專利名稱：吸附載臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種吸附載臺，特別是涉及一種提供薄型膜片加工機(jī)臺使用的吸附載臺。
背景技術(shù)：
隨著時代的演進(jìn)，人類所使用的光電產(chǎn)品有著逐漸縮小的趨勢，因而增加了產(chǎn)品制造的困難度。在光電產(chǎn)品的制造過程中，有時需對薄形膜片進(jìn)行例如黏貼的加工，是以，業(yè)界遂因應(yīng)此需求研發(fā)出各種加工機(jī)臺來輔助薄形膜片的加工，被研發(fā)出來的加工機(jī)臺通常具有載臺以供擺放薄形膜片。但是，薄型膜片受制于厚度極薄而難以被載臺上的夾具所夾持，容易因作業(yè)疏忽或環(huán)境影響出現(xiàn)滑動移位的狀況，進(jìn)而造成錯位的后果，且夾具的夾持很容易造成薄型膜片表面的刮傷，使得產(chǎn)品的良率無法有效提升，衍生的廢料增加，而導(dǎo)致成本無法有效降低。此外，上述加工機(jī)臺通常會設(shè)置有影像擷取器，以對置于載臺的薄型膜片取像，并進(jìn)行影像分析以依據(jù)薄型膜片的外圍輪廓來辨識膜片擺放位置，但常因薄型膜片與載臺的顏色相近，造成膜片擺放位置的辨識效果不佳，進(jìn)而影響到加工準(zhǔn)確度。

實(shí)用新型內(nèi)容鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種吸附載臺，利用氣體吸附的非接觸方式固定薄型膜片，以避免薄型膜片受到夾具的刮傷。為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種吸附載臺，包括:本體，具有基座；透光板，設(shè)于該基座，于背離該基座的表面設(shè)有用于吸附膜片的吸附區(qū)，并于面對該基座的表面設(shè)有反射膜以形成反射區(qū)，該反射區(qū)得將光線反射而引導(dǎo)到該吸附區(qū)，該基座與該透光板之間具有負(fù)壓空間，該透光板具有多個隔開且分別由該吸附區(qū)穿過該反射區(qū)而連通到該負(fù)壓空間的吸氣通道，該膜片覆蓋于該吸附區(qū)外露的吸氣口 ；發(fā)光條，設(shè)于該透光板的側(cè)邊，以朝該透光板的反射區(qū)發(fā)光；以及L型定位件，設(shè)于該透光板側(cè)邊轉(zhuǎn)角的凹陷區(qū)，該凹陷區(qū)的空間得收納該L型定位件。于本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，透光板凹陷區(qū)的凹陷高度相當(dāng)于L型定位件的厚度，俾使進(jìn)入凹陷區(qū)的L型定位件可與透光板形成共平面。透光板背離吸附區(qū)的表面可形成有至少一嵌槽，用以嵌設(shè)發(fā)光條。發(fā)光條可由多個發(fā)光二極管排列所構(gòu)成，并可朝向反射區(qū)發(fā)射光線。吸附載臺還可包括阻隔層、遮蔽件及/或擴(kuò)散膜。阻隔層設(shè)于透光板與基座之間的鄰接處，以減少透光板與基座間的間隙，俾阻隔外界氣體進(jìn)入該負(fù)壓空間。遮蔽件可遮蔽吸附區(qū)未被該膜片覆蓋的吸氣通道，以避免外界氣體破壞負(fù)壓空間的負(fù)壓狀態(tài)。擴(kuò)散膜可布設(shè)于吸附區(qū)，俾使該吸附區(qū)所設(shè)出的光線均勻。另外，本實(shí)用新型的吸附載臺還可包括升降機(jī)構(gòu)，升降機(jī)構(gòu)具有斜坡引導(dǎo)件及滾輪牽引件。斜坡引導(dǎo)件設(shè)于基座側(cè)邊對應(yīng)L型定位件的位置，滾輪牽引件延伸連接L型定位件，并透過滾輪與斜坡引導(dǎo)件滾動接觸，俾達(dá)成L型定位件的升降。