專利名稱：清洗干燥裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種清洗干燥裝置。
背景技術(shù)：
以往，已知有例如日本專利公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)平7-1095卯號(hào)所公開(kāi)那樣的雙槽型的真空去 脂清洗裝置。如圖2所示，該清洗裝置，在清洗室101的上方設(shè)有干燥室102，具有上下 兩層結(jié)構(gòu)。在該清洗裝置中，用儲(chǔ)存在清洗室IOI內(nèi)的清洗液清洗被清洗物W，然后用升 降裝置103將被清洗物W送到干燥室102,并使干燥室102內(nèi)成為真空狀態(tài)來(lái)對(duì)被清洗物 W進(jìn)行干燥。此外，考慮到清洗液中的臟污成分會(huì)附著在被清洗物W上，該清洗裝置在 干燥室102中設(shè)有噴淋頭104，用于在對(duì)被清洗物W進(jìn)行干燥前將清洗液噴淋到被清洗物 W上。
另一方面，已知有例如日本專利公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)平6-84872號(hào)所公開(kāi)那樣的單槽型的清 洗裝置。如圖3所示，在該清洗裝置的清洗槽lll中，不僅用清洗液清洗被清洗物W，還 用純水進(jìn)行清洗(純水清洗)，然后對(duì)被清洗物W進(jìn)行干燥。此外，在清洗槽lll中設(shè)有 使清洗液循環(huán)、用過(guò)濾器112去除臟污成分的循環(huán)過(guò)濾裝置113。在用清洗液進(jìn)行清洗時(shí) 啟動(dòng)循環(huán)過(guò)濾裝置113，以維持清洗液的清潔度。此外在清洗后，通過(guò)排水管114排出臟 污的清洗液，并且通過(guò)純水供給線115向清洗槽111供給純水， 一邊啟動(dòng)循環(huán)過(guò)濾裝置113 一邊用純水對(duì)被清洗物W進(jìn)行清洗。最后，排出純水，并通過(guò)空氣供給管116向清洗槽 lll供給干燥用空氣，對(duì)被清洗物W進(jìn)行干燥，結(jié)束一系列的清洗步驟。
該日本專利公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)平6-84872號(hào)的清洗裝置，由于為單槽型，可實(shí)現(xiàn)裝置的小 型化，但在該裝置中，為了進(jìn)行純水清洗，必須排出(廢棄)清洗槽lll內(nèi)的所有清洗液。 該清洗裝置的清洗對(duì)象是在用清洗液清洗后必須進(jìn)行純水清洗的被清洗物W，存在每次清 洗都要廢棄所有清洗液，需要大量清洗液的問(wèn)題。
另一方面，所述日本專利公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)平7-1095卯號(hào)的清洗裝置，由于沒(méi)有純水清洗 步驟，無(wú)須每次廢棄清洗液，但因清洗液一直儲(chǔ)存在清洗室101內(nèi)，清洗液會(huì)逐漸變臟。 因此，存在不得不使用臟污的清洗液來(lái)清洗被清洗物W的問(wèn)題。此外，在該清洗裝置中，用噴淋頭104洗掉附著在被清洗物W上的臟污，因該清洗步驟，還存在需要額外耗費(fèi)時(shí) 間的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種對(duì)可省略純水清洗步驟的被清洗物進(jìn)行清洗、干燥的清 洗干燥裝置，可以防止清洗時(shí)間變長(zhǎng)，并可延長(zhǎng)清洗液的壽命。
本發(fā)明提供一種清洗干燥裝置，利用清洗液清洗被清洗物，并對(duì)附著在該被清洗物上
