專利名稱：一種砷化鎵多晶尾料的合成利用方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及多晶材料砷化鎵，特別是一種砷化鎵多晶尾料的合成利用 方法。
背景技術(shù)：
目前在利用水平梯度凝固法合成砷化鎵工藝中，會(huì)產(chǎn)生一部分富鎵狀 態(tài)的砷化鎵多晶尾料，按照現(xiàn)有的工藝方法這部分尾料無法得到利用，造 成嚴(yán)重的浪費(fèi)，砷化鎵合成料的利用率在卯％左右。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種砷化鎵合成材料利用率高的砷化鎵多晶尾料 的合成利用方法。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案是以如下方式完成的， 一種砷化鎵多晶尾料的 合成利用方法，其特征在于首先將砷化鎵多晶尾料表面處理干凈，即用 水磨砂紙將砷化鎵多晶尾料表面的雜質(zhì)及氧化層打磨掉，再用鹽酸與硝酸 按3: l配比液腐蝕3-5分鐘，達(dá)到表面光亮為準(zhǔn)，二是對原料的配比進(jìn)行 調(diào)整，使砷與鎵的重量比為1: 1，并加入砷化鎵總重量為0.5%的砷一齊 裝入石英管內(nèi)進(jìn)行合成，三是在合成生長過程中調(diào)整合成熱場的升溫速率 為2: 1，并保持石英管內(nèi)的氣壓不高于一個(gè)大氣壓。用本發(fā)明的方法主要 是對原料重量比和熱場升溫速率進(jìn)行了調(diào)整，不但使合成料的利用率達(dá)到 99%以上，而且有利于提高生產(chǎn)過程的安全性。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明是對現(xiàn)有技術(shù)的改進(jìn)，即把過去丟棄的砷化鎵多晶尾料進(jìn)行充 分利用。具體方法是，首先將砷化鎵多晶尾料表面進(jìn)行處理，處理方法是 用水磨砂紙把上述尾料的表面雜質(zhì)及氧化層打磨掉，然后用3: 1的鹽酸與 硝酸配比液腐蝕3-5分鐘，以達(dá)到表面光亮為準(zhǔn)；二是對原料的配比進(jìn)行 了調(diào)整，使砷與鎵的總重量比為1: 1，并加入砷化鎵總重量0.5%的砷， 一齊裝入石英管內(nèi)進(jìn)行合成；三是在合成中調(diào)整合成熱場的升溫速度為2: 1，并保持石英管內(nèi)的氣壓不高于一個(gè)大氣壓，即可達(dá)到本發(fā)明的要求。
權(quán)利要求
1、一種砷化鎵多晶尾料的合成利用方法，其特征在于首先將砷化鎵多晶尾料表面處理干凈，即用水磨砂紙將砷化鎵多晶尾料表面的雜質(zhì)及氧化層打磨掉，再用鹽酸與硝酸按3∶1配比液腐蝕3-5分鐘，達(dá)到表面光亮為準(zhǔn)，二是對原料的配比進(jìn)行調(diào)整，使砷與鎵的重量比為1∶1，并加入砷化鎵總重量為0.5％的砷一齊裝入石英管內(nèi)進(jìn)行合成，三是在合成生長過程中調(diào)整合成熱場的升溫速率為2∶1，并保持石英管內(nèi)的氣壓不高于一個(gè)大氣壓。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種砷化鎵多晶尾料的合成利用方法，本發(fā)明首先將砷化鎵多晶尾料表面處理干凈，即用水磨砂紙將砷化鎵多晶尾料表面的雜質(zhì)及氧化層打磨掉，再用鹽酸與硝酸按3∶1配比液腐蝕3-5分鐘，達(dá)到表面光亮為準(zhǔn)，二是對原料的配比進(jìn)行調(diào)整，使砷與鎵的重量比為1∶1，并加入砷化鎵總重量為0.5％的砷一齊裝入石英管內(nèi)進(jìn)行合成，三是在合成生長過程中調(diào)整合成熱場的升溫速率為2∶1，并保持石英管內(nèi)的氣壓不高于一個(gè)大氣壓。用本發(fā)明的方法主要是對原料重量比和熱場升溫速率進(jìn)行了調(diào)整，不但使合成料的利用率達(dá)到99％以上，而且有利于提高生產(chǎn)過程的安全性。
文檔編號(hào)C30B11/00GK101538741SQ20091006434
公開日2009年9月23日 申請日期2009年3月9日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月9日
發(fā)明者李玉平, 李百泉, 韓振坤 申請人:新鄉(xiāng)市神舟晶體科技發(fā)展有限公司