其中，升降機(jī)構(gòu)還可具有結(jié)合于基座的橫擋塊，橫擋塊設(shè)于L型定位件與斜坡引導(dǎo)件之間，滾輪牽引件可穿過橫擋塊。本體還可具有定位座，定位座延伸至斜坡引導(dǎo)件，以提供支撐力定位斜坡引導(dǎo)件。本實(shí)用新型的吸附載臺還可包括彈性件，彈性件的兩端分別可接觸基座與定位座，以提供彈性力而使該基座移動。如上所述，本實(shí)用新型的吸附載臺，提供薄型膜片的加工機(jī)臺使用，包括有基座、透光板、發(fā)光條與L型定位件。基座與透光板之間具有負(fù)壓空間，透光板具有連通到負(fù)壓空間的吸氣信道，以利用負(fù)壓吸力的非接觸方式固定薄型膜片的位置，如此薄型膜片的固定就不會受到刮傷。發(fā)光條可發(fā)出光線通過透光板而到薄型膜片的置放區(qū)域，以凸顯薄型膜片的外圍輪廓，藉以判定薄型膜片實(shí)際的置放位置，俾提升薄型膜片后續(xù)加工的準(zhǔn)確度。L型定位件可升起以藉由限制薄型膜片的移動，達(dá)成薄型膜片的初始定位，L型定位件還可降下，以避免高度過高，而影響薄型膜片的后續(xù)加工程序。

圖1為本實(shí)用新型吸附載臺的立體圖。圖2為本實(shí)用新型吸附載臺的分解圖。圖3為本實(shí)用新型吸附載臺的升降機(jī)構(gòu)的放大視圖。圖4為本實(shí)用新型吸附載臺的透光板的放大視圖。圖5為圖4所示透光板的正面視圖。圖6為圖4所示透光板的背面視圖。圖7為本實(shí)用新型吸附載臺的側(cè)邊嵌設(shè)有發(fā)光條的透光板背面視圖。圖8為沿著圖7中A-A線段截切的發(fā)光條的發(fā)光行進(jìn)示意圖。圖9為本實(shí)用新型吸附載臺承載薄型膜片的示意圖。元件標(biāo)號說明I 吸附載臺11 本體111 基座112定位座1121 桿體12 透光板121吸附區(qū)122反射區(qū)123吸氣通道124 嵌槽125 凹陷區(qū)126阻隔層13 發(fā)光條14 L型定位件15 彈性件16 負(fù)壓空間[0035]17升降機(jī)構(gòu)171斜坡引導(dǎo)件1711傾斜面172滾輪牽引件1721滾輪1722桿件173橫擋塊18遮蔽件
19擴(kuò)散膜2薄型膜片
具體實(shí)施方式
以下藉由特定的具體實(shí)施例說明本實(shí)用新型之技術(shù)內(nèi)容，熟悉此技術(shù)之人士可由本說明書所揭示之內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型之其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型亦可藉由其他不同的具體實(shí)施例加以施行或應(yīng)用。本說明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)亦可基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在不背離本實(shí)用新型之精神下，進(jìn)行各種修飾與變更。本實(shí)用新型提供一種吸附載臺，以提供薄型膜片加工機(jī)臺的使用。請參閱圖1及圖2，為本實(shí)用新型吸附載臺的示意圖，如圖1及圖2所示，本實(shí)用新型的吸附載臺I具有本體11、透光板12、發(fā)光條13以及L型定位件14。于本實(shí)用新型中，本體11具有基座111與定位座112，基座111的中間部位凹陷而可形成一負(fù)壓空間16，具體地，基座111并可與真空泵連接，真空泵啟動時，可抽除負(fù)壓空間16中的氣體，以保持負(fù)壓空間16中的負(fù)壓狀態(tài)。