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用于藍寶石晶體定向加工的夾具的制作方法

文檔序號:10708828閱讀:609來源:國知局
用于藍寶石晶體定向加工的夾具的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及夾具設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種用于藍寶石晶體定向加工的夾具,包括下模組及位于下模組上方的上模組,所述下模組包括下模塊,所述下模塊上開設(shè)有開口向上的下V型槽,所述下V型槽的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有螺旋微動調(diào)節(jié)器,所述上模組包括上模塊,所述上模塊上開設(shè)有開口向下的上V型槽,所述上V型槽與下V型槽相對設(shè)置,本發(fā)明晶棒裝夾穩(wěn)定可靠,定位精準快速,操作方便,提高了工作效率,夾具安裝穩(wěn)定可靠。
【專利說明】
用于藍寶石晶體定向加工的夾具
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及夾具設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種用于藍寶石晶體定向加工的夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]LED(半導體照明)技術(shù)發(fā)展迅速、應(yīng)用領(lǐng)域廣泛、產(chǎn)業(yè)帶動性強、節(jié)能潛力大,符合低碳與生態(tài)經(jīng)濟要求和當代高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢,被各國公認為最有發(fā)展前景的高效照明產(chǎn)業(yè)。而藍寶石則成為LED技術(shù)發(fā)展中重要的主流襯底片,目前全世界90%以上的LED產(chǎn)品均由藍寶石襯底片上外延生長得到。藍寶石晶體是由高純氧化鋁在高溫下熔化再結(jié)晶生長所得,晶體經(jīng)加工成晶片加工所需原材料的晶棒,晶棒外表經(jīng)過滾圓處理,難以進行準確定位,通常會出現(xiàn)定位精度不高,操作難易掌控,且重復性較差的問題。因此,晶棒定位夾具的可靠性和穩(wěn)定性非常重要,通常還需要便于進行簡易操作和精度處理。
[0003]當前行業(yè)內(nèi)對定A向的操作,主要是通過一些基本的硬性夾具固定,再根據(jù)人的經(jīng)驗進行反復試驗,直至晶棒A向精度達到要求為止。但會極大浪費設(shè)備利用率和操作時間,需進行不停的返工試驗,才能確保A向的準確性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是:為了解決當前行業(yè)內(nèi)對定A向的操作,主要是通過一些基本的硬性夾具固定,再根據(jù)人的經(jīng)驗進行反復試驗,直至晶棒A向精度達到要求為止。但會極大浪費設(shè)備利用率和操作時間,需進行不停的返工試驗,才能確保A向的準確性的問題,現(xiàn)提供了一種用于藍寶石晶體定向加工的夾具。
[0005]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種用于藍寶石晶體定向加工的夾具,包括下模組及位于下模組上方的上模組,所述下模組包括下模塊,所述下模塊上開設(shè)有開口向上的下V型槽,所述下V型槽的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有螺旋微動調(diào)節(jié)器,所述上模組包括上模塊,所述上模塊上開設(shè)有開口向下的上V型槽,所述上V型槽與下V型槽相對設(shè)置。通過上V型面與下V型面將晶棒夾緊與固定,再由螺旋微調(diào)控制器精準控制晶棒轉(zhuǎn)動幅度,方便找到晶棒的A向。
[0006]為了能夠更加精準的控制晶棒的轉(zhuǎn)動幅度,進一步地,所述螺旋微動調(diào)節(jié)器包括轉(zhuǎn)動軸、粗調(diào)旋鈕和微調(diào)旋鈕,所述粗調(diào)旋鈕和微調(diào)旋鈕均轉(zhuǎn)動連接在所述轉(zhuǎn)動軸的一端,所述粗調(diào)旋鈕和微調(diào)旋鈕均用于控制轉(zhuǎn)動軸旋轉(zhuǎn)。通過調(diào)節(jié)粗調(diào)旋鈕可以先提高晶棒的轉(zhuǎn)動幅度,并旋轉(zhuǎn)至大致位置,再由微調(diào)旋轉(zhuǎn)更精準的旋轉(zhuǎn)晶棒A向,提高晶棒A向的定位精度。
[0007]進一步地,所述上V型槽的兩側(cè)面均設(shè)置有塑料棒,所述下V型槽遠離螺旋微動調(diào)節(jié)器的一側(cè)也設(shè)置有塑料棒。晶棒與上V型面及下V型面上的塑料棒接觸,能夠有效防止晶棒受力過大導致晶棒損壞。
