一種晶體鑄造爐的一體加熱器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種晶體鑄造爐的一體加熱器，包括一體成型的柱狀的陶瓷纖維爐，陶瓷纖維爐的爐壁厚度大于25mm，陶瓷纖維爐內(nèi)設(shè)置有螺旋形的電熱絲，電熱絲通過絕緣片固定在陶瓷纖維爐的內(nèi)壁上，電熱絲的上端和下端與總電源連接，所述陶瓷纖維爐內(nèi)從上至下依次分為第一溫控層、第二溫控層和第三溫控層，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，節(jié)約成本，安裝省力，避免浪費(fèi)人工安裝費(fèi)，柱狀的所述陶瓷纖維爐在采用一體成型的工藝制成，整個(gè)爐體密度和厚度都比較均勻，使得爐內(nèi)的整體溫度也比較均勻，并且通過控制器控制第一電源、第二電源和第三電源實(shí)現(xiàn)了爐內(nèi)的溫度的分區(qū)，提供不同的溫度需要，并且根據(jù)熱電偶的反饋進(jìn)行實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)的溫度調(diào)節(jié)。
【專利說明】一種晶體鑄造爐的一體加熱器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及一種晶體鑄造爐中使用的一體加熱器。

【背景技術(shù)】
[0002] 近年來，國內(nèi)半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)蓬勃發(fā)展，各半導(dǎo)體公司都在進(jìn)行單晶，多晶鑄造爐 的自主研發(fā)和改善。因此，出現(xiàn)了各種各樣形式的晶體鑄造爐。采用的結(jié)構(gòu)形式不一，采用 的加熱元器件不一，采用的加熱元器件固定方式不一，采用的保溫材料不一，各式各樣，層 出不窮。
[0003] 現(xiàn)有技術(shù)中爐壁是用多塊纖維條進(jìn)行拼接，而纖維條因?yàn)楣に嚤旧淼脑?，不?能做到厚度密度的均一化，所以不同部位其保溫效果也有差異，再加上由于是拼接的原因， 接縫處的保溫效果也會(huì)比較差，因此造成了整個(gè)爐腔內(nèi)溫度均一性不是很好。目前用于該 爐的纖維條只能從國外進(jìn)口，國內(nèi)的品質(zhì)更差。安裝纖維條需要一條一條進(jìn)行長度和寬度 的修正，安裝比較麻煩。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0004] 本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是：為克服上述問題，提供一種具有多溫區(qū)并且采 用一體成型的爐壁的一種晶體鑄造爐中使用的一體加熱器。
[0005] 本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：
[0006] -種晶體鑄造爐的一體加熱器，包括一體成型的柱狀的陶瓷纖維爐，所述陶瓷纖 維爐的爐壁厚度大于25mm，所述陶瓷纖維爐內(nèi)設(shè)置有螺旋形的電熱絲，所述電熱絲通過絕 緣片固定在所述陶瓷纖維爐的內(nèi)壁上，所述電熱絲的上端和下端與總電源連接，所述陶瓷 纖維爐內(nèi)從上至下依次分為第一溫控層、第二溫控層和第三溫控層，所述第一溫控層內(nèi)的 電熱絲還與第一分電源連接，所述第二溫控層內(nèi)的電熱絲還與第二分電源連接，所述第三 溫控層內(nèi)的電熱絲還與第三分電源連接，所述第一溫控層、第二溫控層和第三溫控層內(nèi)分 別設(shè)置有第一熱電偶、第二熱電偶和第三熱電偶，所述總電源、第一分電源、第二分電源、第 三分電源、第一熱電偶、第二熱電偶和第三熱電偶都與一控制器連接。
[0007] 優(yōu)選地，所述陶瓷纖維爐的內(nèi)直徑為600-700mm，高度為1200-2000mm。
[0008] 優(yōu)選地，所述控制器連接有顯示器。
[0009] 優(yōu)選地，所述控制器還連接有鍵盤、報(bào)警裝置和LED指示燈。
