專(zhuān)利名稱(chēng)：一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
[0002]眾所周知，當(dāng)蝕刻技術(shù)已廣泛的應(yīng)用于傳統(tǒng)加工中難以加工的薄型件加工上，主要運(yùn)用于航空、機(jī)械、標(biāo)牌等工業(yè)中，并且在半導(dǎo)體以及印制板的加工中更是不能缺少?，F(xiàn)有的技術(shù)中的刻蝕機(jī)是使用化學(xué)溶液，經(jīng)化學(xué)反應(yīng)達(dá)到可是目的，使用時(shí)，設(shè)備生產(chǎn)的廢棄直接發(fā)到車(chē)間中，造成空氣和產(chǎn)品表面的污染，同時(shí)產(chǎn)品上時(shí)常會(huì)有殘留的化學(xué)溶液得不到清理，這使得產(chǎn)品的質(zhì)量受到嚴(yán)重影響。實(shí)用新型內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型公開(kāi)了一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中產(chǎn)品上時(shí)常會(huì)有殘留的化學(xué)溶液得不到清理，同時(shí)設(shè)備生產(chǎn)的的廢棄直接發(fā)到車(chē)間中，造成空氣和產(chǎn)品表面的污染的問(wèn)題。[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:[0005]一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，其中，包括:印刷裝置、曝光裝置、顯影裝置、蝕刻裝置、清洗裝置，所述曝光裝置分別與所述印刷裝置以及顯影裝置連接，所述蝕刻裝置的后段與所述清洗裝置連接，所述顯影裝置的后段與所述蝕刻裝置連接，所述清洗裝置的后段與去膜裝置連接、所述去膜裝置后段與水洗裝置連接，所述水洗裝置的后段與烘干裝置連接。[0006]上述的一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，其中，所述清洗裝置與所述去膜裝置之間設(shè)有膨松裝置。[0007]上述的一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，其中，所述清洗裝置的外側(cè)設(shè)有第一報(bào)警裝置。[0008]上述的一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，其中，所述水洗裝置外側(cè)設(shè)有第二報(bào)警裝置。[0009]上述的一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，其中，在所述印刷裝置、曝光裝置、顯影裝置、蝕刻裝置以及清洗裝置的外側(cè)設(shè)有一罩體，所述罩體外側(cè)設(shè)有一空氣過(guò)濾器。上述的一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，其中，所述清洗裝置與所述膨松裝置之間設(shè)有檢測(cè)裝置。[0011]上述的一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，其中，所述烘干裝置為電加熱烘干機(jī)。[0012]本實(shí)用新型的一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，采用了如上的方案具有以下的效果:通過(guò)清洗裝置與水洗裝置有效的清洗產(chǎn)品上的化學(xué)溶劑并由烘干裝置使得產(chǎn)品上的液體烘干去除，同時(shí)利用罩體阻隔了設(shè)備生產(chǎn)時(shí)的廢氣，并且通過(guò)空氣過(guò)濾器將廢氣過(guò)濾凈化。


[0013]通過(guò)閱讀參照如下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，實(shí)用新型的其它特征，目的和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯。[0014]圖1為本實(shí)用新型一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)的示意圖。[0015]如圖參考:印刷裝置1、曝光裝置2、顯影裝置3、蝕刻裝置4、清洗裝置5、第一報(bào)警裝置51、檢測(cè)裝置6、膨松裝置7、去膜裝置8、水洗裝置9、第二報(bào)警裝置91、罩體10、空氣過(guò)濾器11、烘干裝置12。
具體實(shí)施方式
[0016]為了使實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)造特征、達(dá)成目的和功效易于明白了解，下結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。[0017]圖1所示，一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，其中，包括:印刷裝置1、曝光裝置2、顯影裝置3、蝕刻裝置4、清洗裝置5，曝光裝置2分別與印刷裝置I以及顯影裝置3連接，在此進(jìn)一步的曝光裝置2與顯影裝置3連成一體，蝕刻裝置4的后段與清洗裝置5連接，顯影裝置3的后段與蝕刻裝置4連接，清洗裝置5的后段與去膜裝置8連接、去膜裝置8后段與水洗裝置9連接，水洗裝置9的后段與烘干裝置12連接。[0018]在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，清洗裝置5與去膜裝置8之間設(shè)有膨松裝置7，在此膨松裝置7完成的是一種浸泡式過(guò)程，先將其軟泡再給后工序退膜。在后一工序的去膜中使用3%的強(qiáng)堿或10-13%的RR-2的有機(jī)去膜液剝除，抗氧產(chǎn)品表面氧化，除泡劑消泡。[0019]在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，清洗裝置5的外側(cè)設(shè)有第一報(bào)警裝置51，由第一報(bào)警裝置51完成對(duì)清洗裝置5的監(jiān)控以及報(bào)警提示。[0020]在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，水洗裝置9外側(cè)設(shè)有第二報(bào)警裝置91，進(jìn)一步的，由第二報(bào)警裝置91完成對(duì)水洗裝置9的監(jiān)控以及報(bào)警提示。[0021]在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，在印刷裝置1、曝光裝置2、顯影裝置3、蝕刻裝置4以及清洗裝置5的外側(cè)設(shè)有一罩體10，罩體10外側(cè)設(shè)有一空氣過(guò)濾器11，進(jìn)一步的利用罩體10隔離印刷裝置1、曝光裝置2、顯影裝置3、蝕刻裝置4以及清洗裝置5所產(chǎn)生的廢氣，并通過(guò)空氣過(guò)濾器11來(lái)完成對(duì)廢氣的過(guò)濾凈化。