專(zhuān)利名稱(chēng)：蝕刻裝置及蝕刻電路板的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電路板制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于電路板蝕刻工藝的蝕刻裝置及蝕刻電路板的方法。
背景技術(shù)：
隨著電子技術(shù)的飛速發(fā)展，電路板集成度越來(lái)越高，電路板的導(dǎo)電線(xiàn)路制作得越來(lái)越精細(xì)，這要求同一電路板的導(dǎo)電線(xiàn)路的尺寸公差盡可能小，即蝕刻制程中的蝕刻效果
需盡可能保持一致。蝕刻生產(chǎn)線(xiàn)的自動(dòng)化程度較高，成本較低，在電路板生產(chǎn)中得以廣泛使用。該工藝采用水平滾輪帶動(dòng)電路基板，利用設(shè)有多個(gè)噴嘴的直線(xiàn)形噴管式蝕刻裝置向電路基板噴灑蝕刻液。然而，使用該蝕刻裝置對(duì)電路基板蝕刻時(shí)，由于每個(gè)噴管設(shè)置噴嘴個(gè)數(shù)和長(zhǎng)度的一致，會(huì)使蝕刻液自電路基板的邊緣區(qū)流出板外，從而電路板邊緣區(qū)域蝕刻液更新速率較快， 而在電路基板中央?yún)^(qū)域積留，形成水池，產(chǎn)生水池效應(yīng)。該水池效應(yīng)會(huì)使電路基板中央?yún)^(qū)域的蝕刻液更新較慢，積留的蝕刻液膜會(huì)降低對(duì)線(xiàn)路的咬蝕量，容易發(fā)生線(xiàn)路蝕刻不足，而電路基板邊緣區(qū)部分的蝕刻液流動(dòng)速度快，更新較快，容易發(fā)生線(xiàn)路過(guò)蝕。即，該水池效應(yīng)會(huì)導(dǎo)致電路基板蝕刻不均勻，尤其容易導(dǎo)致最終制得的電路板的線(xiàn)路寬度不均，且中央?yún)^(qū)域的導(dǎo)電線(xiàn)路連線(xiàn)。為獲得足夠線(xiàn)寬，不得不對(duì)電路板邊緣區(qū)的線(xiàn)路預(yù)留多余線(xiàn)寬，大大降低了電路板的線(xiàn)路密度。因此，有必要提供一種可提升電路板蝕刻均勻性的蝕刻裝置及蝕刻電路板的方法。

發(fā)明內(nèi)容
以下以實(shí)施例為例說(shuō)明一種可提高蝕刻均勻性蝕刻裝置及蝕刻電路板的方法。一種蝕刻裝置，用于噴灑蝕刻液以蝕刻電路板，所述蝕刻裝置包括多根噴管、多個(gè)感測(cè)器及一個(gè)控制器。多個(gè)噴管沿垂直于電路板的傳送方向依次平行排列，每個(gè)所述噴管包括設(shè)置于其上的噴嘴和閥門(mén)，沿著電路板的傳送方向各噴管上的噴嘴的數(shù)量依次逐漸增加，各根噴管上相鄰的兩個(gè)噴嘴的間距均相等，每個(gè)所述噴管上的噴嘴均關(guān)于垂直于所述多根噴管的同一條直線(xiàn)對(duì)稱(chēng)分布，所述閥門(mén)用于控制與其位于同一噴管的噴嘴是否噴灑蝕刻液。多個(gè)感測(cè)器與多個(gè)噴管一一對(duì)應(yīng)，所述感測(cè)器用于感測(cè)電路板與所述感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管的位置關(guān)系。所述控制器與多個(gè)感測(cè)器及多個(gè)閥門(mén)電連接，所述控制器用于根據(jù)所述感測(cè)器的感測(cè)結(jié)果控制與該感測(cè)器對(duì)應(yīng)的閥門(mén)的開(kāi)啟和關(guān)閉，從而控制與所述閥門(mén)位于同一噴管的噴嘴是否噴灑蝕刻液。—種蝕刻電路板的方法，包括步驟提供所述的蝕刻裝置；提供電路板，所述電路板具有需進(jìn)行蝕刻的第一表面；將電路板的第一表面與多個(gè)噴管的噴嘴相對(duì)，并驅(qū)使電路板進(jìn)行移動(dòng)，在垂直于電路板的移動(dòng)方向，電路板具有相對(duì)的第一側(cè)邊和第二側(cè)邊，所述控制器設(shè)定有所述第一側(cè)邊經(jīng)過(guò)每個(gè)所述噴管后第一側(cè)邊與每個(gè)所述噴管的距離及所述第二側(cè)邊未經(jīng)過(guò)每個(gè)所述噴管前第二側(cè)邊與每個(gè)所述噴管的距離，采用多個(gè)感測(cè)器感測(cè)其對(duì)應(yīng)的噴管與所述第一側(cè)邊和第二側(cè)邊的位置關(guān)系，并將感測(cè)的結(jié)果傳送至控制器，當(dāng)所述第一側(cè)邊經(jīng)過(guò)每個(gè)感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管后第一側(cè)邊與所述感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管距離大于所述控制器設(shè)定的第一側(cè)邊經(jīng)過(guò)所述感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管后第一側(cè)邊與所述感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管的距離時(shí)，控制器控制與感測(cè)器對(duì)應(yīng)的閥門(mén)的開(kāi)啟，當(dāng)所述第二側(cè)邊未經(jīng)過(guò)所述感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管前且第二側(cè)邊與所述感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管的距離小于所述控制器設(shè)定的所述第二側(cè)邊未經(jīng)過(guò)所述感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管前第二側(cè)邊與所述感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管的距離時(shí)，所述控制器控制與所述感測(cè)器對(duì)應(yīng)的閥門(mén)的關(guān)閉。