一種用于爐管機(jī)臺(tái)石英套管安裝的標(biāo)準(zhǔn)檢查治具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路設(shè)備維護(hù)技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種用于爐管機(jī)臺(tái)石英套管安裝的標(biāo)準(zhǔn)檢查治具。
【背景技術(shù)】
[0002]用于對(duì)半導(dǎo)體晶圓(Wafer)進(jìn)行低溫氮化處理的爐管機(jī)臺(tái)，例如日本東京電子公司(TEL)Formula HCD機(jī)型的爐管機(jī)臺(tái)，在其真空管路中裝有兩個(gè)以間隙方式套接的石英套管(sleeve quartz)，用于收集工藝生成物。
[0003]請(qǐng)參閱圖1，圖1是現(xiàn)有的一種FormulaHCD機(jī)臺(tái)石英套管的安裝狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，兩個(gè)石英套管A、B為貫通的圓管，其分別通過法蘭端7、4與一段真空管路I的管壁6采用卡箍固定安裝，可通過拆卸該段真空管路，對(duì)石英套管A、B進(jìn)行清潔保養(yǎng)。其中，石英套管A的套接端具有一段縮頸部5，以便伸入石英套管B的套接端與其安裝并形成間隙的同軸平行套接。石英套管A、B與該段真空管路的管壁6之間具有間距，并形成密封的空間2，可通過通入氮?dú)鈦矸乐拐婵展苈沸孤?。該段真空管路的管壁外?cè)包覆有加熱器3，用于防止在石英套管A、B處收集的工藝生成物凝結(jié)。
[0004]從圖1中可以看出，由于石英套管A、B只通過法蘭端7、4進(jìn)行固定，其套接端為懸空狀態(tài)，因而要實(shí)現(xiàn)石英套管A、B的間隙同軸套接是較為困難的。
[0005]目前安裝石英套管時(shí)，主要是依靠工程師的安裝手法和經(jīng)驗(yàn)，其安裝是否準(zhǔn)確主要依靠目測(cè)檢查，因此較難保證兩個(gè)石英套管之間的間隙同軸套接。并且，不同的工程師安裝的石英套管不能夠統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，從而不能保證安裝質(zhì)量的可靠性。而一旦石英套管的安裝位置產(chǎn)生偏差，將導(dǎo)致低溫氮化時(shí)的生成物堆積，以致造成回流particle(顆粒)缺陷?；亓鱬article典型的是fall on(落下)小顆粒，主要集中分布在晶圓邊緣位置，并呈從晶舟頂部到底部數(shù)量逐漸遞減態(tài)勢(shì)，這會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢的嚴(yán)重后果。
[0006]因此，為了防止由于石英套管安裝偏移造成爐管Particle所導(dǎo)致的產(chǎn)品報(bào)廢問題，設(shè)計(jì)一個(gè)用于石英套管同軸套接安裝的標(biāo)準(zhǔn)檢查制具，就顯得尤為必要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種用于爐管機(jī)臺(tái)石英套管安裝的標(biāo)準(zhǔn)檢查治具，能夠可靠保證石英套管安裝時(shí)的準(zhǔn)確度，并杜絕因?yàn)榘惭b偏移問題所導(dǎo)致的產(chǎn)品報(bào)廢問題。
[0008]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0009]一種用于爐管機(jī)臺(tái)石英套管安裝的標(biāo)準(zhǔn)檢查治具，所述石英套管為設(shè)于爐管機(jī)臺(tái)真空管路中的貫通圓管，包括第一、第二石英套管，其內(nèi)端以間隙方式相內(nèi)、外平行套接，其外端分別與一段真空管路的管壁固定安裝，所述標(biāo)準(zhǔn)檢查治具包括:
[0010]檢查部，為一段圓管，其前端用于在第一、第二石英套管固定安裝后，從第二石英套管外端向第一、第二石英套管套接部的間隙平行伸入，以根據(jù)其是否能自由伸入該間隙來判斷第一、第二石英套管是否同軸套接；
[0011]保持部，與檢查部的圓管尾端固定，用于保持檢查部的圓管形狀及控制其檢查時(shí)的伸入長(zhǎng)度。
[0012]優(yōu)選地，所述檢查部的圓管管壁厚度與第一、第二石英套管同軸套接時(shí)的公稱間隙相對(duì)應(yīng)，并在其平行伸入時(shí)形成間隙配合。
[0013]優(yōu)選地，所述檢查部的圓管前端具有幫助伸入第一、第二石英套管套接部間隙的導(dǎo)入部。
[0014]優(yōu)選地，所述導(dǎo)入部的截面為錐形或弧形。
[0015]優(yōu)選地，所述保持部為垂直固定于檢查部圓管尾端的基座。
[0016]優(yōu)選地，所述基座為法蘭形。
[0017]優(yōu)選地，所述保持部設(shè)有與檢查部圓管相通的觀察窗口。
[0018]優(yōu)選地，所述觀察窗口通過檢查部的圓管尾端向保持部貫通而形成。
[0019]優(yōu)選地，所述標(biāo)準(zhǔn)檢查治具采用特氟龍材料制成。
