能被期望的。根據(jù)各個實(shí)施例，如圖1OA至圖1OC所示，公開了一種用于形成傳感器結(jié)構(gòu)的方法1000。方法1000可以包括，如1002所示，形成第一膜片結(jié)構(gòu)；如1004所示，形成電極元件；如1006所示，在對電極元件的與第一膜片相對之側(cè)形成第二膜片結(jié)構(gòu)；以及，如1008所示，在第一膜片結(jié)構(gòu)與第二膜片結(jié)構(gòu)之間提供低壓力區(qū)域。根據(jù)各個實(shí)施例，如1010所示，腔室外的壓力的變化可以引起第一膜片結(jié)構(gòu)在第一方向上的位移以及第二膜片結(jié)構(gòu)在與第一方向不同的第二方向上的位移。根據(jù)各個實(shí)施例，方法1000可以進(jìn)一步包括，如1012所示，形成布置在第一膜片結(jié)構(gòu)與第二膜片結(jié)構(gòu)之間的至少一個柱結(jié)構(gòu)。根據(jù)各個實(shí)施例，方法1000可以進(jìn)一步包括，如1014所示，設(shè)置用于支撐傳感器結(jié)構(gòu)的支撐結(jié)構(gòu)；在支撐結(jié)構(gòu)中形成空腔；設(shè)置耦合在傳感器結(jié)構(gòu)與支撐結(jié)構(gòu)之間的彈性結(jié)構(gòu)；以及使得傳感器結(jié)構(gòu)跨支撐結(jié)構(gòu)中的空腔懸浮。根據(jù)各個實(shí)施例，如1016所示，彈性結(jié)構(gòu)可以包括相對于第一膜結(jié)構(gòu)和第二膜結(jié)構(gòu)布置的阻擋結(jié)構(gòu)，以形成圍繞腔室的密封的包圍件。根據(jù)各個實(shí)施例，如1018所示，彈性結(jié)構(gòu)可以進(jìn)一步包括耦合在支撐結(jié)構(gòu)與阻擋結(jié)構(gòu)之間的彈簧支撐元件。
[0107]根據(jù)各個實(shí)施例，公開了一種傳感器結(jié)構(gòu)，包括:第一膜片結(jié)構(gòu)、電極元件、布置在電極元件的與第一膜片結(jié)構(gòu)相對之側(cè)的第二膜片結(jié)構(gòu)、以及被配置用于處理用于第一膜片結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)和第二膜片結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)而生成的至少一個信號的電路。
[0108]根據(jù)各個實(shí)施例，第一膜片結(jié)構(gòu)和第二膜片結(jié)構(gòu)被布置以形成腔室，其中腔室中的壓力低于腔室外的壓力。
[0109]根據(jù)各個實(shí)施例，傳感器結(jié)構(gòu)可以進(jìn)一步包括布置在第一膜片結(jié)構(gòu)與第二膜片結(jié)構(gòu)之間的至少一個柱結(jié)構(gòu)。
[0110]根據(jù)各個實(shí)施例，所述至少一個柱結(jié)構(gòu)被布置以將第一膜片結(jié)構(gòu)電耦合到第二膜片結(jié)構(gòu)。
[0111]根據(jù)各個實(shí)施例，所述至少一個柱結(jié)構(gòu)與由第一膜片結(jié)構(gòu)和第二膜片結(jié)構(gòu)形成的腔室至少部分地相交。
[0112]根據(jù)各個實(shí)施例，所述電極元件被至少部分地布置在由第一膜片結(jié)構(gòu)和第二膜片結(jié)構(gòu)形成的腔室中。
[0113]根據(jù)各個實(shí)施例，在由第一膜片結(jié)構(gòu)和第二膜片結(jié)構(gòu)形成的腔室中的所述壓力基本上是真空。
[0114]根據(jù)各個實(shí)施例，所述傳感器結(jié)構(gòu)可以進(jìn)一步包括:支撐傳感器結(jié)構(gòu)的支撐結(jié)構(gòu)、以及耦合在傳感器結(jié)構(gòu)與支撐結(jié)構(gòu)之間的彈性結(jié)構(gòu)。
[0115]根據(jù)各個實(shí)施例，所述支撐結(jié)構(gòu)包括微機(jī)電系統(tǒng)。
[0116]根據(jù)各個實(shí)施例，所述彈性結(jié)構(gòu)包括相對于第一膜片結(jié)構(gòu)和第二膜片結(jié)構(gòu)布置的阻擋結(jié)構(gòu)，以形成圍繞腔室的密封的包圍件。
[0117]根據(jù)各個實(shí)施例，所述彈性結(jié)構(gòu)進(jìn)一步包括耦合在支撐結(jié)構(gòu)和阻擋結(jié)構(gòu)之間的彈簧支撐元件。
[0118]根據(jù)各個實(shí)施例，第一膜片結(jié)構(gòu)的表面被固定到支撐結(jié)構(gòu)的表面。
[0119]根據(jù)各個實(shí)施例，所述電極元件經(jīng)過彈性結(jié)構(gòu)中的至少一個空隙被固定到支撐結(jié)構(gòu)。
[0120]根據(jù)各個實(shí)施例，所述傳感器結(jié)構(gòu)可以進(jìn)一步包括形成在支撐結(jié)構(gòu)中的空腔。
[0121]根據(jù)各個實(shí)施例，所述傳感器結(jié)構(gòu)跨支撐結(jié)構(gòu)中的空腔懸浮。