[0008]由于藍寶石晶棒硬且脆,為了使晶棒能夠穩(wěn)定可靠夾緊,進一步地,所述塑料棒的材質(zhì)為聚四氟乙烯。通過聚四氟乙烯材質(zhì)的塑料棒與晶棒接觸,有效的防止晶棒受力過大發(fā)生崩邊、缺角或開裂的現(xiàn)象,保證了晶棒能夠裝夾穩(wěn)定可靠。
[0009]為了使夾具方便固定在定向儀檢測平臺上,進一步地,所述下模塊的下底面開設(shè)有凹槽。夾具通過凹槽與檢測平臺相互配合,使夾具更加方便安裝固定。
[0010]為了使夾具具有良好的安裝精度,保證晶棒在加工時穩(wěn)定可靠,進一步地,所述凹槽為燕尾槽。由于凹槽為燕尾槽,燕尾槽作機械相對運動時運動精度高,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,下模塊通過燕尾槽固定安裝在儀器上,使夾具具有良好的安裝精度,保證晶棒在加工時穩(wěn)定可
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[0011]進一步地,所述上模組與下模組通過螺釘固定連接。通過螺釘將上模組與下模組固定連接在一起,在需要維護時能夠方便快速的將上模組與下模組拆卸或安裝。
[0012]進一步地,所述下V型槽的一側(cè)開設(shè)有用于卡設(shè)螺旋微動調(diào)節(jié)器的卡槽,所述螺旋微動調(diào)節(jié)器卡設(shè)在所述卡槽內(nèi)。保證螺旋微動調(diào)節(jié)器使用穩(wěn)定可靠,防止螺旋微動調(diào)節(jié)器在使用時出現(xiàn)掉落現(xiàn)象。
[0013]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明用于藍寶石晶體定向加工的夾具在使用時,通過上V型面與下V型面將晶棒夾緊與固定,再由螺旋微調(diào)控制器精準控制晶棒轉(zhuǎn)動幅度,方便找到晶棒的A向;本發(fā)明晶棒裝夾穩(wěn)定可靠,定位精準快速,操作方便,提高了工作效率,夾具安裝穩(wěn)定可靠。
【附圖說明】
[0014]下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明。
[0015]圖1是本發(fā)明用于藍寶石晶體定向加工的夾具的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0016]圖2是本發(fā)明用于藍寶石晶體定向加工的夾具中螺旋微動調(diào)節(jié)器的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0017]圖3是本發(fā)明用于藍寶石晶體定向加工的夾具的螺旋微動調(diào)節(jié)器與晶棒相互配合的示意圖。
[0018]圖中:1、下模塊,2、上模塊,3、下V型槽,4、螺旋微動調(diào)節(jié)器,4-1、轉(zhuǎn)動軸,4_2、粗調(diào)旋鈕,4-3、微調(diào)旋鈕,5、塑料棒,6、上V型槽,7、凹槽,8、螺釘、9、晶棒。
【具體實施方式】
[0019]現(xiàn)在結(jié)合附圖對本發(fā)明做進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖,僅以示意方式說明本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu),因此其僅顯示與本發(fā)明有關(guān)的構(gòu)成。
[0020]實施例1
[0021]如圖1、2和3所示,一種用于藍寶石晶體定向加工的夾具,包括下模組及位于下模組上方的上模組,所述下模組包括下模塊1,所述下模塊I上開設(shè)有開口向上的下V型槽3,所述下V型槽3的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有螺旋微動調(diào)節(jié)器4,所述上模組包括上模塊2,所述上模塊2上開設(shè)有開口向下的上V型槽6,所述上V型槽6與下V型槽3相對設(shè)置。
[0022]所述螺旋微動調(diào)節(jié)器4包括轉(zhuǎn)動軸4-1、粗調(diào)旋鈕4-2和微調(diào)旋鈕4-3,所述粗調(diào)旋鈕4-2和微調(diào)旋鈕4-3均轉(zhuǎn)動連接在所述轉(zhuǎn)動軸4-1的一端,所述粗調(diào)旋鈕4-2和微調(diào)旋鈕4-3均用于控制轉(zhuǎn)動軸4-1旋轉(zhuǎn)。
[0023]所述上V型槽6的兩側(cè)面均設(shè)置有塑料棒5,所述下V型槽3遠離螺旋微動調(diào)節(jié)器4的一側(cè)也設(shè)置有塑料棒5,所述塑料棒5的材質(zhì)為聚四氟乙烯。
[0024]所述下模塊I的下底面開設(shè)有凹槽7,所述凹槽7為燕尾槽。
[0025]所述上模組與下模組通過螺釘8固定連接。
[0026]所述下V型槽3的一側(cè)開設(shè)有用于卡設(shè)螺旋微動調(diào)節(jié)器4的卡槽,所述螺旋微動調(diào)節(jié)器4卡設(shè)在所述卡槽內(nèi)。