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)方案提供的蝕刻裝置，其包括的多根噴管上的噴嘴呈等腰三角形或等腰梯形排列，并且每個(gè)噴管設(shè)置有控制閥門(mén)，能夠進(jìn)行電路板蝕刻過(guò)程中，通過(guò)控制閥門(mén)控制噴管是否噴灑蝕刻液，進(jìn)而可以控制各噴管在電路板表面噴灑蝕刻液的區(qū)域，以達(dá)到提升電路板蝕刻均勻性。本技術(shù)方案提供的電路板蝕刻方法，在對(duì)電路板進(jìn)行蝕刻時(shí)，電路板的中間區(qū)域噴灑蝕刻液時(shí)間較長(zhǎng)，電路板的邊緣區(qū)域噴灑蝕刻液的時(shí)間較少， 可以使得電路板的中間區(qū)域能夠與更多的新鮮蝕刻液接觸，防止了電路板中間區(qū)域的水池效應(yīng)。電路板邊緣區(qū)域噴灑蝕刻液時(shí)間較少，可以防止電路板邊緣區(qū)域產(chǎn)生過(guò)蝕，從而可以有效地提升電路板蝕刻的均勻性。


圖1是本技術(shù)方案第一實(shí)施例提供的蝕刻裝置的示意圖。圖2是本技術(shù)方案第二實(shí)施例提供的蝕刻裝置的示意圖。圖3是本技術(shù)方案第三實(shí)施例提供的蝕刻裝置進(jìn)行蝕刻電路板的示意圖。圖4是本技術(shù)方案第三實(shí)施例提供的各噴管在電路板表面噴灑蝕刻液的區(qū)域變化示意圖。主要元件符號(hào)說(shuō)明電路板第一表面第一側(cè)邊第二側(cè)邊蝕刻裝置傳送裝置上滾輪下滾輪輸液裝置輸液管第一噴管第一噴嘴第一閥門(mén)第一管體第二噴管
10 11 12 13 100,200 101,201 1011 1012 110,210 111 120,220 121,221 122,222 123
130,230
第二噴嘴131、231
第二閥門(mén)132、232
第二管體133
第三噴管140、240
第三噴嘴141、241
第三閥門(mén)142、242
第三管體143
第四噴管150、250
第四噴嘴151、251
第四閥門(mén)152、252
第四管體153
第五噴管160、260
第五噴嘴161、261
第五閥門(mén)162、262
第五管體163
第六噴管170、270
第六噴嘴171、271
第六閥門(mén)172、272
第六管體173
第一感測(cè)器181、281
第二感測(cè)器182、282
第三感測(cè)器183、283
第四感測(cè)器184、284
第五感測(cè)器185、285
第六感測(cè)器186、286
控制器190、290
第一輸液管211
第二輸液管21具體實(shí)施例方式以下結(jié)合多個(gè)附圖及多個(gè)實(shí)施例對(duì)本技術(shù)方案提供的蝕刻裝置及蝕刻電路板的方法進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。請(qǐng)參閱圖1，本技術(shù)方案第一實(shí)施例提供的蝕刻裝置100包括輸液裝置110、第一噴管120、第二噴管130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170、第一感測(cè)器181、第二感測(cè)器182、第三感測(cè)器183、第四感測(cè)器184、第五感測(cè)器185、第六感測(cè)器 186、控制器190及傳送裝置101。本實(shí)施例中，輸液裝置110包括輸液管111。輸液管111用于向第一噴管120、第二噴管130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170供應(yīng)蝕刻液。當(dāng)然， 輸液管111上可以安裝有閥門(mén)，用于控制蝕刻液是否流入輸液管111，并調(diào)節(jié)輸液管111內(nèi)蝕刻液的流速。第一噴管120、第二噴管130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170相互平行設(shè)置，并均與輸液管111相互連通。本實(shí)施例中，第一噴管120、第二噴管 130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170均垂直于輸液管111且長(zhǎng)度相等。第一噴管120、第二噴管130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管 170的長(zhǎng)度與待蝕刻的電路板的長(zhǎng)度相等或者略大于待蝕刻的電路板的長(zhǎng)度。在進(jìn)行電路板蝕刻時(shí)，輸液管111的延伸方向與電路板的傳送方向相同，電路板自第一噴管120向第六噴管170方向傳送。本實(shí)施例中，第一噴管120包括一個(gè)第一噴嘴121、一個(gè)第一閥門(mén)122和第一管體 123。第一噴嘴121設(shè)置于第一管體123的中間部分。第一閥門(mén)122安裝于第一管體123 上且位于輸液管111與第一噴嘴121之間，用于控制是否從輸液管111向第一噴管120內(nèi)供應(yīng)蝕刻液，從而控制第一噴嘴121是否噴灑蝕刻液。第二噴管130包括兩個(gè)第二噴嘴131、一個(gè)第二閥門(mén)132和第二管體133。兩個(gè)第二噴嘴131設(shè)置于第二管體133的中間部分，兩個(gè)第二噴嘴131關(guān)于第二管體133的長(zhǎng)度方向的中心對(duì)稱(chēng)設(shè)置。第二閥門(mén)132安裝于第二管體133上且位于靠近輸液管111的第二噴嘴131與輸液管111之間，用于控制是否從輸液管111向第二管體133內(nèi)供應(yīng)液體，從而控制兩個(gè)第二噴嘴131是否噴灑蝕刻液。第三噴管140包括三個(gè)第三噴嘴141、一個(gè)第三閥門(mén)142和第三管體143。三個(gè)第三噴嘴141設(shè)置于第三管體143的中間部分，三個(gè)第三噴嘴141關(guān)于第三管體143的長(zhǎng)度方向的中心對(duì)稱(chēng)設(shè)置。優(yōu)選地，相鄰的兩個(gè)第三噴嘴141之間的間距與兩個(gè)第二噴嘴131 之間的間距相等。