[0122]根據(jù)各個實(shí)施例，一種用于形成傳感器結(jié)構(gòu)的方法，該方法可以包括:形成第一膜片結(jié)構(gòu)；形成電極元件；在對電極元件的與第一膜片結(jié)構(gòu)相對之側(cè)形成第二膜片結(jié)構(gòu)；以及在第一膜片結(jié)構(gòu)與第二膜片結(jié)構(gòu)之間提供低壓力區(qū)域。
[0123]根據(jù)各個實(shí)施例，所述方法可以進(jìn)一步包括:形成布置在第一膜片結(jié)構(gòu)與第二膜片結(jié)構(gòu)之間的至少一個柱結(jié)構(gòu)。
[0124]根據(jù)各個實(shí)施例，所述方法可以進(jìn)一步包括:設(shè)置用于支撐傳感器結(jié)構(gòu)的支撐結(jié)構(gòu)；在支撐結(jié)構(gòu)中形成空腔；以及設(shè)置耦合在傳感器結(jié)構(gòu)與支撐結(jié)構(gòu)之間的彈性結(jié)構(gòu)。
[0125]根據(jù)各個實(shí)施例，所述方法可以進(jìn)一步包括:使得傳感器結(jié)構(gòu)跨支撐結(jié)構(gòu)中的空腔懸浮。
[0126]根據(jù)各個實(shí)施例，所述方法，其中彈性結(jié)構(gòu)包括相對于第一膜片結(jié)構(gòu)和第二膜片結(jié)構(gòu)布置的阻擋結(jié)構(gòu)，以形成圍繞腔室的密封的包圍件。
[0127]根據(jù)各個實(shí)施例，所述方法，其中彈性結(jié)構(gòu)進(jìn)一步包括耦合在支撐結(jié)構(gòu)與阻擋結(jié)構(gòu)之間的彈簧支撐元件。
[0128]雖然已經(jīng)參考特定實(shí)施例具體示出和描述了本公開，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解的是，可以在不脫離由所附權(quán)利要求限定的本公開的精神和范圍的情況下在對其做出形式上和細(xì)節(jié)上的各種變化。因此本公開的范圍由所附權(quán)利要求指示，并且因此旨在包含在權(quán)利要求的等價方案的含義和范圍內(nèi)的所有變化。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種傳感器結(jié)構(gòu)，包括: 第一膜片結(jié)構(gòu)； 電極元件； 第二膜片結(jié)構(gòu)，被布置在所述電極元件的與所述第一膜片結(jié)構(gòu)相對之側(cè)；以及電路，被配置用于處理由于所述第一膜片結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)和所述第二膜片結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)而生成的至少一個信號； 其中所述第一膜片結(jié)構(gòu)和所述第二膜片結(jié)構(gòu)形成腔室，其中所述腔室中的壓力低于所述腔室外的壓力。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步包括: 至少一個柱結(jié)構(gòu)，被布置在所述第一膜片結(jié)構(gòu)與所述第二膜片結(jié)構(gòu)之間。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感器結(jié)構(gòu)， 其中所述至少一個柱結(jié)構(gòu)被布置為，將所述第一膜片結(jié)構(gòu)電耦合到所述第二膜片結(jié)構(gòu)。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感器結(jié)構(gòu)， 其中所述至少一個柱結(jié)構(gòu)與由所述第一膜片結(jié)構(gòu)和所述第二膜片結(jié)構(gòu)形成的所述腔室至少部分地相交。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器結(jié)構(gòu)， 其中所述電極元件被由所述第一膜片結(jié)構(gòu)和所述第二膜片結(jié)構(gòu)形成的所述腔室至少部分地包含。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器結(jié)構(gòu)， 其中由所述第一膜片結(jié)構(gòu)和所述第二膜片結(jié)構(gòu)形成的所述腔室中的所述壓力基本上是真空。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步包括: 支撐結(jié)構(gòu)，支撐所述傳感器結(jié)構(gòu)；以及 彈性結(jié)構(gòu)，耦合在所述傳感器結(jié)構(gòu)與所述支撐結(jié)構(gòu)之間。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳感器結(jié)構(gòu)， 其中所述支撐結(jié)構(gòu)包括微機(jī)電系統(tǒng)。