[0022]在本實(shí)用新 型的具體實(shí)施例中，清洗裝置5與膨松裝置7之間設(shè)有檢測(cè)裝置6在當(dāng)產(chǎn)品經(jīng)過(guò)清洗裝置5后對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行檢測(cè)。[0023]在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，烘干裝置12為電加熱烘干機(jī)，在烘干裝置12中吸附劑充填量極為充裕，大容量的干燥劑保證了空氣與干燥劑有充足的接觸時(shí)間，使干燥劑能充分吸收水份，達(dá)到穩(wěn)定的出口露點(diǎn)。保證出口空氣露點(diǎn)的穩(wěn)定，除水效果。[0024]在本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
中，首相嚴(yán)格挑選合格材料進(jìn)行切料清洗，產(chǎn)品由傳送軌道進(jìn)入印刷裝置I中進(jìn)行感光油墨印在產(chǎn)品金屬板上的操作，接著產(chǎn)品產(chǎn)品進(jìn)入曝光裝置2與顯影裝置3中。在曝光裝置2與顯影裝置3中油墨烘干的金屬板材通過(guò)曝光裝置2將產(chǎn)品輪廓曝在金屬板上然后通過(guò)顯影裝置3將產(chǎn)品輪廓顯影出來(lái)(必要時(shí)將產(chǎn)品進(jìn)行堅(jiān)膜)。接著進(jìn)入蝕刻裝置4中進(jìn)行刻蝕，在之前顯影裝置3中顯影好的金屬板通過(guò)蝕刻裝置4蝕刻，F(xiàn)ecl3與露出來(lái)的金屬反應(yīng)，將產(chǎn)品中不需要的部分漏空，留下所需要的產(chǎn)品形狀，之后進(jìn)入清洗裝置5進(jìn)行清洗，清洗完后進(jìn)入檢測(cè)裝置6中進(jìn)行檢驗(yàn)(檢驗(yàn)過(guò)程為人工或者機(jī)械)。[0025]其次，當(dāng)檢驗(yàn)完后，進(jìn)入膨松裝置7中進(jìn)行對(duì)產(chǎn)品的軟泡，接著進(jìn)入去膜裝置8中對(duì)軟泡后的產(chǎn)品進(jìn)行脫模。[0026]最后，進(jìn)入烘干裝置12通過(guò)其真空的烘干功能對(duì)產(chǎn)品的外殘留的化學(xué)溶液進(jìn)行去除，之后再由專(zhuān)業(yè)人員對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行檢驗(yàn)，打包入庫(kù)。[0027]綜上所述，本實(shí)用新型一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，采用了如上的方案具有以下的效果:通過(guò)清洗裝置與水洗裝置有效的清洗產(chǎn)品上的化學(xué)溶劑并由烘干裝置使得產(chǎn)品上的液體烘干去除，同時(shí)利用罩體阻隔了設(shè)備生產(chǎn)時(shí)的廢氣，并且通過(guò)空氣過(guò)濾器將廢氣過(guò)濾凈化，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便。[0028]以上對(duì)實(shí)用新型的具體實(shí)施例進(jìn)行了描述。需要理解的是，實(shí)用新型并不局限于上述特定實(shí)施方式，其中未盡詳細(xì)描述的設(shè)備和結(jié)構(gòu)應(yīng)該理解為用本領(lǐng)域中的普通方式予以實(shí)施；本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在權(quán)利要求的范圍內(nèi)做出各種變形或修改，這并不影響實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)內(nèi)容 。
權(quán)利要求1.一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，其特征在于，包括:印刷裝置、曝光裝置、顯影裝置、蝕刻裝置、清洗裝置，所述曝光裝置分別與所述印刷裝置以及顯影裝置連接，所述蝕刻裝置的后段與所述清洗裝置連接，所述顯影裝置的后段與所述蝕刻裝置連接，所述清洗裝置的后段與去膜裝置連接、所述去膜裝置后段與水洗裝置連接，所述水洗裝置的后段與烘干裝置連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述清洗裝置與所述去膜裝置之間設(shè)有膨松裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述清洗裝置的外側(cè)設(shè)有第一報(bào)警裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述水洗裝置外側(cè)設(shè)有第二報(bào)警裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，其特征在于，在所述印刷裝置、曝光裝置、顯影裝置、蝕刻裝置以及清洗裝置的外側(cè)設(shè)有一罩體，所述罩體外側(cè)設(shè)有一空氣過(guò)濾器。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述清洗裝置與所述膨松裝置之間設(shè)有檢測(cè)裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述烘干裝置為 真空電加熱烘干機(jī)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，其中，包括印刷裝置、曝光裝置、顯影裝置、蝕刻裝置、清洗裝置，曝光裝置分別與印刷裝置以及顯影裝置連接，蝕刻裝置的后段與清洗裝置連接，顯影裝置的后段與蝕刻裝置連接，清洗裝置的后段與去膜裝置連接、去膜裝置后段與水洗裝置連接，水洗裝置的后段與烘干裝置連接。通過(guò)使用本實(shí)用新型一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產(chǎn)線(xiàn)系統(tǒng)，采用了如上的方案具有以下的效果通過(guò)清洗裝置與水洗裝置有效的去除殘留的化學(xué)溶液，同時(shí)利用罩體阻隔了設(shè)備生產(chǎn)時(shí)的廢氣，并且通過(guò)空氣過(guò)濾器將廢氣過(guò)濾凈化。
文檔編號(hào)H05K3/00GK203136340SQ201320129549
公開(kāi)日2013年8月14日 申請(qǐng)日期2013年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月20日
發(fā)明者何公明 申請(qǐng)人:寧波東盛集成電路元件有限公司