第三閥門(mén)142安裝于第三管體143上且位于靠近輸液管111的第三噴嘴 141與輸液管111之間，用于控制是否從輸液管111向第三管體143內(nèi)供應(yīng)液體，從而控制三個(gè)第三噴嘴141是否噴灑蝕刻液。第四噴管150包括四個(gè)第四噴嘴151、一個(gè)第四閥門(mén)152及第四管體153。四個(gè)第四噴嘴151設(shè)置于第四管體153的中間部分，四個(gè)第四噴嘴151關(guān)于第四噴管150的長(zhǎng)度方向的中心對(duì)稱(chēng)設(shè)置。四個(gè)第四噴嘴151等間距設(shè)置。優(yōu)選地，相鄰的兩個(gè)第四噴嘴151 間距與兩個(gè)第二噴嘴131的間距相等。第四閥門(mén)152安裝于第四管體153，并位于靠近輸液管111的第四噴嘴151與輸液管111之間，用于控制是否從輸液管111向第四管體153內(nèi)供應(yīng)液體，從而控制四個(gè)第四噴嘴151是否噴灑蝕刻液。第五噴管160包括五個(gè)第五噴嘴161、一個(gè)第五閥門(mén)162及第五管體163。五個(gè)第五噴嘴161設(shè)置于第五管體163，五個(gè)第五噴嘴161關(guān)于第五噴管160的長(zhǎng)度方向的中心對(duì)稱(chēng)設(shè)置。優(yōu)選地，相鄰的兩個(gè)第五噴嘴161的間距與兩個(gè)第二噴嘴131的間距相等。第五閥門(mén)162安裝于第五管體163，第五閥門(mén)162位于靠近輸液管111的第五噴嘴161與輸液管 111之間，用于控制是否從輸液管111向第五管體163內(nèi)供應(yīng)液體，從而控制五個(gè)第五噴嘴 161是否噴灑蝕刻液。第六噴管170包括六個(gè)第六噴嘴171、一個(gè)第六閥門(mén)172及第六管體173六個(gè)第六噴嘴171設(shè)置于第六管體173，六個(gè)第六噴嘴171關(guān)于第六管體173的中心對(duì)稱(chēng)設(shè)置。優(yōu)選地，相鄰的兩個(gè)第六噴嘴171之間的間距與兩個(gè)第二噴嘴131的間距相等，并且位于最外側(cè)的兩個(gè)第六噴嘴171之間的間距與待蝕刻的電路板的長(zhǎng)度相近。第六閥門(mén)172安裝于第六管體173位于靠近輸液管111的第六噴嘴171與輸液管111之間，用于控制是否從輸液管 111向第六管體173內(nèi)供應(yīng)液體，從而控制六個(gè)第六噴嘴171是否噴灑蝕刻液。第一閥門(mén)122、第二閥門(mén)132、第三閥門(mén)142、第四閥門(mén)152、第五閥門(mén)162及第六閥門(mén)172可以為氣動(dòng)閥門(mén)且均與控制器190電連接。第一噴嘴121、第二噴嘴131、第三噴嘴 141、第四噴嘴151、第五噴嘴161及第六噴嘴171均向下設(shè)置以朝向待蝕刻的電路板表面。 第一噴嘴121、第二噴嘴131、第三噴嘴141、第四噴嘴151、第五噴嘴161及第六噴嘴171的分布區(qū)域大致為等腰三角形。噴管的個(gè)數(shù)不限于本實(shí)施例中提供的六個(gè)，在實(shí)際生產(chǎn)中， 可以根據(jù)蝕刻需要設(shè)定不同的數(shù)量。第一噴嘴121、第二噴嘴131、第三噴嘴141、第四噴嘴 151、第五噴嘴161及第六噴嘴171的個(gè)數(shù)不限于本實(shí)施例中提供的個(gè)數(shù)，第一噴嘴121、第二噴嘴131、第三噴嘴141、第四噴嘴151、第五噴嘴161及第六噴嘴171的個(gè)數(shù)可以根據(jù)實(shí)際的電路板產(chǎn)品的大小和形狀設(shè)置成其他個(gè)數(shù)，只要能夠保證沿著電路板的傳送方向，多個(gè)噴管的噴嘴大致為倒置的等腰三角形或者等腰梯形即可。第一噴嘴121、第二噴嘴131、 第三噴嘴141、第四噴嘴151、第五噴嘴161及第六噴嘴171在其對(duì)應(yīng)的噴管上的位置也不局限于中間，只要每個(gè)噴管上的噴嘴均關(guān)于垂直于所述多根噴管的同一條直線(xiàn)對(duì)稱(chēng)分布即可。第一感測(cè)器181與第一噴管120相對(duì)應(yīng)，用于感測(cè)進(jìn)行蝕刻的電路板與第一噴管 120的位置關(guān)系，并將感測(cè)結(jié)果傳送至控制器190。本實(shí)施例中，第一感測(cè)器181安裝于第一噴管120上。第二感測(cè)器182與第二噴管130相對(duì)應(yīng)，用于感測(cè)進(jìn)行蝕刻的電路板與第二噴管130的位置關(guān)系，并將感測(cè)結(jié)構(gòu)傳送至控制器190。第二感測(cè)器182安裝于第二噴管130上。第三感測(cè)器183與第三噴管140相對(duì)應(yīng)，用于感測(cè)進(jìn)行蝕刻的電路板與第三噴管140的位置關(guān)系，并將感測(cè)結(jié)果傳送至控制器190。第三感測(cè)器183安裝于第三噴管140 上。第四感測(cè)器184與第四噴管150相對(duì)應(yīng)，用于檢測(cè)進(jìn)行蝕刻的電路板與第四噴管150 的位置關(guān)系，并將感測(cè)結(jié)果傳送至控制器190。第四感測(cè)器184安裝于第四噴管150上。第五感測(cè)器185與第五噴管160相對(duì)應(yīng)，用于檢測(cè)進(jìn)行蝕刻的電路板與第五噴管160的位置關(guān)系，并將感測(cè)結(jié)果傳送至控制器190。第五感測(cè)器185安裝于第五噴管160上。第六感測(cè)器186與第六噴管170相對(duì)應(yīng)，用于感測(cè)第六噴管170與進(jìn)行蝕刻的電路板的位置關(guān)系，并將感測(cè)結(jié)果傳送至控制器190。第六感測(cè)器186安裝于第六噴管170上。