[0027]上述用于藍寶石晶體定向加工的夾具在使用時,將下模塊I的燕尾槽安裝在定向儀檢測平臺上,首先松開上模組與下模組之間的螺釘8,將晶棒9放入上模塊2的上V型槽6與下模塊I的下V型槽3之間,再將螺釘8輕微鎖上,調(diào)節(jié)螺旋微動調(diào)節(jié)器4并使晶棒9能夠轉(zhuǎn)動,上V型槽6上的塑料棒5和下V型槽3上的塑料棒5均與晶棒9接觸,螺旋微動調(diào)接器4上的轉(zhuǎn)動軸4-1與晶棒9接觸,轉(zhuǎn)動軸4-1表面覆蓋了一層聚四氟乙烯材質(zhì),用于保護晶棒9,夾具在定向儀檢測平臺上確定晶棒9的A向時,首先調(diào)節(jié)粗調(diào)旋鈕4-2,轉(zhuǎn)動軸4-1帶動晶棒9轉(zhuǎn)動,通過定向儀觀察并旋轉(zhuǎn)至晶棒9至A向的大概位置,再調(diào)節(jié)微調(diào)旋鈕4-3,由轉(zhuǎn)動軸4-1帶動晶棒9轉(zhuǎn)動,從而確定晶棒9的A向,在完成晶棒9的A向定位后,最后對稱、逐步鎖緊螺釘8,確保上模組和下模組均勻?qū)ΨQ的鎖緊晶棒9,此時再通過定向儀確定晶棒9的A向是否準確定位。
[0028]上述依據(jù)本發(fā)明的理想實施例為啟示,通過上述的說明內(nèi)容,相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi),進行多樣的變更以及修改。本項發(fā)明的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容,必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。
【主權(quán)項】
1.一種用于藍寶石晶體定向加工的夾具,其特征在于:包括下模組及位于下模組上方的上模組,所述下模組包括下模塊(I),所述下模塊(I)上開設(shè)有開口向上的下V型槽(3),所述下V型槽(3)的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有螺旋微動調(diào)節(jié)器(4),所述上模組包括上模塊(2),所述上模塊(2)上開設(shè)有開口向下的上V型槽(6),所述上V型槽(6)與下V型槽(3)相對設(shè)置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于藍寶石晶體定向加工的夾具,其特征在于:所述螺旋微動調(diào)節(jié)器(4)包括轉(zhuǎn)動軸(4-1)、粗調(diào)旋鈕(4-2)和微調(diào)旋鈕(4-3),所述粗調(diào)旋鈕(4-2)和微調(diào)旋鈕(4-3)均轉(zhuǎn)動連接在所述轉(zhuǎn)動軸(4-1)的一端,所述粗調(diào)旋鈕(4-2)和微調(diào)旋鈕(4-3)均用于控制轉(zhuǎn)動軸(4-1)旋轉(zhuǎn)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于藍寶石晶體定向加工的夾具,其特征在于:所述上V型槽(6)的兩側(cè)面均設(shè)置有塑料棒(5),所述下V型槽(3)遠離螺旋微動調(diào)節(jié)器(4)的一側(cè)也設(shè)置有塑料棒(5)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于藍寶石晶體定向加工的夾具,其特征在于:所述塑料棒(5)的材質(zhì)為聚四氟乙烯。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于藍寶石晶體定向加工的夾具,其特征在于:所述下模塊(I)的下底面開設(shè)有凹槽(7)。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于藍寶石晶體定向加工的夾具,其特征在于:所述凹槽(7)為燕尾槽。7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于藍寶石晶體定向加工的夾具,其特征在于:所述上模組與下模組通過螺釘(8)固定連接。8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于藍寶石晶體定向加工的夾具,其特征在于:所述下V型槽(3)的一側(cè)開設(shè)有用于卡設(shè)螺旋微動調(diào)節(jié)器(4)的卡槽,所述螺旋微動調(diào)節(jié)器(4)卡設(shè)在所述卡槽內(nèi)。
【文檔編號】B28D5/00GK106079121SQ201610680188
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年8月16日 公開號201610680188.8, CN 106079121 A, CN 106079121A, CN 201610680188, CN-A-106079121, CN106079121 A, CN106079121A, CN201610680188, CN201610680188.8
【發(fā)明人】趙能偉
【申請人】常州億晶光電科技有限公司
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