專利名稱：有機發(fā)光器件及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
00011本發(fā)明涉及一種用于扁平器件顯示器等的有機發(fā)光器件
及其制造方法。
背景技術(shù)：
0002近年來，作為平板顯示器，有機發(fā)光器件(其是自發(fā)光器 件)已經(jīng)引起了關(guān)注。有機發(fā)光器件至少包括具有疊層結(jié)構(gòu)的有機發(fā)光 元件(有機電致發(fā)光器件(有機EL器件))，在該疊層結(jié)構(gòu)中，第一電極、 有機化合物層以及第二電極按照上述順序堆疊在基板上。有機發(fā)光元 件容易因水或氧而引起性能的下降。少量水會引起有機化合物層和電 極層的剝離，這導(dǎo)致暗點的產(chǎn)生。由于這個原因，通過用蝕刻玻璃蓋 覆蓋有機發(fā)光器件，用密封劑將其周邊接合，將吸濕劑插入其內(nèi)，并 用吸濕劑來吸收從密封的平面進入的水，來確保有機發(fā)光元件的壽命。以下，參考

圖1至3描述本發(fā)明的實施例。圖1至3通過 截取其一部分示意性地圖解了根據(jù)本發(fā)明的有機發(fā)光器件的結(jié)構(gòu)的示 例。
0023圖1是示意性圖解作為有機發(fā)光器件的結(jié)構(gòu)示例的有機 發(fā)光器件一部分的截面圖，也就是，從發(fā)光區(qū)域的一端到其周邊區(qū)域 截取。與基板分割部分B相比，基板階臺(terrace)C在有機發(fā)光 器件的平面內(nèi)的較內(nèi)側(cè)，也就是說，在發(fā)光區(qū)域一側(cè)的基板l的表面 上，或在基板1上形成的TFT2和絕緣層3的表面區(qū)域上?；咫A臺 C由密封層分割部分A和基板分割部分B的各自位置的位移來限定。為了分割為各個單元有機發(fā)光器件，可以使用任何方法， 只要該方法滿足上述條件，并且不會由于密封層9的分割而產(chǎn)生剝離 和開裂。例如，在對其上形成了密封層9的基板1進行分割的過程中， 從密封層一側(cè)對密封層9劃線，并且從基板一側(cè)對基板l劃線?？商?換地，密封層9和基板1的劃線位置可以改變?yōu)槭沟脙烧叨紡拿芊鈱?一側(cè)劃線。對于基板1以及形成在基板1上的TFT 2和絕緣層3的 分割，可以照常使用普通的分割方法和條件。順便提一句，考慮到基 板1的沿水平方向?qū)⒁还纬膶挾然蚱溆捎趧澗€造成了破壞的寬 度，需要確定基板l的分割位置E，并對劃線器精確定位。
0057(示例)
0058以下，通過舉例更詳細(xì)地描述本發(fā)明的實施例。 [0059(示例1)
0060參考圖4A和4B描述本發(fā)明的示例1。圖4A和4B分別 是示意性圖解評估樣品的一部分的截面圖和頂視圖。
0061在本示例中，如圖4A和4B所圖解的那樣制造評估樣品， 并且根據(jù)因Ca腐蝕而導(dǎo)致的透射率的改變來評估是否有水從分割位 置進入。Ca膜與水和氧反應(yīng)，由此改變了 Ca膜的透射率。因此，在 Ca膜的透射率改變的情況下，就能夠確定有水進入，而在Ca膜的透 射率沒有改變的情況下，則可以確定水沒有進入。
0062在形成絕緣層的基板的中部，通過真空汽相沉積形成 IOOOA厚的Ca膜12。隨后，通過VHF等離子體CVD形成5nm厚的 氮化硅層以便覆蓋Ca膜12，由此形成密封層9。從基板的引入到密 封層的形成的整個過程在真空條件下進行。當(dāng)利用SEM觀察本示例的樣品的分割表面時，在基板的 分割位置E處確認(rèn)密封層9內(nèi)產(chǎn)生剝離和開裂。然而，在從密封層9 的分割位置D處的發(fā)光區(qū)域一側(cè)上并沒有發(fā)現(xiàn)剝離和開裂的產(chǎn)生。具體地，基于本示例的有機發(fā)光器件以下面的方式產(chǎn)生。 也就是說，依次形成TFT 2、絕緣層3和有機平面化層4，以便在大 的基板l上形成多個有機發(fā)光器件。然后，在其上形成第一電極5和 TFT2之間的接觸孔。隨后，形成第一電極5，并且在第一電極5的 周邊形成由聚酰亞胺制成的元件隔離膜8以用于隔離。在基板l上沉 積FL03/DpyFL + sDTAB2/DFPHl/DFPHl + Cs2Co3的有機化合物層 6,按照空穴輸送層、發(fā)光層、電子輸送層和電子注入層的順序形成有 機化合物層6。在該層的頂部，通過濺射將由ITO制成的第二電極7 形成為60nm厚的層，由此形成像素。另夕卜，通過VHF等離子體CVD 形成5jim厚的氮化硅層，以便覆蓋有機平面化層4、第一電極5、有 機化合物層6、第二電極7、元件隔離膜8和粘附層10，由此形成密 封層9。結(jié)果，制造出在大的基板1上形成了多個有機各光器件的有 機發(fā)光器件板。從基板1的引入到密封層9的形成的整個過程在真空
條件下進行。
0082然后，以與第一示例相同的方式，在圖3的密封層的分割 位置D處分割有機發(fā)光器件板。換句話說，利用刀輪刀片從密封層一 側(cè)對密封層9劃線。隨后，利用高穿透類型的刀輪刀片，在基板的分 割位置E處，從密封層一側(cè)對基板l、 TFT2和絕緣層3劃線，然后 使其斷開，由此獲得各個單元有機發(fā)光器件。密封層的分割位置D對 應(yīng)于在發(fā)光區(qū)域一側(cè)與基板的分割位置E相距50nm的位置。
[0083〗當(dāng)利用光學(xué)顯微鏡和SEM觀察本發(fā)明的有機發(fā)光器件的 分割位置時，在比密封層的分割區(qū)域D更靠近發(fā)光區(qū)域的密封層9內(nèi) 沒有發(fā)現(xiàn)剝離和開裂。