控制器190與第一感測(cè)器181、第二感測(cè)器182、第三感測(cè)器183、第四感測(cè)器184、 第五感測(cè)器185及第六感測(cè)器186均電連接，控制器190設(shè)定有每個(gè)噴管與電路板相對(duì)位置關(guān)系的設(shè)定值，用于根據(jù)第一感測(cè)器181、第二感測(cè)器182、第三感測(cè)器183、第四感測(cè)器 184、第五感測(cè)器185及第六感測(cè)器186感測(cè)結(jié)果與所述設(shè)定值之間的關(guān)系來(lái)對(duì)應(yīng)控制第一閥門(mén)122、第二閥門(mén)132、第三閥門(mén)142、第四閥門(mén)152、第五閥門(mén)162及第六閥門(mén)172的開(kāi)啟和關(guān)閉，從而控制第一噴嘴121、第二噴嘴131、第三噴嘴141、第四噴嘴151、第五噴嘴161 及第六噴嘴171是否噴灑蝕刻液。具體為，控制器190根據(jù)第一感測(cè)器181的感測(cè)結(jié)果，控制第一閥門(mén)122開(kāi)啟或關(guān)閉?？刂破?90根據(jù)第二感測(cè)器182的感測(cè)結(jié)果，控制第二閥門(mén) 132的開(kāi)啟或關(guān)閉?？刂破?90根據(jù)第三感測(cè)器183的感測(cè)結(jié)果，控制第三閥門(mén)142的開(kāi)啟或關(guān)閉。控制器190根據(jù)第四感測(cè)器184的感測(cè)結(jié)果，控制第四閥門(mén)152的開(kāi)啟或關(guān)閉。 控制器190根據(jù)第五感測(cè)器185的感測(cè)結(jié)果，控制第五閥門(mén)162的開(kāi)啟或關(guān)閉?？刂破?90 根據(jù)第六感測(cè)器186的感測(cè)結(jié)果，控制第六閥門(mén)172的開(kāi)啟或關(guān)閉。
傳送裝置101用于承載進(jìn)行蝕刻的電路板并帶動(dòng)電路板在其中移動(dòng)，從而使得電路板依次通過(guò)第一噴管120至第六噴管170。本實(shí)施例中，傳送裝置101為平行于第一噴管 120延伸方向設(shè)置的多組滾輪，多組滾輪相互平行且位于第一噴管120、第二噴管130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160及第六噴管170下方。每組滾輪包括上滾輪1011和下滾輪1012，上滾輪1011和下滾輪1012相對(duì)設(shè)置，上滾輪1011和下滾輪1012之間的間距略小于待傳送的電路板的厚度。多組滾輪中的上滾輪1011所在的平面與第一噴管120、第二噴管130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160及第六噴管170所在平面平行，多組滾輪中的下滾輪1012所在的平面與多組滾輪中的上滾輪1012所在平面平行。通過(guò)驅(qū)動(dòng)， 上滾輪1011和下滾輪1012產(chǎn)生相反方向的轉(zhuǎn)動(dòng)，使得夾于上滾輪1011和下滾輪1012之間的電路板在上滾輪1011和下滾輪1012摩擦力的作用下移動(dòng)，并從一組滾輪移動(dòng)至相鄰的下一組滾輪，從而使得電路板依次通過(guò)第一噴管120至第六噴管170。請(qǐng)參見(jiàn)圖2，本技術(shù)方案第二實(shí)施例提供的蝕刻裝置200。蝕刻裝置200的結(jié)構(gòu)與本技術(shù)方案第一實(shí)施例提供的蝕刻裝置100的結(jié)構(gòu)相近。蝕刻裝置200也包括輸液裝置210、第一噴管220、第二噴管230、第三噴管M0、第四噴管250、第五噴管沈0、第六噴管 270、第一感測(cè)器觀(guān)1、第二感測(cè)器觀(guān)2、第三感測(cè)器觀(guān)3、第四感測(cè)器觀(guān)4、第五感測(cè)器觀(guān)5、第六感測(cè)器觀(guān)6、控制器290及傳送裝置201。其中，第一感測(cè)器觀(guān)1、第二感測(cè)器觀(guān)2、第三感測(cè)器觀(guān)3、第四感測(cè)器觀(guān)4、第五感測(cè)器觀(guān)5、第六感測(cè)器觀(guān)6、控制器290及傳送裝置201與第一實(shí)施例的蝕刻裝置100中的第一感測(cè)器181、第二感測(cè)器182、第三感測(cè)器183、第四感測(cè)器184、第五感測(cè)器185、第六感測(cè)器186、控制器190及傳送裝置101結(jié)構(gòu)、設(shè)置方式及作用基本相同。本實(shí)施例中，輸液裝置210包括相互平行設(shè)置的第一輸液管211和第二輸液管 212。第一輸液管211和第二輸液管212的延伸方向平行于電路板的傳送方向。第一輸液管211和第二輸液管212的間距略大于待蝕刻的電路板的長(zhǎng)度。第一輸液管211和第二輸液管212均用于向第一噴管220、第二噴管230、第三噴管M0、第四噴管250、第五噴管260 及第六噴管270供應(yīng)蝕刻液。第一噴管220、第二噴管230、第三噴管M0、第四噴管250、第五噴管260及第六噴管270的排列方式與第一實(shí)施例中蝕刻裝置100的第一噴管120、第二噴管130、第三噴管 140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170設(shè)置方式相近，一個(gè)第一噴嘴221、兩個(gè)第二噴嘴231、三個(gè)第三噴嘴Ml、四個(gè)第四噴嘴251、五個(gè)第五噴嘴261及六個(gè)第六噴嘴271 的設(shè)置方式也與第一實(shí)施例中的第一噴嘴121、第二噴嘴131、第三噴嘴141、第四噴嘴151、 第五噴嘴161及第六噴嘴171的設(shè)置方式對(duì)應(yīng)相似。不同之處在于，本實(shí)施例中，第一噴管 220、第二噴管230、第三噴管M0、第四噴管250、第五噴管260及第六噴管270均連通于第一輸液管211和第二輸液管212之間。第一噴管220的一端、第二噴管230的一端、第三噴管MO的一端、第四噴管250的一端、第五噴管沈0的一端、第六噴管270的一端均與第一輸液管211相連通。第一噴管220的另一端、第二噴管230的另一端、第三噴管240的另一端、第四噴管250的另一端、第五噴管260的另一端及第六噴管270的另一端均與第二輸液管212相連通。