[0020]優(yōu)選地，所述標(biāo)準(zhǔn)檢查治具采用一體成型或切削加工制成。
[0021]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明通過在爐管機(jī)臺(tái)真空管路中安裝兩個(gè)石英套管后，利用其同軸套接時(shí)形成均勻間隙的特點(diǎn)，將標(biāo)準(zhǔn)檢查治具的圓管形檢查部向石英套管套接部的間隙平行伸入，即可根據(jù)其是否能自由伸入該間隙來判斷兩個(gè)石英套管是否處于同軸套接狀態(tài)，從而能夠可靠保證石英套管每一次安裝的準(zhǔn)確度，并杜絕因?yàn)榘惭b偏移問題所導(dǎo)致的產(chǎn)品報(bào)廢問題；同時(shí)，通過在圓管形檢查部尾端設(shè)置的基座保持部，可在標(biāo)準(zhǔn)檢查治具使用及存放時(shí)對(duì)圓管形檢查部進(jìn)行保護(hù)，避免其受力變形，并可控制其檢查時(shí)的伸入長(zhǎng)度;此外，通過在基座保持部設(shè)置觀察窗口，可透過檢查部的圓管觀察標(biāo)準(zhǔn)檢查治具在兩個(gè)石英套管套接間隙中的配合狀態(tài)，從而可快速準(zhǔn)確地判斷兩個(gè)石英套管的套接是否符合標(biāo)準(zhǔn)。通過本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)石英套管安裝時(shí)量化的統(tǒng)一安裝檢查標(biāo)準(zhǔn)，使用方便簡(jiǎn)單。
【附圖說明】
[0022]圖1是現(xiàn)有的一種FormulaHCD機(jī)臺(tái)石英套管的安裝狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2-圖3是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種用于爐管機(jī)臺(tái)石英套管安裝的標(biāo)準(zhǔn)檢查治具結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖4是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種用于爐管機(jī)臺(tái)石英套管安裝的標(biāo)準(zhǔn)檢查治具的使用狀態(tài)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0026]需要說明的是，在下述的【具體實(shí)施方式】中，在詳述本發(fā)明的實(shí)施方式時(shí)，為了清楚地表示本發(fā)明的結(jié)構(gòu)以便于說明，特對(duì)附圖中的結(jié)構(gòu)不依照一般比例繪圖，并進(jìn)行了局部放大、變形及簡(jiǎn)化處理，因此，應(yīng)避免以此作為對(duì)本發(fā)明的限定來加以理解。
[0027]在以下本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】中，請(qǐng)參閱圖2-圖3，圖2-圖3是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種用于爐管機(jī)臺(tái)石英套管安裝的標(biāo)準(zhǔn)檢查治具結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本發(fā)明的一種用于爐管機(jī)臺(tái)石英套管安裝的標(biāo)準(zhǔn)檢查治具，包括檢查部21和保持部22兩個(gè)主要結(jié)構(gòu)部分。檢查部21為一段具有一定長(zhǎng)度的圓管，保持部22與檢查部21的圓管尾端固定連接。
[0028]請(qǐng)參閱圖4，圖4是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種用于爐管機(jī)臺(tái)石英套管安裝的標(biāo)準(zhǔn)檢查治具的使用狀態(tài)示意圖。如圖4所示，以日本東京電子公司(TEL)Formula HCD機(jī)型的爐管機(jī)臺(tái)為例，在該機(jī)臺(tái)的真空管路11中裝有兩個(gè)以間隙方式套接的石英套管(sleevequartz)，分別為第一、第二石英套管12、15，用于收集工藝生成物。第一、第二石英套管12、15為貫通的圓管，其分別通過法蘭形外端19、16與真空管路的一段管壁18固定安裝，例如可采用卡箍固定安裝，并可通過密封圈進(jìn)行密封?？赏ㄟ^拆卸該段真空管路，對(duì)第一、第二石英套管進(jìn)行清潔保養(yǎng)。第一、第二石英套管12、15的內(nèi)端為套接端，其中，第一石英套管12的內(nèi)端具有一段平行的縮頸部17，以便伸入第二石英套管15的內(nèi)端，以內(nèi)、外方式與第二石英套管安裝，并形成間隙的同軸平行套接。第一、第二石英套管12、15與該段真空管路的管壁18之間具有間距，并形成密封的空間13，可通過通入氮?dú)鈦矸乐拐婵展苈沸孤?。該段真空管路的管壁外?cè)包覆有加熱器14，用于防止在第一、第二石英套管12、1