的清洗液進(jìn)行干燥，包括外側(cè)容器；內(nèi)側(cè)容器，設(shè)置在所述外側(cè)容器內(nèi)，具有用于使所 述被清洗物出入的開(kāi)口部，該內(nèi)側(cè)容器內(nèi)儲(chǔ)存所述清洗液；減壓?jiǎn)卧?，使所述外?cè)容器的 內(nèi)部減壓，以使附著在所述被清洗物上的清洗液蒸發(fā)；凈化單元，凈化所述清洗液；以及 蓋體，氣密密封所述內(nèi)側(cè)容器的所述開(kāi)口部。由此，可以防止清洗時(shí)間變長(zhǎng)，并可延長(zhǎng)清 洗液的壽命。


圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式的清洗干燥裝置的整體結(jié)構(gòu)的概略圖。 圖2是表示以往清洗千燥裝置的結(jié)構(gòu)的圖。 圖3是表示以往清洗干燥裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的較佳實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
圖l是表示本發(fā)明清洗干燥裝置的一實(shí)施方式的概略圖。本實(shí)施方式的清洗干燥裝置 IO是用于對(duì)半導(dǎo)體或精密機(jī)械部件等進(jìn)行清洗、干燥的裝置。如圖l所示，清洗干燥裝置 10包括外殼12，該外殼12內(nèi)容納有外側(cè)容器14。
外側(cè)容器14是上側(cè)開(kāi)放的容器，該外側(cè)容器14具有外蓋15。通過(guò)該外蓋15，可以 開(kāi)閉形成于外側(cè)容器14上側(cè)的外側(cè)開(kāi)口 16，并且，利用該外蓋15，可以氣密密封外側(cè)開(kāi) 口 16。該外側(cè)開(kāi)口 16用于將被清洗物W搬入外側(cè)容器14內(nèi)。
外側(cè)容器14設(shè)有用于使外側(cè)容器14的內(nèi)部減壓的減壓?jiǎn)卧?0。該減壓?jiǎn)卧?0包括 吸引路20a和真空泵20b。吸引路20a的一端部與設(shè)置于外側(cè)容器14的真空口 22相連。 吸引路20a設(shè)有第一止回閥23、所述真空泵20b和第二止回閥24。通過(guò)驅(qū)動(dòng)真空泵20b， 可以使外側(cè)容器14內(nèi)部減壓。吸引路20a的另一端部與氣液分離器26相連。該氣液分離器26，用于從通過(guò)吸引路 20a吸引的空氣中分離出該空氣所含的氣化清洗液。氣液分離器26設(shè)有作為冷凝單元的加 壓泵28。加壓泵28與氣液分離器26相連，通過(guò)驅(qū)動(dòng)該加壓泵28，可對(duì)處于減壓狀態(tài)的 氣液分離器26內(nèi)進(jìn)行加壓。通過(guò)對(duì)氣液分離器26的內(nèi)部進(jìn)行加壓，可使氣化的清洗液液 化。液化后的清洗液被回收到清洗液回收槽30中。
氣液分離器26與排氣路32相連。該排氣路32用于將氣液分離器26內(nèi)的空氣排出到 外殼12外。排氣路32設(shè)有止回閥33。此外，氣液分離器26設(shè)有液面?zhèn)鞲衅?5。
外側(cè)容器14內(nèi)容納有內(nèi)側(cè)容器38。在該外側(cè)容器14內(nèi)的除內(nèi)側(cè)容器38以外的空間 是干燥用空間S1，用于對(duì)被清洗物W進(jìn)行干燥。內(nèi)側(cè)容器38是上側(cè)開(kāi)放并具有側(cè)壁(外 壁)38a的容器，該容器38內(nèi)儲(chǔ)存有清洗液(藥劑)。內(nèi)側(cè)容器38的內(nèi)部，由隔板38b 分隔為第一室39和第二室40。第一室39具有可以放入被清洗物W的大小，第二室40 隔著隔板38b位于第一室39的外側(cè)。由于隔板38b的高度低于內(nèi)側(cè)容器38的側(cè)壁38a， 因此在供給到第一室39內(nèi)的清洗液達(dá)到一定的量時(shí)，第一室39內(nèi)的清洗液就越過(guò)隔板38b 儲(chǔ)存到第二室40內(nèi)。