定位座112例如可透過螺絲與加工機(jī)臺的床板結(jié)合，而固定于加工機(jī)臺上，以提供本體11的支撐定位。所述發(fā)光條13設(shè)于透光板12的至少一側(cè)邊，可朝透光板12發(fā)射光線，于本實(shí)用新型的實(shí)施例中，透光板12相鄰的兩側(cè)邊分別設(shè)有發(fā)光條13，以在兩個方向?qū)ν腹獍?2提供光線，但透光板12所設(shè)的發(fā)光條13數(shù)量不以上述者為限，可在透光板12的兩個以上的側(cè)邊設(shè)置發(fā)光條13,若發(fā)光條13所能發(fā)射的光線夠強(qiáng),亦可選擇僅在透光板12的一側(cè)邊設(shè)置發(fā)光條13。發(fā)光條13可由多個發(fā)光二極管排列所構(gòu)成，用于對透光板12提供照明光線，但亦可選用其它形式的發(fā)光組件組合排列而構(gòu)成所述的發(fā)光條13。前述透光板12可選擇透光率高的材料制成，舉例而言，玻璃、壓克力或其它透光復(fù)合的光學(xué)材料。再請參閱圖4至圖6，為本實(shí)用新型透光板的示意圖。如圖2所示，透光板12可置于基座111上方，以在基座111的中間部位形成負(fù)壓空間16。為避免氣體滲透進(jìn)入負(fù)壓空間16，可在透光板12與基座111的鄰接處設(shè)置例如由膠料或彈性材所制成的阻隔層126，以填補(bǔ)透光板12與基座111之間的間隙，而使外界的氣體無法通過透光板12與基座111之間的間隙進(jìn)入負(fù)壓空間16，如此，負(fù)壓空間16的負(fù)壓狀態(tài)可被有效維持。透光板12具有多個隔開且與負(fù)壓空間16連通的吸氣通道123，各該吸氣通道123彼此間的隔開距離可依薄型膜片尺寸或加工難易度而進(jìn)行調(diào)整，換言之，可以等距或非等距方式在透光板12上設(shè)置各該吸氣通道123，如圖4所示，透光板12四周部位吸氣信道123設(shè)置的密度遠(yuǎn)較中間部位吸氣信道123設(shè)置的密度大，理由如下，各種尺寸要吸附的薄型膜片都一定會被置放于透光板12的四周部位，因而在四周部位設(shè)置愈多的吸氣通道123，愈有助于將薄型膜片吸附于透光板12。所述的吸氣通道123貫穿透光板12，于透光板12背離基座111的表面(即，透光板12的正面)外露出多個吸氣口以形成吸附區(qū)121。薄型膜片可擺放于吸附區(qū)121上方，吸氣口可提供負(fù)壓吸力而吸附薄型膜片，但應(yīng)說明的是，薄型膜片需具有相當(dāng)?shù)某叽?，以覆蓋至少一吸氣通道123于吸附區(qū)121所外露的吸氣口，如此薄型膜片才能被吸氣口的負(fù)壓吸力所吸附，當(dāng)然，薄型膜片的面積愈大所覆蓋的吸氣口數(shù)量就愈多，如此，薄型膜片受到負(fù)壓吸力的范圍就愈大，而能更平貼于透光板12。再者，再請參閱圖9，為本實(shí)用新型吸附載臺承載薄型膜片的示意圖，如圖9所示，薄型膜片2僅覆蓋部分吸附區(qū)121外露的吸氣口，此時，外界氣體可透過尚未被薄型膜片2所覆蓋的吸氣口，通過吸氣通道123進(jìn)入負(fù)壓空間，而破壞負(fù)壓空間中的負(fù)壓狀態(tài)，外露的吸氣口愈多負(fù)壓空間的負(fù)壓狀態(tài)愈不容易維持，使得薄型膜片2受到的負(fù)壓吸力不足而無法吸附于透光板12，對此，本實(shí)用新型的吸附載臺還可設(shè)置遮蔽件18，遮蔽件18可為具有一定平坦度且不透氣的片狀體，可覆蓋于吸附區(qū)121外露的吸氣口而形成遮蔽，以使外界氣體無法通過尚未被薄型膜片2覆蓋的吸氣口進(jìn)入負(fù)壓空間破壞負(fù)壓狀態(tài)，所述的遮蔽件18例如為不透氣的膠帶，但不以此為限。