吸附懸浮平臺的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種機(jī)械加工設(shè)備，尤其涉及一種吸附懸浮平臺。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有技術(shù)，吸附平臺常常用于吸附作為處理對象的工件，以對工件進(jìn)行處理。這些處理可以包括加工、除塵、檢測和研磨等。這些處理的精密度要求普遍較高，因而如何提高吸附平臺的精度一直是本領(lǐng)域技術(shù)人員不斷解決的技術(shù)問題。
[0003]在一篇日本專利文獻(xiàn)，日本特開2001-138095中公開了一種采用具有無數(shù)個(gè)小孔的多孔質(zhì)陶瓷板而形成平臺的基板載置部。在一篇公開號為CN103567912，名稱為“吸附平臺的制造方法及吸附平臺”的中國專利文獻(xiàn)，公開了一種吸附平臺，其采用的多孔質(zhì)陶瓷板的結(jié)構(gòu)較易加工，吸附平臺的吸附力較大。但是，在這篇中國申請中的吸附平臺還需要嵌入緩沖材料，其結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，制造工藝較為復(fù)雜。
[0004]此外在現(xiàn)有技術(shù)中，吸附平臺對于待處理的工件而言只有吸附功能，而不具有懸浮功能。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種吸附懸浮平臺。
[0006]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:
[0007]一種吸附懸浮平臺，它包括:
[0008]下層板，其上形成有一個(gè)或多個(gè)通道；
[0009]上層板，其由多孔質(zhì)陶瓷材料制成，所述上層板的一面通過膠水與所述下層板粘合，所述上層板的另一面能通過所述下層板的通道而形成正壓力或負(fù)壓力。
[0010]優(yōu)選地，所述下層板的通道的一端設(shè)在所述下層板的底部或側(cè)部，所述下層板的通道的另一端開設(shè)在所述下層板的頂部。
[0011]優(yōu)選地，所述下層板由天然花崗巖材料制成，從而確保吸附懸浮平臺具有高精度。
[0012]優(yōu)選地，所述下層板由金屬材料制成，從而確保減薄、輕量、耐溫、防碰撞等要求。
[0013]優(yōu)選地，所述上層板的另一面上形成有加工裝置。
[0014]優(yōu)選地，所述多孔質(zhì)的陶瓷材料的孔徑為2 μπι-40 μ??，氣孔分布率為37% -47%。
[0015]優(yōu)選地，所述膠水為AB膠、透明膠、環(huán)氧樹脂中的一種或幾種。
[0016]優(yōu)選地，所述吸附懸浮平臺還包括一抽氣裝置，該抽氣裝置能與所述通道連通，從而使得所述上層板的另一面具有負(fù)壓力。
[0017]優(yōu)選地，所述吸附懸浮平臺還包括一排氣裝置，該排氣裝置能與所述通道連通，從而使得所述上層板的另一面具有正壓力。
[0018]本實(shí)用新型采用上述結(jié)構(gòu)，可以提高該吸附懸浮平臺的精度，簡化該吸附懸浮平臺的制造方法，還可以將待處理的工件懸浮在上層板的表面，從而便于將待處理的工件取放以防止劃傷。
【附圖說明】
[0019]在此描述的附圖僅用于解釋目的，而不意圖以任何方式來限制本實(shí)用新型公開的范圍。另外，圖中的各部件的形狀和比例尺寸等僅為示意性的，用于幫助對本實(shí)用新型的理解，并不是具體限定本實(shí)用新型各部件的形狀和比例尺寸。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型的教導(dǎo)下，可以根據(jù)具體情況選擇各種可能的形狀和比例尺寸來實(shí)施本實(shí)用新型。
[0020]圖1顯示了本申請中吸附懸浮平臺的一個(gè)【具體實(shí)施方式】。
[0021]圖2顯示了圖1中上層板的俯視圖。
[0022]圖3顯示了圖1中吸附懸浮平臺的一種工作狀態(tài)。
[0023]圖4顯示了圖1中吸附懸浮平臺的另一種工作狀態(tài)。
[0024]以上附圖中的附圖標(biāo)記為:1、上層板；11、加工裝置；12、一面；13、另一面；2、下層板；21、通道；211、一端；212、另一端；3、抽氣裝置；4、排氣裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0025]結(jié)合附圖和本實(shí)用新型【具體實(shí)施方式】的描述，能夠更加清楚地了解本實(shí)用新型的細(xì)節(jié)。但是，在此描述的本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】，僅用于解釋本實(shí)用新型的目的，而不能以任何方式理解成是對本實(shí)用新型的限制。在本實(shí)用新型的教導(dǎo)下，技術(shù)人員可以構(gòu)想基于本實(shí)用新型的任意可能的變形，這些都應(yīng)被視為屬于本實(shí)用新型的范圍。
[0026]圖1示出了本申請中吸附懸浮平臺的一個(gè)【具體實(shí)施方式】。參照圖1所示，在本實(shí)施方式中，吸附懸浮平臺包括:下層板2，其上形成有一個(gè)或多個(gè)通道21 ;上層板1，其由多孔質(zhì)的陶瓷材料形成，所述上層板I的一面12通過膠水與所述下層板2粘合，所述上層板I的另一面13能通過所述下層板2的通道21而形成正壓力或負(fù)壓力。
[0027]具體的，下層板2上形成有一個(gè)或多個(gè)通道21。下層板2可以由諸如不銹鋼或鋁合金等金屬材料制成，相對而言，不銹鋼或鋁合金的材質(zhì)較輕，且較易進(jìn)行鉆孔等加工方式，從而確保減薄、輕量、耐溫、防碰撞等要求。下層板2上可以開設(shè)有一個(gè)或多個(gè)通道21。參照圖1所示，為了實(shí)際生產(chǎn)需求，通道21的一端211可以開設(shè)在下層板2的底部。通道21的另一端212可以開設(shè)在下層板2的頂部。當(dāng)然的，為了滿足不同產(chǎn)品的設(shè)計(jì)要求，通道21的一端211也可以開設(shè)在下層板2的側(cè)部。此外，在本申請中通道21并不局限于其形狀，通道21可以為線性，也可以呈回轉(zhuǎn)狀，即只要根據(jù)設(shè)計(jì)需要形成具有開口的兩端即可。
[0028]上層板I由多孔質(zhì)的陶瓷材料制成。多孔質(zhì)的陶瓷材料縱橫地具有無數(shù)個(gè)小孔。由于該多孔質(zhì)陶瓷板的多孔質(zhì)部分的孔徑十分小，因此一個(gè)孔的吸附力較弱而不會產(chǎn)生局部性的基板的凹陷，使得被吸附的基板的平面度較好，吸附力強(qiáng)，效果佳。在本實(shí)施方式中，所述多孔質(zhì)的陶瓷材料的孔徑為2 μπι-40 μπι，氣孔分布率為37% -47%。
[0029]上層板I的一面12可以通過膠水與下層板2粘合，從而使得上層板I與下層板2之間密封。上層板I的另一面13能夠通過無數(shù)個(gè)小孔與下層板2的通道21連通，從而使得上層板I的另一面13形成負(fù)壓，進(jìn)而能夠吸附待處理工件。在本實(shí)施方式中，膠水可以為AB膠、透明膠、環(huán)氧樹脂中的一種或幾種。膠水可以位于上層板I的四周邊緣，從而能夠?qū)ι蠈影錓進(jìn)行更好的固定，還可以對上層板I和下層板2之間形成密封。在本實(shí)施方式中，上層板I的一面12為上層板I的底面，上層板I的另