第二室40設(shè)有液面?zhèn)鞲衅?2和排出口 44。液面?zhèn)鞲衅?2可以檢測(cè)第二室40內(nèi)的液 面，用于將第二室40內(nèi)的液量控制在規(guī)定范圍內(nèi)。液面?zhèn)鞲衅?2與控制器46相連，由 此可以在第二室40內(nèi)的液面低于下限高度時(shí)，驅(qū)動(dòng)供給泵48，供給清洗液供給槽49內(nèi)的 清洗液，而在第二室40內(nèi)的液面超過(guò)上限高度時(shí)，停止供給清洗液供給槽49內(nèi)的清洗液。 排出口 44用于將第二室40內(nèi)的清洗液全部排出。
內(nèi)側(cè)容器38具有頂部38c。頂部38c設(shè)置在側(cè)壁38a上，蓋住內(nèi)側(cè)容器38的一部分 開(kāi)口 。該頂部38c上固定有與清洗液供給槽49相連的供給管50的出口端。
此外，內(nèi)側(cè)容器38設(shè)有用于開(kāi)閉上側(cè)開(kāi)口的蓋體52。蓋體52可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在內(nèi)側(cè)容 器38的側(cè)壁38a上，該蓋體52可以在水平橫放的狀態(tài)即關(guān)閉位置和自該關(guān)閉位置立起的 縱向豎立狀態(tài)即打開(kāi)位置之間進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。蓋體52在位于關(guān)閉位置時(shí)，可以氣密密封上側(cè) 開(kāi)口。在關(guān)閉位置上，蓋體52的面與頂部38c的面相接合，以確保氣密性。在圖1中， 用實(shí)線表示位于關(guān)閉位置的蓋體52，用虛線表示位于打開(kāi)位置的蓋體52。
內(nèi)側(cè)容器38與用于使清洗液循環(huán)的循環(huán)路55相連。循環(huán)路55的一端部55a (上游側(cè) 端部)與第二室40的底部相連，另一端部55b (下游側(cè)端部)與第一室39的底部相連。 該另一端部55b，例如呈沿水平方向延伸的管狀，其管壁上設(shè)有多個(gè)貫穿孔(圖中未示出)， 在循環(huán)路55內(nèi)的清洗液通過(guò)該貫穿孔流出到內(nèi)側(cè)容器38內(nèi)。循環(huán)路55設(shè)有循環(huán)泵57和作為凈化單元的過(guò)濾器58。循環(huán)泵57用于強(qiáng)制性地使清 洗液流動(dòng)，該循環(huán)泵57使清洗液從與第二室40相連的一端部55a向與第一室39相連的 另一端部55b流動(dòng)。通過(guò)驅(qū)動(dòng)循環(huán)泵57，第二室40內(nèi)的清洗液被吸引，并且循環(huán)路55內(nèi) 的清洗液被送出到第一室39內(nèi)。由此，使清洗液在內(nèi)側(cè)容器38和循環(huán)路55之間循環(huán)。 過(guò)濾器58用于凈化清洗液，可以捕捉清洗液中所含的臟污成分。
內(nèi)側(cè)容器38設(shè)有超聲波清洗單元60。該超聲波清洗單元60向內(nèi)側(cè)容器38內(nèi)的清洗 液施加超聲波振動(dòng)來(lái)提高清洗液的清洗能力。
循環(huán)路55設(shè)有可加熱清洗液的加熱器62?？刂破?6可以控制該加熱器62。此外， 內(nèi)側(cè)容器38設(shè)有用于檢測(cè)清洗液溫度的液溫計(jì)64。該液溫計(jì)64也與控制器46相連。之 所以用加熱器62加熱清洗液，是為了防止在外側(cè)容器14內(nèi)的千燥用空間Sl減壓使外側(cè) 容器14內(nèi)的清洗液蒸發(fā)時(shí)，因隨之產(chǎn)生的吸熱作用而使內(nèi)側(cè)容器38內(nèi)的清洗液冷卻凝固。 另一方面，通過(guò)監(jiān)測(cè)清洗液的溫度，可以防止清洗液被加熱至沸騰。另外，循環(huán)泵57、過(guò) 濾器58和加熱器62均設(shè)置在外側(cè)容器14外側(cè)的外殼12內(nèi)。