9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳感器結(jié)構(gòu)， 其中所述彈性結(jié)構(gòu)包括阻擋結(jié)構(gòu)，所述阻擋結(jié)構(gòu)相對于所述第一膜片結(jié)構(gòu)和所述第二膜片結(jié)構(gòu)被布置，以形成圍繞所述腔室的密封包圍件。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的傳感器結(jié)構(gòu)， 其中所述彈性結(jié)構(gòu)進(jìn)一步包括彈簧支撐元件，所述彈簧支撐元件耦合在所述支撐結(jié)構(gòu)與所述阻擋結(jié)構(gòu)之間。11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳感器結(jié)構(gòu)， 其中所述第一膜片結(jié)構(gòu)的表面被固定到所述支撐結(jié)構(gòu)的表面。12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳感器結(jié)構(gòu)， 其中所述電極元件經(jīng)過所述彈性結(jié)構(gòu)中的至少一個空隙，被固定到所述支撐結(jié)構(gòu)。13.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳感器結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步包括: 形成在所述支撐結(jié)構(gòu)中的空腔。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的傳感器結(jié)構(gòu)， 其中所述傳感器結(jié)構(gòu)跨所述支撐結(jié)構(gòu)中的所述空腔懸浮。15.一種用于制造傳感器結(jié)構(gòu)的方法，所述方法包括: 形成第一膜片結(jié)構(gòu)； 形成電極元件； 在所述電極元件的與所述第一膜片結(jié)構(gòu)相對之側(cè)，形成第二膜片結(jié)構(gòu)；以及其中所述第一膜片結(jié)構(gòu)和所述第二膜片結(jié)構(gòu)形成腔室，其中所述腔室中的壓力低于所述腔室外的壓力。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法， 其中所述腔室外的壓力的變化引起所述第一膜片結(jié)構(gòu)在第一方向上的位移、以及所述第二膜片結(jié)構(gòu)在與所述第一方向不同的第二方向上的位移。17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，進(jìn)一步包括: 形成布置在所述第一膜片結(jié)構(gòu)與所述第二膜片結(jié)構(gòu)之間的至少一個柱結(jié)構(gòu)。18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，進(jìn)一步包括: 設(shè)置用于支撐所述傳感器結(jié)構(gòu)的支撐結(jié)構(gòu)； 在所述支撐結(jié)構(gòu)中形成空腔；以及 設(shè)置耦合在所述傳感器結(jié)構(gòu)與所述支撐結(jié)構(gòu)之間的彈性結(jié)構(gòu)； 其中所述傳感器結(jié)構(gòu)跨所述支撐結(jié)構(gòu)中的所述空腔懸浮。19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法， 其中所述彈性結(jié)構(gòu)包括阻擋結(jié)構(gòu)，所述阻擋結(jié)構(gòu)相對于所述第一膜片結(jié)構(gòu)和所述第二膜片結(jié)構(gòu)被布置，以形成圍繞所述腔室的密封包圍件。20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法， 其中所述彈性結(jié)構(gòu)進(jìn)一步包括耦合在所述支撐結(jié)構(gòu)與所述阻擋結(jié)構(gòu)之間的彈簧支撐元件。
【專利摘要】本發(fā)明的各個實(shí)施例涉及用于感測壓力波以及環(huán)境壓力的變化的MEMS傳感器結(jié)構(gòu)。該傳感器結(jié)構(gòu)包括：第一膜片結(jié)構(gòu)、電極元件、以及布置在電極元件的與第一膜片結(jié)構(gòu)相對之側(cè)的第二膜片結(jié)構(gòu)。傳感器結(jié)構(gòu)還可以包括由第一膜片結(jié)構(gòu)和第二膜片結(jié)構(gòu)形成的腔室，其中腔室中的壓力低于腔室外的壓力。同樣地公開了一種用于形成該傳感器結(jié)構(gòu)的方法。
【IPC分類】H04R9/02, H04R9/06
【公開號】CN104902400
【申請?zhí)枴緾N201510098315
【發(fā)明人】A·德厄
【申請人】英飛凌科技股份有限公司
【公開日】2015年9月9日
【申請日】2015年3月5日
【公告號】DE102015103236A1, US20150256913