在第一噴管220的兩端均設(shè)置有一個(gè)第一閥門(mén)222，兩個(gè)第一閥門(mén)222位于第一噴嘴221的兩側(cè)，分別用于控制第一輸液管211和第二輸液管212是否向第一噴管 220供應(yīng)蝕刻液。第二噴管230的兩端均設(shè)置有一個(gè)第二閥門(mén)232，兩個(gè)第二噴嘴231均位于兩個(gè)第二閥門(mén)232之間。第三噴管240的兩端均設(shè)置有一個(gè)第三閥門(mén)M2，三個(gè)第三噴嘴 241位于兩個(gè)第三閥門(mén)242之間。第四噴管250的兩端均設(shè)置有一個(gè)第四閥門(mén)252，四個(gè)第四噴嘴251位于兩個(gè)第四閥門(mén)252之間。第五噴管260的兩端均設(shè)置有一個(gè)第五閥門(mén)沈2， 五個(gè)第五噴嘴261位于兩個(gè)第五閥門(mén)262之間。第六噴管270的兩端均設(shè)置有一個(gè)第六閥門(mén)272，六個(gè)第六噴嘴271位于兩個(gè)第六閥門(mén)272之間。第一感測(cè)器沘1、第二感測(cè)器沘2、第三感測(cè)器沘3、第四感測(cè)器沘4、第五感測(cè)器觀(guān)5、第六感測(cè)器286均與控制器290相電連通?？刂破?90根據(jù)第一感測(cè)器281的感測(cè)結(jié)果，控制兩個(gè)第一閥門(mén)222的開(kāi)啟與關(guān)閉，從而控制第一噴嘴221是否噴灑蝕刻液；根據(jù)第二感測(cè)器282的感測(cè)結(jié)果，控制兩個(gè)第二閥門(mén)232的開(kāi)啟與關(guān)閉，從而控制第二噴嘴231是否噴灑蝕刻液；根據(jù)第三感測(cè)器觀(guān)3的感測(cè)結(jié)果，控制兩個(gè)第三閥門(mén)242的開(kāi)啟和關(guān)閉，從而控制第三噴嘴241是否噴灑蝕刻液；根據(jù)第四感測(cè)器284的感測(cè)結(jié)果，控制兩個(gè)第四閥門(mén) 252的開(kāi)啟和關(guān)閉，從而控制第四噴嘴251是否噴灑蝕刻液；根據(jù)第五感測(cè)器觀(guān)5的感測(cè)結(jié)果，控制兩個(gè)第五閥門(mén)沈2的開(kāi)啟和關(guān)閉，從而控制第五噴嘴261是否噴灑蝕刻液；并根據(jù)第六感測(cè)器觀(guān)6的感測(cè)結(jié)果，控制兩個(gè)第六閥門(mén)272的開(kāi)啟和關(guān)閉，從而控制第六噴嘴271 是否噴灑蝕刻液。本實(shí)施例中，輸液裝置210包括有第一輸液管211和第二輸液管212，并且每根噴管上均設(shè)置有兩個(gè)閥門(mén)，從而在對(duì)應(yīng)噴管上的噴嘴噴灑液體時(shí)，能夠提高噴灑液體的噴射壓力，以提高對(duì)電路板蝕刻的質(zhì)量。請(qǐng)參閱圖3，本技術(shù)方案第三實(shí)施例提供一種蝕刻電路板的方法，下面以采用本技術(shù)方案第一實(shí)施例提供的蝕刻裝置100為例進(jìn)行說(shuō)明，所述蝕刻電路板的方法包括如下步驟第一步，提供蝕刻裝置100。第二步，提供待蝕刻的電路板10。待蝕刻的電路板10大致為長(zhǎng)方形，其長(zhǎng)度與第一噴管120的長(zhǎng)度大致相等。本實(shí)施例中，電路板10的長(zhǎng)度為61厘米，寬度為53厘米。電路板10具有第一表面11，第一表面11為銅箔表面。沿著電路板10的長(zhǎng)度方向，電路板10具有相對(duì)的第一側(cè)邊12和第二側(cè)邊13。第三步，傳送電路板10使其依次經(jīng)過(guò)第一噴管120至第六噴管170并對(duì)電路板10 進(jìn)行蝕刻。將電路板10放置于傳送裝置101靠近第一噴管120的一側(cè)，使得電路板10的第一表面11向上，與第一表面11相對(duì)的表面與傳送裝置101接觸，第一側(cè)邊12和第二側(cè)邊13 大致平行于第一噴管120，第一噴管120的長(zhǎng)度方向的中心與電路板10的長(zhǎng)度方向的中心相對(duì)應(yīng)。第一側(cè)邊12靠近第一噴管120，第二側(cè)邊13遠(yuǎn)離第一噴管120。通過(guò)驅(qū)動(dòng)多組滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)，使得放置于多組滾輪中的電路板10以設(shè)定的速率自第一噴管120向第六噴管170 移動(dòng)。本實(shí)施例中，控制器190設(shè)定有第一噴管120、第二噴管130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170與電路板10的第一側(cè)邊12和第二側(cè)邊13的距離的設(shè)定值。即電路板10的第一側(cè)邊12通過(guò)一個(gè)噴管后與這個(gè)噴管的距離和電路板10的第二側(cè)邊13未通過(guò)一個(gè)噴管前與這個(gè)噴管的距離。其中，電路板10的第一側(cè)邊12依次通過(guò)各個(gè)噴管后與各個(gè)噴管的距離的設(shè)定值自第一噴管120向第六噴管170逐漸增加，電路板10 的第二側(cè)邊13未通過(guò)各個(gè)噴管前與各個(gè)噴管的距離的設(shè)定值也自第一噴管120向第六噴管170逐漸增加。第一感測(cè)器181、第二感測(cè)器182、第三感測(cè)器183、第四感測(cè)器14、第五感測(cè)器185及第六感測(cè)器186感測(cè)第一側(cè)邊12和第二側(cè)邊13與其對(duì)應(yīng)噴管的位置關(guān)系，并且將感測(cè)信號(hào)傳送至控制器190。當(dāng)?shù)谝桓袦y(cè)器181、第二感測(cè)器182、第三感測(cè)器183、第四感測(cè)器14、第五感測(cè)器185及第六感測(cè)器186感測(cè)到電路板10的第一側(cè)邊12通過(guò)對(duì)應(yīng)噴管后與所述噴管的距離大于設(shè)定值時(shí)，控制器190控制對(duì)應(yīng)噴管的對(duì)應(yīng)閥門(mén)的開(kāi)啟。