循環(huán)路55上連接有加熱器側(cè)排出管65，用于排出留在加熱器62內(nèi)的清洗液；以及 過(guò)濾器側(cè)排出管66，用于排出留在過(guò)濾器58內(nèi)的清洗液。所述排出管65、 66均與排水槽 68相連。此外，加熱器側(cè)排出管65設(shè)有止回閥69，過(guò)濾器側(cè)排出管66設(shè)有針闊70。另 外，積蓄在外側(cè)容器內(nèi)的清洗液，通過(guò)排水管72回收到排水槽68中。
清洗干燥裝置10設(shè)有用于在內(nèi)側(cè)容器38的內(nèi)部和外部之間搬送被清洗物W的搬送 單元74。搬送單元74具有升降構(gòu)件74a，該升降構(gòu)件74a被電動(dòng)機(jī)(圖中未示出)驅(qū)動(dòng)， 并可以沿上下延伸的導(dǎo)向構(gòu)件74b向上下方向移動(dòng)。搬送單元74，在清洗步驟之前扭放在 升降構(gòu)件74a上的被清洗物W從內(nèi)側(cè)容器38的外部向內(nèi)部搬送，并在清洗結(jié)束后扭被清 洗物W從內(nèi)側(cè)容器38的內(nèi)部向外部(干燥用空間S1)搬送。另外，在外側(cè)容器14的壁 面上形成有向與上下方向垂直的方向貫穿的槽(圖中未示出)，升降構(gòu)件的支撐部件(圖 示省略)貫穿該槽，當(dāng)升降構(gòu)件74a上下移動(dòng)時(shí)在該槽的內(nèi)側(cè)上下移動(dòng)。該槽被波紋管 (bellows)密封，由此確保外側(cè)容器14的密封性。
在清洗被清洗物W時(shí)，升降構(gòu)件74a可以搖動(dòng)被清洗物W。例如，升降構(gòu)件74a可 以沿導(dǎo)向構(gòu)件74b向上下方向搖動(dòng)，也可以相對(duì)于導(dǎo)向構(gòu)件74b向左右方向搖動(dòng)。
下面，對(duì)本實(shí)施方式的清洗干燥裝置IO的工作進(jìn)行說(shuō)明。該清洗干燥裝置10的工作 中，包含清洗被清洗物W的清洗歩驟和對(duì)浸濕的被清洗物W進(jìn)行干燥的干燥步驟。在清 洗步驟中，由搬送單元74扭被清洗物W搬送至內(nèi)側(cè)容器38內(nèi)，并浸泡在清洗液中。在搬送時(shí)，打開(kāi)外蓋15，通過(guò)外側(cè)容器14的外側(cè)開(kāi)口 16扭被清洗物W送入外側(cè)容器14 內(nèi)，然后打開(kāi)蓋體52，使升降構(gòu)件74a向下移動(dòng)，扭被清洗物W搬入內(nèi)側(cè)容器38內(nèi)。
通過(guò)驅(qū)動(dòng)循環(huán)泵57，內(nèi)側(cè)容器38的第二室40內(nèi)的清洗液被吸入循環(huán)路55中，該清 洗液流過(guò)循環(huán)路55后，通過(guò)另一端部55b (下游側(cè)端部)供給到第一室39內(nèi)。由于循環(huán) 路55的另一端部55b設(shè)置在第一室39的底部，在內(nèi)側(cè)容器38的第一室39內(nèi)，產(chǎn)生自下 方供給的清洗液越過(guò)隔板38b的向上流動(dòng)現(xiàn)象。由此，清洗液在內(nèi)側(cè)容器38和循環(huán)路55 之間循環(huán)，通過(guò)該循環(huán)，清洗液所含的臟污成分被過(guò)濾器58去除。
此外，在清洗步驟中，超聲波清洗單元60使清洗液產(chǎn)生超聲波振動(dòng)，并伴隨升降構(gòu) 件74a的搖動(dòng)，被清洗物W也搖動(dòng)。因此，除利用清洗液的流動(dòng)外，還利用超聲波振動(dòng) 和被清洗物W本身的搖動(dòng)來(lái)進(jìn)行清洗。在清洗結(jié)束后，升降構(gòu)件74a上升，扭被清洗物 W搬送至內(nèi)側(cè)容器38的外側(cè)，即干燥用空間S1內(nèi)。另夕卜，在清洗時(shí)蓋體52可以打開(kāi)也 可以關(guān)閉。
