f出射的偏振紫外線入射于對應(yīng)的偏振傳感器6a?6f。另一方面,在執(zhí)行軸移確認處理時,偏振傳感器6f移動至各掃描位置s?X,檢測各掃描位置處的偏振方向。如此,通過在軸移確認處理中移動并使用在偏振方向確認處理中使用的偏振傳感器6f,能夠削減偏振傳感器6的數(shù)量。此外,還可以在軸移確認處理中設(shè)置多個偏振傳感器6,在偏振方向確認處理中使任一偏振傳感器6移動。
[0088]在圖28的實施方式中,通過使一個偏振傳感器6移動,能夠執(zhí)行偏振方向確認處理和軸移確認處理。偏振傳感器6設(shè)有L字狀的可動范圍,在偏振方向確認處理中移動至位置a?位置f并檢測偏振方向。另一方面,在執(zhí)行軸移確認處理中,移動至位置s?位置X并檢測偏振方向。此外,位置f與位置S為相同位置。如此在本實施方式中通過使一個偏振傳感器6移動,能夠?qū)崿F(xiàn)偏振方向確認處理和軸移確認處理雙方。此外,關(guān)于在圖26?圖28中執(zhí)行的偏振方向確認處理和軸移確認處理的細節(jié),能夠適用上述實施方式,在此省略詳細的說明。
[0089]此外,本發(fā)明不僅僅限于這些實施方式,適當(dāng)?shù)亟M合各實施方式的構(gòu)成而構(gòu)成的實施方式也是本發(fā)明的范疇。
[0090]附圖標(biāo)記說明
I光定向照射裝置;2偏振光照射單元;21a反射鏡;21b紫外線照射光源;3偏振單元;31單位起偏器;32固定部;4工作臺;51a、b LM軌道;51c、d LM塊;54旋轉(zhuǎn)部;55可動臺;52滾珠絲杠;6偏振傳感器;61棱鏡;62光量傳感器;63驅(qū)動部;64驅(qū)動力傳遞部;65傳感器控制部;66傳感器載置臺;67布線;81控制部;82滾珠絲杠驅(qū)動部;83顯不部;84輸入部;9基板;9a基板設(shè)直區(qū)域。
【權(quán)利要求】
1.一種光定向照射裝置,具備偏振光照射單元、工作臺、掃描單元和偏振方向檢測單元,所述光定向照射裝置的特征在于: 所述偏振光照射單元具備紫外線照射單元和偏振單元, 所述偏振單元具備沿鄰接方向鄰接而配置的多個單位起偏器, 所述單位起偏器使從所述紫外線照射單元出射的紫外線偏振, 所述工作臺能夠載置在表面形成了定向膜的基板, 所述掃描單元通過使所述工作臺或所述偏振光照射單元的至少一方移動,從而相對于載置于所述工作臺的所述基板,沿既定的掃描方向掃描來自所述偏振光照射單元的紫外線, 所述偏振方向檢測單元能夠?qū)τ诿總€所述單位起偏器檢測從所述單位起偏器出射的紫外線的偏振方向。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光定向照射裝置,其特征在于: 所述偏振方向檢測單元位于所述工作臺的載置所述基板的區(qū)域內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光定向照射裝置,其特征在于: 所述偏振方向檢測單 元位于所述工作臺外。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求3中的任一項所述的光定向照射裝置,其特征在于: 所述偏振方向檢測單元是設(shè)于與各所述單位起偏器對應(yīng)的位置的多個偏振傳感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求3中的任一項所述的光定向照射裝置,其特征在于: 所述偏振方向檢測單元是能夠移動至與所述單位起偏器對應(yīng)的位置的偏振傳感器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求5中的任一項所述的光定向照射裝置,其特征在于: 所述偏振方向檢測單元能夠檢測從所述偏振光照射單元出射的紫外線的消光比。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求6中的任一項所述的光定向照射裝置,其特征在于: 所述偏振方向檢測單元能夠檢測從所述偏振光照射單元出射的紫外線的強度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求7中的任一項所述的光定向照射裝置,其特征在于: 所述掃描單元使用線性電動機使所述工作臺移動。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求8中的任一項所述的光定向照射裝置,其特征在于,具備: 通知單元,其基于通過所述偏振方向檢測單元檢測的紫外線的偏振方向來進行通知。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求9中的任一項所述的光定向照射裝置,其特征在于: 具備使所述工作臺或者所述偏振光照射單元旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部, 具備基于通過所述偏振方向檢測單元檢測的每個所述單位起偏器的偏振方向,使所述旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)的控制單元。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求10中的任一項所述的光定向照射裝置,其特征在于: 具備使所述單位起偏器旋轉(zhuǎn)的起偏器旋轉(zhuǎn)部, 具備基于通過所述偏振方向檢測單元檢測的每個所述單位起偏器的偏振方向,使所述起偏器旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)的控制單元。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求11中的任一項所述的光定向照射裝置,其特征在于: 所述偏振方向檢測單元,在所述掃描單元的多個掃描位置,所述偏振方向檢測單元能夠檢測從所述偏振單元出射的紫外線的偏振方向。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光定向照射裝置,其特征在于: 具備使所述工作臺或者所述偏振光照射單元旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部, 具備在對所述基板掃描紫外線時,基于通過所述偏振方向檢測單元檢測的多個掃描位置處的紫外線的偏振方向,使所述旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)的控制單元。
【文檔編號】G02F1/13GK103765303SQ201280029104
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2012年4月19日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月19日
【發(fā)明者】大谷義和, 內(nèi)山一榮, 立川潔, 遠藤潤二, 川越康弘, 尹炯烈, 橋詰幸司 申請人:信越工程株式會社, 株式會社Fk 光實驗室, Wi-A 公司
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