[0084最后，通過粘附材料10將圓偏振板11固定到有機發(fā)光器件上。
[0085在本示例的有機發(fā)光器件在控溫控濕室中在60。C的溫度 和90%RH的相對濕度下停留1000小時之后對其進行評估，沒有發(fā)現(xiàn) VI特性和亮度的下降。另外，在有機發(fā)光器件的外周區(qū)域沒有產(chǎn)生亮 度改變和具有l(wèi)jim或更大直徑①的暗點，并且在像素的周圍沒有產(chǎn) 生亮度下降和具有l(wèi)jim或更大直徑①的暗點。
[00861盡管已經(jīng)參考示范性實施例描述了本發(fā)明，但是應(yīng)當(dāng)理 解，本發(fā)明并不局限于所披露的示范性實施例。所附權(quán)利要求的范圍 應(yīng)當(dāng)被賦予最寬泛的解釋，以便包含所有這種改進以及等同結(jié)構(gòu)和功 能。
權(quán)利要求
1.一種通過分割整體形成的多個有機發(fā)光器件而獲得的有機發(fā)光器件，包括具有端部的基板，該端部包括通過對該基板的分割而形成的分割部分；有機發(fā)光元件，形成在該基板上，并且包括按照下述順序位于該基板上的第一電極、有機發(fā)光層和第二電極；以及包含形成在該有機發(fā)光元件上的膜的無機密封層，用于覆蓋該有機發(fā)光元件，并且該無機密封層具有端部，該端部包括通過對該無機密封層的分割而形成的分割部分，其中與該基板的分割部分相比，該無機密封層的分割部分位于該有機發(fā)光器件的平面的較內(nèi)側(cè)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1的有機發(fā)光器件，其中該基板的分割部分和 該無機密封層的分割部分之間的距離是l|im或更大。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1的有機發(fā)光器件，還包括鄰近該有機發(fā)光元 件的電源構(gòu)件和信號提供構(gòu)件，其中與該基板的分割部分相比，該無 機密封層的分割部分位于該有機發(fā)光器件的平面的較內(nèi)側(cè)，并且在該 有機發(fā)光器件的除了形成了所述電極和該信號提供構(gòu)件的一側(cè)及其相 對一側(cè)之外的兩側(cè)上。
4. 一種制造有機發(fā)光器件的方法，該有機發(fā)光器件包括基板； 包含按照下述順序位于該基板上的第一電極、有機發(fā)光層和第二電極 的有機發(fā)光元件；以及覆蓋該有機發(fā)光元件的無機密封層，該方法包 括以下步驟形成包括按照下述順序位于該基板上的該第一電極、該有機發(fā)光 層和該第二電極的該有機發(fā)光元件； 在該第二電極上形成該無機密封層； 鄰近該有機發(fā)光元件分割該無機密封層；以及 鄰近該有機發(fā)光元件分割該基板，其中與分割基板的位置相比，對該無機密封層的分割在該有機發(fā) 光器件的平面的較內(nèi)側(cè)的位置進行。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4的制造有機發(fā)光器件的方法，其中分割該基 板的位置和分割該無機密封層的位置之間的距離為10nm或更大。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4的制造有機發(fā)光器件的方法，其中分割該基 板的步驟包括對該基板劃線的步驟；以及沿通過對該基板劃線的步 驟形成的線使該基板斷開的步驟。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6的制造有機發(fā)光器件的方法，其中分割該無 機密封層的步驟包括對該無機密封層劃線的步驟；以及沿通過對該 無機密封層劃線的步驟形成的線使該無機密封層斷開的步驟，并且其 中分割該基板的步驟和分割該無機密封層的步驟同時進行。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6的制造有機發(fā)光器件的方法，其中分割該無 機密封層的步驟包括對該無機密封層劃線的步驟；以及沿通過對該 無機密封層劃線的步驟形成的線使該無機密封層斷開的步驟，并且其 中對該基板劃線的步驟在對該無機密封層劃線的步驟之后進行。
9. 根據(jù)權(quán)利要求4的制造有機發(fā)光器件的方法，其中形成該有 機發(fā)光元件的步驟是在該基板上形成多個有機發(fā)光元件的步驟，并且 其中分割該基板的位置和分割該無機密封層的位置位于該多個有機發(fā) 光元件之間。
全文摘要
提供了一種有機發(fā)光器件，其在切割其中形成了無機密封層的有機發(fā)光器件板的步驟中，能夠切割有機發(fā)光器件板，而同時抑制密封層的剝離和開裂。該有機發(fā)光器件包括具有端部的基板，該端部包括通過對該基板的分割而形成的分割部分；以及具有端部的無機密封層，該端部包括通過對該無機密封層的分割而形成的分割部分，其中與該基板的分割部分相比，該無機密封層的分割部分位于該有機發(fā)光器件的平面的較內(nèi)側(cè)。
文檔編號H05B33/04GK101102628SQ200710127459
公開日2008年1月9日 申請日期2007年7月5日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月5日
發(fā)明者山崎拓郎 申請人:佳能株式會社