在干燥步驟中，關(guān)閉內(nèi)側(cè)容器38的蓋體52，驅(qū)動(dòng)真空泵20b。由此，使內(nèi)側(cè)容器38 的外側(cè)空間(干燥用空間)Sl減壓。清洗液隨減壓而蒸發(fā)，由此對(duì)被清洗物W進(jìn)行干燥。
另一方面，氣化的清洗液被真空泵20b吸引，經(jīng)吸引路20a導(dǎo)入氣液分離器26中。 在氣液分離器26中，通過(guò)加壓泵28的驅(qū)動(dòng)，氣體狀的清洗液冷凝，與空氣分離?？諝饨?jīng) 排氣路32排出到外部，清洗液被回收到清洗液回收槽30中。
該干燥步驟中，隨著在干燥用空間Sl中清洗液氣化，偶爾導(dǎo)致周圍的熱量被吸收、 溫度下降的現(xiàn)象。在此應(yīng)該避免內(nèi)側(cè)容器38內(nèi)的清洗液的溫度隨該溫度下降而下降、清 洗液凝固。為此，用加熱器62加熱清洗液，以防止清洗液的凝固。此外，用液溫計(jì)64檢 測(cè)內(nèi)側(cè)容器38內(nèi)的清洗液的溫度，防止清洗液加熱到沸騰的溫度。在此，雖在干燥歩驟 中也驅(qū)動(dòng)循環(huán)泵57來(lái)使清洗液循環(huán)，但在清洗液不會(huì)凝固等的情況下，也可僅在清洗步 驟中驅(qū)動(dòng)循環(huán)泵57。
如上所述，在本實(shí)施方式中，由于設(shè)有用于凈化清洗液的過(guò)濾器58，清洗液即使在內(nèi) 側(cè)容器38內(nèi)清洗被清洗物W后變臟，也可得到凈化。因此，無(wú)需采取清洗后再進(jìn)行噴淋 清洗等的措施，可以防止清洗步驟變長(zhǎng)，也可以使清洗液經(jīng)久耐用。此外，由于使外側(cè)容 器14的內(nèi)部減壓來(lái)對(duì)清洗后的被清洗物W進(jìn)行干燥，因此可使被清洗物W的各個(gè)部分 全面干燥。此時(shí)，由于利用蓋體52氣密密封內(nèi)側(cè)容器38，可以在保持內(nèi)側(cè)容器38內(nèi)儲(chǔ)存 清洗液的狀態(tài)下，使外側(cè)容器14內(nèi)部減壓。因此，在對(duì)被清洗物W進(jìn)行干燥時(shí)可以省去 排出清洗液所需的時(shí)間，即可縮短干燥步驟時(shí)間，并且，還可以防止不必要地廢棄、浪費(fèi)清洗液。而且，由于清洗用的內(nèi)側(cè)容器38容納在用于對(duì)被清洗物W進(jìn)行千燥的外側(cè)容器 14內(nèi)，因此可以抑制作為密封容器的外側(cè)容器14的加工工時(shí)增加。并且，由于內(nèi)側(cè)容器 38設(shè)置在外側(cè)容器14的內(nèi)側(cè)，因此，例如在設(shè)置裝置的情況下要調(diào)整內(nèi)側(cè)容器38的水平 度時(shí)，可以單獨(dú)移動(dòng)內(nèi)側(cè)容器38，避免調(diào)整作業(yè)的復(fù)雜化。即，如果采用圖2所示的上下 兩槽的結(jié)構(gòu)，為了確保清洗室和干燥室之間的密封性，干燥室堅(jiān)固地固定在清洗室上，在 要調(diào)整該清洗室的水平度時(shí)，就不得不調(diào)整與干燥室成一體的裝置的傾斜度，調(diào)整作業(yè)很 復(fù)雜。與此相對(duì)，如本實(shí)施方式這樣，在采用內(nèi)側(cè)容器38容納于外側(cè)容器14內(nèi)的結(jié)構(gòu)的 情況下，由于無(wú)需確保外側(cè)容器14和內(nèi)側(cè)容器38的接合部的密封性，可以單獨(dú)進(jìn)行內(nèi)側(cè) 容器38的傾斜調(diào)整，不必為調(diào)整作業(yè)費(fèi)力。特別是，在本實(shí)施方式中，由于采用使清洗 液溢出的結(jié)構(gòu)，因此必需對(duì)內(nèi)側(cè)容器38進(jìn)行微調(diào)，但因只調(diào)整內(nèi)側(cè)容器38即可，可易于 對(duì)內(nèi)側(cè)容器38進(jìn)行微調(diào)作業(yè)。