當(dāng)然，若薄型膜片2的面積夠大，而足以覆蓋吸附區(qū)121所有的吸氣通道123，則遮蔽件18就不見得需要存在，而可省略。如圖6所示，為因應(yīng)薄型膜片位置辨識的需求，透光板12面對基座111的表面(即，透光板12的背面)涂布或黏貼有一層可反射光線的反射膜以形成反射區(qū)122，反射區(qū)122可反射光線，進(jìn)而將發(fā)光條13的光線反射到吸附區(qū)121，使得吸附區(qū)121上方薄型膜片的外圍輪廓明顯，如此將有助于薄形膜片的后續(xù)加工。反射區(qū)122的反射膜于對應(yīng)透光板12之吸氣信道123的位置形成有開口 1221，以免阻隔負(fù)壓空間與吸氣通道123之間的連通。再者，如圖9所示，本實(shí)用新型吸附載臺I還可包括擴(kuò)散膜19，擴(kuò)散膜19由可透光的光擴(kuò)散材料所制成，本實(shí)用新型中的擴(kuò)散膜19為片狀體并布設(shè)于吸附區(qū)121 (S卩，透光板12的正面)，俾擴(kuò)散通過的光線而使吸附區(qū)121所射出的光線均勻，而避免發(fā)生由于光線射出不均勻，造成薄型膜片外圍輪廓辨識效果不佳的問題。應(yīng)說明的是，擴(kuò)散膜19于對應(yīng)透光板12之吸氣信道123的位置形成有開口，以免阻擋吸氣口對薄型膜片提供負(fù)壓吸力；若發(fā)光條13所發(fā)出的光線已能均勻反射到吸附區(qū)121，亦可省略擴(kuò)散膜19的設(shè)置。再請參閱圖7及圖8，圖7為側(cè)邊嵌設(shè)有發(fā)光條的透光板的背面視圖，圖8為沿著圖7中AA線段截切的發(fā)光條的發(fā)光行進(jìn)示意圖，透光板12背離吸附區(qū)121表面的側(cè)邊形成有嵌槽124，用以嵌設(shè)發(fā)光條13，并使發(fā)光條13略朝反射區(qū)122的方向傾斜，俾使發(fā)光條13的光線可直接行進(jìn)到反射區(qū)122，并透過反射區(qū)122的反射而得被引導(dǎo)到吸附區(qū)121，并通過擴(kuò)散膜19均勻地射出，當(dāng)吸附區(qū)121上方的薄型膜片為由非透光材料所制成時，則被引導(dǎo)到吸附區(qū)121的光線僅能由薄型膜片的外圍輪廓透出，此時，就能透過取像區(qū)域亮度的明暗變化清楚辨識薄型膜片實(shí)際的擺放位置，進(jìn)而提高薄型膜片后續(xù)的加工準(zhǔn)確度。當(dāng)吸附區(qū)121上方的薄型膜片為由透光材料所制成時，則被引導(dǎo)到吸附區(qū)121的光線就能穿過薄型膜片而透出，此時，若在薄型膜片的特定位置標(biāo)注例如為十字形可遮蔽光線的記號，就能透過取像區(qū)域亮度的明暗變化辨識記號的位置，進(jìn)而解析薄型膜片確實(shí)的擺放位置，以輔助后續(xù)對薄型膜片的加工。如圖2所示，L型定位件14設(shè)于透光板12側(cè)邊轉(zhuǎn)角的凹陷區(qū)125位置，得以降低高度而收納于凹陷區(qū)125的凹陷空間中，或升起而高于透光板12吸附區(qū)121，如圖9所示，L型定位件14升起時，可在透光板12的兩側(cè)邊限制薄型膜片的移動，俾對薄型膜片提供初步的定位，當(dāng)薄型膜片完成初步定位后，被薄型膜片覆蓋的吸氣口就可提供負(fù)壓吸力，以完成薄型膜片的吸附等待后續(xù)的加工，接著，L型定位件14就可降下而進(jìn)入凹陷區(qū)125的凹陷空間，降下后的L型定位件14可與透光板12形成一共平面，以避免L型定位件14凸起于透光板12，而對薄型膜片的后續(xù)加工造成不利的影響，所以透光板12凹陷區(qū)125的凹陷高度相當(dāng)于L型定位件14的厚度，也就是說，所以透光板12凹陷區(qū)125的凹陷高度與L型定位件14的厚度相等或者具有極小范圍值的落差。