例如，當(dāng)?shù)谝桓袦y(cè)器181感測(cè)到電路板10的第一側(cè)邊12通過(guò)第一噴管120后與第一噴管120 的距離大于設(shè)定值時(shí)，控制器190就會(huì)控制第一閥門(mén)122的開(kāi)啟。當(dāng)?shù)谝桓袦y(cè)器181、第二感測(cè)器182、第三感測(cè)器183、第四感測(cè)器14、第五感測(cè)器185及第六感測(cè)器186感測(cè)到電路板10的第二側(cè)邊13未通過(guò)對(duì)應(yīng)噴管前與所述噴管的距離小于設(shè)定值時(shí)，控制器190控制對(duì)應(yīng)噴管的對(duì)應(yīng)閥門(mén)的關(guān)閉。例如，當(dāng)?shù)诙袦y(cè)器182感測(cè)到電路板10的第一側(cè)邊12通過(guò)第二噴管130后與第二噴管130的距離大于設(shè)定值時(shí)，控制器190就會(huì)控制第二閥門(mén)132 的關(guān)閉。通過(guò)控制器190對(duì)各個(gè)噴管對(duì)應(yīng)閥門(mén)的開(kāi)啟和關(guān)閉的控制，從而控制每個(gè)噴管在電路板10的第一表面11噴灑蝕刻液的區(qū)域。 本實(shí)施例中，電路板10的第一側(cè)邊12與第一噴管120、第二噴管130、第三噴管 140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170的距離的設(shè)定值分別為+IOcm(厘米)、 +16cm、+21cm、+24cm、+27cm、+^cm ；電路板10的第二側(cè)邊13與第一噴管120、第二噴管 130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170的距離的設(shè)定值分別為-Ocm 、-6Cm、-10Cm、-13Cm、-15Cm、-18Cm，其中“ + ”代表對(duì)應(yīng)距離是電路板10的第一側(cè)邊12通過(guò)對(duì)應(yīng)噴管后與噴管的距離，“_”代表對(duì)應(yīng)距離是電路板10的第二側(cè)邊13未通過(guò)對(duì)應(yīng)噴管前與噴管的距離。當(dāng)?shù)谝粋?cè)邊12從第一噴管120下通過(guò)后，第一側(cè)邊12與第一噴管120的距離為10厘米時(shí)，第一感測(cè)器181將感測(cè)信號(hào)發(fā)至控制器190，控制器190控制第一閥門(mén)122 開(kāi)啟，從而第一噴管120的第一噴嘴121向電路板10的中間區(qū)域噴灑蝕刻液。電路板10 在傳送裝置101中繼續(xù)移動(dòng)，當(dāng)電路板10的第二側(cè)邊13到達(dá)第一噴管120時(shí)，控制器190 接收第一感測(cè)器181的感測(cè)信號(hào)后，控制第一閥門(mén)122關(guān)閉，從而第一噴管120的第一噴嘴 121停止向電路板10的中間區(qū)域噴灑蝕刻液。當(dāng)?shù)谝粋?cè)邊12從第二噴管130下經(jīng)過(guò)并且第一側(cè)邊12與第二噴管130的水平距離為16厘米時(shí)，控制器190接收第二感測(cè)器182的感測(cè)信號(hào)后，控制第二閥門(mén)132開(kāi)啟，從而第二噴管130的第二噴嘴131向電路板10的中間區(qū)域噴灑蝕刻液。當(dāng)電路板10的第二側(cè)邊13還未通過(guò)第二噴管130，且第二側(cè)邊13與第二噴管130的水平距離為6厘米時(shí)，控制器190接收第二感測(cè)器182的感測(cè)信號(hào)后，控制第二閥門(mén)132關(guān)閉，從而第二噴管130的第二噴嘴131停止向電路板10的中間區(qū)域噴灑蝕刻液。當(dāng)?shù)谝粋?cè)邊12從第三噴管140下通過(guò)并且第一側(cè)邊12與第三噴管140水平距離為 21厘米時(shí)，控制器190接收第三感測(cè)器183的感測(cè)信號(hào)后，控制第三閥門(mén)142開(kāi)啟，從而第三噴管140的第三噴嘴141向電路板10的第一表面11噴灑蝕刻液。當(dāng)電路板10的第二側(cè)邊13未經(jīng)過(guò)第三噴管140且與第三噴管140水平距離為10厘米時(shí)，控制器190接收第三感測(cè)器183的感測(cè)信號(hào)后，控制第三閥門(mén)142關(guān)閉，從而第三噴管140的第三噴嘴141停止向電路板10的中間區(qū)域噴灑蝕刻液。當(dāng)?shù)谝粋?cè)邊12從第四噴管150下通過(guò)并且第一側(cè)邊12與第四噴管150水平距離為M厘米時(shí)，控制器190接收第四感測(cè)器184的感測(cè)信號(hào)后，控制第四閥門(mén)152開(kāi)啟，從而第四噴管150的第四噴嘴151向電路板10的第一表面11 噴灑蝕刻液。當(dāng)電路板10的第二側(cè)邊13未經(jīng)過(guò)第四噴管150且與第四噴管150水平距離為13厘米時(shí)，控制器190接收第四感測(cè)器184的感測(cè)信號(hào)后，控制第四閥門(mén)152關(guān)閉，從而第四噴管150的第四噴嘴151停止向電路板10的中間區(qū)域噴灑蝕刻液。當(dāng)?shù)谝粋?cè)邊12從第五噴管160下通過(guò)并且第一側(cè)邊12與第五噴管160水平距離為27厘米時(shí)，控制器190 接收第五感測(cè)器185的感測(cè)信號(hào)后，控制第五閥門(mén)162開(kāi)啟，從而第五噴管160的第五噴嘴 161向電路板10的第一表面11噴灑蝕刻液。當(dāng)電路板10的第二側(cè)邊13未經(jīng)過(guò)第五噴管 160且與第五噴管160水平距離為15厘米時(shí)，控制器190接收第五感測(cè)器185的感測(cè)信號(hào)后，控制第五閥門(mén)162關(guān)閉，從而第五噴管160的第五噴嘴161停止向電路板10的中間區(qū)域噴灑蝕刻液。