此外，在本實(shí)施方式中，由于設(shè)有用于加熱清洗液的加熱器62，可以防止因干燥用空 間S1內(nèi)的清洗液的蒸發(fā)引起的溫度下降而使內(nèi)側(cè)容器38內(nèi)的清洗液凝固。而且，通過(guò)使 清洗液的溫度上升，可以提高清洗能力，也可以使處理溫度保持一定。
此外，在本實(shí)施方式中，通過(guò)循環(huán)泵57的驅(qū)動(dòng)，第二室40內(nèi)的清洗液經(jīng)過(guò)循環(huán)路55 流入第一室39。然后，第一室39內(nèi)的清洗液越過(guò)隔板38b流入第二室40內(nèi)。如此可以強(qiáng) 制性地使清洗液循環(huán)。即，由于通過(guò)泵57，可以強(qiáng)制性地使被清洗物W所浸泡的第一室 39內(nèi)的清洗液流動(dòng)，可以提高清洗被清洗物W的能力。
而且，在本實(shí)施方式中，由于設(shè)有超聲波清洗單元60,可以進(jìn)一步提高清洗被清洗物 W的能力。
此外，在本實(shí)施方式中，通過(guò)真空泵20b的驅(qū)動(dòng)，經(jīng)吸引路20a被吸引的空氣流入氣 液分離器26中，該空氣中所含的氣化清洗液被儲(chǔ)存在氣液分離器26中。由于氣液分離器 26設(shè)有冷凝單元，可使氣化清洗液液化分離。
此外，在本實(shí)施方式中，由于在清洗時(shí)一邊搖動(dòng)被清洗物W—邊清洗被清洗物W， 可以進(jìn)一步提高清洗能力。
本發(fā)明并不限定于所述實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種變化、 改良等。例如，在本實(shí)施方式中，扭加熱器62設(shè)置在循環(huán)路55，但也可設(shè)置在內(nèi)側(cè)容器 38內(nèi)。
此外，在本實(shí)施方式中，在清洗時(shí)搖動(dòng)升降構(gòu)件74a，但按照清洗物W的種類，也可 以不使升降構(gòu)件74a搖動(dòng)。另外，也可以不設(shè)置超聲波清洗單元60。[實(shí)施方式的概要]
所述實(shí)施方式可以總結(jié)為如下。
(1) 在本實(shí)施方式中，由于設(shè)有用于凈化清洗液的凈化單元，清洗液即使在內(nèi)側(cè)容 器內(nèi)清洗被清洗物后變臟，也可得到凈化。因此，無(wú)需采取清洗后再進(jìn)行噴淋清洗等的措 施，可以防止清洗步驟變長(zhǎng)，而且可使清洗液經(jīng)久耐用。此外，由于使外側(cè)容器的內(nèi)部減 壓來(lái)對(duì)清洗后的被清洗物進(jìn)行干燥，可使被清洗物的各個(gè)部分全面干燥。此時(shí)，由于利用 蓋體氣密密封內(nèi)側(cè)容器，可在保持內(nèi)側(cè)容器內(nèi)儲(chǔ)存清洗液的狀態(tài)況下，使外側(cè)容器內(nèi)部減 壓。因此，在對(duì)被清洗物進(jìn)行干燥時(shí)可以省去排出清洗液所需的時(shí)間，即可以縮短干燥步 驟時(shí)間，并且，還可以防止不必要地廢棄、浪費(fèi)清洗液。而且，由于清洗用的內(nèi)側(cè)容器容 納在用于對(duì)被清洗物進(jìn)行干燥的外側(cè)容器內(nèi)，可以抑制作為密封容器的外側(cè)容器的加工工 時(shí)增加。并且，由于內(nèi)側(cè)容器設(shè)置在外側(cè)容器的內(nèi)側(cè)，因此，例如在設(shè)置裝置的情況下要 調(diào)整內(nèi)側(cè)容器的水平度時(shí)，可以單獨(dú)移動(dòng)內(nèi)側(cè)容器，避免調(diào)整作業(yè)的復(fù)雜化。