為達(dá)成L型定位件14的升降，本實(shí)用新型的吸附載臺I還設(shè)有升降機(jī)構(gòu)，還請參閱圖3，為本實(shí)用新型升降機(jī)構(gòu)的放大視圖，如圖3所示，升降機(jī)構(gòu)17具有斜坡引導(dǎo)件171、滾輪牽引件172及橫擋塊173。斜坡引導(dǎo)件171與橫檔塊173設(shè)于基座111側(cè)邊對應(yīng)L型定位件14的下方位置，橫擋塊173位于L型定位件14與斜坡引導(dǎo)件171之間且結(jié)合于基座111。斜坡引導(dǎo)件171具有傾斜面1711，并受到定位座112的定位，于本實(shí)用新型的實(shí)施例中，定位座112透過延伸的桿體1121連接定位斜坡引導(dǎo)件171，但不以此為限，仍可透過其它結(jié)構(gòu)形式完成斜坡引導(dǎo)件171的定位。滾輪牽引件172具有相連接的滾輪1721與桿件1722，滾輪1721與斜坡引導(dǎo)件171滾動接觸，桿件1722具有兩端，其中一端連接滾輪1721，另一端延伸穿過橫擋塊173而可與L型定位件14連接。橫擋塊173可受到基座111的牽引而移動，此時會藉由桿件1722的力量傳遞而一并帶動滾輪1721移動。當(dāng)滾輪1721在傾斜面1711由低處往高處滾動時，桿件1722會推起L型定位件14，俾達(dá)成L型定位件14的升起。反之，當(dāng)滾輪1721在傾斜面1711由高處往低處滾動時，桿件1722會使L型定位件14的位置高度下降，俾使L型定位件14逐漸進(jìn)入透光板12的凹陷區(qū)125。此外，本實(shí)用新型吸附載臺I還可具有兩端分別接觸基座111與定位座112的彈性件15，以提供彈性力給所述基座111，而使基座111移動，進(jìn)而帶動橫擋塊173返回初始位置，俾使L型定位件14能在各種的加工程序中適時地呈現(xiàn)升起或降下狀態(tài)。綜上所述，本實(shí)用新型的吸附載臺提供薄型膜片的加工機(jī)臺使用，包括有基座、透光板、發(fā)光條與L型定位件?；c透光板之間具有負(fù)壓空間，透光板具有連通到負(fù)壓空間的吸氣通道，以對置放于透光板的薄型膜片提供負(fù)壓吸力。L型定位件設(shè)于透光板側(cè)邊轉(zhuǎn)角處，以提供薄型膜片擺放時的位置定位。此外，透光板還具有反射膜，以將發(fā)光條所發(fā)出的光線反射到薄型膜片的置放區(qū)域，而得以透過光線判定薄型膜片置放于透光板的實(shí)際位置，俾提升薄型膜片后續(xù)加工的準(zhǔn)確度。上述實(shí)施例僅例示性說明本實(shí)用新型的原理及功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此項(xiàng)技術(shù)之人士均可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對上述實(shí)施例進(jìn)行修飾與改變。因此，本實(shí)用新型的權(quán)利保護(hù)范圍，應(yīng)如本實(shí)用新型的權(quán)利要求書所列。