當(dāng)?shù)谝粋?cè)邊12從第六噴管170下通過(guò)并且第一側(cè)邊12與第六噴管170的水平距離為觀(guān)厘米時(shí)，控制器190接收第六感測(cè)器186的感測(cè)信號(hào)后，控制第六閥門(mén)172 開(kāi)啟，從而第六噴管170的第六噴嘴171向電路板10的第一表面11噴灑蝕刻液。當(dāng)電路板10的第二側(cè)邊13未經(jīng)過(guò)第六與第六噴管170水平距離為18厘米時(shí)，控制器190接收第六感測(cè)器186的感測(cè)信號(hào)后，控制第六閥門(mén)172關(guān)閉，從而第六噴管170的第六噴嘴171停止向電路板10的中間區(qū)域噴灑蝕刻液。請(qǐng)參閱圖4，設(shè)定第一噴管120、第二噴管130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170向電路板10的第一表面11噴灑蝕刻液的區(qū)域分別為Al、A2、A3、A4、 A5及A6，箭頭方向?yàn)殡娐钒?0的傳送方向。則由Al至A6，在電路板的移動(dòng)方向上的長(zhǎng)度依次減小，在垂直于電路板的移動(dòng)方向上的長(zhǎng)度依次增加，也就是說(shuō)第一噴管120向第一表面11噴灑蝕刻液的區(qū)域在電路板的移動(dòng)方向上的長(zhǎng)度大于后面第二噴管130、第三噴管 140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170向第一表面11噴灑蝕刻液的區(qū)域在電路板的移動(dòng)方向上的長(zhǎng)度，第一噴管120向第一表面11噴灑蝕刻液的區(qū)域在垂直于電路板的移動(dòng)方向上的長(zhǎng)度小于后面第二噴管130、第三噴管140、第四噴管150、第五噴管160、第六噴管170向第一表面11噴灑蝕刻液的區(qū)域在垂直于電路板的移動(dòng)方向上的長(zhǎng)度。可以理解的是，控制器190設(shè)定的電路板10的第一側(cè)邊12通過(guò)每個(gè)噴管后與所述噴管的距離的數(shù)值和電路板10的第二側(cè)邊13未通過(guò)每個(gè)噴管前與所述噴管的距離的數(shù)值并不限于本實(shí)施例中提供的數(shù)值。上述數(shù)值可以根據(jù)實(shí)際的電路板的大小和多根噴管的設(shè)置方式進(jìn)行設(shè)定。只要保證自第一噴管120向第六噴管170，電路板10的第一側(cè)邊12通過(guò)每個(gè)噴管后與所述噴管的距離的設(shè)定數(shù)值逐漸增加，電路板10的第二側(cè)邊13未通過(guò)每個(gè)噴管前與所述噴管的距離的設(shè)定數(shù)值也逐漸增加即可，以保證電路板10的中心區(qū)域與新鮮蝕刻液接觸時(shí)間較長(zhǎng)，電路板邊緣區(qū)域與新鮮蝕刻液接觸時(shí)間較短。本技術(shù)方案提供的蝕刻裝置，其包括的多根噴管上的噴嘴呈等腰三角形或等腰梯形排列，并且每個(gè)噴管設(shè)置有控制閥門(mén)，能夠進(jìn)行電路板蝕刻過(guò)程中，通過(guò)控制閥門(mén)控制噴管是否噴灑蝕刻液，進(jìn)而可以控制各噴管在電路板表面噴灑蝕刻液的區(qū)域，以達(dá)到提升電路板蝕刻均勻性。本技術(shù)方案提供的電路板蝕刻方法，在對(duì)電路板進(jìn)行蝕刻時(shí)，電路板的中間區(qū)域噴灑蝕刻液時(shí)間較長(zhǎng)，電路板的邊緣區(qū)域噴灑蝕刻液的時(shí)間較少，可以使得電路板的中間區(qū)域能夠與更多的新鮮蝕刻液接觸，防止了電路板中間區(qū)域的水池效應(yīng)。電路板邊緣區(qū)域噴灑蝕刻液時(shí)間較少，可以防止電路板邊緣區(qū)域產(chǎn)生過(guò)蝕，從而可以有效地提升電路板蝕刻的均勻性。
以上對(duì)本技術(shù)方案的蝕刻裝置及蝕刻方法進(jìn)行了詳細(xì)描述，但不能理解為是對(duì)本技術(shù)方案構(gòu)思的限制。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，可以根據(jù)本技術(shù)方案的技術(shù)構(gòu)思做出其它各種相應(yīng)的改變與變形，而所有這些改變與變形都應(yīng)屬于本申請(qǐng)權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種蝕刻裝置，用于噴灑蝕刻液以蝕刻電路板，所述蝕刻裝置包括沿垂直于電路板的傳送方向依次平行排列的多根噴管，每個(gè)所述噴管包括設(shè)置于其上的噴嘴和閥門(mén)，沿著電路板的傳送方向各噴管上的噴嘴的數(shù)量依次逐漸增加，各根噴管上相鄰的兩個(gè)噴嘴的間距均相等，每個(gè)所述噴管上的噴嘴均關(guān)于垂直于所述多根噴管的同一條直線(xiàn)對(duì)稱(chēng)分布，所述閥門(mén)用于控制與其位于同一噴管的噴嘴是否噴灑蝕刻液；多個(gè)感測(cè)器，多個(gè)感測(cè)器與多個(gè)噴管一一對(duì)應(yīng)，所述感測(cè)器用于感測(cè)電路板與所述感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管的位置關(guān)系；以及控制器，所述控制器與多個(gè)感測(cè)器及多個(gè)閥門(mén)電連接，用于根據(jù)所述感測(cè)器的感測(cè)結(jié)果控制與該感測(cè)器對(duì)應(yīng)的閥門(mén)的開(kāi)啟和關(guān)閉，從而控制與所述閥門(mén)位于同一噴管的噴嘴是否噴灑蝕刻液。
2.如權(quán)利要求1所述的蝕刻裝置，其特征在于，沿電路板的傳送方向，所述多根噴管的噴嘴呈等腰三角形或等腰梯形排列。
3.如權(quán)利要求1所述的蝕刻裝置，其特征在于，所述蝕刻裝置還包括傳送裝置，所述傳送裝置平行于多根噴管設(shè)置，并與多個(gè)噴嘴相對(duì)，用于傳送進(jìn)行蝕刻的電路板移動(dòng)。
4.如權(quán)利要求1所述的蝕刻裝置，其特征在于，所述蝕刻裝置還包括至少一根輸液管， 所述輸液管與所述多個(gè)噴管均相連通，用于向多個(gè)噴管供應(yīng)蝕刻液。