即，如果采 用圖2所示的上下兩槽的結(jié)構(gòu)，為了確保清洗室和干燥室之間的密封性，干燥室堅(jiān)固地固 定在清洗室上，在要調(diào)整該清洗室的水平度時(shí)，就不得不調(diào)整與干燥室成一體的裝置的傾 斜度，調(diào)整作業(yè)很復(fù)雜。與此相對(duì)，如本實(shí)施方式這樣在采用內(nèi)側(cè)容器容納于外側(cè)容器內(nèi) 的結(jié)構(gòu)的情況下，由于無(wú)需確保外側(cè)容器和內(nèi)側(cè)容器的接合部的密封性，可以單獨(dú)進(jìn)行內(nèi) 側(cè)容器的傾斜調(diào)整，不必為調(diào)整作業(yè)費(fèi)力。
(2) 所述清洗干燥裝置包括用于加熱清洗液的加熱器較為理想。在外側(cè)容器內(nèi)，清 洗液隨減壓而蒸發(fā)，產(chǎn)生氣化熱導(dǎo)致的溫度下降，但在本實(shí)施方式中，由于設(shè)有加熱器， 可以防止內(nèi)側(cè)容器內(nèi)的清洗液隨溫度下降而凝固。此外，通過(guò)使清洗液的溫度上升，還可 以提高清洗能力。另外還可使處理溫度保持一定。
(3) 在所述清洗干燥裝置中較為理想的是所述內(nèi)側(cè)容器具有隔板，該隔板扭內(nèi)側(cè) 容器內(nèi)部分隔為第一室和第二室，被清洗物浸泡在所述第一室內(nèi)；所述內(nèi)側(cè)容器與循環(huán)路 相連，該循環(huán)路的一端部和另一端部分別與所述第一室和所述第二室相連；在所述循環(huán)路 設(shè)有泵的情況下，通過(guò)驅(qū)動(dòng)該泵，使所述第一室內(nèi)的清洗液越過(guò)所述隔板向所述第二室內(nèi) 溢出。在本實(shí)施方式中，通過(guò)驅(qū)動(dòng)泵，第二室內(nèi)的清洗液就經(jīng)過(guò)循環(huán)路流入第一室內(nèi)。然 后，第一室內(nèi)的清洗液越過(guò)隔板流入第二室內(nèi)。如此可以強(qiáng)制性地使清洗液循環(huán)。即，由 于可以強(qiáng)制性地使被清洗物所浸泡的第一室內(nèi)的清洗液流動(dòng)，可以提高清洗被清洗物的能 力。
(4) 在本實(shí)施方式中較為理想的是，所述凈化單元具有設(shè)置在所述循環(huán)路的過(guò)濾器。在該實(shí)施方式中，通過(guò)驅(qū)動(dòng)泵，清洗液從內(nèi)側(cè)容器流入循環(huán)路，該清洗液在循環(huán)路內(nèi)流動(dòng)。 然后，該清洗液被過(guò)濾器凈化。
(5) 在所述清洗干燥裝置中較為理想的是，所述內(nèi)側(cè)容器設(shè)有超聲波清洗單元。在
該實(shí)施方式中，可以進(jìn)一歩提高清洗被清洗物的能力。
(6) 在所述清洗干燥裝置中較為理想的是所述減壓?jiǎn)卧哂信c所述外側(cè)容器相連 的吸引路和設(shè)置在該吸引路的泵，所述吸引路與氣液分離器相連，所述氣液分離器設(shè)有冷 凝單元。在該實(shí)施方式中，通過(guò)吸引路吸引的空氣流入氣液分離器中，該氣液分離器儲(chǔ)存 所述空氣中所含的氣化清洗液。由于氣液分離器設(shè)有冷凝單元，可使氣化清洗液液化分離。
(7) 在所述清洗干燥裝置包括搬送單元，用于在所述內(nèi)側(cè)容器的內(nèi)部和外部之間搬
送所述被清洗物的情況下，所述搬送單元可以在所述內(nèi)側(cè)容器內(nèi)清洗被清洗物時(shí)，可以搖 動(dòng)該被清洗物。在該實(shí)施方式中，由于一邊搖動(dòng)被清洗物一邊清洗被清洗物，可以進(jìn)一步 提高清洗能力。
如上所述，本實(shí)施方式提供一種對(duì)可省略純水清洗步驟的被清洗物進(jìn)行清洗、干燥的 清洗干燥裝置，可以防止清洗時(shí)間變長(zhǎng)，并且可以延長(zhǎng)清洗液的壽命。
