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用于改善電池片表面層導(dǎo)電類型的擴散石英舟結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:10128942閱讀:533來源:國知局
用于改善電池片表面層導(dǎo)電類型的擴散石英舟結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種石英舟結(jié)構(gòu),尤其涉及一種用于改善電池片表面層導(dǎo)電類型的擴散石英舟結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]我們制作太陽能電池的硅片是P型的半導(dǎo)體材料。如果我們把這種P型硅片放在一個石英容器內(nèi),同時將含磷的氣體通入這個石英容器內(nèi),加熱到一定的溫度,這時N型雜質(zhì)磷可從化合物中分解出來,在容器內(nèi)充滿著含磷的蒸汽,在娃片周圍包圍著許許多多的磷的分子。根據(jù)擴散的基本原理,磷雜質(zhì)會向硅片內(nèi)部滲透擴散。在靠近硅片表面的薄層內(nèi)擴散進去的磷原子最多,距表面愈遠(yuǎn),磷原子愈少。也就是說,雜質(zhì)濃度(磷濃度)隨著距硅表面距離的增加而減少。這樣我們就可以利用雜質(zhì)原子向半導(dǎo)體晶片內(nèi)部擴散的方法,改變半導(dǎo)體晶片表面層的導(dǎo)電類型,從而形成P、N結(jié),這就是用擴散法制造P-N結(jié)的基本原理。
[0003]擴散是在800-850°C進行的,擴散一管工藝時間90分鐘左右。由于溫度高、時間長,導(dǎo)致能耗大。因此擴散一管產(chǎn)量直接關(guān)系整個能耗的高低。目前普遍使用400片一管的石英舟,這種舟的優(yōu)點在于擴散時方塊電阻的均勻性好,但是產(chǎn)量低、能耗大;另外800片一管的石英舟優(yōu)點是產(chǎn)量大,但是方塊電阻的均勻性差。
[0004]中國專利201420489217.9,公開一種石英舟,用于承載硅片,包括:支撐腿、固定在所述支撐腿上的石英框架以及設(shè)置在所述石英框架上的第一石英柱和第二石英柱;所述第一石英柱上設(shè)置有180個彼此平行且等距的第一石英舟槽,所述第二石英柱上設(shè)置有180個彼此平行且等距的第二石英舟槽,所述第一石英舟槽和所述第二石英舟槽對應(yīng)設(shè)置,所述硅片通過所述第一石英舟槽和所述第二石英舟槽被承載在所述石英舟上。此結(jié)構(gòu)相對復(fù)雜,而且使用性能相對較低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實用新型主要是解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足,提供一種結(jié)構(gòu)緊湊,使用方便,同時兼顧方塊電阻均勻性的同時增加產(chǎn)量,以達(dá)到減少能耗目的的用于改善電池片表面層導(dǎo)電類型的擴散石英舟結(jié)構(gòu)。
[0006]本實用新型的上述技術(shù)問題主要是通過下述技術(shù)方案得以解決的:
[0007]—種用于改善電池片表面層導(dǎo)電類型的擴散石英舟結(jié)構(gòu),包括舟體,所述的舟體的兩側(cè)端分別設(shè)有呈對稱狀分布的卡槽組件,所述的卡槽組件包括上槽棒和下槽棒,所述的上槽棒與下槽棒中分別設(shè)有卡槽和插入缺口,所述的插入缺口位于卡槽的上部,所述的卡槽的寬度為0.45-0.56mm,所述的插入缺口的橫截面呈等腰梯形狀,所述的插入缺口的張開角度為60度,所述的上槽棒與下槽棒的數(shù)量分別為127個;
[0008]二個卡槽組件中上槽棒和下槽棒的四槽的中心線在同一平面上,該平面與舟體的軸向中心線夾角為90度;
[0009]所述的舟體的上部設(shè)有上固定架,所述的上固定架的兩側(cè)端呈45度傾斜分布,所述的上固定架中設(shè)有上固定孔,所述的舟體的上端中設(shè)有一對呈間隔狀分布的中固定孔,所述的舟體的下端中設(shè)有一對呈間隔狀分布的下固定孔,中固定孔間的間距大于下固定孔的間距,所述的下固定孔間的間距為100mm ;
[0010]所述的舟體中設(shè)有溫度傳感器。
[0011]作為優(yōu)選,相鄰卡槽中心線間的間距為3.75,所述的舟體的底部設(shè)有支撐腳,所述的中固定孔與下固定孔的間距為80mm。
[0012]此結(jié)構(gòu)在不增加能耗的情況下,產(chǎn)量增加了 25%。
[0013]溫度傳感器能實時監(jiān)測舟體的溫度,當(dāng)舟體過高時,及時向控制中心發(fā)出警報,避免不必要的損失。
[0014]因此,本實用新型的一種高吸收正電極主柵結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)簡單,提高產(chǎn)品質(zhì)量,提高轉(zhuǎn)換效率。