5.如權(quán)利要求4所述的蝕刻裝置，其特征在于，所述蝕刻裝置包括一個(gè)輸液管，每個(gè)所述噴管均設(shè)置有一個(gè)所述閥門(mén)，所述閥門(mén)設(shè)置于輸液管和與所述閥門(mén)位于同一噴管的噴嘴之間。
6.如權(quán)利要求4所述的蝕刻裝置，其特征在于，所述蝕刻裝置包括兩個(gè)輸液管，所述多個(gè)噴管均連通于兩個(gè)輸液管之間，每個(gè)所述噴管均設(shè)置有兩個(gè)閥門(mén)，所述兩個(gè)閥門(mén)分別設(shè)置于與所述兩個(gè)閥門(mén)位于同一噴管的噴嘴的兩側(cè)。
7.如權(quán)利要求1至6中任意一項(xiàng)所述的蝕刻裝置，其特征在于，所述電路板具有垂直于其傳送方向的第一側(cè)邊和第二側(cè)邊，所述控制器內(nèi)設(shè)定有所述第一側(cè)邊經(jīng)過(guò)每個(gè)所述噴管后第一側(cè)邊與每個(gè)所述噴管的距離及所述第二側(cè)邊未經(jīng)過(guò)每個(gè)所述噴管前第二側(cè)邊與每個(gè)所述噴管的距離。
8.如權(quán)利要求7所述的蝕刻裝置，其特征在于，所述控制器設(shè)定的所述第一側(cè)邊沿著電路板的傳送方向依次經(jīng)過(guò)每個(gè)所述噴管后第一側(cè)邊與每個(gè)所述噴管的距離逐漸增加，所述控制器設(shè)定的第二側(cè)邊沿著電路板的傳送方向依次未經(jīng)過(guò)每個(gè)所述噴管前第二側(cè)邊與每個(gè)所述噴管的距離也逐漸增加。
9.一種蝕刻電路板的方法，包括步驟提供如權(quán)利要求1至6中任意一項(xiàng)所述的蝕刻裝置；提供電路板，所述電路板具有需進(jìn)行蝕刻的第一表面；將電路板的第一表面與多個(gè)噴管的噴嘴相對(duì)，并驅(qū)使電路板進(jìn)行移動(dòng)，在垂直于電路板的移動(dòng)方向，電路板具有相對(duì)的第一側(cè)邊和第二側(cè)邊，所述控制器設(shè)定有所述第一側(cè)邊經(jīng)過(guò)每個(gè)所述噴管后第一側(cè)邊與每個(gè)所述噴管的距離及所述第二側(cè)邊未經(jīng)過(guò)每個(gè)所述噴管前第二側(cè)邊與每個(gè)所述噴管的距離，采用多個(gè)感測(cè)器感測(cè)其對(duì)應(yīng)的噴管與所述第一側(cè)邊和第二側(cè)邊的位置關(guān)系，并將感測(cè)的結(jié)果傳送至控制器，當(dāng)所述第一側(cè)邊經(jīng)過(guò)每個(gè)感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管后第一側(cè)邊與所述感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管距離大于所述控制器設(shè)定的第一側(cè)邊經(jīng)過(guò)所述感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管后第一側(cè)邊與所述感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管的距離時(shí)，控制器控制與感測(cè)器對(duì)應(yīng)的閥門(mén)的開(kāi)啟，當(dāng)所述第二側(cè)邊未經(jīng)過(guò)所述感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管前且第二側(cè)邊與所述感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管的距離小于所述控制器設(shè)定的所述第二側(cè)邊未經(jīng)過(guò)所述感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管前第二側(cè)邊與所述感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管的距離時(shí)，所述控制器控制與所述感測(cè)器對(duì)應(yīng)的閥門(mén)的關(guān)閉。
10.如權(quán)利要求9所述的蝕刻電路板的方法，其特征在于，所述控制器設(shè)定的所述第一側(cè)邊沿著電路板的傳送方向依次經(jīng)過(guò)每個(gè)所述噴管后第一側(cè)邊與每個(gè)所述噴管的距離逐漸增加，所述控制器設(shè)定的第二側(cè)邊沿著電路板的傳送方向依次未經(jīng)過(guò)每個(gè)所述噴管前第二側(cè)邊與每個(gè)所述噴管的距離也逐漸增加。
全文摘要
一種蝕刻裝置包括多根噴管、多個(gè)感測(cè)器及一個(gè)控制器。多個(gè)噴管沿垂直于電路板的傳送方向依次平行排列，每個(gè)噴管包括設(shè)置于其上的噴嘴和閥門(mén)，沿著電路板的傳送方向各噴管上的噴嘴的數(shù)量依次逐漸增加，各根噴管上相鄰兩個(gè)噴嘴的間距均相等，每個(gè)噴管上的噴嘴均關(guān)于垂直于多根噴管的同一條直線(xiàn)對(duì)稱(chēng)分布，閥門(mén)用于控制與其位于同一噴管的噴嘴是否噴灑蝕刻液。多個(gè)感測(cè)器與多個(gè)噴管一一對(duì)應(yīng)，感測(cè)器用于感測(cè)電路板與感測(cè)器對(duì)應(yīng)的噴管的位置關(guān)系。控制器與感測(cè)器及閥門(mén)電連接，控制器用于根據(jù)感測(cè)器的感測(cè)結(jié)果控制與感測(cè)器對(duì)應(yīng)的閥門(mén)開(kāi)啟和關(guān)閉，從而控制與閥門(mén)位于同一噴管的噴嘴是否噴灑蝕刻液。本發(fā)明還涉及一種采用上述蝕刻裝置蝕刻電路板的方法。
文檔編號(hào)H05K3/06GK102256447SQ201010178139
公開(kāi)日2011年11月23日 申請(qǐng)日期2010年5月20日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月20日
發(fā)明者蔡宗青, 郭同堯 申請(qǐng)人:富葵精密組件(深圳)有限公司, 鴻勝科技股份有限公司