技術編號：8925649
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。典型的麥克風具有暴露于入射壓力波的膜片。這些壓力波使得膜片偏轉，并且該偏轉通過各種換能機制被檢測到并且被轉換成電信號。在微機電系統(tǒng)(MEMS)麥克風中，傳統(tǒng)的換能機制可以包括壓電、壓阻、光學和電容性的機制。簡單的MEMS麥克風可以是包括更通常地稱為“背板”的對電極和膜片的電容器。當跨背板/膜片電容系統(tǒng)施加電壓，并且聲波使得膜片振蕩時，可以通過測量由膜片相對于背板的移動所引起的電容的變化，將聲波轉換成可用的電信號。很多MEMS壓力傳感器同樣地使用上文所討論的...
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