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具有嵌入壓電層中的電極的彈性表面波器件及其設(shè)計和生產(chǎn)的制作方法

文檔序號:40613748發(fā)布日期:2025-01-07 21:00閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種彈性表面波器件(100),所述彈性表面波器件包括壓電層(120)、嵌入所述壓電層中的電極(150a、150b),以及支撐所述壓電層和所述電極的襯底(130),所述器件的特征在于,所述襯底滿足以下兩個條件:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件,其中,用于切割所述壓電層的基本模式的衰減與所述電極彈性模式的衰減的比率大于10。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的器件,其中,所述電極完全穿過所述壓電層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的器件,其中,所述襯底由具有60gpa至80gpa之間的楊氏模量、0.15至0.25之間的泊松比以及2100kg/m3至2400kg/m3之間的密度的玻璃形成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的器件,其中,所述襯底由砷化鎵形成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的器件,其中,所述預定速度比值等于0.9。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的器件,其中,所述電極彈性模式的衰減由公式定義,其中,對于產(chǎn)生彈性切割波的傳播模式的電極激勵,δ是每個電極的聲反射系數(shù),函數(shù)log表示十進制對數(shù),使得log(e)~0.434,并且fh和fb是與所述彈性切割波的諧振相關(guān)聯(lián)的頻率,在fh和fb處所述彈性波器件的電納分別達到其最高點和最低點。

8.一種確定襯底與彈性表面波器件的匹配的方法(900),所述彈性表面波器件包括壓電層、嵌入所述壓電層中的電極以及所述襯底,所述方法借助于計算機系統(tǒng)來實現(xiàn),并且其特征在于,所述方法包括在以下情況下發(fā)出(840)表示所述襯底與所述彈性表面波器件的匹配的信號的步驟:

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的確定襯底對于彈性表面波器件的適用性的方法(900),其特征在于,所述計算機系統(tǒng)(900)包括計算機計算單元(910)和計算機存儲器(920),所述計算機存儲器在功能上與所述計算機計算單元通信并且存儲數(shù)據(jù)庫,所述數(shù)據(jù)庫存儲與所述電極、所述壓電層和所述襯底的幾何形狀和性質(zhì)有關(guān)的參數(shù),所述計算機計算單元實現(xiàn)以下步驟:

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的方法,其中,所述預定速度比值等于0.9。

11.根據(jù)權(quán)利要求8至10中任一項所述的方法,其中,所述衰減由公式定義,其中,對于產(chǎn)生彈性切割波的傳播模式的電極激勵,δ是每個電極的聲反射系數(shù),函數(shù)log表示十進制對數(shù),使得log(e)~0.434,并且fh和fb是與所述彈性切割波的諧振相關(guān)聯(lián)的頻率,在fh和fb處所述彈性波器件的電納分別達到其最高點和最低點。

12.一種制造彈性表面波器件的方法(1100),所述彈性表面波器件包括壓電層、嵌入所述壓電層中的電極、以及襯底,其特征在于,所述方法包括根據(jù)權(quán)利要求8至11中任一項所述的確定襯底材料的匹配的方法(900)。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種彈性表面波器件(100),該彈性表面波器件包括壓電層(120)、嵌入該壓電層中的電極(150A、150B)以及承載該壓電層和該電極的襯底(130),該襯底滿足以下兩個條件:該壓電層中具有電極的彈性模式的衰減小于0.1dB/λ;以及用于切割該襯底的體積彈性模式和用于切割該壓電層的基本彈性模式之間的速度比小于具有等于1的值的預定速度比,該襯底選自砷化鎵和具有60Gpa至180GPa之間的楊氏模量、0.15至0.35之間的泊松比以及2000kg/m<supgt;3</supgt;至6000kg/m<supgt;3</supgt;之間的密度的玻璃。

技術(shù)研發(fā)人員:A·克萊雷特,T·拉羅什,S·巴朗德拉斯
受保護的技術(shù)使用者:索泰克公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/6
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