權(quán)利要求
1.一種清洗干燥裝置，利用清洗液清洗被清洗物，并對(duì)附著在該被清洗物上的清洗液進(jìn)行干燥，其特征在于包括外側(cè)容器；內(nèi)側(cè)容器，設(shè)置在所述外側(cè)容器內(nèi)，具有用于使所述被清洗物出入的開(kāi)口部，該內(nèi)側(cè)容器內(nèi)儲(chǔ)存所述清洗液；減壓?jiǎn)卧顾鐾鈧?cè)容器的內(nèi)部減壓，以使附著在所述被清洗物上的清洗液蒸發(fā)；凈化單元，凈化所述清洗液；以及蓋體，氣密密封所述內(nèi)側(cè)容器的所述開(kāi)口部。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗干燥裝置，其特征在于包括加熱器，加熱所述清洗液。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗干燥裝置，其特征在于，所述內(nèi)側(cè)容器具有隔板，該隔板將所述內(nèi)側(cè)容器內(nèi)部分隔為第一室和第二室，所述被 清洗物浸泡到所述第一室內(nèi)，所述內(nèi)側(cè)容器設(shè)有循環(huán)路，該循環(huán)路的一端部與所述第一室相連，該循環(huán)路的另一端 部與所述第二室相連，所述循環(huán)路設(shè)有泵，通過(guò)驅(qū)動(dòng)該泵，使所述第一室內(nèi)的清洗液越過(guò)所述隔板向所述第 二室內(nèi)溢出。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的清洗干燥裝置，其特征在于，所述凈化單元具有設(shè)置在所 述循環(huán)路的過(guò)濾器。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的清洗干燥裝置，其特征在于，所述內(nèi)側(cè)容器設(shè)有超聲波清 洗單元。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的清洗干燥裝置，其特征在于， 所述減壓?jiǎn)卧?，具有與所述外側(cè)容器相連的吸引路和設(shè)置在該吸引路的泵， 所述吸引路與氣液分離器相連，所述氣液分離器設(shè)有冷凝單元。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的清洗干燥裝置，其特征在于包括搬送單元， 該搬送單元在所述內(nèi)側(cè)容器的內(nèi)部和外部之間搬送所述被清洗物，所述搬送單元，在所述 內(nèi)側(cè)容器內(nèi)清洗被清洗物時(shí)，可以搖動(dòng)該被清洗物。
全文摘要
本發(fā)明提供一種對(duì)可省略純水清洗步驟的被清洗物進(jìn)行清洗、干燥的清洗干燥裝置，可以防止清洗時(shí)間變長(zhǎng)，也可以延長(zhǎng)清洗液的壽命。清洗干燥裝置(10)包括外側(cè)容器(14)；內(nèi)側(cè)容器(38)，設(shè)置在所述外側(cè)容器內(nèi)，具有用于使所述被清洗物出入的開(kāi)口部，該內(nèi)側(cè)容器內(nèi)儲(chǔ)存所述清洗液；真空泵(20b)，使所述外側(cè)容器的內(nèi)部減壓，以使附著在所述被清洗物上的清洗液蒸發(fā)；過(guò)濾器(58)，凈化所述清洗液；以及蓋體(52)，氣密密封所述內(nèi)側(cè)容器(38)的所述開(kāi)口部。
文檔編號(hào)B08B3/12GK101314158SQ20081010012
公開(kāi)日2008年12月3日 申請(qǐng)日期2008年5月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月28日
發(fā)明者伊柳和重, 美甘謙二 申請(qǐng)人:愛(ài)斯佩克株式會(huì)社