【附圖說明】
[0015]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0016]圖2是圖1中A部上槽棒的放大結(jié)構(gòu)示意圖;
[0017]圖3是圖1中B部上槽棒的放大結(jié)構(gòu)示意圖;
[0018]圖4是本實用新型的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0019]下面通過實施例,并結(jié)合附圖,對本實用新型的技術(shù)方案作進一步具體的說明。
[0020]實施例1:如圖1、圖2、圖3和圖4所示,一種用于改善電池片表面層導(dǎo)電類型的擴散石英舟結(jié)構(gòu),包括舟體1,所述的舟體1的兩側(cè)端分別設(shè)有呈對稱狀分布的卡槽組件,所述的卡槽組件包括上槽棒2和下槽棒3,所述的上槽棒2與下槽棒3中分別設(shè)有卡槽4和插入缺口 5,所述的插入缺口 5位于卡槽4的上部,所述的卡槽4的寬度為0.45-0.56mm,所述的插入缺口 5的橫截面呈等腰梯形狀,所述的插入缺口 5的張開角度為60度,所述的上槽棒2與下槽棒3的數(shù)量分別為127個;
[0021]二個卡槽組件中上槽棒2和下槽棒3的四槽的中心線在同一平面上,該平面與舟體1的軸向中心線夾角為90度;
[0022]所述的舟體1的上部設(shè)有上固定架6,所述的上固定架6的兩側(cè)端呈45度傾斜分布,所述的上固定架6中設(shè)有上固定孔7,所述的舟體1的上端中設(shè)有一對呈間隔狀分布的中固定孔8,所述的舟體1的下端中設(shè)有一對呈間隔狀分布的下固定孔9,中固定孔8間的間距大于下固定孔9的間距,所述的下固定孔9間的間距為100mm ;
[0023]所述的舟體1中設(shè)有溫度傳感器10。
[0024]相鄰卡槽4中心線間的間距為3.75,所述的舟體1的底部設(shè)有支撐腳11,所述的中固定孔8與下固定孔9的間距為80mm。
【主權(quán)項】
1.一種用于改善電池片表面層導(dǎo)電類型的擴散石英舟結(jié)構(gòu),其特征在于:包括舟體(1),所述的舟體(1)的兩側(cè)端分別設(shè)有呈對稱狀分布的卡槽組件,所述的卡槽組件包括上槽棒(2)和下槽棒(3),所述的上槽棒(2)與下槽棒(3)中分別設(shè)有卡槽(4)和插入缺口(5),所述的插入缺口(5)位于卡槽(4)的上部,所述的卡槽(4)的寬度為0.45-0.56mm,所述的插入缺口(5)的橫截面呈等腰梯形狀,所述的插入缺口(5)的張開角度為60度,所述的上槽棒(2)與下槽棒(3)的數(shù)量分別為127個; 二個卡槽組件中上槽棒(2)和下槽棒(3)的四槽的中心線在同一平面上,該平面與舟體(1)的軸向中心線夾角為90度; 所述的舟體(1)的上部設(shè)有上固定架¢),所述的上固定架¢)的兩側(cè)端呈45度傾斜分布,所述的上固定架¢)中設(shè)有上固定孔(7),所述的舟體(1)的上端中設(shè)有一對呈間隔狀分布的中固定孔(8),所述的舟體(1)的下端中設(shè)有一對呈間隔狀分布的下固定孔(9),中固定孔⑶間的間距大于下固定孔(9)的間距,所述的下固定孔(9)間的間距為100mm; 所述的舟體(1)中設(shè)有溫度傳感器(10)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于改善電池片表面層導(dǎo)電類型的擴散石英舟結(jié)構(gòu),其特征在于:相鄰卡槽(4)中心線間的間距為3.75,所述的舟體(1)的底部設(shè)有支撐腳(11),所述的中固定孔⑶與下固定孔(9)的間距為80mm。
【專利摘要】本實用新型涉及一種石英舟結(jié)構(gòu),尤其涉及一種用于改善電池片表面層導(dǎo)電類型的擴散石英舟結(jié)構(gòu)。包括舟體,所述的舟體的兩側(cè)端分別設(shè)有呈對稱狀分布的卡槽組件,所述的卡槽組件包括上槽棒和下槽棒,所述的上槽棒與下槽棒中分別設(shè)有卡槽和插入缺口,所述的插入缺口位于卡槽的上部,所述的卡槽的寬度為0.45-0.56mm,所述的插入缺口的橫截面呈等腰梯形狀,所述的插入缺口的張開角度為60度,所述的上槽棒與下槽棒的數(shù)量分別為127個。一種高吸收正電極主柵結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單,提高產(chǎn)品質(zhì)量,提高轉(zhuǎn)換效率。
【IPC分類】H01L21/673, H01L31/18
【公開號】CN205039138
【申請?zhí)枴緾N201520861829
【發(fā)明人】徐永洋, 馬東陽, 陳艷峰
【申請人】綠華能源科技(杭州)有限公司
【公開日】2016年2月17日
【申請日】2015年11月3日
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