[0010] 本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，節(jié)約成本，安裝省力，避免浪費(fèi) 人工安裝費(fèi)，所述陶瓷纖維爐內(nèi)為加熱產(chǎn)品的空間，柱狀的所述陶瓷纖維爐在采用一體成 型的工藝制成，整個(gè)爐體密度和厚度都比較均勻，使得爐內(nèi)的整體溫度也比較均勻，避免了 現(xiàn)有技術(shù)中都是用多塊纖維條進(jìn)行拼接，而纖維條因?yàn)楣に嚤旧淼脑?，不可能做到厚?密度的均一化；并且本新型中通過控制器控制第一電源、第二電源和第三電源實(shí)現(xiàn)了爐內(nèi) 的溫度的分區(qū)，提供不同的溫度需要，并且根據(jù)熱電偶的反饋進(jìn)行實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)的溫度調(diào)節(jié)，還 配置有報(bào)警裝置和LED指示燈，提高安全性。

【專利附圖】

【附圖說明】 toon] 下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。
[0012] 圖1是本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013] 圖2是本實(shí)用新型中所述陶瓷纖維爐的俯視圖。
[0014] 圖中標(biāo)記：1-陶瓷纖維爐，2-絕緣片，3-電熱絲，4-總電源，5-控制器，6-第一分 電源，7-第二分電源，8-第三分電源，9-第一熱電偶，10-第二熱電偶，11-第三熱電偶。

【具體實(shí)施方式】
[0015] 現(xiàn)在結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示意圖， 僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。
[0016] 如圖1所示的本實(shí)用新型所述一種晶體鑄造爐的一體加熱器，包括一體成型的柱 狀的陶瓷纖維爐1，如圖2中所示，所述陶瓷纖維爐1內(nèi)為加熱產(chǎn)品的空間，本新型中，柱狀 的所述陶瓷纖維爐1在采用一體成型的工藝制成，整個(gè)爐體密度和厚度都比較均勻，使得 爐內(nèi)的整體溫度也比較均勻，避免了現(xiàn)有技術(shù)中都是用多塊纖維條進(jìn)行拼接，而纖維條因 為工藝本身的原因，不可能做到厚度密度的均一化，所以不同部位其保溫效果也有差異，再 加上由于是拼接的原因，接縫處的保溫效果也會(huì)比較差，因此造成了整個(gè)爐腔內(nèi)溫度均一 性不是很好。
[0017] 所述陶瓷纖維爐1的爐壁厚度大于25mm，才能保證陶瓷纖維爐1的隔溫性能，所述 陶瓷纖維爐1內(nèi)設(shè)置有螺旋形的電熱絲3,在本實(shí)施例中，所述電熱絲3采用鐵鉻鋁電熱合 金，但不限于此，還可以采用其他常規(guī)材料，所述電熱絲3通過絕緣片2固定在所述陶瓷纖 維爐1的內(nèi)壁上，如圖2所示，所述絕緣片2均勻的設(shè)置在所述陶瓷纖維爐1的內(nèi)壁上，將 所述電熱絲3保持螺旋的形狀，所述絕緣片2在本實(shí)施例中采用陶瓷，但不限于陶瓷，還可 以采用其他絕緣材料，所述電熱絲3的上端和下端與總電源4連接，在整體加熱時(shí)，采用總 電源4進(jìn)行供電，所述陶瓷纖維爐1內(nèi)從上至下依次分為第一溫控層、第二溫控層和第三溫 控層，三個(gè)溫控層分別可以實(shí)現(xiàn)爐內(nèi)的溫度的分區(qū)，提供不同的溫度需要，所述第一溫控層 內(nèi)的電熱絲3還與第一分電源6連接，所述第二溫控層內(nèi)的電熱絲3還與第二分電源7連 接，所述第三溫控層內(nèi)的電熱絲3還與第三分電源8連接，當(dāng)需要各段溫度不同時(shí)，通過三 個(gè)分電源進(jìn)行輔助獨(dú)立供電，所述第一溫控層、第二溫控層和第三溫控層內(nèi)分別設(shè)置有第 一熱電偶9、第二熱電偶10和第三熱電偶11，每個(gè)溫控層內(nèi)設(shè)置的熱電偶用于檢測溫控層 