技術(shù)編號：2698077
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。光定向照射裝置，具備偏振單元（3），其具備沿鄰接方向鄰接而配置的多個單位起偏器（31a～f）；掃描單元，其通過使工作臺（4）或偏振光照射單元（2）的至少一方移動，從而相對于載置于所述工作臺（4）的基板（9），沿既定的掃描方向掃描來自所述偏振光照射單元（2）的紫外線；以及偏振方向檢測單元（6a～f），其能夠?qū)τ诿總€所述單位起偏器（31a～f）檢測從所述單位起偏器（31a～f）出射的紫外線的偏振方向，從而謀求實現(xiàn)良好的定向特性。專利說明光定向照射裝置[0001...
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