權(quán)利要求1.一種吸附載臺，其特征在于，包括: 本體，具有基座； 透光板，設(shè)于該基座，于背離該基座的表面設(shè)有用于吸附膜片的吸附區(qū)，并于面對該基座的表面設(shè)有反射膜以形成反射區(qū)，該反射區(qū)得將光線反射而引導(dǎo)到該吸附區(qū)，該基座與該透光板之間具有負(fù)壓空間，該透光板具有多個隔開且分別由該吸附區(qū)穿過該反射區(qū)而連通到該負(fù)壓空間的吸氣通道，該膜片覆蓋于該吸附區(qū)外露的吸氣口 ； 發(fā)光條，設(shè)于該透光板的側(cè)邊，以朝該透光板的反射區(qū)發(fā)光；以及 L型定位件，設(shè)于該透光板側(cè)邊轉(zhuǎn)角的凹陷區(qū)，該凹陷區(qū)的空間得收納該L型定位件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸附載臺，其特征在于:該透光板背離該吸附區(qū)的表面形成有嵌槽，用以嵌設(shè)該發(fā)光條；該發(fā)光條由多個發(fā)光二極管排列所構(gòu)成，并朝向該反射區(qū)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸附載臺，其特征在于:還包括遮蔽件，遮蔽該吸附區(qū)未被該膜片覆蓋的吸氣通道。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸附載臺，其特征在于:還包括擴(kuò)散膜，布設(shè)于該吸附區(qū)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸附載臺，其特征在于:還包括升降機(jī)構(gòu)，具有斜坡引導(dǎo)件及滾輪牽引件，該斜坡引導(dǎo)件設(shè)于該基座側(cè)邊對應(yīng)該L型定位件的位置，該滾輪牽引件延伸連接該L型定位件，并透過滾輪與該斜坡引導(dǎo)件滾動接觸。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的吸附載臺，其特征在于:該升降機(jī)構(gòu)還具有結(jié)合于該基座的橫擋塊，該橫擋塊設(shè)于該L型定位件與該斜坡引導(dǎo)件之間，該滾輪牽引件穿過該橫擋塊。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的吸附載臺，其特征在于:該本體還具有定位座，延伸至該斜坡引導(dǎo)件，以定位該斜坡引導(dǎo)件。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的吸附載臺，其特征在于:還包括彈性件，兩端分別接觸該基座與該定位座，以提供彈性力而使該基座移動。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸附載臺，其特征在于:該透光板凹陷區(qū)的凹陷高度相當(dāng)于該L型定位件的厚度。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸附載臺，其特征在于:還包括阻隔層，設(shè)于該透光板與該基座的鄰接處，以阻隔外界氣體進(jìn)入該負(fù)壓空間。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種吸附載臺，提供薄型膜片的加工機(jī)臺使用，利用負(fù)壓吸力的非接觸方式固定薄型膜片的位置，如此以避免刮傷薄型膜片，還利用反射的光線凸顯薄型膜片的外圍輪廓，而得以判定薄型膜片在吸附載臺的實(shí)際置放位置，以提升后續(xù)對薄型膜片的加工準(zhǔn)確度。本實(shí)用新型的吸附載臺還設(shè)有L型定位件，L型定位件可升起以限制薄型膜片的移動，而對薄型膜片進(jìn)行初始定位，L型定位件還可降下，以避免凸起而影響薄型膜片的后續(xù)加工程序。
文檔編號B25B11/00GK203062552SQ20122056360
公開日2013年7月17日 申請日期2012年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月30日
發(fā)明者黃信嘉 申請人:技高工業(yè)股份有限公司