內(nèi)的溫度，所述總電源4、第一分電源6、第二分電源7、第三分電源8、第一熱電偶9、第二熱 電偶10和第三熱電偶11都與一控制器5連接，所述控制器5在本實(shí)施例中為工業(yè)上常用 的PLC控制器，當(dāng)需要調(diào)節(jié)一個(gè)溫控層內(nèi)的溫度時(shí)，在所述控制器5內(nèi)輸入指令，第一分電 源6、第二分電源7和第三分電源8根據(jù)控制器5的指令供應(yīng)對應(yīng)的電壓，當(dāng)某一溫控層的 溫度超過設(shè)定溫度時(shí)，熱電偶會(huì)實(shí)時(shí)的將溫控層內(nèi)的溫度實(shí)時(shí)反饋給控制器5,所述控制器 5再對分電源進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0018] 在優(yōu)選的實(shí)施方案中，所述陶瓷纖維爐1的內(nèi)直徑為600-700mm，高度為 1200-2000mm，此尺寸為優(yōu)選的尺寸，具體大小還可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)置。
[0019] 在優(yōu)選的實(shí)施方案中，所述控制器5連接有顯示器，在本實(shí)施例中，所述顯示器為 液晶顯示器，用于顯示各溫區(qū)的溫度等信息。
[0020] 在優(yōu)選的實(shí)施方案中，所述控制器5還連接有鍵盤、報(bào)警裝置和LED指示燈，可通 過鍵盤進(jìn)行指令輸入，所述報(bào)警裝置在出現(xiàn)故障或者爐內(nèi)溫度超過設(shè)定等情況下進(jìn)行報(bào) 警，提醒使用者；所述LED指示燈可以用于顯示控制器5和其他設(shè)備的工作狀態(tài)。
[0021] 以上述依據(jù)本實(shí)用新型的理想實(shí)施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人 員完全可以在不偏離本項(xiàng)實(shí)用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)實(shí) 用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù) 性范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種晶體鑄造爐的一體加熱器，其特征在于，包括一體成型的柱狀的陶瓷纖維爐，所 述陶瓷纖維爐的爐壁厚度大于25mm，所述陶瓷纖維爐內(nèi)設(shè)置有螺旋形的電熱絲，所述電熱 絲通過絕緣片固定在所述陶瓷纖維爐的內(nèi)壁上，所述電熱絲的上端和下端與總電源連接， 所述陶瓷纖維爐內(nèi)從上至下依次分為第一溫控層、第二溫控層和第三溫控層，所述第一溫 控層內(nèi)的電熱絲還與第一分電源連接，所述第二溫控層內(nèi)的電熱絲還與第二分電源連接， 所述第三溫控層內(nèi)的電熱絲還與第三分電源連接，所述第一溫控層、第二溫控層和第三溫 控層內(nèi)分別設(shè)置有第一熱電偶、第二熱電偶和第三熱電偶，所述總電源、第一分電源、第二 分電源、第三分電源、第一熱電偶、第二熱電偶和第三熱電偶都與一控制器連接。
2. 如權(quán)利要求1所述的一體加熱器，其特征在于，所述陶瓷纖維爐的內(nèi)直徑為 600_700mm，高度為 1200-2000mm。
3. 如權(quán)利要求2所述的一體加熱器，其特征在于，所述控制器連接有顯示器。
4. 如權(quán)利要求3所述的一體加熱器，其特征在于，所述控制器還連接有鍵盤、報(bào)警裝置 和LED指示燈。
【文檔編號】C30B28/06GK203999917SQ201420472213
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年8月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月21日
【發(fā)明者】陶治平, 嚴(yán)繼軍, 陸祖良 申請人:蘇州伊索來特耐火纖維有限公司